JPS5838014A - 圧電濾波器 - Google Patents
圧電濾波器Info
- Publication number
- JPS5838014A JPS5838014A JP13594981A JP13594981A JPS5838014A JP S5838014 A JPS5838014 A JP S5838014A JP 13594981 A JP13594981 A JP 13594981A JP 13594981 A JP13594981 A JP 13594981A JP S5838014 A JPS5838014 A JP S5838014A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- input
- center
- plate
- piezoelectric
- piezoelectric filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
- H03H9/562—Monolithic crystal filters comprising a ceramic piezoelectric layer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は長さ方向の伸振動を用いる圧電濾波器に関し１
人出力電極の間の間隔の位置を変化させるととによ抄ス
プリアス特性や濾波特性を制御で食るようＩＣ１，た圧
電濾波器を提倶する。
人出力電極の間の間隔の位置を変化させるととによ抄ス
プリアス特性や濾波特性を制御で食るようＩＣ１，た圧
電濾波器を提倶する。
従来のとの種の圧電瀘ｒＩＬＩＩは例えば同じ出願人に
よる特願昭’５ｓ−１７３９１６４があ秒、第１図のＷ
ｌｆｗ図で示すように、幅の快いセラｌｖり榎の主表面
の長手方向に対し直角に分割した人出力電ＩＥ２ 、５
ｔｙｓ成シ、 又裏ｗｔＩＩＣ＋を入出力電１１２ 、
３に対向するアース電極４を形成して厚さ方向に分極し
たセラ々Ｖり［１を、伸振動の倍調波の節の位置で挾持
して用いる會 第２図は１う建ツク板１が圧電濾波器内で挟持されてい
る状態を示すｍＷ図でｅ１セ、第３図は圧電濾波器の分
鱗斜視図である０合成樹脂の基［５の凹部６内で底＠７
から−Ｓが凹部６内に露呈している入出力リード８，９
の突条１０，１１がセラ考ツク［１の巾方向で入出力電
極２ 、５Ｖｃ線襲触し、叉アースリード１２の夷条１
ｇ、１４カζアース電極４ｗｃＩｌ接触することにより
セラミック坂１は挾持されている舎 とζろでこのような圧電濾波器の濾波特性やス 、プリ
アス特性はほぼセラでツタ［１の材料定数や形状で定ま
るが、製造工１では両方共ばらり１が生ずるので従来は
濾波器を組立てた後で一定のＶベルを基準にして合格品
を選別しているがこの方機では歩留塾が悪い、そこで本
願の発明者らは種層検討した結果、入出力電極の間の間
隔の位置を変えるととｋよ抄轡性が変化することを知得
した・すなわち８１図の従来のセツミック板１０分割し
た入出力電ＩＬ２ 、３の間の間隔１５はセラζツク板
１の長さ方向の中央に位置したが、この間隔１５の位置
を中央からずらすととによ秒望ましい方向に特性を変化
させ１歩留りを向上させ得るのである・ とのような知得に！ｉづいてな吉れた本発明は圧電板の
主表面Ｋ１１ｌた入出力電極を形成し、裏Ｗ＜はその入
出力電極に対向するアース電極を形成し、ＢＥ電坂をそ
の長さ方向の伸擺鴫の所定の倍調波のＨｃｍａｍする位
置で表裏■から挾持してなる圧電濾波器に゛おいて、上
表歯の入出力電極間の間隔の位置が圧電板の長さ方向の
中心からずれて〉す、かつそのずれは伸ｍｓの所＾調波
の節に椙幽する位Ｉｎ達しない範囲ＩＣＴｏることを特
徴とする。
よる特願昭’５ｓ−１７３９１６４があ秒、第１図のＷ
ｌｆｗ図で示すように、幅の快いセラｌｖり榎の主表面
の長手方向に対し直角に分割した人出力電ＩＥ２ 、５
ｔｙｓ成シ、 又裏ｗｔＩＩＣ＋を入出力電１１２ 、
３に対向するアース電極４を形成して厚さ方向に分極し
たセラ々Ｖり［１を、伸振動の倍調波の節の位置で挾持
して用いる會 第２図は１う建ツク板１が圧電濾波器内で挟持されてい
る状態を示すｍＷ図でｅ１セ、第３図は圧電濾波器の分
鱗斜視図である０合成樹脂の基［５の凹部６内で底＠７
から−Ｓが凹部６内に露呈している入出力リード８，９
の突条１０，１１がセラ考ツク［１の巾方向で入出力電
極２ 、５Ｖｃ線襲触し、叉アースリード１２の夷条１
ｇ、１４カζアース電極４ｗｃＩｌ接触することにより
