JPS5840683B2 - パタ−ン検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、位置決め不要のパターン検査装置に関し、特
に検査対象の二次元パターンを大きさの異なる複数個の
円パターンにより走査してパ汐−ンの粗さの程度をヒス
トグラム化し、このヒストグラムを当該ハ汐−ンの特微
量としてパターン検査を行なう検査装置に関するもので
ある。

従来、位置決め不要のパターン検査装置として、パター
ン面積を測定する方式があった。

例えば第１図に示すように、対象パ汐−ン１をテレビジ
ョンカメラ２により撮偉して得た画像信号を２値化回路
３により２値化して黒色パターンと白色パターンとに分
離する。

白色又は黒色領域なカウンタ回路４により積算してその
パターンのパターン姿勢に無関係な特微量となし、他方
、標準メモリー５には予じめ標準パターンの特微量を標
準量として設定しておく。

カウンタ回路４からのパターン特微量及び標準メモリー
５から読み出した標準量を判定回路６に加えて、両入力
の合致度合、すなわち被検査パターンの標準パ汐−ンに
対する類似度を判定してその判定出力を以後のパターン
検査に供する。

符号７はテレビジョンカメラ２からの画像信号を受信し
て判定中のパターンを映出するモニターである。

この場合、第２図に示すようにパターン１１に欠げ１２
や汚れ１３があると、上記特微量は面積の相違により変
化する。

この変化が大きい場合には特微量の差異は十分に検出で
きるが、欠げ１２や汚れ１３が小さいときには特微量の
差異は検出されない。

その理由は、テレビジョンカメラの幾何学的歪が大きい
こと、及び２値化回路３の検出精度などに起因して、同
じ対象パターンであっても画面の位置によって特微量に
差がでたり、ばらつきを生じることを前層して、標準量
に対しである程度の許容量をもつことが必要となり、上
述した小さな欠けや汚れはかかる特微量の許容量内に入
ってしまい、検出されなくなるからである。

本発明の目的は、上述した欠点を解決し、きすの如き微
小なパターン変化をより大きく検出して高精度で安定し
たパターン認識を行なうパターン検査装置を提供するこ
とにある。

本発明は、被検査二次元パターンを第一方向に走査する
と共に第二方向にも走査して、第一方向走査毎に連続し
た画像信号を第二方向走査に伴って順次に形成していく
逐次走査形二次元撮像手段と、 前記画像信号を所定画素単位で分割しつつ２値化画像信
号を形成する分割２値化手段と、前記第一方向の１走査
により得られる前記２値化画像信号の各画素情報を前記
第一方向の走査に応動して順次にシフトしながら蓄積す
る複数個の画素記憶単位を有する蓄積手段を所定個数有
し、これら蓄積手段な縦続に接続し、各蓄積手段中の所
定個数の画素記憶単位から順次出力を取り出し、これら
順次出力を前記第一方向の走査の連続した一部分に対応
させ、かつ前記所定個数の蓄積手段の各々からの順次出
力の集まりを順次に前記第二方向における第一方向走査
に対応させ、以て前記第一方向走査による順次出力の集
まりを第二方向に配列して画素の局部的二次元領域を形
成した二次元局部メモリーと、 前記二次元領域の中心画素を中心点として複数個の同心
円に対応する前記二次元領域に含まれるすべての画素記
憶単位の出力をそれぞれ取り出し、これら出力の論理積
を各同心円に対する空間周波数以下の低域通過出力とし
て取り出すようにした前記複数個の同心円についてのデ
ジタル低域通過フィルタを有するフィルタ手段と、 前記各デジタル通過フィルタの出力を受信し、各フィル
タに関する所定空間周波数域におけるフィルタ出力の発
生回数を計数していき、前記被検査二次元パターンを１
回全面走査する度毎に前記各フィルタの出力の発生回数
を積算した結果を取り出す積算手段と、 該積算手段からの積算結果を、予じめ定めた標準二次元
ハ汐−ンについての同様の積算結果と比較照合する手段
とを具備したことを特徴とするものである。

本発明は、複数個の標準二次元パターンについての前記
各フィルタ出力なパＪ−ンの１画面にわたって積算した
値を各パＪ−ン毎に記憶しておき、被検査パターンにつ
いての積算結果を前記複数個の標準二次元パターンにつ
いての積算結果と比較して、当該被検査パターンがいず
れる標準二次元パターンに属するかを判定することによ
りパターン認識な行なうように構成することもできる。

