JPS5837073B2 - レ−ザソウサソウチ - Google Patents
レ−ザソウサソウチInfo
- Publication number
- JPS5837073B2 JPS5837073B2 JP50031847A JP3184775A JPS5837073B2 JP S5837073 B2 JPS5837073 B2 JP S5837073B2 JP 50031847 A JP50031847 A JP 50031847A JP 3184775 A JP3184775 A JP 3184775A JP S5837073 B2 JPS5837073 B2 JP S5837073B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- cylindrical lens
- laser
- optical system
- semi
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はレーザ光を被加工物に対し直角に照射しつつ
一方向に直線的に走査して加工する装置に関する。
一方向に直線的に走査して加工する装置に関する。
従来、被加工物を移動させず，レーザ光を走査させて加
工するこの種の装置はレーザ発振器を被加工物に対し直
角方向にレーザ光が照射するように設置した場合は、４
５°に傾けた反射鏡（主にダイクロイミツクミラーが使
われる）を少なくとも２個配設しこれら反射鏡のうちレ
ーザ発振器から遠い位置になる一方の反射鏡を直線的に
移動させる機構、あるいは集束する場合は上記一方の反
射鏡と同期して移動する集光レンズを組合わせる機構が
知られている。
工するこの種の装置はレーザ発振器を被加工物に対し直
角方向にレーザ光が照射するように設置した場合は、４
５°に傾けた反射鏡（主にダイクロイミツクミラーが使
われる）を少なくとも２個配設しこれら反射鏡のうちレ
ーザ発振器から遠い位置になる一方の反射鏡を直線的に
移動させる機構、あるいは集束する場合は上記一方の反
射鏡と同期して移動する集光レンズを組合わせる機構が
知られている。
しかしながら上記の装置ではいずれも反射鏡の動きがレ
ーザ光走査における直線度や被加工物に対するレーザ光
の真直度に影響し、被加工物に対するレーザ光の照射精
度に支障をきたし，レーザ加工上不都合があった。
ーザ光走査における直線度や被加工物に対するレーザ光
の真直度に影響し、被加工物に対するレーザ光の照射精
度に支障をきたし，レーザ加工上不都合があった。
特に反射鏡と集光レンズとを組合わした場合は、同期的
移動させるための精度上の問題があり、また機構的にも
複雑にならざるを得なかった。
移動させるための精度上の問題があり、また機構的にも
複雑にならざるを得なかった。
この発明は上記不都合な点を解消するためになされたも
ので、レーザ光の光軸をずらしてこれを回転し、この回
転されるレーザ光を円柱レンズに透過せしめる構成にし
被加工物に対し正確なレーザ光の走査のもとに加工が行
えるようにしたものである。
ので、レーザ光の光軸をずらしてこれを回転し、この回
転されるレーザ光を円柱レンズに透過せしめる構成にし
被加工物に対し正確なレーザ光の走査のもとに加工が行
えるようにしたものである。
以下、実施例を示す図面に基いてこの発明を説明する。
第１図において、水平方向にレーザ光１ａを発振するよ
うに配設されたレーザ発振器１を有し、上記レーザ光１
ａの光路上には反射面を下方に向けて４５°傾けられた
グイクロイツクミラ−２が配設されている。
うに配設されたレーザ発振器１を有し、上記レーザ光１
ａの光路上には反射面を下方に向けて４５°傾けられた
グイクロイツクミラ−２が配設されている。
また、上記グイクロイツクミラー２で反射される反射レ
ーザ光１ｂの光路上に平面側を下方にした第１の半円柱
レンズ３ａと、定角度に傾斜された平行プリズムからな
る走査光学系４および平面側を上記第１の半円柱レンズ
３ａの平面側に対面しかつ直交した軸方向になる第２の
半円柱レンズ３ｂが順次配設されている。
ーザ光１ｂの光路上に平面側を下方にした第１の半円柱
レンズ３ａと、定角度に傾斜された平行プリズムからな
る走査光学系４および平面側を上記第１の半円柱レンズ
３ａの平面側に対面しかつ直交した軸方向になる第２の
半円柱レンズ３ｂが順次配設されている。
ところで，上記走査光学系４は駆動機構（図示せず）で
反射レーザ光１ｂと同軸に回転される保持具５に保持さ
れている。
反射レーザ光１ｂと同軸に回転される保持具５に保持さ
れている。
上記の構成でレーザ光の走査を説明する。
レーザ発振器１から発振されたレーザ光１ａはダイクロ
イツクミラ−２で下方に向けて垂直に向かう反射レーザ
光１ｂとなる。
イツクミラ−２で下方に向けて垂直に向かう反射レーザ
光１ｂとなる。
レーザ光１ｂは第１の半円柱レンズ３ａを透過しその透
過光はこの半円柱レンズ３ａの集束方向に向って走査光
学系４に入射する。
過光はこの半円柱レンズ３ａの集束方向に向って走査光
学系４に入射する。
反射レーザ光１ｂの光軸は走査光学系４の上記傾斜角度
に応じて一定の距離ずれる。
に応じて一定の距離ずれる。
ところで、走査光学系４は矢印Ａで示すように反射レー
ザ光１ｂと同軸に回転しているので，反射レーザ光１ｂ
は走査光学系４により上記ずれた距離を半径とする円軌
跡を描いて第２の半円柱レンズ３ｂに入射する。
ザ光１ｂと同軸に回転しているので，反射レーザ光１ｂ
は走査光学系４により上記ずれた距離を半径とする円軌
跡を描いて第２の半円柱レンズ３ｂに入射する。
したがって、第２の半円柱レンズを透過した各スポット
はこのレンズの集束作用で直線上の各位置に集束して点
となって集合されることにより直線軌跡になる。
はこのレンズの集束作用で直線上の各位置に集束して点
となって集合されることにより直線軌跡になる。
以上のように、この発明はレーザ光の光路を光学的にず
らした状態で回転させ、往復動可能な直線度、真直度の
秀れた直線軌跡とするように光学的に変換したので、レ
ーザ光スポットの直線走査の速度を高精度に高速化でき
るばかりでなく、走査光学系における微小な回転むらな
どの機械的変動は半円柱レンズを透過して得られるレー