セラミック坂１は挾持されている舎 とζろでこのような圧電濾波器の濾波特性やス 、プリ
アス特性はほぼセラでツタ［１の材料定数や形状で定ま
るが、製造工１では両方共ばらり１が生ずるので従来は
濾波器を組立てた後で一定のＶベルを基準にして合格品
を選別しているがこの方機では歩留塾が悪い、そこで本
願の発明者らは種層検討した結果、入出力電極の間の間
隔の位置を変えるととｋよ抄轡性が変化することを知得
した・すなわち８１図の従来のセツミック板１０分割し
た入出力電ＩＬ２ 、３の間の間隔１５はセラζツク板
１の長さ方向の中央に位置したが、この間隔１５の位置
を中央からずらすととによ秒望ましい方向に特性を変化
させ１歩留りを向上させ得るのである・ とのような知得に！ｉづいてな吉れた本発明は圧電板の
主表面Ｋ１１ｌた入出力電極を形成し、裏Ｗ＜はその入
出力電極に対向するアース電極を形成し、ＢＥ電坂をそ
の長さ方向の伸擺鴫の所定の倍調波のＨｃｍａｍする位
置で表裏■から挾持してなる圧電濾波器に゛おいて、上
表歯の入出力電極間の間隔の位置が圧電板の長さ方向の
中心からずれて〉す、かつそのずれは伸ｍｓの所＾調波
の節に椙幽する位Ｉｎ達しない範囲ＩＣＴｏることを特
徴とする。
以下本発明の実施ガを示す図である第４図、第Ｓ図を参
照しながら説明する。第４図はセラζツク板により構成
される振動子の斜視図であ抄、第５図は第４図のセラｌ
ｖり板が挟持されている状態を示す新面図である・なシ
第２図＃第３図と同一部分は同じ符号を付与しである。
照しながら説明する。第４図はセラζツク板により構成
される振動子の斜視図であ抄、第５図は第４図のセラｌ
ｖり板が挟持されている状態を示す新面図である・なシ
第２図＃第３図と同一部分は同じ符号を付与しである。
第４図の直方体形状のセラ２νり、［１６１Ｃは上表Ｗ
＜分割した入出力電極間 あ抄、裏Ｗにはアース電極１９が形成してあ抄。
＜分割した入出力電極間 あ抄、裏Ｗにはアース電極１９が形成してあ抄。
厚さ方向に分極しである。入出力電極１７．１８の間に
はセラｌｖり［１６が露呈している矩珍状の間隔２０が
あるが、この間隔２０は第１図の場合と異な秒セラ電ツ
ク板１６の長さ方向の中心からずれている。Ｗりて間隔
２０を除込た部分に形成されている入出力電１１ｔ１７
、１８のセラでツタ［１６の長さ方向に沿った長さＬ
ｌ、Ｌ２は異りている。とのようｋして形成された竜う
ζツタ鷹１６の振動子は第１図の場合と同じようｋして
第５図のように表裏璽から挾持される。突条１０゜１１
が入出力電極１８．１７と線接触し、又ＩＩ条１３ 、
１４ｔ／Ｌアース電極１９と線接触することによ艶挾持
畜れるが、セラζツク板１６の巾方向に沿りて線接触す
る位置はセラζツク板１６の長さ方向の伸振動の所定の
倍調波の節の位置１例えば３倍の倍調波を用いる場合に
はその倍調波の箪の位置である。
はセラｌｖり［１６が露呈している矩珍状の間隔２０が
あるが、この間隔２０は第１図の場合と異な秒セラ電ツ
ク板１６の長さ方向の中心からずれている。Ｗりて間隔
２０を除込た部分に形成されている入出力電１１ｔ１７
、１８のセラでツタ［１６の長さ方向に沿った長さＬ
ｌ、Ｌ２は異りている。とのようｋして形成された竜う
ζツタ鷹１６の振動子は第１図の場合と同じようｋして
第５図のように表裏璽から挾持される。突条１０゜１１
が入出力電極１８．１７と線接触し、又ＩＩ条１３ 、
１４ｔ／Ｌアース電極１９と線接触することによ艶挾持
畜れるが、セラζツク板１６の巾方向に沿りて線接触す
る位置はセラζツク板１６の長さ方向の伸振動の所定の
倍調波の節の位置１例えば３倍の倍調波を用いる場合に
はその倍調波の箪の位置である。
間隔２０はセラζツク板１６の中心からずれているが１
倍調波の節、つまり突条１０や突条１１が存在する位置
よりも中心に存在するようＫする・な１ｐａｔ子である
七ツｌｖり板１６を挾持する方法は種々知られてシ抄、
第５図のような基板５を用いる方法に限定する必要はな
い、セラζツク板１の長さ、巾、厚さを夫々スフ−１α
６−１１５箇とし、聞＠２０の長さを１５ ｍ ＜ １
．て間隔２００位豐位置化させて形成した複数の圧電濾
波器の特性が虜６図、博７図に示しである。
倍調波の節、つまり突条１０や突条１１が存在する位置
よりも中心に存在するようＫする・な１ｐａｔ子である
七ツｌｖり板１６を挾持する方法は種々知られてシ抄、
第５図のような基板５を用いる方法に限定する必要はな
い、セラζツク板１の長さ、巾、厚さを夫々スフ−１α
