JPS584150A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPS584150A JPS584150A JP56102935A JP10293581A JPS584150A JP S584150 A JPS584150 A JP S584150A JP 56102935 A JP56102935 A JP 56102935A JP 10293581 A JP10293581 A JP 10293581A JP S584150 A JPS584150 A JP S584150A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- contact
- pins
- exposure
- sides
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/32—Projection printing apparatus, e.g. enlarger, copying camera
- G03B27/52—Details
- G03B27/58—Baseboards, masking frames, or other holders for the sensitive material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Holders For Sensitive Materials And Originals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は露光装置に載置されるフィルムの位置決めの改
良に関する。各種の通信・電子装置等に用いられる回路
プリント板情、各種の工程を経て形成される。とくに回
路パターンを形成する過程において#i数設定れた所定
の動きを行なう露光ヘッドを具えた自fthlII光装
置によって、原画となるべきフィルムにパターン露光を
なさしめ、これKよって所望回路のパターン或いは部品
実装を示すフィルムを得る。
良に関する。各種の通信・電子装置等に用いられる回路
プリント板情、各種の工程を経て形成される。とくに回
路パターンを形成する過程において#i数設定れた所定
の動きを行なう露光ヘッドを具えた自fthlII光装
置によって、原画となるべきフィルムにパターン露光を
なさしめ、これKよって所望回路のパターン或いは部品
実装を示すフィルムを得る。
従来の露光装置へのフィルム載置の手順を述べると、$
1図に示す如くに方形のフィルム1の隣接する二辺の端
縁近傍に図示しない専用のパンチ装置で孔2を正確に開
け、この孔2を第2図に示したよう壜露光装置3のフィ
ルム載置台4面に載置するのであゐが、この際台4上に
固定された基準ビン5に上記孔2を合わせて嵌め込んで
フィルム1の[1’位νが定められ石。もちろん孔2と
ビン5との関係は一致しており、嵌合状!1も極めて正
確となるように定められ′〔いるo6Fiフィルム載置
台4面に設けられた多数の孔で、内部の吸引ポンプを鋤
かせて負圧とし、#ttILされたフィルムlを台11
iK固定する丸めのものである。この後、露光ヘッド7
がフィル五面上を所定のX@Y方向に移動を行ない、フ
ィルム10に所望のパターンを菖出させるからフィルム
を取り外して現像工程に移す〇 ところで上記フィルム″、1への孔開けは、フィルムが
未感光、未3J1m状態であるから、暗室内の暗所にお
いて行なわれ石ものであシ、手探りでフィルムをパンチ
装置の台上に載せ、同じくパンチ装置の二辺に設けられ
てい石基単面にフィルムを突き当て、パンチ装置のレバ
ーを押し下げて一挙に孔開けを行々うわけであ石が、基
準面にフィルムが当接したかどうかを見る訳tでいかな
いので間違った状1で孔を開けることがあり、高価なフ
ィルムを無駄にすることがあった@このために綿密な注
意を払いかからの作業KFi熟練と時間を要するほか、
指紋等の付着によるフィルムの汚損の恐れもある。さら
にはパンチ装置の保守整備を絶えず行なって正確な孔開
けかiつでもできるようにしておかなければならないと
いった煩わしさがある。
1図に示す如くに方形のフィルム1の隣接する二辺の端
縁近傍に図示しない専用のパンチ装置で孔2を正確に開
け、この孔2を第2図に示したよう壜露光装置3のフィ
ルム載置台4面に載置するのであゐが、この際台4上に
固定された基準ビン5に上記孔2を合わせて嵌め込んで
フィルム1の[1’位νが定められ石。もちろん孔2と
ビン5との関係は一致しており、嵌合状!1も極めて正
確となるように定められ′〔いるo6Fiフィルム載置
台4面に設けられた多数の孔で、内部の吸引ポンプを鋤
かせて負圧とし、#ttILされたフィルムlを台11
iK固定する丸めのものである。この後、露光ヘッド7
がフィル五面上を所定のX@Y方向に移動を行ない、フ
ィルム10に所望のパターンを菖出させるからフィルム
を取り外して現像工程に移す〇 ところで上記フィルム″、1への孔開けは、フィルムが
未感光、未3J1m状態であるから、暗室内の暗所にお
