JPS5840247A - 精密位置決め装置 - Google Patents
精密位置決め装置Info
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- JPS5840247A JPS5840247A JP13698181A JP13698181A JPS5840247A JP S5840247 A JPS5840247 A JP S5840247A JP 13698181 A JP13698181 A JP 13698181A JP 13698181 A JP13698181 A JP 13698181A JP S5840247 A JPS5840247 A JP S5840247A
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- Japan
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- tool
- workpiece
- positioning device
- plane mirror
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B27—WORKING OR PRESERVING WOOD OR SIMILAR MATERIAL; NAILING OR STAPLING MACHINES IN GENERAL
- B27B—SAWS FOR WOOD OR SIMILAR MATERIAL; COMPONENTS OR ACCESSORIES THEREFOR
- B27B5/00—Sawing machines working with circular or cylindrical saw blades; Components or equipment therefor
- B27B5/29—Details; Component parts; Accessories
- B27B5/30—Details; Component parts; Accessories for mounting or securing saw blades or saw spindles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
- B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels
- B28D5/024—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels with the stock carried by a movable support for feeding stock into engagement with the cutting blade, e.g. stock carried by a pivoted arm or a carriage
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Program-control systems
- G05B19/02—Program-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form
- G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
- G05B19/21—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device
- G05B19/23—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control
- G05B19/231—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control the positional error is used to control continuously the servomotor according to its magnitude
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
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- G05B2219/37275—Laser, interferometer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は切断機、研削盤およびフライス盤などの工作機