以下に図面を参照して本発明を説明する。

まず最初に本発明の原理について述べる。

第３図に示すように、すべてのパターンは大きさの異な
る複数個の円パターンに分解できる。

ここで、電気的周波数に対応して円パ汐−ンの大きさを
空間的周波数で表現すると、電気信号についてのフーリ
エ変換をかかる円ハ汐−ンの集合たる二次元パ汐−ンに
も適用できる。

換言すると、小さい円パＪ−ン要素はど空間的周波数が
高いと云い、大きい円パＪ−ン要素はど空間的周波数が
低いと云うことができ、すべての二次元パターンは周波
数の異なる多数の空間的周波数に分解でき、これらの各
周波数の係数は対象となるパターンによって大幅に異な
る。

本発明はかかる原理に基いてなしたものであり、本発明
パターン検査装置の構成の一例を第４図に示す。

第４図において、符号２１は逐次走査形二次元撮像素子
、例えばテレビジョンカメラな示し、このテレビジョン
カメラ２１の出力たる画体信号を２値化分割回路２２に
供給して増幅した後に２値化し、適当な分解能をもつメ
ツシュ状に画像分割する。

このようにして画像分割された２値化画像信号な多層シ
フトレジス汐で構成した二次元局部メモリー２３に局部
的かつ二次元的に逐次書き込み、また読み出せるらうに
する。

このメモリー２３の具体例については第５図につき後述
する。

二次元局部メモリー２３から読み出した出力を第１〜第
６デジタル低域通過フィルタ２４〜２９に供給する。

これらフィルタ２４〜２９の遮断周波数はそれぞれ相異
なり、二次元局部メモリー２３から読み出した二次元パ
ターンについての２値化画像信号の、相異なる空間周波
数に対応する周波数成分をそれぞれ通過させる。

ここで、第１デジタル低域通過フィルタ２４の遮断周波
数が最も高く、換言すると、最も小さな円パターンに対
応する信号成分が得られ、第２．第３．第４．第５゜第
６フイル汐となるにつれて遮断周波数が低くなっていき
、第６フイルタ２９の遮断周波数が最も低く、すなわち
最も大きな円パ汐−ンに対応する信号成分までの信号成
分が取り出される。

付言すると、第２フイルタ２５を通過した信号は第１フ
イルタ２４をも通過し、以下同様にして、第６フイルタ
２９を通過した信号は第１〜第５フイルタ２４〜２８を
も通過する。

次に、上記第１フイルタ２４及び第２フイルタ２５の出
力を第１排他的論理和素子３０に供給し、第２フイルタ
２５及び第３フイルタ２６の出力を第２排他的論理和素
子３１に供給し、第３フイルＪ２６及び第４フイルタ２
７の出力を第３排他的論理和素子３２に供給し、第４フ
イルタ２７及び第５フイルタ２８の出力を第４排他的論
理和素子３３に供給し、第５フイル汐２８及び第６フイ
ル汐２９の出力を第５排他的論理和素子３４に供給する
。

これによれば、第１排他的論理和素子３０からは第１フ
イルタ２４の遮断周波数と第２フイルタ２５の遮断周波
数との間の周波数成分が取り出され、次の第２排他的論
理和素子３１からは第２フイルタ２５の遮断周波数と第
３フイルタ２６の遮断周波数との間の周波数成分が得ら
れ、同様に、第３排他的論理和素子３２からは第３フイ
ルタ２６の遮断周波数と第４フイルタ２７の遮断周波数
との間の周波数成分、第４排他的論理和素子３３からは
第４フイルタ２１の遮断周波数と第５フイルタ２８の遮
断周波数との間の周波数成分、第５排他的論理和素子３
４からは第５フイルタ２８の遮断周波数と第６フイルタ
２９の遮断周波数との間の周波数成分及び第６フイル汐
２９からは直接にこの第６フイルタ２９の遮断周波数以
下の周波数成分がそれぞれ取り出される。

例えば、第５フイルタ２８を通過した出力は、第１〜第
４フイルタ２４〜２７をも通過しており、この場合、第
１〜第４排他的論理和素子３０〜３３の各出力は零、第
５排他的論理和素子３４からは第５フイル汐２８を通過
した信号成分が取り出される。

