JPS63229251A - 加工ずみワ−クの形状測定方法 - Google Patents
加工ずみワ−クの形状測定方法Info
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- JPS63229251A JPS63229251A JP5643287A JP5643287A JPS63229251A JP S63229251 A JPS63229251 A JP S63229251A JP 5643287 A JP5643287 A JP 5643287A JP 5643287 A JP5643287 A JP 5643287A JP S63229251 A JPS63229251 A JP S63229251A
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
の1
この発明は加工ずみワークの形状測定方法に関する。
m」ヒ1蕉」し
たとえばマニシングセンタは、複数のツールを備えてお
り、多種の加工をテーブル上のワークに施せる。加工ず
みのワークの幾何学的形状を測定する場合は、加工ずみ
のワークをマニシングセンタのテーブルからはずして、
マニシングセンタから離れた3次元測定機のテーブルに
固定する。そのようにしてから3次元測定機のプローブ
装置をワークに接触させて、ワークの幾何学的形状を測
定するのである。
り、多種の加工をテーブル上のワークに施せる。加工ず
みのワークの幾何学的形状を測定する場合は、加工ずみ
のワークをマニシングセンタのテーブルからはずして、
マニシングセンタから離れた3次元測定機のテーブルに
固定する。そのようにしてから3次元測定機のプローブ
装置をワークに接触させて、ワークの幾何学的形状を測
定するのである。
が しよ とする 1
しかし、加工ずみのワークをマニシングセンタのテーブ
ルから3次元測定機のテーブルに再設定しなければなら
ないので、測定作業が面倒で時間がかかる。
ルから3次元測定機のテーブルに再設定しなければなら
ないので、測定作業が面倒で時間がかかる。
!乱
この発明は上記問題点を解決するためになされたもので
あり、加工ずみのワークの形状を効率よく測定できる加
工ずみワークの形状測定方法を提供することを目的とす
る。
あり、加工ずみのワークの形状を効率よく測定できる加
工ずみワークの形状測定方法を提供することを目的とす
る。
発Jし久jLL
この発明はワークをテーブルに設定して、このワークと
ツールの相対移動によりこのワークを加工し、前記テー
ブルに設定されている前記加工ずみのワークとプローブ
装置との相対移動によりこの加工ずみワークの幾何学的
形状を測定する加工ずみワークの形状測定方法を要旨と
している。
ツールの相対移動によりこのワークを加工し、前記テー
ブルに設定されている前記加工ずみのワークとプローブ
装置との相対移動によりこの加工ずみワークの幾何学的
形状を測定する加工ずみワークの形状測定方法を要旨と
している。
するt−の
第2図を参照する。
ワークWをテーブル15に設定する。このワークWとツ
ール(実施例ではエンドミル23)との相対移動により
ワークWを加工する。
ール(実施例ではエンドミル23)との相対移動により
ワークWを加工する。
このテーブル15に設定されている前記加工ずみのワー
クWとプローブ装置3との相対移動により、この加工ず
みワークWの幾何学的形状を測定する。
クWとプローブ装置3との相対移動により、この加工ず
みワークWの幾何学的形状を測定する。
在」1
テーブル15に加工ずみのワークWを設定したまま、加
工ずみワークWの幾何学的形状を測定できる。
工ずみワークWの幾何学的形状を測定できる。
支1九
第1図はこの発明の方法を実施するためのマニシングセ
ンタの概略を示している。マニシングセンタ1は、CN
C装置2およびプローブ装置3を備えている。
ンタの概略を示している。マニシングセンタ1は、CN
C装置2およびプローブ装置3を備えている。
第2図を参照する。第2図のマニシングセンタ1は、ベ
ース10、コラム11、CNC装置2、スピンドルヘッ
ド12、サドル13゜14、テーブル15、レーザ測長
装置16を備えている。
ース10、コラム11、CNC装置2、スピンドルヘッ
ド12、サドル13゜14、テーブル15、レーザ測長
装置16を備えている。
スピンドルヘッド12は、スピンドル201主モータ2
1、自動工具交換装置22を有している。前記プローブ
装置3はこのスピンドルヘッド12に着脱可能に取付け
できる。たとえばこの取付は通常のコレットチャック式
に行える。スピンドル20にはたとえばエンドミル23
が着脱可能に取付けられている。
1、自動工具交換装置22を有している。前記プローブ
装置3はこのスピンドルヘッド12に着脱可能に取付け
できる。たとえばこの取付は通常のコレットチャック式
に行える。スピンドル20にはたとえばエンドミル23
が着脱可能に取付けられている。
エンドミル23はホルダ23a (第3図参照)を有し
ている。プローブ装ff13はホルダ3aを有している
。いずれのホルダもスピンドル20にrI脱可能に設定
可能である。このエンドミル23と自動工具交換装置2
2のたとえばツール22aとは、通常の方法で交換可能
である。プローブ装置3は通常の3次元測定nに用いら
れているものと実質的に同じである。ただしこのプロー
ブ装置3は、プローブ姿勢制御用のアクチュエータ61
を有している。アクチュエータ61の作動により、プロ
ーブ60は一点鎖線で示すように所定角度回転可能にな
っている。
ている。プローブ装ff13はホルダ3aを有している
。いずれのホルダもスピンドル20にrI脱可能に設定
可能である。このエンドミル23と自動工具交換装置2
2のたとえばツール22aとは、通常の方法で交換可能
である。プローブ装置3は通常の3次元測定nに用いら
れているものと実質的に同じである。ただしこのプロー
ブ装置3は、プローブ姿勢制御用のアクチュエータ61
を有している。アクチュエータ61の作動により、プロ
ーブ60は一点鎖線で示すように所定角度回転可能にな
っている。
コラム11にはサーボモータ24が設けられている。ま
たコラム11の側部には、レーザ測長装置16のレーザ