械において、工具と被加工物との位置決めを高精度に行
う装置に関するものである。
械において、工具と被加工物との位置決めを高精度に行
う装置に関するものである。
切断機における従来技術によ６−位置決め装置の例を第
１図に示す。図において、被加工物１を任意の間隔で溝
入れあるいは切断する場合、送りねじ８を回転させるこ
とによるＸ−Ｙテーブル２のピッチ割出し方向（以下、
Ｘ方向゛と記す）への移動量、あるいは工具３４がフラ
ンジ３６により取り付けられている主軸６１を具備する
コラム（図示せず）の前記Ｘ方向への移動量を、レーザ
発振器４１、’１０インターフーイス４２、干渉器５１
、反射鏡５２、レシーバ５６、カウンタ５４および演算
処理装置９などで構成されるレーザ測長システム等の測
長器によって測定し、測定結果をモータ駆動装置７２に
フィードバックして精密位置決めを行っていた。ところ
が、上述の方法では、周囲温度の変化によって、主軸３
１およびＸ−Ｙテーブル２が伸縮し、加工精度（割出し
精度−）を決定する工具３４と前記Ｘ−Ｙテーブル２と
のＸ方向の相対距離を正確に設定することが困難であり
、サブミクロン・オーダの高精度位置決めは困難である
。
１図に示す。図において、被加工物１を任意の間隔で溝
入れあるいは切断する場合、送りねじ８を回転させるこ
とによるＸ−Ｙテーブル２のピッチ割出し方向（以下、
Ｘ方向゛と記す）への移動量、あるいは工具３４がフラ
ンジ３６により取り付けられている主軸６１を具備する
コラム（図示せず）の前記Ｘ方向への移動量を、レーザ
発振器４１、’１０インターフーイス４２、干渉器５１
、反射鏡５２、レシーバ５６、カウンタ５４および演算
処理装置９などで構成されるレーザ測長システム等の測
長器によって測定し、測定結果をモータ駆動装置７２に
フィードバックして精密位置決めを行っていた。ところ
が、上述の方法では、周囲温度の変化によって、主軸３
１およびＸ−Ｙテーブル２が伸縮し、加工精度（割出し
精度−）を決定する工具３４と前記Ｘ−Ｙテーブル２と
のＸ方向の相対距離を正確に設定することが困難であり
、サブミクロン・オーダの高精度位置決めは困難である
。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点を排除し、製
品の歩留りの向上と生産工程の自動化とを考慮した高精
度の位置決め装置を提供するにある。前記目的を達成す
るため、本発明は、Ｘ−Ｙテーブルおよび工具を具備し
た主軸それぞれの端面にＸ方向への位置の測定を行うだ
めの反射鏡を設けてレーザ測長システムを構成すること
により環境（温度変化）の影響による誤差をなくして、
前記Ｘ−Ｙテーブルと工具との相対距離を正確に設定す
るようにしたことを要点とするものである。
品の歩留りの向上と生産工程の自動化とを考慮した高精
度の位置決め装置を提供するにある。前記目的を達成す
るため、本発明は、Ｘ−Ｙテーブルおよび工具を具備し
た主軸それぞれの端面にＸ方向への位置の測定を行うだ
めの反射鏡を設けてレーザ測長システムを構成すること
により環境（温度変化）の影響による誤差をなくして、
前記Ｘ−Ｙテーブルと工具との相対距離を正確に設定す
るようにしたことを要点とするものである。
以下、図面に従って本発明による精密位置決め装置の実
施例を説明する。第２図および第６図は第１の実施例を
示す図で、第２図は該実施例の装置を装備した切断機の
概略を示すものであり、第６図は割出し補正時のＸ−Ｙ
テーブルの動きを説明するための説明図である。第２図
において、被加工物１は適切な方法でＸ−Ｙテーブル２
に搭載されており、該ＸｔＹテーブル２には、これをＸ
方向（ピッチ割出し方向）に移動せしめる送りねじ８が
連結されており、さらに該送りねじ８には、直接または
減速機（図示せず）を介して送り用モータ７１が連結さ
れており、該送り用モータ７１はモータ駆動装置７２を
介して演算処理装置９に接続されている。演算処理装置
９は、マイクロコンビーータあるいはミニコンビーータ
などとすることが望ましく、レーザ測長システムの ／
ｎインターフーイス４２からのデータ読増りに一チンの
ほか、割出し量の補正ルーチンおよび記憶回路を備え、
前記Ｘ−Ｙテーブル２と工具３４との各々の位置を読み
取り、所望の割出し量に対する補正値の演算処理を行う
。レーザ測長システムは、レーザ発振器４１と、該レー
ザ発振器４１がら出されたレーザ光４４を２つのレーザ