いて行なわれ石ものであシ、手探りでフィルムをパンチ
装置の台上に載せ、同じくパンチ装置の二辺に設けられ
てい石基単面にフィルムを突き当て、パンチ装置のレバ
ーを押し下げて一挙に孔開けを行々うわけであ石が、基
準面にフィルムが当接したかどうかを見る訳tでいかな
いので間違った状1で孔を開けることがあり、高価なフ
ィルムを無駄にすることがあった@このために綿密な注
意を払いかからの作業KFi熟練と時間を要するほか、
指紋等の付着によるフィルムの汚損の恐れもある。さら
にはパンチ装置の保守整備を絶えず行なって正確な孔開
けかiつでもできるようにしておかなければならないと
いった煩わしさがある。
本発明は上記従来の問題点を解消するもので、基準孔開
は工程を無くシ、iI接接露光装置上フィルムの位置決
めを行なわんとする新規な手段による露光装置の提供を
なす。
は工程を無くシ、iI接接露光装置上フィルムの位置決
めを行なわんとする新規な手段による露光装置の提供を
なす。
本発明を実施例にもとず話以下図面を参照して説明する
。
。
第3図は本発明の原理的な平面図で、方形のフィルム1
0の相隣れる2辺のうちの一辺の端縁と接するように第
2図と回様な露光装置のフィルム載置台4面に基準ピン
5に代えて2本の基準ビン20.21と、他の一辺の端
縁とw、−′Fる1本の基準ピン22が設けらhており
、このビン20〜22全てにフィルム10のそhぞhの
辺が当接させるようにする。言い替えればビン20.2
1と接するフィルムの辺AをY軸として、との軸方向上
をフィルム端線を当接状態〒移動源せて、他の辺Bをビ
ン22に近接させ、ビン22と辺とが当接する形とする
ならばこの辺BがY軸と直交するY軸としてフィルム1
0の位置が規定されることは容易に理解されよう。この
際X軸上にフィルムlOを摺動させる必要は必ずしも表
く、ビン全てに当接するよう載置すればよいととである
。
0の相隣れる2辺のうちの一辺の端縁と接するように第
2図と回様な露光装置のフィルム載置台4面に基準ピン
5に代えて2本の基準ビン20.21と、他の一辺の端
縁とw、−′Fる1本の基準ピン22が設けらhており
、このビン20〜22全てにフィルム10のそhぞhの
辺が当接させるようにする。言い替えればビン20.2
1と接するフィルムの辺AをY軸として、との軸方向上
をフィルム端線を当接状態〒移動源せて、他の辺Bをビ
ン22に近接させ、ビン22と辺とが当接する形とする
ならばこの辺BがY軸と直交するY軸としてフィルム1
0の位置が規定されることは容易に理解されよう。この
際X軸上にフィルムlOを摺動させる必要は必ずしも表
く、ビン全てに当接するよう載置すればよいととである
。
しかしながら上述の操作は暗所で行なわれることから、
本発明においては以下に述べることが構成上の要点とな
る0即ち第4図に示したようにビン20〜22は載置台
4と電気絶縁ブツシュ24でそれぞh高度に絶縁されて
おり、1ン20〜22が導電体としてそれぞれ独立した
電極を構成す石。第5図に示したように3本のビン20
〜22からの接続線を静電気検出禦子31を介してアン
ド回路30に接続し、その出力端32に現れゐ信号で露
光装置の要部に設けられた表示灯40を点灯するような
構成とする。この表示灯40は第2図にお論で露光ヘッ
ド7上の要部8或い6寸その他の適当位置に設けられ石
。
本発明においては以下に述べることが構成上の要点とな
る0即ち第4図に示したようにビン20〜22は載置台
4と電気絶縁ブツシュ24でそれぞh高度に絶縁されて
おり、1ン20〜22が導電体としてそれぞれ独立した
電極を構成す石。第5図に示したように3本のビン20
〜22からの接続線を静電気検出禦子31を介してアン
ド回路30に接続し、その出力端32に現れゐ信号で露
光装置の要部に設けられた表示灯40を点灯するような
構成とする。この表示灯40は第2図にお論で露光ヘッ
ド7上の要部8或い6寸その他の適当位置に設けられ石
。
以上でフィルム10を前述の如き要領で載置台4上に載
置し、@接する2辺を3本のビン20〜22と当接させ
る0フイルム10にはフィルムケースからの出し入れ、
その他の操作の過程で相当乃至は若干の靜−気が蓄積さ
れている。従ってフィルム端縁A、Bがそれぞれの軸の
ビン20〜22に全て当接すると、フィルム10の静電
気が静電検出素子31によって電流イg号がそれぞれに
変換発生され、アンド回路30によって3本のビン20
〜22にフィルム10が当接したことのアンドが得られ
て出力信号が出力端32に現れ、これによってフィルム
10には不感光〒可視光を発光する赤色光ランプ40値
;点灯され、正規の位置にフィルムが設定されたことを
知ることがずきる。これによって吸引ポンプを作動させ
フィルム10を載置台4面に平担に定置愼せ露光ヘッド
7の動作で所定の露光を行なう0 上記f4.Lもフィルム1.0が何れかのビンに当接し
ない場合はアンド回路31におけゐアンドが得らi″L
々いの〒表示ランプ40が点灯しない、従ってフィルム
10を適当に動かして表示ランプ40が点灯するようK