ヘッド40および偏光ビームスプリッタ41が固定され
ている。
たコラム11の側部には、レーザ測長装置16のレーザ
ヘッド40および偏光ビームスプリッタ41が固定され
ている。
また前記スピンドルヘッド12にはコーナキューブ42
が固定されている。
が固定されている。
ベース10の上にはサドル13が固定されている。サド
ル13にはサドル14がスライド可能に設けられている
。このサドル14の上にはテーブル15がスライド可能
に設けられている。サドル13にはサーボモータ30が
内蔵されている。またサドル14にはサーボモータ31
が設けられていする。テーブル15の上にはワークWが
着脱可能に固定されている。
ル13にはサドル14がスライド可能に設けられている
。このサドル14の上にはテーブル15がスライド可能
に設けられている。サドル13にはサーボモータ30が
内蔵されている。またサドル14にはサーボモータ31
が設けられていする。テーブル15の上にはワークWが
着脱可能に固定されている。
第3図を参照する。サーボモータ24には送りねじ32
が取付けられている。この送りねじ32にはナツト33
がかみ合っている。
が取付けられている。この送りねじ32にはナツト33
がかみ合っている。
ナツト33はスピンドルヘッド12に固定されている。
これによりサーボモータ24を回転すると、スピンドル
ヘッド12を矢印Z方向に沿って移動可能である。また
、サーボモータ30には送りねじ26が取付けられてい
る。この送りねじ26にはナツト27がかみ合っている
。このナツト27はサドル14に固定されている。これ
によりサーボモータ30を回転すると、サドル14をY
軸方向にスライド可能である。さらにサーボモータ31
には送りねじ28が取付けられている。この送りねじ2
8はナツト29にかみ合っている。
ヘッド12を矢印Z方向に沿って移動可能である。また
、サーボモータ30には送りねじ26が取付けられてい
る。この送りねじ26にはナツト27がかみ合っている
。このナツト27はサドル14に固定されている。これ
によりサーボモータ30を回転すると、サドル14をY
軸方向にスライド可能である。さらにサーボモータ31
には送りねじ28が取付けられている。この送りねじ2
8はナツト29にかみ合っている。
このナツト29はテーブル15に固定されている。これ
によりサーボモータ31を回転することによりテーブル
15はX軸方向(第2図参照)にスライド可能である。
によりサーボモータ31を回転することによりテーブル
15はX軸方向(第2図参照)にスライド可能である。
第4図を参照する。ベース10にはビームスプリッタ4
3が固定されている。またサドル14にはコーナキュー
ブ45が固定されている。テーブル15にはコーナキュ
ーブ44が固定されている。
3が固定されている。またサドル14にはコーナキュー
ブ45が固定されている。テーブル15にはコーナキュ
ーブ44が固定されている。
第5図を参照すると、前記レーザ測長装置16は、レー
ザヘッド40、偏光ビームスプリッタ41、コーナキュ
ーブ42,44.45、ビームスプリッタ43および計
数部53〜55を有している。これら計数部53〜55
は、CNC装置2とデータ処理部62に接続されている
。すなわち計数部53〜55は、カウントした値をX、
Y、Z軸における距離に換算してCNC装置2とデータ
処理部62に送れるようになっている。
ザヘッド40、偏光ビームスプリッタ41、コーナキュ
ーブ42,44.45、ビームスプリッタ43および計
数部53〜55を有している。これら計数部53〜55
は、CNC装置2とデータ処理部62に接続されている
。すなわち計数部53〜55は、カウントした値をX、
Y、Z軸における距離に換算してCNC装置2とデータ
処理部62に送れるようになっている。
レーザヘッド40は、レーザ光源46、偏光板47ない
し49および光検出器50ないし52を有している。レ
ーザ光源46は、たとえばHe−Neレーザが好ましい
。しかもレーザ光源46はこの実施例では単一周波発振
型のものである。レーザ光源46から出たレーザ光しは
、2つのレーザ光L1とL2に分けられる。レーザ光L
1はコーナキューブ42および偏光ビームスプリッタ4
1により反射されて偏光板47を通り光検出器50に達
する。他方のレーザ光L2はビームスプリッタ43にお
いてレーザ光L3.L4に分けられる。レーザ光L3は
コーナキューブ45において反射されビームスプリッタ
43および偏光ビームスプリッタ41および偏光板48
を通り光検出器50に受光される。レーザ光L4は、コ
ーナキューブ44とビームスプリッタ43により反射さ
れて、偏光ビームスプリッタ41および偏光板49を通
り光検出器52に受光される。光検出器50からの信号
CL1は計数部53に入力される。同様に光検出器51
から出力された信@CL3は計数部54に入力される。
し49および光検出器50ないし52を有している。レ
ーザ光源46は、たとえばHe−Neレーザが好ましい
。しかもレーザ光源46はこの実施例では単一周波発振
型のものである。レーザ光源46から出たレーザ光しは
、2つのレーザ光L1とL2に分けられる。レーザ光L
1はコーナキューブ42および偏光ビームスプリッタ4
1により反射されて偏光板47を通り光検出器50に達
する。他方のレーザ光L2はビームスプリッタ43にお
いてレーザ光L3.L4に分けられる。レーザ光L3は
コーナキューブ45において反射されビームスプリッタ
43および偏光ビームスプリッタ41および偏光板48
を通り光検出器50に受光される。レーザ光L4は、コ
ーナキューブ44とビームスプリッタ43により反射さ
れて、偏光ビームスプリッタ41および偏光板49を通
り光検出器52に受光される。光検出器50からの信号
CL1は計数部53に入力される。同様に光検出器51
から出力された信@CL3は計数部54に入力される。
光検出器52から出力された信号CL4は計数部55に
入力される。これら計数部53ないし55は通常使用さ
れているものである。CNC装v!12にはプリンタ5
6およびディスプレ57が接続されている。
入力される。これら計数部53ないし55は通常使用さ
れているものである。CNC装v!12にはプリンタ5
6およびディスプレ57が接続されている。