光５５ａ１６５ａに分配するための分配器４３と、分配
されたレーザ光５５ａ、６５ａと該レーザ光がそれぞれ
反射鏡５２．６２に反射した後のレーザ光５５Ｃ１６５
Ｃとをそれぞれ干渉させるように適切な位置に固定され
た干渉器５１．６１と、該干渉器５１．６１から出力さ
れたレーザ光５５ｄ、６５ｄをそれぞれ受けて、結果を
パルスに変換するためのレシーバ５３．６３と、該レシ
ーバ５６．６３から出力されるパルスをそれぞれ加減算
するためのカウンタ５４，６４と、該カウンタ５４．６
４と前記演算処理装置９とを接続するためのＩ／ｎイン
ターフェイス４２とから構成されている。
施例を説明する。第２図および第６図は第１の実施例を
示す図で、第２図は該実施例の装置を装備した切断機の
概略を示すものであり、第６図は割出し補正時のＸ−Ｙ
テーブルの動きを説明するための説明図である。第２図
において、被加工物１は適切な方法でＸ−Ｙテーブル２
に搭載されており、該ＸｔＹテーブル２には、これをＸ
方向（ピッチ割出し方向）に移動せしめる送りねじ８が
連結されており、さらに該送りねじ８には、直接または
減速機（図示せず）を介して送り用モータ７１が連結さ
れており、該送り用モータ７１はモータ駆動装置７２を
介して演算処理装置９に接続されている。演算処理装置
９は、マイクロコンビーータあるいはミニコンビーータ
などとすることが望ましく、レーザ測長システムの ／
ｎインターフーイス４２からのデータ読増りに一チンの
ほか、割出し量の補正ルーチンおよび記憶回路を備え、
前記Ｘ−Ｙテーブル２と工具３４との各々の位置を読み
取り、所望の割出し量に対する補正値の演算処理を行う
。レーザ測長システムは、レーザ発振器４１と、該レー
ザ発振器４１がら出されたレーザ光４４を２つのレーザ
光５５ａ１６５ａに分配するための分配器４３と、分配
されたレーザ光５５ａ、６５ａと該レーザ光がそれぞれ
反射鏡５２．６２に反射した後のレーザ光５５Ｃ１６５
Ｃとをそれぞれ干渉させるように適切な位置に固定され
た干渉器５１．６１と、該干渉器５１．６１から出力さ
れたレーザ光５５ｄ、６５ｄをそれぞれ受けて、結果を
パルスに変換するためのレシーバ５３．６３と、該レシ
ーバ５６．６３から出力されるパルスをそれぞれ加減算
するためのカウンタ５４，６４と、該カウンタ５４．６
４と前記演算処理装置９とを接続するためのＩ／ｎイン
ターフェイス４２とから構成されている。
主軸３１の変位を測定するために取り付けられた反射鏡
６２は、回転振れによる測定誤差をなくすため、取付は
調整が可能々治具（図示せず）に固定されるのが望まし
い。
６２は、回転振れによる測定誤差をなくすため、取付は
調整が可能々治具（図示せず）に固定されるのが望まし
い。
次に、動作に゛つぃて説明する。第６図に示すように、
Ｘ−Ｙテーブル２に搭載された被加工物１の任意の位置
Ｘ を工具３４により溝入れ加工しま た後、次の目標位置Ｘ２に前記工具３４の中央を位置決
めさせるため、送シ用モータ７１を適切な方向に回転さ
せることによりＸ−Ｙテーブル２を移動させ、該Ｘ−Ｙ
テーブル２の変位を測定させるレーザ測長システム（符
号５１〜５４）により測定した移動量が、所望のピッチ
Ｐあるいは原点０からの距離りに一致した時点で前記送
り用モータ７１０回転を中止し、Ｘ−Ｙテーブル２の移
動を停止させる。さらに、前記Ｘ−Ｙテーブル２をピッ
チＰあるいは距離りだけ移動させる間に、室温変化等に
より主軸３１が変位し、工具６４が位置Ｘ３に位置決め
され、目標値に対しΔＰだけ誤差が生じる。この誤差Δ
、Ｐを、主軸３１の変位を測定するレーザ測長システム
（符号６１〜６４）により測定し、演算、処理装置９か
らの指茗により再び送り用モータ７１を、前記誤差ΔＰ
に応じ適切な方向に回転させ、工具３４の中央を位置Ｘ
２に補正、制御する。演算処理装置９は、常時Ｘ −Ｙ
テーブル２および主軸３１の変位を測定し、がつＸ−Ｙ
テーブル２の移動前後の前記測定値や、溝入れピッチＰ
あるいは原点からの距離１・等の加工情報を記憶する記
憶回路を有し、位置決め誤差ΔＰを算出し、補正のため
所望の出方を与えるものである。
Ｘ−Ｙテーブル２に搭載された被加工物１の任意の位置
Ｘ を工具３４により溝入れ加工しま た後、次の目標位置Ｘ２に前記工具３４の中央を位置決
めさせるため、送シ用モータ７１を適切な方向に回転さ
せることによりＸ−Ｙテーブル２を移動させ、該Ｘ−Ｙ
テーブル２の変位を測定させるレーザ測長システム（符
号５１〜５４）により測定した移動量が、所望のピッチ
Ｐあるいは原点０からの距離りに一致した時点で前記送
り用モータ７１０回転を中止し、Ｘ−Ｙテーブル２の移
