JPS6247206A - 弾性表面波多重モ−ドフイルタ - Google Patents
弾性表面波多重モ−ドフイルタInfo
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- JPS6247206A JPS6247206A JP60186695A JP18669585A JPS6247206A JP S6247206 A JPS6247206 A JP S6247206A JP 60186695 A JP60186695 A JP 60186695A JP 18669585 A JP18669585 A JP 18669585A JP S6247206 A JPS6247206 A JP S6247206A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 19
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/644—Coupled resonator filters having two acoustic tracks
- H03H9/6456—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled
- H03H9/6459—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode
- H03H9/6463—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode the tracks being electrically cascaded
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、弾性表面波共振子間の音響的結合を利用した
弾性表面波多重モードフィルタに関するものである。
弾性表面波多重モードフィルタに関するものである。
従来よシ、この種の弾性表面波多重モードフィルタとし
て、例えば、ウルトラソニックス（）ＬＦ。
て、例えば、ウルトラソニックス（）ＬＦ。
Ｔ（ｅｒｓｔ＠ｎ ａｔａｌ、１９７５．Ｐｒｏｃ、
Ｕｌｔｒａａｏｎｉｃｇ８ｙｍｐ、 ｐｐ ２９：３−
２９４）に記載されているような多重モードフィルタが
提案されている。このタイプのフィルタの比帯域は、構
成する弾性表面波共振子の幅と共振子間の距離とで決ま
り、広帯域化とするためには共振子間の距離を可能な限
り近づける必要がある。
Ｕｌｔｒａａｏｎｉｃｇ８ｙｍｐ、 ｐｐ ２９：３−
２９４）に記載されているような多重モードフィルタが
提案されている。このタイプのフィルタの比帯域は、構
成する弾性表面波共振子の幅と共振子間の距離とで決ま
り、広帯域化とするためには共振子間の距離を可能な限
り近づける必要がある。
とのため、弾性表面波共振子を構成する交叉指状電極の
バスバーを共通化し、共振子間の距離をほぼ極限まで近
づけた、フリクエンシーコントロー／Ｉ／ （ＶＬ Ｔ
ａｎａｋａ 、ｅｔ ａｌ、 １９８５ Ｆｒｅｑｕｅ
ｎｃｙ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ）に記載
されているようす多重モードフィルタが提案されている
。
バスバーを共通化し、共振子間の距離をほぼ極限まで近
づけた、フリクエンシーコントロー／Ｉ／ （ＶＬ Ｔ
ａｎａｋａ 、ｅｔ ａｌ、 １９８５ Ｆｒｅｑｕｅ
ｎｃｙ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ）に記載
されているようす多重モードフィルタが提案されている
。
しかしながら、このような従来の弾性表面波多重モード
フィルタによると、共振子間の距離を小、さくするため
に、バスバーを共通化し、バスバーの幅を細くしている
ので、電極パターンを形成する金属の；ンート抵抗の影
響を強く受け、フィルタの挿入損失の増大、帯域の傾斜
という欠点をもつ。
フィルタによると、共振子間の距離を小、さくするため
に、バスバーを共通化し、バスバーの幅を細くしている
ので、電極パターンを形成する金属の；ンート抵抗の影
響を強く受け、フィルタの挿入損失の増大、帯域の傾斜
という欠点をもつ。
さらに、この欠点は周波数が高くなる程傾向が大きくな
るため、ＵＨＦ帯での実用化が離しいという間＠もある
。 ゛また、共通バスバーは
省略できないため、フィルタの比帯域がバスバーの幅で
制限を受けるという欠点もあった。
るため、ＵＨＦ帯での実用化が離しいという間＠もある
。 ゛また、共通バスバーは
省略できないため、フィルタの比帯域がバスバーの幅で
制限を受けるという欠点もあった。
゛ 〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、
共通バスバーの膜厚を、弾性表面波共振子を構成する薄
膜状電極の膜厚よシも厚くしたものである。
共通バスバーの膜厚を、弾性表面波共振子を構成する薄
膜状電極の膜厚よシも厚くしたものである。
したがってこの発明によれば、共通バスバーの抵抗が低
減される。
減される。
以下、本発明に係る弾性表面波多重モードフィルタを詳
細に説明する。第１図はとの弾性表面波多重モードフィ
ルタの一実施例の電極パターンを示す平面図である。同
図において、１１Ｌは幅細の電極１ｍ＋〜１ａｓを有し
てなる第１のすだれ状電極、１ｂは幅細の電極１ｂ、〜
１，４を有してなる第２のすだれ状電極である。第１の
すだれ状電極１ａと第２おすだれ状電極１ｂとは互いに
その電極を交叉して配置され、すだれ状電極１ａと１ｂ
とで第１の交叉指状電極１を構成している。また、２
１Ｌおよび２ｂｔ−ｊ第２の交叉指状電極２のすだれ状
電極でアシ、幅細の電極２１に１〜ＺａＳおよび２ｂ、
〜２ｂ４よυ構成されている。そして、第１の交叉指状
電極１と第２の交叉指状電極２とは共通バスパー３によ
って互いに隣接して接続されている。すなわち、すだれ