なお、この例では第６フイル汐２９の出力は零である。

上記第１〜第５排他的論理和素子３０〜３４の各出力を
それぞれ第１〜第５カウンタ３５〜３９に供給し、上記
第６デジタル低域通過フィルタ２９の出力を第６カウン
メ４０に供給し、各フィルタ２４〜２９の遮断周波数に
対する通過頻度、すなわち各局、波数についての係数を
積算する。

第１カウンタ３５は第１フイルタ２４の遮断周波数未満
で第２フイルタ２５の遮断周波数以上の空間周波数に対
する係数を積算し、第２カウンタ３６は第２フイルタ２
５の遮断周波数未満で第３フイルメ２６の遮断周波数以
上の空間周波数に対する係数を積算し、同様に第３．第
４及び第５カウンＪ３７．３８及び３９も各対応する空
間周波数範囲に対する係数を積算し、更に第６カウンタ
４０は第６フイルタ２９の遮断周波数未満の空間周波数
成分についての係数を積算する。

上記第１〜第６カウンタ３５〜４０の出力を比較器によ
る判定回路４１に供給する。

この判定回路４１では、テレビジョンカメラ２１で画面
の走査が終了した段階で第１〜第６カウンタ３５〜４０
の各積算値を設定値４２と比較し、パ汐−ン判定を行な
う。

符号４３は制御回路を示し、この回路より水平及び垂直
同期信号を発生し、これら同期信号をテレビジョンカメ
ラ２１，２値化分割回路２２及び二次元局部メモリー２
３の各々に供給し、各動作汐イミングを制御する。

更にこの制御回路４３にパターン判定開始人力４４を加
え、この入力信号４４と垂直同期信号とによりカウンタ
ー３５〜４０のすべてをリセットする。

テレビジョンカメラ２１において第１水平走査が開始さ
れると共に、２値化分割回路２２は画像信号の２値化及
び画像分割を開始する。

ここで、画像分割は垂直方向の分割と等しい分解能で行
なうものとする。

上述した二次元局部メモリー２３の詳細を第５図に示す
。

本例のメモリー２３の二次元寸法は記憶素子単位で縦が
１１、横１１とする。

図中、符号５１〜６１は、それぞれ、１個の入力端子と
１個の出力端子とを有する多ビツトシフトレジスタ、６
２〜７２は１個の入力端子と各シフト段より取り出した
１１個の出力端子を有するシフトレジスタであり、第５
図に示すようにシフトレジスタ５１．６２．５２．６３
．５３．６４．５４゜６５．５５．６６．５６．６７．
５７．６８゜５８．６９．５９．７０．６０．７１．６
１及び７２をこの順序で縦続接続し、シフトレジスタ６
２〜７２の各１１個の出力端子よりメモリー出力を取り
出す。

これらメモリー出力を二次元形態で示すと、第６図Ａの
ように、ｉ行ｊ列（１＝ｊ１１）のマトリクスパ汐−ン
で示される。

ここに、レジスタ６２の出力は第１列目（ｊ＝１）の第
１行〜第１１行目（ｉ＝１〜１１）の各記憶単位から読
み出した読出し出力に相当する。

同様にレジスタ６３の出力はｊ＝２．ｉ＝１〜１１に対
応し、レジスタ６４の出力はｊ＝３．ｉ＝１〜１１に対
応し、順次同様にしてレジスタ７２の出力はｊ＝１１．
ｊ”１〜１１にそれぞれ対応する。

上述したデジタル低域通過フィルタ２４〜２６の構成の
一例を第６図Ａ、第７図Ａ及び第８図Ａにそれぞれ示す
。

ここで、局部メモリー２３はｉ＝１〜１１．ｊ＝１〜１
１であるから、ｉ＝６゜ｊ二６なる中心点を中心とする
互いに半径の異なる６個の同心円を第６図Ａ、第７図Ａ
又は第８図Ａに示すような二次元局部メモリー２３上に
仮定し、これら同心円をそれぞれ第６図Ｂ、第７図Ｂ又
は第８図Ｂに示すようにメモリー２３の記憶単位の組合
せで同心円（同図中に点線で示す円）を近似させ、この
組合せの記憶単位のすべてからメモリー読出し出力が得
られるときに当該同心円以下の同心円についての出力、
すなわち当該同心円に対応する空間周波数以上で記憶単
位１個に対する空間周波数より低い帯域のフィルタ出力
を得る。