動を停止させる。さらに、前記Ｘ−Ｙテーブル２をピッ
チＰあるいは距離りだけ移動させる間に、室温変化等に
より主軸３１が変位し、工具６４が位置Ｘ３に位置決め
され、目標値に対しΔＰだけ誤差が生じる。この誤差Δ
、Ｐを、主軸３１の変位を測定するレーザ測長システム
（符号６１〜６４）により測定し、演算、処理装置９か
らの指茗により再び送り用モータ７１を、前記誤差ΔＰ
に応じ適切な方向に回転させ、工具３４の中央を位置Ｘ
２に補正、制御する。演算処理装置９は、常時Ｘ −Ｙ
テーブル２および主軸３１の変位を測定し、がつＸ−Ｙ
テーブル２の移動前後の前記測定値や、溝入れピッチＰ
あるいは原点からの距離１・等の加工情報を記憶する記
憶回路を有し、位置決め誤差ΔＰを算出し、補正のため
所望の出方を与えるものである。
第４図は本発明の第２の実施例における主軸３１の、工
具３４が固定されている側とは反対側軸端部を示したも
のである。本実施例のごとく、反射面が非常に高精度（
平坦度０．０６μｍ以下）に仕上げられた反射鏡６２を
レーザ光６５ｂと垂直に々るように主軸ｇ１の端面に接
着し、該端面の変位を測定することにより工具３４の変
位糾問接的に測定しても、前記第１の実施例と同様の効
果を得ることができる。この場合、主軸５１、軸受６２
および両者を支持する玉軸受（図示せず）の６者の構成
から決定される熱変位上の基準点をあらかじめ求めてお
き、該基準点から工具３４の中央までの距離１１ と、
前記基準点から反射鏡６２までの距離１２との比１２／
ｌ を演算処理装置９に記憶させておき、主軸３１の端
面の変位Δｌを測定することにより、工具３４の変位Δ
Ｘ（第３図のΔＰにも相当する値）に近似する。すなわ
ち、前記工具３４の変位ΔＸは、 ｉｊ Ｘ ＃ ｕ 、□、。
具３４が固定されている側とは反対側軸端部を示したも
のである。本実施例のごとく、反射面が非常に高精度（
平坦度０．０６μｍ以下）に仕上げられた反射鏡６２を
レーザ光６５ｂと垂直に々るように主軸ｇ１の端面に接
着し、該端面の変位を測定することにより工具３４の変
位糾問接的に測定しても、前記第１の実施例と同様の効
果を得ることができる。この場合、主軸５１、軸受６２
および両者を支持する玉軸受（図示せず）の６者の構成
から決定される熱変位上の基準点をあらかじめ求めてお
き、該基準点から工具３４の中央までの距離１１ と、
前記基準点から反射鏡６２までの距離１２との比１２／
ｌ を演算処理装置９に記憶させておき、主軸３１の端
面の変位Δｌを測定することにより、工具３４の変位Δ
Ｘ（第３図のΔＰにも相当する値）に近似する。すなわ
ち、前記工具３４の変位ΔＸは、 ｉｊ Ｘ ＃ ｕ 、□、。
、１ °°°°°°（１）（ここで、
αは熱膨張係数） で表わされ、前記演算処理装置９により算出する。
αは熱膨張係数） で表わされ、前記演算処理装置９により算出する。
第５図および第６図はいずれも本発明の第６の実施例に
おける工具５４側の主軸３１の軸端部を示しだものであ
る。第５図の例においては、反射鏡６２と、レーザ光６
５ｂ、６５Ｃを覆うがごとく中空状の防水筒６５とが、
主軸６１に固定されている。このように反射鏡６２およ
びレーザ光６５ｂ、６５Ｃを外部と遮断することにより
、研削液および不均一な密度分布のため生じる干渉器６
１と反射鏡６２との間の測長誤差をなくすことができ、
正確な測定ができる。また、第６図の例においては、前
記防水筒６５の代りに、主軸６１を軸心方向に中空穴を
有する中空状に形成し、かつ該主軸と同様に軸心方向に
形成された中空穴の端面に反射鏡６２が接着された反射
鏡取付具６６を、前記反射鏡６２がほぼ工具５４直下の
主軸軸心位置に配置されるように取り付ける。このよう
にすることにより、第５図の例と同様に測定誤差をなく
すことができる。
おける工具５４側の主軸３１の軸端部を示しだものであ
る。第５図の例においては、反射鏡６２と、レーザ光６
５ｂ、６５Ｃを覆うがごとく中空状の防水筒６５とが、
主軸６１に固定されている。このように反射鏡６２およ
びレーザ光６５ｂ、６５Ｃを外部と遮断することにより
、研削液および不均一な密度分布のため生じる干渉器６
１と反射鏡６２との間の測長誤差をなくすことができ、
正確な測定ができる。また、第６図の例においては、前
記防水筒６５の代りに、主軸６１を軸心方向に中空穴を
有する中空状に形成し、かつ該主軸と同様に軸心方向に
形成された中空穴の端面に反射鏡６２が接着された反射
鏡取付具６６を、前記反射鏡６２がほぼ工具５４直下の
主軸軸心位置に配置されるように取り付ける。このよう