すれば、逆に正規状111にフィルム10が位置したこ
とになる〇 本発明の異なる実施例を第6図に示す。第6図は柱状の
位置決めビン20の内部に挾持された接点板ばね25の
突出部26に矢印方向からフィルム10の辺縁が接触押
圧しこれを鎖線で示したように押し込む0板ばね25の
跳ね返り(パックリング)作用によって可動接点27が
接点28から29に一時に切り換わる。
置し、@接する2辺を3本のビン20〜22と当接させ
る0フイルム10にはフィルムケースからの出し入れ、
その他の操作の過程で相当乃至は若干の靜−気が蓄積さ
れている。従ってフィルム端縁A、Bがそれぞれの軸の
ビン20〜22に全て当接すると、フィルム10の静電
気が静電検出素子31によって電流イg号がそれぞれに
変換発生され、アンド回路30によって3本のビン20
〜22にフィルム10が当接したことのアンドが得られ
て出力信号が出力端32に現れ、これによってフィルム
10には不感光〒可視光を発光する赤色光ランプ40値
;点灯され、正規の位置にフィルムが設定されたことを
知ることがずきる。これによって吸引ポンプを作動させ
フィルム10を載置台4面に平担に定置愼せ露光ヘッド
7の動作で所定の露光を行なう0 上記f4.Lもフィルム1.0が何れかのビンに当接し
ない場合はアンド回路31におけゐアンドが得らi″L
々いの〒表示ランプ40が点灯しない、従ってフィルム
10を適当に動かして表示ランプ40が点灯するようK
すれば、逆に正規状111にフィルム10が位置したこ
とになる〇 本発明の異なる実施例を第6図に示す。第6図は柱状の
位置決めビン20の内部に挾持された接点板ばね25の
突出部26に矢印方向からフィルム10の辺縁が接触押
圧しこれを鎖線で示したように押し込む0板ばね25の
跳ね返り(パックリング)作用によって可動接点27が
接点28から29に一時に切り換わる。
このようにフィルム10がビン20に当接すると同時に
可動接点27が接点28に換るように設定されており、
フィルム10の除去によって可動接点27は旧に復する
0 本発明のさらに異なる実施例を第7図に示す。
可動接点27が接点28に換るように設定されており、
フィルム10の除去によって可動接点27は旧に復する
0 本発明のさらに異なる実施例を第7図に示す。
柱状の位置決めビン20の内部に一端が固設され、他の
自由端に永久磁石51が取着された板ばね50の一部が
切り起し折曲づれて作動片52として突出していL6永
久磁石51と対向する位置に$m性電気費換素子、例え
ばリードスイッチ53が設けら籠る。
自由端に永久磁石51が取着された板ばね50の一部が
切り起し折曲づれて作動片52として突出していL6永
久磁石51と対向する位置に$m性電気費換素子、例え
ばリードスイッチ53が設けら籠る。
作動片52に矢印方向からフィルム10の辺縁が当接押
圧し、これを押し込みフィルム10がビン20 と接触
すると板ばね50が鎖線で示し九″−ように弾性質形−
れ、先端の永久磁石51がリードスイッチ53に近接し
、リードスイッチの接点を閉じる。作動片52は飯ばね
50の固着@に近いために、これの抑圧動作の動きの距
離は永久磁石51を大きく移動させるので、スイッチ5
3の切り換りは明確と彦る。フィルム10の除去により
板ばね5(l旧に会する。感磁性素子はリードスイッチ
に限らず他の半導体素子尋であってもよいO 上記スイッチ機能を有すゐビン20.20の作動に要す
る力は数gr程変であり、作動ストロークも1w8[以
下と僅かであるから極めてスイッチ動作は鋭敏である。
圧し、これを押し込みフィルム10がビン20 と接触
すると板ばね50が鎖線で示し九″−ように弾性質形−
れ、先端の永久磁石51がリードスイッチ53に近接し
、リードスイッチの接点を閉じる。作動片52は飯ばね
50の固着@に近いために、これの抑圧動作の動きの距
離は永久磁石51を大きく移動させるので、スイッチ5
3の切り換りは明確と彦る。フィルム10の除去により
板ばね5(l旧に会する。感磁性素子はリードスイッチ
に限らず他の半導体素子尋であってもよいO 上記スイッチ機能を有すゐビン20.20の作動に要す
る力は数gr程変であり、作動ストロークも1w8[以
下と僅かであるから極めてスイッチ動作は鋭敏である。
しかして、これらピン20或いは20を第5図における
ビン20〜22に噴き代えるhらは同様にして表示灯4
0の点灯によりフィルム10の定位着に設定されたこと
が得られ石。またこのように直接にスイッチ機能を有す
る置台には槙8図に示したようにそれぞれの接点と表示
灯40と電源60とを直列にi!続すれば極めて簡易な
回絡構威で実現可能となる。
ビン20〜22に噴き代えるhらは同様にして表示灯4
0の点灯によりフィルム10の定位着に設定されたこと
が得られ石。またこのように直接にスイッチ機能を有す
る置台には槙8図に示したようにそれぞれの接点と表示
灯40と電源60とを直列にi!続すれば極めて簡易な
回絡構威で実現可能となる。
本発明は以上のように暗所での直接にフィルム設定位置
を所定に足めることができ、しかもその操作は極めて容