このようなレーザ測長装置16の計数部53〜55は、
干渉縞の移動する数をそれぞれ計数してZ、Y、X軸方
向の距離に換算するようになっている。このタイプのレ
ーザ測定装置16は通常使用されているものである。
干渉縞の移動する数をそれぞれ計数してZ、Y、X軸方
向の距離に換算するようになっている。このタイプのレ
ーザ測定装置16は通常使用されているものである。
第5図を参照する。前記サーボモータ28゜30.24
はそれぞれCNC装置2に接続されている。これらサー
ボモータ28,30゜24は、CNC装@2の指令に基
づいて作動される。またプローブ装置3のプローブ60
は、データ処理部62に接触信号を送れるようになって
いる。このデータ処理部62には、プリンタ63やディ
スプレ64が接続されている。このデータ処理部62に
おいて眞記ワークW(第4図参照)の幾何学的形状を測
定できるようになっている。この幾何学的形状としては
、たとえばワークWの輪郭形状である。このデータ処理
部62とプローブ装置3は3次元測定機に通常使わ′れ
ているものである。データ処理部62は、その幾何学的
形状測定プログラムに基づいて、サーボモータ28.3
0.24およびアクチュエータ61に指令することがで
きる。
はそれぞれCNC装置2に接続されている。これらサー
ボモータ28,30゜24は、CNC装@2の指令に基
づいて作動される。またプローブ装置3のプローブ60
は、データ処理部62に接触信号を送れるようになって
いる。このデータ処理部62には、プリンタ63やディ
スプレ64が接続されている。このデータ処理部62に
おいて眞記ワークW(第4図参照)の幾何学的形状を測
定できるようになっている。この幾何学的形状としては
、たとえばワークWの輪郭形状である。このデータ処理
部62とプローブ装置3は3次元測定機に通常使わ′れ
ているものである。データ処理部62は、その幾何学的
形状測定プログラムに基づいて、サーボモータ28.3
0.24およびアクチュエータ61に指令することがで
きる。
第2図を参照する。まず、ワークWをテーブルに設定し
、スピンドル20にエンドミル23を取付け、スピンド
ルヘッド12をサーボモータ24の回転により下げると
ともに主モータ21を回転してエンドミル23を回転す
る。これによりワークWの上面に孔を形成する。第6図
にはその孔Hが示されている。
、スピンドル20にエンドミル23を取付け、スピンド
ルヘッド12をサーボモータ24の回転により下げると
ともに主モータ21を回転してエンドミル23を回転す
る。これによりワークWの上面に孔を形成する。第6図
にはその孔Hが示されている。
孔Hを形成したあとは第2図のスピンドルヘッド12を
所定位置まで上げる。
所定位置まで上げる。
つぎに第6図の孔Hの形状を測定する。この時は、加工
ずみのワークWはテーブル15からはずさない。第3図
においてエンドミル23をスピンドル20からはずして
、スピンドル20にプローブ装置3を取付ける。そして
プローブ60の接続ラインとアクチュエータ61の接続
ラインは、図示しないコネクタを介してデータ処理部6
2に対して電気的に接続する。データ処理部62の幾何
学的形状測定プログラムに基づいてサーボモータ28゜
30.24が作動し、プローブ60がワークWの上面お
よび孔Hの面を接触して移動する。
ずみのワークWはテーブル15からはずさない。第3図
においてエンドミル23をスピンドル20からはずして
、スピンドル20にプローブ装置3を取付ける。そして
プローブ60の接続ラインとアクチュエータ61の接続
ラインは、図示しないコネクタを介してデータ処理部6
2に対して電気的に接続する。データ処理部62の幾何
学的形状測定プログラムに基づいてサーボモータ28゜
30.24が作動し、プローブ60がワークWの上面お
よび孔Hの面を接触して移動する。
もし、ワークWの側面にプローブ装置3のプローブ60
を接触する場合は、データ処理部62のプログラムに基
づいて第2図のアクチュエータ61を作動してプローブ
60を水平方向に向ければよい。
を接触する場合は、データ処理部62のプログラムに基
づいて第2図のアクチュエータ61を作動してプローブ
60を水平方向に向ければよい。
計数部53〜55から得たX、Y、Z軸における各移動
距離と、プローブ60からの接触あるいは非接触の情報
とに基づいて、データ処理部62はワークの幾何学的形
状を決定する。
距離と、プローブ60からの接触あるいは非接触の情報
とに基づいて、データ処理部62はワークの幾何学的形
状を決定する。
このようにワーク加工後ただちに加工ずみのワークWの
形状を精密に測定することができる。
形状を精密に測定することができる。
なお、ワークを加工するときは、レーザ測長装置1f1
6が、各X、Y、Z軸におけるエンドミル23とテーブ
ル15上のワークWとの相対運動距離を測長している。
6が、各X、Y、Z軸におけるエンドミル23とテーブ
ル15上のワークWとの相対運動距離を測長している。
また加工ずみのワークWの形状をプローブ装置3で測定
する場合、同様にレーザ測長装置16により前記各X、
Y、Z軸におけるプローブ装置3とテーブル15上のワ
ークWとの相対運動距離を測長している。
する場合、同様にレーザ測長装置16により前記各X、
Y、Z軸におけるプローブ装置3とテーブル15上のワ
ークWとの相対運動距離を測長している。
ところで、測長装置はレーザ光式の他リニアエンコーダ
式などでもよい。マニシングセンタはよこ形や他の形式
のものでもよい。加工中はプローブ装置をケースに収納
し切粉やほこりを除く。測定のときのみケースから出し
てプローブ装置を使用するのが好ましい。
式などでもよい。マニシングセンタはよこ形や他の形式
のものでもよい。加工中はプローブ装置をケースに収納
し切粉やほこりを除く。測定のときのみケースから出し
てプローブ装置を使用するのが好ましい。
切りくずやダストを除去するためにテーブル、サドルを
防塵カバーでおおうとともにスピンドルヘッドとコラム
を別の防塵カバーでおおうこともできる。
防塵カバーでおおうとともにスピンドルヘッドとコラム
を別の防塵カバーでおおうこともできる。
マニシングセンタにプローブ自動交換装置を設けてもよ