にすることにより、第５図の例と同様に測定誤差をなく
すことができる。
第７図は本発明を旋盤に適用した場合の本発明の第４の
実施例を示したものである。本実施例では、第２図に示
した第１の実施例における工具の代りに被加工物１を主
軸（図示せず）の先端にチャック３７を介して取り付け
、該チャック３７の主軸軸心上の端面位置に反射鏡６２
が配置されるように取り付ける。また、被加工物の代り
に工具５４を工具取付台６８を介し一７ｘ−ｙテーブル
２に取り付ける。このような構成で、被加工物１を回転
させ、該被加工物１の変位誤差（伸縮量）を送り用モー
タ７１にフィードバックし、Ｘ−Ｙテーブル２に載架し
た工具６４の切込み量を補正するようにし、被加工物１
を平面、球面あるいは複雑な形状の面に加工することが
できる。
実施例を示したものである。本実施例では、第２図に示
した第１の実施例における工具の代りに被加工物１を主
軸（図示せず）の先端にチャック３７を介して取り付け
、該チャック３７の主軸軸心上の端面位置に反射鏡６２
が配置されるように取り付ける。また、被加工物の代り
に工具５４を工具取付台６８を介し一７ｘ−ｙテーブル
２に取り付ける。このような構成で、被加工物１を回転
させ、該被加工物１の変位誤差（伸縮量）を送り用モー
タ７１にフィードバックし、Ｘ−Ｙテーブル２に載架し
た工具６４の切込み量を補正するようにし、被加工物１
を平面、球面あるいは複雑な形状の面に加工することが
できる。
第８図は主軸５１が水平面に対しθなる傾きで取り付け
られた工作機械の場合の本発明の第５の実施例を示した
ものである。第８図において、主軸６１の変位を測定す
るだめの反射鏡６２が、主 ′軸軸心上の工具３４側
と反対側の主軸端面に取り付けられている。主軸軸心方
向の主軸３１の変位をＸ。とじたとき、水平方向および
垂直方向の変位Ｘおよびｙは、 ｘ ＝ ｘθ、ｃｏｓθ °曲゛（２
）ｙ ＝ ｘθ・ｓｉｎθ ・・・・
・・（６）で表わされ、上式を演算処理装置９で演算し
、主軸３１または軸受６２をＸ、方向に、Ｘ−Ｙテーブ
ル２をＸ方向に移ｉせしめることにより、切込み量ｌ（
およびピッチ割出し量Ｐを期待に位置決めすることがで
きる。
られた工作機械の場合の本発明の第５の実施例を示した
ものである。第８図において、主軸６１の変位を測定す
るだめの反射鏡６２が、主 ′軸軸心上の工具３４側
と反対側の主軸端面に取り付けられている。主軸軸心方
向の主軸３１の変位をＸ。とじたとき、水平方向および
垂直方向の変位Ｘおよびｙは、 ｘ ＝ ｘθ、ｃｏｓθ °曲゛（２
）ｙ ＝ ｘθ・ｓｉｎθ ・・・・
・・（６）で表わされ、上式を演算処理装置９で演算し
、主軸３１または軸受６２をＸ、方向に、Ｘ−Ｙテーブ
ル２をＸ方向に移ｉせしめることにより、切込み量ｌ（
およびピッチ割出し量Ｐを期待に位置決めすることがで
きる。
以上説明したように、本発明によれば、温度変化等によ
るＸ−Ｙテーブルあるいは主軸の変位（伸縮量）をそれ
ぞれレーザ測長器により測定し、発生した誤差を補正、
制御するようにしたことにより、正確に位置決めができ
、製品の歩留りも向上できる。
るＸ−Ｙテーブルあるいは主軸の変位（伸縮量）をそれ
ぞれレーザ測長器により測定し、発生した誤差を補正、
制御するようにしたことにより、正確に位置決めができ
、製品の歩留りも向上できる。
第１図は従来技術による位置決め装置を装備した切断機
の構成図、第２図は本発明による位置決め装置の一実施
例（第１の実施例）を装備した切断機の構成図、第５図
は該実施例における割出し補正時のＸ−Ｙテーブルの動
きを説明するだめの説明図、第４図ないし第８図は本発
明の他の実施例（第２〜第５の実施例）の説明図である
。 符号の説明 １・・・被加工物 ２・・・Ｘ−Ｙテーブル８
・・・送りねじ ９・・・演算処理装置３１・
・・主軸 ３２・・・軸受６３・・・フラン
ジ ６４・・・工具３５・・・防水筒
６７・・・チャック３８・・・工具取付台 ４１・
・・レーザ発振器４２・・・Ｉ ７＝インターフエイス ４６・−７分配器 ５１．６１・・・干渉器５
２．６２・・・反射鏡 ５５．６５・・・レシーバ５
４．６４・・・カウンタ ６６・・・反射鏡取付具７１
・・・送り用モータ ７２・・・モータ駆動装置代理
人弁理士 中村純之助 第３図 才４図 ２ 第５図
の構成図、第２図は本発明による位置決め装置の一実施
例（第１の実施例）を装備した切断機の構成図、第５図
は該実施例における割出し補正時のＸ−Ｙテーブルの動
きを説明するだめの説明図、第４図ないし第８図は本発
明の他の実施例（第２〜第５の実施例）の説明図である