６−１１５箇とし、聞＠２０の長さを１５ ｍ ＜ １
．て間隔２００位豐位置化させて形成した複数の圧電濾
波器の特性が虜６図、博７図に示しである。
第６図は３倍の倍調波を用いた時の中心＊＊教４５５
Ｋ Ｈｗの濾波特性に＄Ｐゆるスプリアス信号の減衰量
を縦軸に表し、横軸に中心からの間隔２０のずれの目安
として１Ｌ１−１２１の値を表し【いる。スプリアス信
号８Ｐ１は７ＱＱＫＨｓ、スプリアス信号８Ｐ２は１４
００ＫＨｚ近傍に一＊青生ずる。
Ｋ Ｈｗの濾波特性に＄Ｐゆるスプリアス信号の減衰量
を縦軸に表し、横軸に中心からの間隔２０のずれの目安
として１Ｌ１−１２１の値を表し【いる。スプリアス信
号８Ｐ１は７ＱＱＫＨｓ、スプリアス信号８Ｐ２は１４
００ＫＨｚ近傍に一＊青生ずる。
＄７図は第６図の場合と同じ濾波特性における６ｄＢの
１１’域中を縦軸に表し、横軸ＶｃＩＬ１−Ｌ２１の値
を表しである。なお１Ｌ１−Ｌ２１の値を十倍した値が
間隔２０の中央の位置のセラｉｔり板１Ｇの中心からの
ずれの値を表す・ 第６図、第７図から間隔２０のセラ電ツク［１６の中心
からのずれが大きくなるｋつれてスプリアス信号８Ｆ１
．８Ｐ２が小さくなると共に帯穢巾が小さくなりｖ４Ｗ
斌の濾波ＩＩ＃性を示すことがわかる。ちなみに間隔２
０の位置をセラ電ツク［１４の中もからすらせないよう
ｋして間隔２０の畏１だけを（Ｌｌ罐から１７■の＠囲
で変化させたが一定の傾向は得られなかった。本発明の
圧電濾波器はこのような特性の傾向を利用して歩留艶を
向上させることができる・ 例えば合格の基準レベルをスプリアス信号８Ｐ１が１ｈ
ａｍ以上、スプリアス信号８Ｐ２が１１′ａｍ以上に
設定した場合１間隔２０の位置を中心からすらさなゆれ
ばスプリアス信号８Ｐ２の合格の基準ジベルは厳しいも
のとなるが１間隔２ｏの位置を中心からずらせることに
より個ＪＦ）ＥＥ圧電濾波器とのスプリアス信号８Ｐ１
、！！Ｐ２のばら／）１はあるものの基準レベルは為
しいものとなる・叉この基準レベルを上げることも可能
であシ、ガ九゛ばスプリアス信号８Ｐ１を２０１Ｂ以上
、スプリアス償奇ｓ ｐ−２を１４１Ｂ以上にすること
は比較的害鳥である。
１１’域中を縦軸に表し、横軸ＶｃＩＬ１−Ｌ２１の値
を表しである。なお１Ｌ１−Ｌ２１の値を十倍した値が
間隔２０の中央の位置のセラｉｔり板１Ｇの中心からの
ずれの値を表す・ 第６図、第７図から間隔２０のセラ電ツク［１６の中心
からのずれが大きくなるｋつれてスプリアス信号８Ｆ１
．８Ｐ２が小さくなると共に帯穢巾が小さくなりｖ４Ｗ
斌の濾波ＩＩ＃性を示すことがわかる。ちなみに間隔２
０の位置をセラ電ツク［１４の中もからすらせないよう
ｋして間隔２０の畏１だけを（Ｌｌ罐から１７■の＠囲
で変化させたが一定の傾向は得られなかった。本発明の
圧電濾波器はこのような特性の傾向を利用して歩留艶を
向上させることができる・ 例えば合格の基準レベルをスプリアス信号８Ｐ１が１ｈ
ａｍ以上、スプリアス信号８Ｐ２が１１′ａｍ以上に
設定した場合１間隔２０の位置を中心からすらさなゆれ
ばスプリアス信号８Ｐ２の合格の基準ジベルは厳しいも
のとなるが１間隔２ｏの位置を中心からずらせることに
より個ＪＦ）ＥＥ圧電濾波器とのスプリアス信号８Ｐ１
、！！Ｐ２のばら／）１はあるものの基準レベルは為
しいものとなる・叉この基準レベルを上げることも可能
であシ、ガ九゛ばスプリアス信号８Ｐ１を２０１Ｂ以上
、スプリアス償奇ｓ ｐ−２を１４１Ｂ以上にすること
は比較的害鳥である。
畜らに濾波特性の帯域中は間隔２０の位置を中心からす
らさなげれば１４ＫＨｓ近傍にあるが、間隔２０の位置
をずらせて１０ＫＨｓ近傍の狭帯域にすることも可能で
ありこの帯域中とスプリアス信号とを考慮して合格の基
準レベルを設定することができる。′ このように零発Ｗ！１４によればセラ電ツク′Ｍ１６の
形状や付勢定数を変えることなく単に間隔２Ｃの位置を
セラζＶり′［１６の長さ方向の中心からずらせること
ｋより濾波特性を狭帯域にしスプリアス信号を小さくす
る方向に４１性を改畳し、歩留りを向上１せることがで
會る０間［２０の位置をずらせることは、セラｌｖ夕１
［１６をウェハから切断する時にウェハに印刷等により
あらかじめ形成されている一人出力電極の長さが実ｊＩ
Ｉ例のように等しくならないように切断するととにより
機械的に行なえるから、形状や材料定数を変えることよ
抄はるかに量率である。
らさなげれば１４ＫＨｓ近傍にあるが、間隔２０の位置
をずらせて１０ＫＨｓ近傍の狭帯域にすることも可能で
ありこの帯域中とスプリアス信号とを考慮して合格の基
