JPS5844837U - 熱処理用基板保持具 - Google Patents
熱処理用基板保持具Info
- Publication number
- JPS5844837U JPS5844837U JP14127581U JP14127581U JPS5844837U JP S5844837 U JPS5844837 U JP S5844837U JP 14127581 U JP14127581 U JP 14127581U JP 14127581 U JP14127581 U JP 14127581U JP S5844837 U JPS5844837 U JP S5844837U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate holder
- substrate
- heat treatment
- predetermined distance
- insertion groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図Ａは従来の熱処理用基板保持具の一例を示す平面
図、第１図Ｂは第１図ＡのＩＢ−ＩＢ線での断面図、第
１図Ｃは第１図ＡのＩＣ−ＩＣ線での断面図、４第２図
ＡおよびＢはそれぞれ半導体基板が保持された上記従来
例の基板保持具を熱処理炉に挿入する際の状態を熱処理
炉を断面にして８示す羊面図および側面区ミ第３図は第
２図Ａの■−ｍ線での拡大断面図、第４図Ａはこの考案
の一一実施例の熱処理用基板保持具を示す平面図、第４
図Ｂは第４図ＡのＩＶＢ−（ＶＢ線での断面図、第４図
Ｃは第４図ＡのＩＶＣ−ＩＶＣ線での断面図である。 図において、１ａおよび１ｂはそれぞれ第１および第２
の基板保持棒（第１および第２の基板保 ゛特休）
、２ａおよび２ｂはそれぞれ第１および第２の基板挿入
＠、 ３’ａお・よび３ｂ−はそれぞれ第１および第２
の支持棒（第１および第２の基板保持体）、５は連結丸
棒、５７は車輪である。なお、図下同一符号はそれぞれ
同一もしくは相当部分を示す。 （Ａ） ｎｒｃ ３ａ ２ａ −１ ３ｋ ２４−Ａ ｖｒ 鳶 −、′ ＩＪＡＺＡ ＪＡ
図、第１図Ｂは第１図ＡのＩＢ−ＩＢ線での断面図、第
１図Ｃは第１図ＡのＩＣ−ＩＣ線での断面図、４第２図
ＡおよびＢはそれぞれ半導体基板が保持された上記従来
例の基板保持具を熱処理炉に挿入する際の状態を熱処理
炉を断面にして８示す羊面図および側面区ミ第３図は第
２図Ａの■−ｍ線での拡大断面図、第４図Ａはこの考案
の一一実施例の熱処理用基板保持具を示す平面図、第４
図Ｂは第４図ＡのＩＶＢ−（ＶＢ線での断面図、第４図
Ｃは第４図ＡのＩＶＣ−ＩＶＣ線での断面図である。 図において、１ａおよび１ｂはそれぞれ第１および第２
の基板保持棒（第１および第２の基板保 ゛特休）
、２ａおよび２ｂはそれぞれ第１および第２の基板挿入
＠、 ３’ａお・よび３ｂ−はそれぞれ第１および第２
の支持棒（第１および第２の基板保持体）、５は連結丸
棒、５７は車輪である。なお、図下同一符号はそれぞれ
同一もしくは相当部分を示す。 （Ａ） ｎｒｃ ３ａ ２ａ −１ ３ｋ ２４−Ａ ｖｒ 鳶 −、′ ＩＪＡＺＡ ＪＡ
Claims (1)
- 所定距離をおいて互いに対向するように配設された第１
および第２の基板保持体、これらの第１ｉよび第２の基
板保持休めそれぞれの対向面部に互いに対をなＣ順法所
定間隔をおいて設けられ１周縁の六部分が挿入された半
導体基板を保持する基板挿入溝、上記第１および第２の
基輯堡特体め上記基板挿入溝が形成されていない部分に
上記第１および笹２の基板保持体を連結するように設け
られた少な、くと−１本の痩結丸棒、および上記各連結
先棒の上記墳１の基板保持体側の端部まｉコは上記第２
の基板保持体側の端部に交互に千鳥形状に装着された回
転可能な車輪を備えた熱処理用基板保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14127581U JPS5844837U (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 熱処理用基板保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14127581U JPS5844837U (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 熱処理用基板保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5844837U true JPS5844837U (ja) | 1983-03-25 |
Family
ID=29934385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14127581U Pending JPS5844837U (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 熱処理用基板保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5844837U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61108172U (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-09 |
-
1981
- 1981-09-21 JP JP14127581U patent/JPS5844837U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61108172U (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-09 |
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