。 符号の説明 １・・・被加工物 ２・・・Ｘ−Ｙテーブル８
・・・送りねじ ９・・・演算処理装置３１・
・・主軸 ３２・・・軸受６３・・・フラン
ジ ６４・・・工具３５・・・防水筒
６７・・・チャック３８・・・工具取付台 ４１・
・・レーザ発振器４２・・・Ｉ ７＝インターフエイス ４６・−７分配器 ５１．６１・・・干渉器５
２．６２・・・反射鏡 ５５．６５・・・レシーバ５
４．６４・・・カウンタ ６６・・・反射鏡取付具７１
・・・送り用モータ ７２・・・モータ駆動装置代理
人弁理士 中村純之助 第３図 才４図 ２ 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）被加工物を載架する機構部と、該被加工物□を加
工する工具を具備する機構部とからなり、少なくともど
ちらか一方の機構部が送りねじと送り用モータとを備え
、少なくとも１軸方向に移動ＩＪＪ’能な加工機におい
て、被加工物を載架する機構部・と、工具を具備する機
構部との各々の機構部に配置した平面鏡または直角プリ
ズムでのレーザ光の反射を利用して、前記被加工物を載
架した機構部の強制移動あるいは自然変位する方向の位
置を読み取る第１のレーザ測長器を設け、かつ前記工具
を具備した機構部の強制移動あるいは自然変位する方向
の位置を読み取る第２のレーザ測長器を設け、前記第１
および第２のレーザ測長器の測定結果から工具と被加工
物との相対距離を読み取シ、工具と被加工物との位置決
めを行うことを特徴とする精密位置決め装置。、 （２、特許請求の範囲第１項に記載の精密位置決め装置
において、被加工物を、送りねじと送り用モータとを備
え少なくとも割出し方向への移動が可能なテーブルに載
架し、前記被加工物を加工する工具を回転する主軸に具
備し、該主軸のどちらか一方の端面または＃１ぼ工具直
下の主軸軸心位置に平面鏡または直角プリズムを配置し
、工具とテーブルとの割出し方向の相対距離を読み取り
、前記送シ用モータを■動し被加工物を移動させて、工
具と被加工物との割出し方向の相対距離を正確に調整す
ることを特徴とする精密位置決め装置。 （３）特許請求の範囲第１項に記載の精密位置決め装置
において、回転する主軸の先端に被加工物を取シ付け、
かつ該被加工物近傍の主軸軸心位置に平面鏡または直角
プリズムを配置し、送りねじと送り用モータとを備え少
なくとも前記主軸軸心方向への移動が可能な工具取付台
上に工具を具備し、かつ主軸軸心と平行方向の測定が可
能なごとく平面鏡または直角プリズムを配置し、被加工
物と工具取付台との主軸軸心方向の相対距離を読み取り
、前記送り用モータを駆動し工具を移動させて工具と被
加工物との主軸軸心方向の相対距離を正確に調整するこ
とを特徴とする精密位置決め装置。 （４）特許請求の範囲第１項に記載の精密位置決め装置
において、被加工物を加工する工具を先端に具備した主
軸を水平面と傾斜を々して取り付け、かつ工具取付は側
とは反対側の前記主軸端面に平面鏡または直角プリズム
を設け、前記工具の水平方向と垂直方向の位置を読み取
り、工具と被加工物との水平方向の位置決めと、工具切
込鷲方向の位置決めとを同時に行うことを特徴とする精
密位置決め装置。 （５）特許請求の範囲第１項に記載の精密位置決め装置
において、第１および第２のレーザ測長器に連結されか
つそれらによって与えられる変位および指定の演算用定
数を記憶し演算して制御信号を出力する演算処理装置を
設け、該演算処理装置が、工具と被加工物との割出し方
向の変位および工具切込み方向の変位を読み取り、前記
工具の変り用モータを制御することを特徴とする精密位
置決め装置。 （６） 特許請求の範囲第１項に記載の精密位置決め
装置において、平面鏡または直角プリズム取付は側の主
軸の軸端面部に、主軸軸心と同軸上に防水筒を設け、前
記平面鏡または直角プリズムと、該平面鏡または直角プ
リズムに入射・反射するレーザ光とを覆うことを特徴と
する精密位置決め装置。 （７）特許請求の範囲第１項に記載の精密位置決着した
反射鏡取付具を、前記平面鏡または直角プリズムがほぼ
工具直下の主軸軸心位置に配置されるように設け、前記
平面鏡または直角プリズムと、該平面鏡または直角プリ
ズムに入射・反射するレーザ光とを覆うことを特徴とす
る精密位置決め装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13698181A JPS5840247A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 精密位置決め装置 |