準レベルを設定することができる。′ このように零発Ｗ！１４によればセラ電ツク′Ｍ１６の
形状や付勢定数を変えることなく単に間隔２Ｃの位置を
セラζＶり′［１６の長さ方向の中心からずらせること
ｋより濾波特性を狭帯域にしスプリアス信号を小さくす
る方向に４１性を改畳し、歩留りを向上１せることがで
會る０間［２０の位置をずらせることは、セラｌｖ夕１
［１６をウェハから切断する時にウェハに印刷等により
あらかじめ形成されている一人出力電極の長さが実ｊＩ
Ｉ例のように等しくならないように切断するととにより
機械的に行なえるから、形状や材料定数を変えることよ
抄はるかに量率である。
第１図は従来の圧電濾波器の七ツ電ツク板の新面図でＴ
ｏセ、第２図は第１図のセラセツタ板が圧電濾波器内で
挟持された状態を示す断面図であ抄。 第５図は圧電濾波器の分解斜視図であり、第４図は本発
明の圧電濾波器のセラミック榎の斜視図であり、第５図
は第４図の七うＺツク榎が挾持された状態を示す断藺図
であｌ ＠６図、ｆ４７図は本発明の圧電濾波器の特性
図であ−５６ １，１６１七う電ツタ板。 ２、Ｌ１７，１８茸丈嘴電極。 ４．１？！アース電極。 ８．９１入出力リード。 １２電アースリード。 １５．２０１間隔 特許出願人 東光株式余社 第 １ 図 第 ３ 図 第 ４ 図 第５図 ＩＬＩ −Ｌ２１ ｔｔｎｙｐｒｓ ＩＬＩ−Ｌ２１ｔｍｍ＞ 第 ６ ｍ ＩＬＩ −Ｌ２１ ｔｍｙｐｔ） 第 ７ 図
ｏセ、第２図は第１図のセラセツタ板が圧電濾波器内で
挟持された状態を示す断面図であ抄。 第５図は圧電濾波器の分解斜視図であり、第４図は本発
明の圧電濾波器のセラミック榎の斜視図であり、第５図
は第４図の七うＺツク榎が挾持された状態を示す断藺図
であｌ ＠６図、ｆ４７図は本発明の圧電濾波器の特性
図であ−５６ １，１６１七う電ツタ板。 ２、Ｌ１７，１８茸丈嘴電極。 ４．１？！アース電極。 ８．９１入出力リード。 １２電アースリード。 １５．２０１間隔 特許出願人 東光株式余社 第 １ 図 第 ３ 図 第 ４ 図 第５図 ＩＬＩ −Ｌ２１ ｔｔｎｙｐｒｓ ＩＬＩ−Ｌ２１ｔｍｍ＞ 第 ６ ｍ ＩＬＩ −Ｌ２１ ｔｍｙｐｔ） 第 ７ 図
Claims (1)
- 圧電板の主表面に分割した入出力電極を形成し、裏面に
はその入出力電極に対向するアース電極を形成し、圧電
板をその幾重方向の伸振動の所定の倍調波のｗＩｗｃ椙
−する位置で表裏面から挟持してなる圧電濾＊ｉｓｘシ
いて、上表■の入出力電極間の間隔の位置が圧電家の長
さ方向の中るからずれており、かつそのずれは伸振動の
所定の倍調波の１１に椙嶺する位置に達しない＠−にあ
ることを特徴とする圧電濾波器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13594981A JPS5838014A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 圧電濾波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13594981A JPS5838014A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 圧電濾波器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5838014A true JPS5838014A (ja) | 1983-03-05 |
| JPS6355808B2 JPS6355808B2 (ja) | 1988-11-04 |
Family
ID=15163601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13594981A Granted JPS5838014A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 圧電濾波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5838014A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6338410U (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-12 | ||