ここで、上記組合せの記憶単位のすべてから出力が得ら
れるか否かは、当該記憶単位のすべての読出し出力の論
理積をとることで決定できる。

そこで、本発明では多入力論理積素子を所定同心円に対
応する記憶単位の読出し出力端子に接続することで、フ
ィルタ出力を取り出す。

但し、その例外として、第１フイルタ２４は、上記メモ
リー２３の中心点ｉ＝６．ｊ＝６の位置の記憶単位の読
出し出力を取り出す１本の導線７５で構成する。

次に、第２フイルタ２５は、第７図Ａに示すように、ｉ
”５ｅ ｊ＝６ ； ｉ＝６．ｊ＝５〜７及びｉ＝７゜
ｊ＝６の５個の記憶単位の出力を論理積素子７６に加え
、その論理積出力を得ることで構成する。

第３フイルタ２６は、第８図Ａに示すように、ｉ ＝
４ ｅ ｊ−６； ｉ ＝ ５ 、 ｊ ＝ ５〜
７ ； ｉ＝６＊ｊ＝４〜８ ； ｉ＝７．ｊ＝＝５〜
７及びｉ−８゜ｊ＝６の１３個の記憶単位の出力を論理
積素子７７に加え、その論理積出力を得ることで構成し
、順次同様にして第６フイルター２９まで構成する。

第４図示の本発明パターン検査装置において、あるハ汐
−ンをテレビジョンカメラ２１で撮像しているものとす
る。

パターン判定開始人力４４が制御回路に加わると、すべ
てのカウンタ−３５〜４０がリセットされ、画像分割さ
れた２値化画像信号が二次元局部メモリー２３に書き込
まれる。

メモリー２３においては、画像分割される度毎に２値化
画像信号が第５図示のシフトレジスタ−５１〜７２を順
次にシフトされつつ蓄積される。

ここで、第１水平走査終了時にシフトレジスタ６２の最
終ビット段に第１水平走査の最初に行なった画像分割の
画素情報が蓄積されるようにシフトレジスタ５１と６２
の各ビット数を決める。

すなわち、第５図示のシフトレジスタ５１と６２．５２
と６３．５３と６４．５４と６５．５５と６６．５６と
６７．５７と６８．５８と６９．５９と７０．６０と７
１及び６１と７２の各組合せにそれぞれ１水平走査によ
り得られる全画素情報を収容する。

本例ではシフトレジス＋６２が１１ビツトなので、水平
走査方向における画像の分割個数なｍとすると、シフト
レジスタ５１は（ｍ−１１）ビットとする。

なお、（ｍ−１１）ビットのシフトレジスタがない場合
にはダミービットを挿入し、そのビット分だけ第１水平
走査の画像分割が終了した段階で二次元局部メモリー２
３にクロックをダ３−ビットの個数に対応するだけ余分
に加えればよい。

同様にして第１１水平走査まで終了し、第１２水平走査
が開始されるときには、シフトレジスタ６２〜７２には
第１〜第１１水平走査の各最初の１１画素についての情
報が収容されている。

すなわち、シフトレジスタ６２〜７２では、第６図Ａ、
第７図Ａ又は第８図Ａに示すようなｉ＝１〜１１かつｊ
＝１〜１１の局部的二次元領域に、ある時刻における画
ｉｔの一部分が提示されパターン判定に供されることに
なる。

この時刻までカウンタ入力は制御回路４３により禁止さ
れているものとし、１１列分の水平走査が終了したとき
にカウンタ３５〜４０へ排他的論理和素子３０〜３４の
出力及び第６フイルタ出力を供給し、それぞれ該当周波
数域の空間周波数の係数を積算していき、局部二次元パ
ターンに関する空間周波フーリエ変換を行なう。

次いで、第１２夕１泪の水平走査を行ない、その画像分
割２値化画像信号を多ビツトシフトレジスタ５１に加え
て蓄積する。

それに伴って局部メモリー２３は全体に１画素分だけシ
フトする。

このようにして上述したところと同様の過程で第２回目
の局ｓ／リーンについてのフーリエ変換を実施し、かか
る第１２水平走査が終了するまでに（ｍ−１１）回のフ
ーリエ変換を行なう。