い。これは複数本のプローブ装置を収納でき、スピンド
ルヘッドのプローブとプローブ自動交換装置の1つのプ
ローブを交換可能である。
い。これは複数本のプローブ装置を収納でき、スピンド
ルヘッドのプローブとプローブ自動交換装置の1つのプ
ローブを交換可能である。
レーザ測長装置は、2周波発振型のレーザ光源を用いて
もよい。
もよい。
11悲11
以上説明したことから明らかなように、ワークを加工後
、加工ずみのワークの再設定をする必要がなく、加工ず
みのワークの形状を効率よく測定できる・。
、加工ずみのワークの再設定をする必要がなく、加工ず
みのワークの形状を効率よく測定できる・。
第1図はこの発明の加工ずみのワークの形状測定方法を
実施するためのマシニングセンタの概念を示す図、第2
図はマニシングセンタの例を示す斜視図、第3図はこの
例の側面図、第4図はテーブルおよびレーザ測長装置を
示す斜視図、第5図はレーザ測長装置およびプローブ装
置を含む周辺部分を示す図、第6図はプローブおよびテ
ーブル上のワークを示す斜視図である。 1・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
マニシングセンタ2・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・CNC装置10・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・ベース11・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・コラム12・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・スピンドルヘッド13.1
4・・・・・・・・・・・・サドル15・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・テーブル16・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・レーザ測長装置20
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・スピンド
ル21・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・主
モータ22・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・自動工具交換装置23・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・エンドミル24・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・サーボモータ26・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・送りねじ27・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・ナツト28・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・送りねじ29・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ナツト30・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・サーボモー
タ31・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・サ
ーボモータ32・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・送りねじ33・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・ナツト40・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・レーザヘッド41・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・偏光ビームスプリッタ42・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・コーナキューブ
43・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ビー
ムスプリッタ44・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・コーナキューブ46・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・レーザ光源47.48.49・・・
偏光板 50.51.52・・・光検出器 53.54.55・・・計数部 56・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・プリ
ンタ57・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
ディスプレ60・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・プローブ61・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・アクチュエータ62・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・データ処理部63・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・プリンタ64・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・ディスプレ化 理
人 弁理士 1) 辺 徹第1図 1゛j ′〜 一ワCつ− 第2図 第 3 図 第4図 第 6 図
実施するためのマシニングセンタの概念を示す図、第2
図はマニシングセンタの例を示す斜視図、第3図はこの
例の側面図、第4図はテーブルおよびレーザ測長装置を