状電極１ｂのバスバーとすだれ状電極２ｂのバスバーと
が共通化されている。
細に説明する。第１図はとの弾性表面波多重モードフィ
ルタの一実施例の電極パターンを示す平面図である。同
図において、１１Ｌは幅細の電極１ｍ＋〜１ａｓを有し
てなる第１のすだれ状電極、１ｂは幅細の電極１ｂ、〜
１，４を有してなる第２のすだれ状電極である。第１の
すだれ状電極１ａと第２おすだれ状電極１ｂとは互いに
その電極を交叉して配置され、すだれ状電極１ａと１ｂ
とで第１の交叉指状電極１を構成している。また、２
１Ｌおよび２ｂｔ−ｊ第２の交叉指状電極２のすだれ状
電極でアシ、幅細の電極２１に１〜ＺａＳおよび２ｂ、
〜２ｂ４よυ構成されている。そして、第１の交叉指状
電極１と第２の交叉指状電極２とは共通バスパー３によ
って互いに隣接して接続されている。すなわち、すだれ
状電極１ｂのバスバーとすだれ状電極２ｂのバスバーと
が共通化されている。
一方、交叉指状電極１および２の両側には、励振された
弾性表面波を反射するグレーティング反射器４，５およ
び６．７が配置され、これらグレーティング反射器４，
５，６．７は複数本の幅細の電極４ｍ、５ａ、８ａ、７
ａによυ構成されている。
弾性表面波を反射するグレーティング反射器４，５およ
び６．７が配置され、これらグレーティング反射器４，
５，６．７は複数本の幅細の電極４ｍ、５ａ、８ａ、７
ａによυ構成されている。
また、グレーティング反射器４と６とは共通バスパー８
によって互いに隣接して接続され、グレーティング反射
器５と７とは共通バスパー９によつて隣接して接続され
ている。そして、交叉指状電極１とグレーティング反射
器４および５とで第１の弾性表面波共振子１０を構成し
ておυ、交叉指状電極２とグレーティング反射器６およ
び７とで第２の弾性表面波共振子１１を構成している。
によって互いに隣接して接続され、グレーティング反射
器５と７とは共通バスパー９によつて隣接して接続され
ている。そして、交叉指状電極１とグレーティング反射
器４および５とで第１の弾性表面波共振子１０を構成し
ておυ、交叉指状電極２とグレーティング反射器６およ
び７とで第２の弾性表面波共振子１１を構成している。
尚、第１および第２の弾性表面波共振子１０および１１
を構成する交叉指状電極１および２、グレーティング反
射器４，５および６．７は、例えばアルミ等の金属薄膜
により形成されており、第２図に示すようにＳＴカット
水晶よシなる圧電基板１２上にパターン化されている。
を構成する交叉指状電極１および２、グレーティング反
射器４，５および６．７は、例えばアルミ等の金属薄膜
により形成されており、第２図に示すようにＳＴカット
水晶よシなる圧電基板１２上にパターン化されている。
また、共通バスパー３の膜厚は交叉指状電極１および２
を構成するすだれ状電極１ｍ、１ｂおよび２ｍ、２ｂよ
シも厚く形成されておシ、共通バスパー８および９はグ
レーティング反射器４．６および５．７を構成する電極
よシ奄厚く形成されている。本実施例の場合、すだれ状
電極１ｍ、１ｂ、２ｍ、２ｂおよびグレーティング反射
器４，５，６．７の電極は同膜厚となっておシ、共通バ
スパー３，８および９も同膜厚となっている。
を構成するすだれ状電極１ｍ、１ｂおよび２ｍ、２ｂよ
シも厚く形成されておシ、共通バスパー８および９はグ
レーティング反射器４．６および５．７を構成する電極
よシ奄厚く形成されている。本実施例の場合、すだれ状
電極１ｍ、１ｂ、２ｍ、２ｂおよびグレーティング反射
器４，５，６．７の電極は同膜厚となっておシ、共通バ
スパー３，８および９も同膜厚となっている。
次に、とのように構成された弾性表面波多重モードフィ
ルタの動作を簡単に説明する。すなわち、例えば第１の
弾性表面波共振子１０を、入力側、第２の弾性表面波共
振子１１を出力側とすると、共振子１０に入力される電
気信号に応じて圧電基板１２が振動し、弾性表面波が発
生する。この弾性表面波は第２の共振子２に伝搬され、
この弾性表面波に応じた電気信号が第２の共振子２よす
得られる。この時、共通バスパー３，８および９に注目
すると、この共通バスバーのシート抵抗値は膜厚に逆比
例するため、膜厚が厚くなるほど低くなる。従来の多重
モードフィルタにおいては、この共通バスバーの膜厚が
他の電極部分の膜厚と等しく設定されているため、共通
バスバーのシート抵抗値は本実施例の共通バスバーに比
して高くなっている。すなわち、本実施例の共通バスバ
ーのシート抵抗値は従来に比して低減されており、この
結果、フィルタの挿入損失は低減され、帯域内の傾斜は
改善されたものとなっている。
ルタの動作を簡単に説明する。すなわち、例えば第１の
弾性表面波共振子１０を、入力側、第２の弾性表面波共
振子１１を出力側とすると、共振子１０に入力される電
気信号に応じて圧電基板１２が振動し、弾性表面波が発
生する。この弾性表面波は第２の共振子２に伝搬され、
この弾性表面波に応じた電気信号が第２の共振子２よす
得られる。この時、共通バスパー３，８および９に注目
すると、この共通バスバーのシート抵抗値は膜厚に逆比
例するため、膜厚が厚くなるほど低くなる。従来の多重
モードフィルタにおいては、この共通バスバーの膜厚が
他の電極部分の膜厚と等しく設定されているため、共通
バスバーのシート抵抗値は本実施例の共通バスバーに比
して高くなっている。すなわち、本実施例の共通バスバ
ーのシート抵抗値は従来に比して低減されており、この
結果、フィルタの挿入損失は低減され、帯域内の傾斜は
改善されたものとなっている。
また、共通バスバーの膜厚を厚くすることによリ、バス
バ一部を伝搬する弾性表面波の速度ｖｍは、電極部分を
伝搬する弾性表面波の速度Ｖ、に近づくため、フィルタ
の比帯域が広がるという効果がある。第３図に弾性表面
波速度のアルミ膜厚依存性を示す。電極部の膜厚がり、
の時、バスバ一部の膜厚を同じ＜ｈｔ とすると、即ち
従来の構成の場合、ｖｌ（Ａ点）はｖ、（Ｂ点）よシも
速くなってしまう。ところが、本実施例では共通バスバ