易で、設定を感知することができるといった実用上の効
果は顕著であり、従来のパンチェ穆の削除、パンチ孔と
基準ピンとの嵌合、さらにはパンチzXKよるフィルム
の損失などと−っ先年都合を除去せしめるといった優れ
た効果をも示すものであゐ。
を所定に足めることができ、しかもその操作は極めて容
易で、設定を感知することができるといった実用上の効
果は顕著であり、従来のパンチェ穆の削除、パンチ孔と
基準ピンとの嵌合、さらにはパンチzXKよるフィルム
の損失などと−っ先年都合を除去せしめるといった優れ
た効果をも示すものであゐ。
si図は従来のフィルムの斜視図、第2図は露光ist
+tの概略の斜#i図、第3図は本発明のフィルム位置
合わせの原理的説明図、第4図、第5図は零発甲の一実
施例、IIE6図乃至第8図は本発明の異なる実施例を
示す◎ 図中、3IfJr露光wi肴、4はフィルム載置台、1
0けフィルム、20〜22はビン、40け表示特奸出願
人 富士通株式会社 茅17,2.〜2゜ 5 !Js図 第7図 第δ2
+tの概略の斜#i図、第3図は本発明のフィルム位置
合わせの原理的説明図、第4図、第5図は零発甲の一実
施例、IIE6図乃至第8図は本発明の異なる実施例を
示す◎ 図中、3IfJr露光wi肴、4はフィルム載置台、1
0けフィルム、20〜22はビン、40け表示特奸出願
人 富士通株式会社 茅17,2.〜2゜ 5 !Js図 第7図 第δ2
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1) フィルムを載置するフィルム載置台と、該フ
ィルム載置台上を所定に移動して前記載置されたフィル
ムにパターン露光する露光ヘッドを具えてなる露光装置
にお−て、前記フィルム載置台面に前記載置されるフィ
ルムの隣接する二辺に譬する位置決め用轟接部材を設け
、#轟接部材Fi該フィルムの一方の辺と接する少なく
も2個所と、他方の辺と接する少なくも1個所とすると
ともKMフィルムの辺が当接したことを検出する検出手
段を具えてなることを特徴とする露光!If@ 儲)前記検出子Hlは前記フィルムの静電気を検出する
静電検出電極を構成してなることを特徴とする特許請求
の範囲第1項に記載の露光装置。 (3)前記検出手段は前記フィルムの当接による電気回
路開閉器を連動ンせるようにしたことを特徴とする特許
請求の範囲第1極に1歳の嬉光藤flll。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56102935A JPS584150A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56102935A JPS584150A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS584150A true JPS584150A (ja) | 1983-01-11 |
Family
ID=14340694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56102935A Pending JPS584150A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS584150A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63144635U (ja) * | 1987-03-13 | 1988-09-22 | ||
| JPH0347794A (ja) * | 1989-07-14 | 1991-02-28 | Murata Mfg Co Ltd | スクリーン印刷方法、印刷版の製造方法及びそれらのための装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5485679A (en) * | 1977-12-20 | 1979-07-07 | Canon Inc | Wafer aligning unit |
-
1981
- 1981-06-30 JP JP56102935A patent/JPS584150A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5485679A (en) * | 1977-12-20 | 1979-07-07 | Canon Inc | Wafer aligning unit |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63144635U (ja) * | 1987-03-13 | 1988-09-22 | ||
| JPH0347794A (ja) * | 1989-07-14 | 1991-02-28 | Murata Mfg Co Ltd | スクリーン印刷方法、印刷版の製造方法及びそれらのための装置 |
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