示す斜視図、第5図はレーザ測長装置およびプローブ装
置を含む周辺部分を示す図、第6図はプローブおよびテ
ーブル上のワークを示す斜視図である。 1・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
マニシングセンタ2・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・CNC装置10・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・ベース11・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・コラム12・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・スピンドルヘッド13.1
4・・・・・・・・・・・・サドル15・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・テーブル16・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・レーザ測長装置20
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・スピンド
ル21・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・主
モータ22・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・自動工具交換装置23・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・エンドミル24・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・サーボモータ26・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・送りねじ27・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・ナツト28・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・送りねじ29・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ナツト30・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・サーボモー
タ31・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・サ
ーボモータ32・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・送りねじ33・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・ナツト40・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・レーザヘッド41・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・偏光ビームスプリッタ42・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・コーナキューブ
43・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ビー
ムスプリッタ44・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・コーナキューブ46・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・レーザ光源47.48.49・・・
偏光板 50.51.52・・・光検出器 53.54.55・・・計数部 56・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・プリ
ンタ57・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
ディスプレ60・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・プローブ61・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・アクチュエータ62・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・データ処理部63・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・プリンタ64・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・ディスプレ化 理
人 弁理士 1) 辺 徹第1図 1゛j ′〜 一ワCつ− 第2図 第 3 図 第4図 第 6 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ワークをテーブルに設定して、このワーク とツールの相対移動によりこのワークを加工し、前記テ
ーブルに設定されている前記加工ずみのワークとプロー
ブ装置との相対移動によりこの加工ずみワークの幾何学
的形状を測定する加工ずみワークの形状測定方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5643287A JPS63229251A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 加工ずみワ−クの形状測定方法 |
| EP19880902535 EP0356513A4 (en) | 1987-03-13 | 1988-03-10 | Method of determining the shape of a processed work |