ーの膜厚は自由度があシ、例えば第３図のｈｔとすると
、ｖ、（Ｃ点）とｖ、（Ｂ点）とを略等しい速度とする
ことができ、このフィルタの音響的結合度は従来に比し
て大きくなシ、広帯域化が可能となる。
バ一部を伝搬する弾性表面波の速度ｖｍは、電極部分を
伝搬する弾性表面波の速度Ｖ、に近づくため、フィルタ
の比帯域が広がるという効果がある。第３図に弾性表面
波速度のアルミ膜厚依存性を示す。電極部の膜厚がり、
の時、バスバ一部の膜厚を同じ＜ｈｔ とすると、即ち
従来の構成の場合、ｖｌ（Ａ点）はｖ、（Ｂ点）よシも
速くなってしまう。ところが、本実施例では共通バスバ
ーの膜厚は自由度があシ、例えば第３図のｈｔとすると
、ｖ、（Ｃ点）とｖ、（Ｂ点）とを略等しい速度とする
ことができ、このフィルタの音響的結合度は従来に比し
て大きくなシ、広帯域化が可能となる。
尚、本実施例においては、共通バスバー３，８および９
を他の電極部分の材質と同一材質と１〜たが、例えばこ
のバスバーに金等を混入してもよく、このようにす石こ
とによって、共通バスバーの膜厚をさほど厚くすること
なくマ、とＶＰとを略等しい速度とすることができる。
を他の電極部分の材質と同一材質と１〜たが、例えばこ
のバスバーに金等を混入してもよく、このようにす石こ
とによって、共通バスバーの膜厚をさほど厚くすること
なくマ、とＶＰとを略等しい速度とすることができる。
以上説明したように本発明に係る弾性表面波多重モード
フィルタによると、共通バスバーの膜厚を、弾性表面波
共振子を構成する薄膜状電極の膜厚よシも厚くしたので
、共通バスバーの抵抗が従来に比して低減され、フィル
タの挿入損失ならびに帯域内の傾斜が改善され、ＵＨＦ
帯での実用化も可能となる。
フィルタによると、共通バスバーの膜厚を、弾性表面波
共振子を構成する薄膜状電極の膜厚よシも厚くしたので
、共通バスバーの抵抗が従来に比して低減され、フィル
タの挿入損失ならびに帯域内の傾斜が改善され、ＵＨＦ
帯での実用化も可能となる。
第１図は本発明に係る弾性表面波多重モードフィルタの
一実施例の電極パターンを示す平面図、第２図はこの多
重モードフィルタの■−■線断面図、′Ｗ、３図は弾性
表面波速度のアルミ膜厚依存特性図である。 １・・・・第１の交叉指状電極、２・・・・第２の交叉
指状電極、３，８．９・・・・共通バスバー、４，５，
６，７・・・Φグレーティング反射器、１０・・・・第
１の弾性表面波共振子、１１・・・・第２の弾性表面波
共振子、１２・・・・圧電基板。 のく≧蟹く〉
一実施例の電極パターンを示す平面図、第２図はこの多
重モードフィルタの■−■線断面図、′Ｗ、３図は弾性
表面波速度のアルミ膜厚依存特性図である。 １・・・・第１の交叉指状電極、２・・・・第２の交叉
指状電極、３，８．９・・・・共通バスバー、４，５，
６，７・・・Φグレーティング反射器、１０・・・・第
１の弾性表面波共振子、１１・・・・第２の弾性表面波
共振子、１２・・・・圧電基板。 のく≧蟹く〉
Claims (1)
- 薄膜状の電極を備えてなる第１および第２の弾性表面波
共振子と、この第１および第２の弾性表面波共振子を前
記電極のバスバーを共通とし互いに隣接配置してなる圧
電基板とを備えた弾性表面波多重モードフィルタにおい
て、前記第１および第２の弾性表面波共振子の共通バス
バーの膜厚を前記薄膜状電極の膜厚よりも厚くしたこと
を特徴とする弾性表面波多重モードフィルタ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60186695A JPS6247206A (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 | 弾性表面波多重モ−ドフイルタ |
| US06/900,921 US4810920A (en) | 1985-08-27 | 1986-08-27 | Acoustic surface wave multimode filter comprising a bus bar which is thicker than acoustic surface wave resonators |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60186695A JPS6247206A (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 | 弾性表面波多重モ−ドフイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6247206A true JPS6247206A (ja) | 1987-02-28 |
Family
ID=16193014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60186695A Pending JPS6247206A (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 | 弾性表面波多重モ−ドフイルタ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4810920A (ja) |
| JP (1) | JPS6247206A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5955933A (en) * | 1994-11-10 | 1999-09-21 | Fujitsu Limited | Saw resonator with improved connections |