この間はカウンタ３５〜４０への入力は上述したように
禁止されており、第１２水平走査の開始前にこの禁止が
解除され当該第１２水平走査における各フーリエ係数を
カウンタ３５〜４０に入力する。

以下、同様にして全画面に対するフーリエ変換を行ない
、テレビジョン走査における最後の有効水平走査が終了
した時点でカウンタ３５〜４０への人力を完全に禁止す
る。

この段階では、カウンタ３５〜４０に１画面における各
空間周波数帯域の係数が積算され記憶されている。

これらカウンタ３５〜４０の各計数出力を判定回路４１
に供給し、予じめ定めた設定値４２と比較し、その比較
結果がある許容範囲内にあるか否かの判定を行ない、そ
の判定結果を出力する。

なお、各カウンタ３５〜４０の計数値の総和は今問題に
しているパターンの面積にほぼ等しくなる。

本発明パターン検査装置により微小なパ汐−ン欠けや汚
れ等を検出できる理由を、第９図Ａ、 Ｂ及びＣに示す
それぞれ直径が１．３及び５の各等何円パターンに対応
する正方形パｉ−ン以上のパターンを通過させる３個の
デジタル低域通過フィルタがある場合について説明する
。

第１０図に斜線部以外の部分で示す正常状態の多角形パ
ターンについての２値化画像信号を上記３つのフィルタ
に通すと、各画素部分は当該画素部分に記入した数字の
等何円パターンに含まれ、第１０図に示したような等例
日パターン分布をとる。

かかる円パターン分布についてのヒストグラムをとると
第１１図のようになる。

ここで横軸は等何円パターンの直径、縦軸は頻度数を示
す。

次に、第１０図示のパターンと同じパターンに第１２図
に示スようにパターンの欠げ８１がある場合を考えてみ
る。

その場合の円パターン分布を同様に第１２図のパターン
の各画素部分に記入しである。

この円パターン分布のヒストグラムを第１３図に示す。

第１１図及び第１３図のヒストグラムの各頻度数が上述
したカウンタ３５〜４０の計数出力に対応し、ここで第
１１図の正常パターンについてのヒストグラムを第１３
図の異常パターンについてのヒストグラムと比較すると
、両者が明らかに大きく相違していることがわかる。

この違いが判定回路４１より判定出力として取り出され
る訳であり、この判定出力によりハ汐−ンを検査するこ
とができる。

なお、以上では簡単のために１個の標準パターンの場合
について説明してきたが、複数個の標準パターンに対す
る各フィル汐成分の標準値を記憶ジテオき、未知パｌ−
ンがどの標準パｉ−ンｒｔｃ属するかを認識するように
本発明パターン検査装置を構成することも勿論できる。

上述したところから明らかなように、本発明では、対象
パターンが複数個の種々の大きさの円の集まりにより構
成されているという認識の下に、かかる円の大きさを空
間周波数量として取扱い、パターンをこれら空間周波数
のフーリエ係数の形態で表現できるという事実を基にし
てなしたものであり、被検査パターンを多数の円パター
ンに分解し、円パターンの大きさ毎にその円パターンに
含まれる度数を１画面にわたって積算し、そのヒストグ
ラムを用いてパターン検査を行なうので、従来は高精度
で検出することができなかった微小なパターン欠けや汚
れ等を確実に検出することができる。

