JPS5838525Y2 - 二次電子検出装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は走査型電子顕微鏡又は類似装置の二次電子検出
装置に係り、特に２次電子を集向するための高電圧印加
部の改良に関する。

走査型電子顕微鏡における従来の二次電子検出装置は例
えば第１図に示す構成となっている。

すなわち一次電子１が試料２表面を走査することによっ
て試料の特性に応じた二次電子３が発生する。

二次電子検知装置はこの二次電子を集め電気信号として
ディスプレイ装置１２へ送る役目を持つ。

試料からの二次電子は電源４からブッシング５を介して
鏡体壁６を貫通しリード線７とリング８を経てシンチレ
ータ−９に印加された正の高電圧によって加速されシン
チレータ−表面に衝突し光信号に変換される。

光信号はライトガイド１０を経てフォトマルチプライヤ
−１１で電気信号に変換されると同時に増幅されディス
プレイ装置へと送り出される。

かかる二次電子検出装置では、正の高電圧はライトガイ
ドとは別な鏡体壁スペースを介してシンチレータ−に印
加されているため、ライトガイドとは別な鏡体壁スペー
スを要し、その取付は面積が大きい。

また高電圧であるリード線において放電が発生するとノ
イズの原因となり、ひいては走査型電子顕微鏡の性能を
低下させるので、リード線周辺のアース電位であり鏡体
壁およびアースリング１８は放電の原因である突起およ
び各部のエツジがないように入念に仕上げて滑らかな面
とする必要があり、その作業にはかなりの費用と時間を
費やする。

さらにリード線は空中間を通して配線しているので不安
定であり、作業ミスまたは外部振動によって鏡体壁と接
触する等の事故がしばしば生じる等の欠点を有する。

したがって、本考案の目的は上述した如き欠点をなくす
るのに適した二次電子検出装置を提供するにある。

以下本考案を実施例によって詳しく説明するに、第２図
は本考案の実施例を示す２次電子検出装置の断面である
。

すなわちライトガイド１０、の外周に金属リング１３が
接着固定され、かつこれはす−ド棒（線又は板の形であ
ってもよい）１７およびコネクター１６と一体となるよ
うに絶縁体１５で堅固にモールド成形されている。

電源より供給される電圧は、コネクター１４をコネクタ
ー１６と接続することによりリード棒１７、金属リング
１３、リング８を介してシンチレータ−９へ供給される
。

この実施例ではコネクター１６と高電圧を絶縁する絶縁
体１５が一体であるから特別なコネクターは不要であり
かつ一体モールド品であることからその経済的効果は大
きい。

また鏡体壁とは全く関係のない場所にコネクター１６を
設けることができるため二次電子検知装置の鏡体壁取付
は面積が減少し小型簡易化が図られるという効果もある
。

さらに金属リング１３の内面を平滑な面とするならばシ
ンチレータ−によって発生した光信号はライトガイド１
０の外周による全反射以外の光信号をも反射する（矢印
方向）ため光信号のロス（すなわちシンチレータ−９で
発生する光信号■、フォトマルチプライヤ−１１へ到達
する光信号量■。

とするならばＩ。

／■がほぼｌとなる）が減少し二次電子検出効率が向上
する。

コネクター１６よりシンチレータ−９に到る間の高電圧
部はすべてモールドで一体化され機械的に固定されてい
るから、外部振動によるアースとの接触事故、まして作
業ミス等は全くない。

さらに高電圧が露出するリング８、シンチレータ−９部
と対向するアースリング１８の限られた範囲のみの電界
集中防止処理を行なうだけで放電のない安定した電圧印
加が得られ、処理範囲の減少による経済的な効果は非常
に大きいとともに放電発生の確率が減少するため信頼性
の向上という点での効果も大きい。

さらにまた金属リング１３を抵抗体で形成するならば、
万が−に放電した場合においてもこの抵抗体が保護抵抗
の役目をはたし電源の破損の心配は全くなくなり、その
信頼性はいっそう向上する。

第３図は本考案の他の実施例で第２図の変形例である。

すなわちシンチレータ−９への電圧は、電源につながれ
た絶縁線１９を絶縁体１５と一体モールドとし、その導
線１９ ａをライトガイド１０の外周に接着固定したも
のである。

この実施例では第２図に示すようなコネクタ一部が不要
であるため、コネクターの接触不良を防ぐことができる
ことおよびコネクター不要による作業ならびに部品件数
の減少という、信頼性の向上および経済的効果がある。

第４図はさらに本考案の他の実施例を示す。

すなわちライトガイド１０、と一体的にコネクター１６
を設けかつ内部に細い線２０を埋め込みリング８と接触
させる構成としたものである。

電源より供給された高電圧はコネクター１４とライトガ
イド１０の一部であるコネクター１６とを接続すること
により線２０、リング８、を介してシンチレータ−９へ
供給される。

ライトガイド１０は絶縁体であるから（例えばガラス、
アクリル樹脂）高電圧の通路となる線はライトガイドに
よって絶縁される。

したがって第２図、第３図に示した絶縁体１５が不要と
なりその経済的効果は非常に大きい。

第５図は本考案の他の実施例で第４図の変形例である。

すなわちライトガイド１０に円筒２１を埋込み、これを
シンチレータ−９へ電圧を印加する導体の一つとした構
成である。

電圧は電源よりコネクター１４、コネクター１６、リー
ド棒１７、円筒２１゜リング８を介してシンチレータ−
９へ供給される。

第２図に示す実施例でも述べたように円筒内面において
光の反射があり検出効率を向上させる効果をそなえる。

尚、全図を通じて同じ番号は部材が同じか又は共通であ
ることを示す。

以上の説明から明らかなように、本考案によれば次のよ
うな効果が奏せられる。

（１）真空室を形成する壁の装置取付は面積が小さくな
り、小型簡易化が図られる。

（２）外部振動にもとづく高電圧印加部のアース電位部
に対する接触事故が防止される。

（３）放電の原因となる突起やエツジがないように面を
入念に仕上げて滑らかにするための処理の範囲を狭くす
ることがで゛きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の二次電子検出装置を示す断面図、第２図
、第３図、第４図、第５図は本考案の実施例を示す二次
電子検出装置の断面図である。 １０・・・・・・ライトガイド、１３・・・・・・金属
リング、１５・・・・・・絶縁体、２０・・・・・・線
、２１・・・・・・円筒。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ライドガイドの前端に配置されたシンチレータ−からそ
   の後端に配置されたフォトマルチプライヤ−に向けて前
   記ライトガイドと一体的に電気導体が設けられ、その後
   端部は前記ライトガイドから離れる方向に延びており、
   その延長部は絶縁体モールドにより被覆および固定化さ
   れており、前記ライトガイドは、前記シンチレータ−は
   真空室内に、前記延長部は前記真空室外に存するように
   前記真空室を形成する壁に取付けられていることを特徴
   とする二次電子検出装置。