JPS5840835U - 熱処理用基板保持具 - Google Patents

熱処理用基板保持具

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Publication number
JPS5840835U
JPS5840835U JP13568681U JP13568681U JPS5840835U JP S5840835 U JPS5840835 U JP S5840835U JP 13568681 U JP13568681 U JP 13568681U JP 13568681 U JP13568681 U JP 13568681U JP S5840835 U JPS5840835 U JP S5840835U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
heat treatment
substrate holder
holders
round bars
Prior art date
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Pending
Application number
JP13568681U
Other languages
English (en)
Inventor
今仲　清治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPS5840835U publication Critical patent/JPS5840835U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図Ａは従来の熱処理用基板保持具の一例を示す平面
図、第１図Ｂは第１図ＡのＩＢ−ＩＢ線での断面図、第
１図Ｃは第１図ＡのＩＣ−ＩＣ線での断面図、第２図Ａ
およびＢはそれぞれ半導体基板が保持された上記従来例
の基板保持具を熱処理炉に挿入する際の状態を熱処理炉
を断面にして示す平面図および側面図、第３図は第２図
Ａの■−■線での拡大断面図、第４図Ａはこの考案の一
実施例の熱処理用基板保持具を示す平面図、第４図Ｂは
第４図ＡのＩＶＢ−ＩＶＢ線での断面図、第４図Ｃは第
４図ＡのＩＶＣ−ＩＶＣ線での断面図である。 図において、１ａおよび１ｂはそれぞれ第１および第２
の基板保持棒（第１および第２の基板保持体）、２ａお
よび２ｂはそれぞれ第１および第２の基板挿入溝、３ａ
および３ｂはそれぞれ第１および第２の支持棒（第１お
よび第２の基板保持体）、５は連結丸棒、５７は車輪で
ある。なお、図中同一符号はそれぞれ同一もしくは相当
部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 所定距離をおいて互いに対向するように配設された第１
    および第２の基板保持体、これらの第１および第２の基
    板保持体のそれぞれの対向面部に互いに対をなし順次所
    定間隔をおいて設けられ周縁の一部分が挿入された半導
    体基板を保持する基板挿入溝、上記第１および第２の基
    板保持体の上記基板挿入溝が形成されていない部分に上
    記第１および第２の基板保持体を連結するように設けら
    れた少なくとも２本の連結丸棒、および上記各連結丸棒
    の両端部に互いに独立して回転できるように装着された
    車輪を備えた熱処理用基板保持具。
JP13568681U 1981-09-12 1981-09-12 熱処理用基板保持具 Pending JPS5840835U (ja)

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JP13568681U JPS5840835U (ja) 1981-09-12 1981-09-12 熱処理用基板保持具

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JPS5840835U true JPS5840835U (ja) 1983-03-17

Family

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