JPS5837986B2 - イソウソウチ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子部品移送装置、特に半導体ペレットボンデ
イングに際しペレットを移送する装置に関する。

半導体集積回路装置１Ｃの製造（こおいては、ＩＣペレ
ットを金属タブ等Ｏこ接続するペレットボンデイッグ工
程が必要である。

このペレットボンデイングはウエハから分割されたべレ
ソトを個々に真空吸着具で吸着し、金属タブ上に移送し
てこれに直接接続する方法で行われ、その際に、ペレッ
トを一個接続する毎に次のペレットを供給するための位
置合せが手動乃至自動により行われる。

この場合のペレット位置合せを高精度（こ行うことが困
難で、その位置合せの位置ずれがそのままペレット付位
置のずれにつながる。

また、自動位置合せを行う場合においても、ペレットボ
ンデイングの際に熱が発生するので真空吸着具が加熱さ
れ、ざら（こ、真空吸着具でペレットを吸着する際、ペ
レットを一定間隔で載置するテープが加熱されて熱膨張
し、その結果ペレット位置がずれるという問題があった
。

その問題を解決するための方法として自社特許出願であ
る昭和４７年１２月６日出願の特願昭４７−１２１５８
１があり、この自社の先願のものは、第３図に示すよう
に、いったんペレットを別のある位置におき、それを位
置合せ装置により位置合せをした後、ペレットを別の真
空吸着具で吸着し、金属タブ６こ接続する方法である。

これによれば、手動による位置合せに多少の誤差があっ
てもペレットを位置合せ装置によりきちんと位置合せし
た状態で、ペレット接続用真空吸着具に供給することが
できるので、ペレット接続位置を正確に決めることがで
きる。

しかし、この方法によれば真空吸着具の移動は一つの円
弧の上にそって行われるので、真空吸着具、位置合せ装
置のヘッドの位置的調整をするにあたって、ペレットの
角度が最初と接続後で異なり、したがって、調整すべき
回転角度を視覚的に把握することが困難でありそれがた
め、かならずしも簡単にかつ正確な位置調整が行なわれ
ないことが明らかとなった。

上述した位置合せ装置は、特願昭４７− １ ２１ ５８ １号明細書に記載されているごとく、
半導体ペレットの側縁に直接接触するｒＶＪ型爪を有す
る一対の位置決め部材を備えている。

前記位置決め部材は直線力向６こ延長されており、前記
ｒＶｌ型爪は互に対向されている。

そして、前記位置決め部材は互に近ずく方向の付勢力が
引張ばね｛こより与えられている。

またこれらの位置決め部材は前記「■」型爪を有さない
端が支持部材により摺動自在に支持されている。

さらに前記位置決め部材のｒＶｌ型爪寄りにはその部材
の延長力向に対して直角力向に突出された係合片が設け
られており、この係合片は前記位置決め部材「■」型爪
の合わさる位置に近接する位置決め部材の片側面寄りに
あらかじめ設けられたストツパと保合可能となっている
。

つぎに、かかる装置の半導体ペレットの位置決め方法を
説明すると、まず図示しない可動装置を作動させて真空
チャックを所定の個所まで移動し、そこに配置された所
定の半導体ペレットを吸着する○ この場合、真空チャックの端面は平担であるため半導体
ペレットは真空チャックにぴったりと吸着している。

したがって、この状態で真空チャックは再び前記可動装
置６こよってリードフレーム上の所定の位置まで移動す
る。

このとき位置決め部材は引張ばねの張力に抗して可動装
置により反対力向に引張られている。

したがってこのとき位置決め部材のｒＶＪ型爪の間隔は
半導体ペレットを十分に収容できる空間を含むように定
められている。

つぎに半導体ペレットは真空チャックに吸着させた状態
で位置決め部材のｒＶＪ型爪によりはさまれる。

この場合、位置決め部材は所定の可動装置による力が解
除され引張ばねの張力により半導体ペレットをはさむ方
向にそれぞれ移動する。

したがって、半導体ペレットが各位置決め部材の「■」
型爪が対向接触したときに形威される形状と異なる状態
で真空チャックに吸着されているときＱこは前述した位
置決め部材の当接にともなってｑｒＶＪ型爪のテーパ面
を摺動しペレットがＸＹ力向に移動して次第Ｇこ所定の
配置状態に矯正される。

矯正後は可動装置により戻される。

このようにして位置が矯正された半導体ペレットは真空
チャックに吸着された状態で前記可動装置を作動するこ
とにより下方に（リードフレーム方向に）移動する。

そして、リードフレームに半導体ペレットが達すると真
空チャックは吸着をやめ可動装置により上方に持上げら
れる。

前記のものにおいては、半導体ペレットの位置決めを真
空チャックに吸着し、リードフレームの上力に対応させ
た後に行っているが、この半導体ペレットの位置決めは
真空チャックに吸着する以前に行ってもよく、また吸着
後、真空チャックがリードフレーム上方に位置される間
に行なってもよいことは言うまでもない。