ザ光スポットの直線執跡における直線度や真直度には影
響しないために、加工能率が向上するとともに加工精度
を著しく向上することができた。
らした状態で回転させ、往復動可能な直線度、真直度の
秀れた直線軌跡とするように光学的に変換したので、レ
ーザ光スポットの直線走査の速度を高精度に高速化でき
るばかりでなく、走査光学系における微小な回転むらな
どの機械的変動は半円柱レンズを透過して得られるレー
ザ光スポットの直線執跡における直線度や真直度には影
響しないために、加工能率が向上するとともに加工精度
を著しく向上することができた。
上記実施例では半円柱レンズを用いたが円柱レンズであ
ってもその奏する効果に特に相異ないことは言うまでも
ない。
ってもその奏する効果に特に相異ないことは言うまでも
ない。
第２図および第３図はそれぞれ上記実施例における走査
光学系の部分を変えた他の実施例で、先ず第２図に示す
ものは、反射レーザ光１ｂの光路を変更するために、反
射面どうしを対面させて所定間隔をおき４５°に傾斜せ
られて配置される一対の反射鏡４ｍ，４ｎを配設したも
のである。
光学系の部分を変えた他の実施例で、先ず第２図に示す
ものは、反射レーザ光１ｂの光路を変更するために、反
射面どうしを対面させて所定間隔をおき４５°に傾斜せ
られて配置される一対の反射鏡４ｍ，４ｎを配設したも
のである。
したがって、反射レーザ光１ｂの光軸は上記反射鏡の離
間距離分ずらされて回転される。
間距離分ずらされて回転される。
また、第３図に示すものは一対の三角プリズム４ｏ ，
４ｐを用い，互いの頂部を逆向きにし、かつ若干ずらし
て対向させた状態に配設したものであり、これら他の実
施例においても上記平行プリズムを傾けた実施例と同様
の効果を奏することができる。
４ｐを用い，互いの頂部を逆向きにし、かつ若干ずらし
て対向させた状態に配設したものであり、これら他の実
施例においても上記平行プリズムを傾けた実施例と同様
の効果を奏することができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す模式図、第２図およ
び第３図はそれぞれこの発明の他の実施例を示す模式図
である。 １・・・・・・レーザ発振器、３ａ・・・・・・第１の
半円柱レンズ、３ｂ・・・・・・第２の半円柱レンズ、
４・・・・・・走査光学系、５・・・・・・保持具。
び第３図はそれぞれこの発明の他の実施例を示す模式図
である。 １・・・・・・レーザ発振器、３ａ・・・・・・第１の
半円柱レンズ、３ｂ・・・・・・第２の半円柱レンズ、
４・・・・・・走査光学系、５・・・・・・保持具。
Claims (1)
- １ レーザ発振器と，このレーザ発振器から発振された
レーザ光を入射する第１の円柱レンズと、この第１の円
柱レンズを透過したレーザ光を入射し上記レーザ光の光
軸を入射光軸と平行にずらす光学系と、上記光学系を回
転して上記レーザ光に上記光軸のずれた距離を半径とす
る円軌跡を描かせる駆動機構と、上記第１の円柱レンズ
の軸と直交する軸方向に向き上記円軌跡を描くレーザ光
を入射する第２の円柱レンズとを備えることを特徴とす
るレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50031847A JPS5837073B2 (ja) | 1975-03-18 | 1975-03-18 | レ−ザソウサソウチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50031847A JPS5837073B2 (ja) | 1975-03-18 | 1975-03-18 | レ−ザソウサソウチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS51107145A JPS51107145A (ja) | 1976-09-22 |
| JPS5837073B2 true JPS5837073B2 (ja) | 1983-08-13 |
Family
ID=12342437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50031847A Expired JPS5837073B2 (ja) | 1975-03-18 | 1975-03-18 | レ−ザソウサソウチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5837073B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63263393A (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-31 | Fujitsu Ltd | 熱ダイオ−ド |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009186753A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Olympus Corp | 観察装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH065918U (ja) * | 1992-06-26 | 1994-01-25 | 株式会社神戸製鋼所 | スクリュ軸機械 |
-
1975
- 1975-03-18 JP JP50031847A patent/JPS5837073B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63263393A (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-31 | Fujitsu Ltd | 熱ダイオ−ド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS51107145A (ja) | 1976-09-22 |
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