しかも、本発明では円パ汐−ンへのハブ−ン分解がパ汐
−ンの姿勢とは全く無関係に行なわれるので、パターン
検査とは全く係わりのない／ｌ−ン検査が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のパターン検査装置の一例の構成を示すブ
ロック線図、第２図は欠けや汚れのあるパＪ−ンを示す
線図、第３図はパターンヲ円パターンに分解することの
説明図、第４図は本発明パターン検査装置の構成の一例
を示すブロック線図、第５図はその二次元局部メモリー
の一例を示すブロック線図、第６図Ａ、第１図Ａ及び第
８図Ａはそれぞれ第４図示の第１．第２及び第３フイル
タの構成の一例を示す線図、第６図Ｂ、第１図Ｂ及び第
８図Ｂはそれぞれ第１．第２及び第３フイルタより取り
出される円パターン出力と二次元局部メモリーの記憶単
位との対応を示す線図、第９図Ａ、 Ｂ及びＣはそれぞ
れ直径が１．３及び５０等価円パターンに対応する正方
形パ４−ンを示す線図、第１０図及び第１２図はそれぞ
れ正常パターン及び異常ハ汐−ンの一例な各円パターン
分布と共に示す線図、及び第１１図及び第１３図はそれ
ぞれ第１０図及び第１２図の円パターン分布についての
ヒストグラム図である。 ２１・・・テレビジョンカメラ、２２・・・２値化分割
回路、２３・・・二次元局部メモＩＪ−１２４〜２９・
・・デジタル低域通過フィル汐、３０〜３４・・・排他
的論理和素子、３５〜４０・・・カウンタ、４１・・・
判定回路、４２・・・設定値、４３・・・制御回路、４
４・・・パターン判定開始入力、５１〜７２・・・シフ
トレジスタ、７５・・・出力導線、７６．７７・・・多
入力論理積素子、８１・・・パターンの欠け。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 被検査二次元パターンを第一方向に走査すると共に
   第二方向にも走査して、第一方向走査毎に連続した画像
   信号を第二方向走査に伴って順次に形成していく遂次走
   査形二次元撮像手段と、前記画像信号を所定画素単位で
   分割しつつ２値化画像信号を形成する分割２値化手段と
   、前記第一方向の１走査により得られる前記２値化画悸
   信号の各画素情報を前記第一方向の走査に応動して順次
   にシフトしながら蓄積する複数個の画素記憶単位を有す
   る蓄積手段を所定個数有し、これら蓄積手段を縦続に接
   続し、各蓄積手段中の所定個数の画素記憶単位から順次
   出力を取り出し、これら順次出力を前記第一方向の走査
   の連続した一部分に対応させ、かつ前記所定個数の蓄積
   手段の各々から順次出力の集まりを順次に前記第二方向
   における第一方向走査に対応させ、以て前記第一方向走
   査による順次出力の集まりを第二方向に配列して画素の
   局部的二次元領域を形成した二次元局部メモリーと、 前記二次元領域の中心画素を中心点として複数個の同心
   円に対応する前記二次元領域に含まれるすべての画素記
   憶単位の出力をそれぞれ取り出し、これら出力の論理積
   を各同心円に対する空間周波数以下の低域通過出力とし
   て取り出すようにした前記複数個の同心円についてのデ
   ジノル低域通過フィルタを有するフィルタ手段と、 前記各デジタル通過フィルタの出力な受信し、各フィル
   タに関する所定空間周波数域におけるフィルｌ出力の発
   生回数を計数していき、前記被検査二次元パターンを１
   回全面走査する度毎に前記各フィルタの出力の発生回数
   を積算した結果を取り出す積算手段と、 該積算手段からの積算結果を、予じめ定めた標準二次元
   パ汐−ンについての同様の積算結果と比較照合する手段
   とを具備したことを特徴とするパターン検査装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載のパターン検査装置にお
   いて、前記蓄積手段を多層溝底のシフトレジスタで構成
   したことを特徴とするパターン検査装置。 ３ 特許請求の範囲第１項又は２項記載のパターン検査
   装置において、前記フィルタ手段を論理積素子で構成し
   たことを特徴とするパターン検査装置。 ４ 特許請求の範囲１項ないし３項のいずれかに記載の
   パターン検査装置において、前記積算手段は前記フィル
   タのうち最低次フィルタ以外の各フィルタあてに設けた
   排他的論理和素子及びこれら排他的論理和素子の出力を
   受信するカウンタ及び前記最低次フィルタの出力を受信
   するカウンタを有することを特徴とするパターン検査装
   置。 ５ 特許請求の範囲１項なＬ・し４項のいずれかに記載
   のパターン検査装置において、複数個の標準二次元ハ汐
   −ンについての前記各フィルタ出力なパ汐−ンの１画面
   にわたって積算した値を各パ汐−ン毎に記憶しておき、
   被検査パターンについての積算結果を前記複数個の標準
   二次元パターンについての積算結果と比較して、当該被
   検査パターンがいずれの標準二次元パ３−ンに属するか
   を判定することによりパターン認識を行なうことを特徴
   とするパターン検査装置。