| DE10147116B4 (de) * | 2000-09-25 | 2008-07-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo | Oberflächenwellenbauelement mit einem Anisotropieindex kleiner als -1, bedingt durch eine Mehrschichtstruktur der Sammelelektroden, sowie Duplexer und Kommunikationsausrüstungsgerät, die dieses verwendet |
| CN116455352A (zh) * | 2023-05-10 | 2023-07-18 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种声表面波器件抑制横向模式的结构 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3226472B2 (ja) * | 1996-05-14 | 2001-11-05 | 富士通株式会社 | 弾性表面波多重モードフィルタ |
| US6374551B1 (en) | 1999-02-25 | 2002-04-23 | Ei-Land Corporation | Moveable structural reinforcement system |
| JP3317274B2 (ja) * | 1999-05-26 | 2002-08-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置及び弾性表面波装置の製造方法 |
| JP3435639B2 (ja) * | 2000-04-13 | 2003-08-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置の製造方法及び弾性表面波装置 |
| US20030062969A1 (en) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Tdk Corporation | Saw element and saw device |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE538370A (ja) | 1954-05-26 | |||
| US4143340A (en) * | 1976-09-01 | 1979-03-06 | The Magnavox Company | Acoustic surface wave device with improved transducer |
| US4160963A (en) * | 1977-07-21 | 1979-07-10 | Texas Instruments Incorporated | Plural supply path acoustic surface wave device |
| JPS5687912A (en) * | 1979-12-20 | 1981-07-17 | Toshiba Corp | Elastic surface wave filter |
| DE3340020A1 (de) * | 1982-11-05 | 1984-05-10 | O. G. Höyer A/S, 8270 Höjbjerg | Verfahren und geraet zur herstellung geformter oder gefrorener produkte |
| JPS60119114A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-26 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波装置 |
-
1985
- 1985-08-27 JP JP60186695A patent/JPS6247206A/ja active Pending
-
1986
- 1986-08-27 US US06/900,921 patent/US4810920A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5955933A (en) * | 1994-11-10 | 1999-09-21 | Fujitsu Limited | Saw resonator with improved connections |
| US6242991B1 (en) * | 1994-11-10 | 2001-06-05 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave filter having a continuous electrode for connection of multiple bond wires |
| DE10147116B4 (de) * | 2000-09-25 | 2008-07-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo | Oberflächenwellenbauelement mit einem Anisotropieindex kleiner als -1, bedingt durch eine Mehrschichtstruktur der Sammelelektroden, sowie Duplexer und Kommunikationsausrüstungsgerät, die dieses verwendet |
| CN116455352A (zh) * | 2023-05-10 | 2023-07-18 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种声表面波器件抑制横向模式的结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4810920A (en) | 1989-03-07 |
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