| US06/333,632 US4585379A (en) | 1980-12-27 | 1981-12-22 | Precision positioning device |
| CH824581A CH645292A5 (fr) | 1980-12-27 | 1981-12-23 | Dispositif de positionnement de precision. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13698181A JPS5840247A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 精密位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5840247A true JPS5840247A (ja) | 1983-03-09 |
| JPS6218312B2 JPS6218312B2 (ja) | 1987-04-22 |
Family
ID=15187975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13698181A Granted JPS5840247A (ja) | 1980-12-27 | 1981-09-02 | 精密位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5840247A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2771666A1 (fr) * | 1997-12-01 | 1999-06-04 | Zygo Corp | Systeme et procede de metrologie in situ |
| CN104759944A (zh) * | 2014-01-06 | 2015-07-08 | 苏州易昌光电科技有限公司 | 机床回零传感系统及其控制方法 |
| CN111633274A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-09-08 | 周巧美 | 一种用于机械加工的锯条快速更换装置 |
| CN112925264A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-06-08 | 新代科技(苏州)有限公司 | 一种车床自动量刀的方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5157081A (en) * | 1974-11-15 | 1976-05-19 | Mitsui Seiki Kogyo Kk | Jidokikainiokeru hikakobutsuto kogutono sotaiichigime hoho |
| JPS5371771A (en) * | 1976-12-09 | 1978-06-26 | Fujitsu Ltd | Positioning control system |
-
1981
- 1981-09-02 JP JP13698181A patent/JPS5840247A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5157081A (en) * | 1974-11-15 | 1976-05-19 | Mitsui Seiki Kogyo Kk | Jidokikainiokeru hikakobutsuto kogutono sotaiichigime hoho |
| JPS5371771A (en) * | 1976-12-09 | 1978-06-26 | Fujitsu Ltd | Positioning control system |
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| CN112925264A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-06-08 | 新代科技(苏州)有限公司 | 一种车床自动量刀的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6218312B2 (ja) | 1987-04-22 |
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