| US5815053A (en) * | 1992-10-16 | 1998-09-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ceramic filter vibrating in the thickness shear-slide mode with electrode spacings in the range of one to three substrate thicknesses |
-
1981
- 1981-08-28 JP JP13594981A patent/JPS5838014A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6338410U (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-12 | ||
| US5815053A (en) * | 1992-10-16 | 1998-09-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ceramic filter vibrating in the thickness shear-slide mode with electrode spacings in the range of one to three substrate thicknesses |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6355808B2 (ja) | 1988-11-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4415827A (en) | Microresonator of tuning fork configuration operating at its second overtone frequency | |
| GB1460640A (en) | Quartz cr | |
| GB2100504A (en) | Piezoelectric resonator | |
| US4355257A (en) | Thickness shear type piezoelectric vibrator with integral mounting | |
| JPS60137112A (ja) | 圧電振動子 | |
| US4604595A (en) | Surface acoustic wave device having interdigitated comb electrodes weighted for odd/even response | |
| KR910001647B1 (ko) | 트랩형 에너지 공진기 | |
| JPS5838014A (ja) | 圧電濾波器 | |
| US3979697A (en) | Frequency modulated saw oscillator | |
| US3582836A (en) | Monolithic crystal filters | |
| JPS6247206A (ja) | 弾性表面波多重モ−ドフイルタ | |
| JPS6365243B2 (ja) | ||
| US4006437A (en) | Frequency filter | |
| US2281778A (en) | Piezoelectric crystal apparatus | |
| US4308510A (en) | Surface acoustic wave filter | |
| US4229718A (en) | Wide-bandwidth monolithic crystal filter | |
| JPH0637567A (ja) | 厚み系水晶振動子の電極形成方法 | |
| JPS55100725A (en) | Piezoelectric filter | |
| JPH04124907A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS59123305A (ja) | 弾性表面波フイルタ | |
| JP2000341084A (ja) | 圧電共振子 | |
| JPS6046889B2 (ja) | エツジモードセラミツク共振子 | |
| JPS63296509A (ja) | 角板フイルタ素子 | |
| JPH0757966A (ja) | コンデンサの製造方法 | |
| JPS63152209A (ja) | 梯子型電気濾波器の直列共振子 |