| PCT/JP1988/000249 WO1988006948A1 (fr) | 1987-03-13 | 1988-03-10 | Procede permettant de determiner la forme d'une piece usinee |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5643287A JPS63229251A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 加工ずみワ−クの形状測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63229251A true JPS63229251A (ja) | 1988-09-26 |
Family
ID=13026928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5643287A Pending JPS63229251A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 加工ずみワ−クの形状測定方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0356513A4 (ja) |
| JP (1) | JPS63229251A (ja) |
| WO (1) | WO1988006948A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04193460A (ja) * | 1990-11-26 | 1992-07-13 | Yasuda Kogyo Kk | 形状又は面精度測定方法とこれに用いる装置 |
| JPH06278835A (ja) * | 1993-03-30 | 1994-10-04 | Shinei Kiko Kk | 窯業製品の生産ライン |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5259119A (en) * | 1991-09-17 | 1993-11-09 | Mitutoyo Corporation | Automatic inner diameter measuring apparatus and zero adjustment thereof |
| FR2742086B1 (fr) * | 1995-12-11 | 1998-01-02 | Commissariat Energie Atomique | Instrument et procede de releve d'une face interne d'une piece |
| DE19604354A1 (de) * | 1996-02-07 | 1997-08-14 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur koordinatenmäßigen Vermessung von Werkstücken auf Bearbeitungsmaschinen |
| GB2332056B (en) | 1997-12-04 | 2000-08-09 | Taylor Hobson Ltd | Surface measuring apparatus |
| DE60033272T2 (de) * | 1999-03-03 | 2007-11-29 | Riken, Wako | Sondenartiger formmessaufnehmer sowie nc-bearbeitungsvorrichtung und formmessverfahren unter verwendung des messaufnehmers |
| PL424608A1 (pl) * | 2018-02-16 | 2019-08-26 | Politechnika Białostocka | Sposób wyznaczania względnej sztywności statycznej obrabiarki skrawającej |
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| JPS58114843A (ja) * | 1981-12-28 | 1983-07-08 | Niigata Eng Co Ltd | 数値制御工作機械における寸法精度監視装置 |
| JPS6079209A (ja) * | 1983-10-06 | 1985-05-07 | Komatsu Ltd | 寸法自動計測システム |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3250012A (en) * | 1963-02-01 | 1966-05-10 | Lockheed Aircraft Corp | Inspection device and method |
| US3191294A (en) * | 1965-02-03 | 1965-06-29 | Daugherty Jesse | In-process inspection apparatus |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP5643287A patent/JPS63229251A/ja active Pending
-
1988
- 1988-03-10 EP EP19880902535 patent/EP0356513A4/en not_active Withdrawn
- 1988-03-10 WO PCT/JP1988/000249 patent/WO1988006948A1/ja not_active Ceased
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1988006948A1 (fr) | 1988-09-22 |
| EP0356513A4 (en) | 1991-04-17 |
| EP0356513A1 (en) | 1990-03-07 |
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