したがって本発明の目的は部品を移送する際に、回転方
向の部品のズレを容易に把握できる装置を提供すること
にあり、他の目的は移送装置の調整が容易に把握できる
装置を提供することにある。

上記目的を達成するための本発明の一実施態様によれば
、移送装置において、移送される部品を位置調整部へ移
送する手段、上記位置調整部へ移送された部品の位置を
調整する手段、及び上記部品を上記調整部から他の位置
へ移送する手段を含み、上記部品の移送手段は、上記部
品を一直線上ζこ移送するように構成してあることを特
徴とするものである。

以下本発明を実症例により説明する。

第１図及び第２図は本発明の一実施例を示す。

一直線Ｘ上を住復する二つの真空吸着具１，２が並設さ
れている。

そして真空吸着具１がテープ３上に配列されたペレット
４の一つを吸着し、それと同時に、真空吸着具２が位置
調整部５にて位置決めされたべレン｝４ａを吸着する。

（第１図参照）次いで、真空吸着具１と２とによってペ
レット４および４ａを移送し、ペレット４を位置調整部
５に、ペレット４ａを金属タブ６上に置く。

そして、位置決め装置７によってペレット４を位置合せ
すると同時に、真空吸着具２によってベレン｝４ａを金
属タブ６上に接続する。

（第２図参照）位置決め装置７は、図面から容易に理解
できるように、ペレット４の側縁に直接接触する「■型
爪を有する一対の位置決め部材を備えており、この位置
決め部材は直線力向｛こ延長されており、前記ｒＶｌ型
爪は互に対向されている。

そして、前記位置決め部材は互に近ずくことができ、位
置決め部材のｒＶＪ型爪の間隔はペレットを十分に収容
できる空間を含むように定められている。

そして、この空間内にペレットが置かれると、位置決め
部材がペレットをはさむ方向に移動し、ペレットが位置
決め部材のｒＶＪ型爪が対向接触したときに形戊される
形状と異゛なる状態で置かれた場合は、酊述した位置決
め部材のペレットへの当接にともなって、「Ｖ」型爪の
が摺動しペレットが「■」型爪によってＸＹ方向に移動
して次第に所定の配置状態に矯正され、結局、ペレット
の位置がはじめ若干のずれがあっても、位置調整部５に
おいて位置決め装置７で位置調整ができる。

そして、これら一連の作業を繰返し行わせる。

本発明（こよれば、ペレットの移送が直接的に行われる
。

したがって、ペレットの回転力向のズレを容易（こ確認
することができ、真空吸着具１，２位置決め装置７の相
互の位置的調整が容易にできる。

もちろん、配列されたペレット４を真空吸着具１に供給
する際、ペレット４の位置に若干のずれがあっても、位
置調整部５Ｇこおいて位置決め装置７で位置調整をする
ことによって、正確に位置決めされたペレット４ａボン
デイングすることができるのである。

したがって、位置ずれに起因する歩留りの低下を確実に
回避できるのである。

本発明は、ＩＣペレット、ＬＥＤペレットその他の半導
体ペレットのボンデイングのみならず、小部品の位置ず
れのない移送に極めて有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂ及び第２図ａ，ｂは本発明の一実症例を装
置の動作順に示すもので、ａはそれぞれ平面図、ｂはそ
れぞれ断面図である。 第３図ａ，ｂは従来例を示す平面図である。 １，２・・・・・・真空吸着具、３・・・・・・テープ
、４・・・・・・ペレット、４ａ・・・・・・位置合せ
されたペレット、４ｂ・・・・・・接続されたペレット
、５・・・・・・位置調整部、６・・・・・・タブ、７
・・・・・・位置合せ装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 半導体ウエハから分割されたペレットを個々１こ真
   空吸着具により吸着し移送させてペレット位置調整部に
   ベレットを載置するものであって、上下動及び直線上を
   往復動ずるものである第１の真空吸着具と、ペレット位
   置調整部のペレットをＸＹ力向に移動させることにより
   所定の位置にペレットを位置決めする位置決め装置と、
   所定の位置に位置決めされたペレットを第２の真空吸着
   具により吸着し移送させて基板の所定のペレット取り付
   け部にペレットを対応させ前記基板にペレットを接続す
   るものであって、上下動及び直線上を往復動し、かつ前
   記基板にペレットを接続する動作を行なうものである第
   ２の真空吸着具とを具備していることを特徴とするペレ
   ットの移送装置。