JPS5847885B2 - 振動子の支持構造 - Google Patents
振動子の支持構造Info
- Publication number
- JPS5847885B2 JPS5847885B2 JP51008673A JP867376A JPS5847885B2 JP S5847885 B2 JPS5847885 B2 JP S5847885B2 JP 51008673 A JP51008673 A JP 51008673A JP 867376 A JP867376 A JP 867376A JP S5847885 B2 JPS5847885 B2 JP S5847885B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- support structure
- electrode
- piezoelectric vibrator
- oscillator support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0504—Holders or supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0509—Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of adhesive elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は水晶振動子等の結晶あるいはセラミック等の振
動子の支持構造に関するものである。
動子の支持構造に関するものである。
水晶振動子の従来の支持構造は一般に、第1図に示すよ
うに、振動子の相対する金属電極膜2,3に先端を二重
に巻いた金属弾性支持線4,4lで挾持し半田等で接着
し、基台5にガラス等で絶縁して外部端子6を引き出す
構造になっている。
うに、振動子の相対する金属電極膜2,3に先端を二重
に巻いた金属弾性支持線4,4lで挾持し半田等で接着
し、基台5にガラス等で絶縁して外部端子6を引き出す
構造になっている。
しかしながらこのようにして構成された圧電振動子は、
前記した金属弾性支持線4,4lのバネ圧が強ければ、
振動子へ働く応力が大きく振動子のQ値の低下となり、
バネ圧か弱けれは、外部からの衝撃に弱く、また金属電
極膜2,3と金属弾性支持線4l,4との導電性接着は
振動の粘性による減衰を生じせしめ振動子のQ値の低下
が大きく、特に近年注目されている腕時計用など小型形
状のものでは応用することが難しい。
前記した金属弾性支持線4,4lのバネ圧が強ければ、
振動子へ働く応力が大きく振動子のQ値の低下となり、
バネ圧か弱けれは、外部からの衝撃に弱く、また金属電
極膜2,3と金属弾性支持線4l,4との導電性接着は
振動の粘性による減衰を生じせしめ振動子のQ値の低下
が大きく、特に近年注目されている腕時計用など小型形
状のものでは応用することが難しい。
本発明は腕時計用など特に小型形状の圧電振動子の支持
構造で、前記した従来技術の欠点を鑑みこれを克服した
ものである。
構造で、前記した従来技術の欠点を鑑みこれを克服した
ものである。
以下、図面にしたがって説明する。
第2図は本発明の一実施例を示す斜視図で、封止用ケー
スの上側キャップが省略してある。
スの上側キャップが省略してある。
第2図は圧電振動子板で図では、矩形状をしているが、
円板状あるいは、それらにコンベッグス加工,べベル加
工などを施したものでも良い。
円板状あるいは、それらにコンベッグス加工,べベル加
工などを施したものでも良い。
2は金属電極膜で引き出し用に圧電振動子板の端部まで
延ばして形成し、振動子の裏側にも対称に形成してある
。
延ばして形成し、振動子の裏側にも対称に形成してある
。
3,4,5.6は絶縁性部材で弾性を有するものあるい
はプラスチック樹脂材料を用いれば良い。
はプラスチック樹脂材料を用いれば良い。
そして3,5は下側の基台9に、4,6は上側のキャッ
プ(後述する第3図中の10)に各々あらかじめ圧電振
動子1及び電極引き出し線7等に対応して位置決めして
装着されており、それぞれの形状は封入用キャップ10
、基台9の内側の形状と、圧電振動子1の形状、及び電
極引き出し線7、外部引き出し線8などを考慮してそれ
ぞれ第4図a ,b ,c ,dのようにするが(ここ
でa1, b1, c1, d1は平面図をa2,b2
,c2,d2は側面図を、a3,b3,C3,d3は正
面図を示す。
プ(後述する第3図中の10)に各々あらかじめ圧電振
動子1及び電極引き出し線7等に対応して位置決めして
装着されており、それぞれの形状は封入用キャップ10
、基台9の内側の形状と、圧電振動子1の形状、及び電
極引き出し線7、外部引き出し線8などを考慮してそれ
ぞれ第4図a ,b ,c ,dのようにするが(ここ
でa1, b1, c1, d1は平面図をa2,b2
,c2,d2は側面図を、a3,b3,C3,d3は正
面図を示す。
)、これらの場合これら絶縁性部材と振動子の間で互い
に応力を作用させることは前記したように振動子の振動
抑止力となるので、第3図に示すように振動子体として
安置させた場合、振動子1と絶縁性部材4,6の上下方
向の接触部及び振動子1と絶縁性部材3,4,5.6の
左右方向の接触部はそれぞれ数μmから数百μmの空間
的余裕があるようにする。
に応力を作用させることは前記したように振動子の振動
抑止力となるので、第3図に示すように振動子体として
安置させた場合、振動子1と絶縁性部材4,6の上下方
向の接触部及び振動子1と絶縁性部材3,4,5.6の
左右方向の接触部はそれぞれ数μmから数百μmの空間
的余裕があるようにする。
したがってこの絶縁性部材は、振動子のあらゆる方向へ
の移動を許し、あらゆる方向からの外力から振動子を保
護し、振動子を支持する機能を有する。
の移動を許し、あらゆる方向からの外力から振動子を保
護し、振動子を支持する機能を有する。
振動子の電極引き出しは、ワイヤボンデイングなどで電
極金属膜2と外部引き出し線8とを接続した細線7で行
ない、対向電極も同様に構成する。
極金属膜2と外部引き出し線8とを接続した細線7で行
ない、対向電極も同様に構成する。
なおこの電極金属膜2と外部引き出し線8との接続は金
属リボンの電極金属膜2への溶接を利用することも出来
る。
属リボンの電極金属膜2への溶接を利用することも出来
る。
圧電振動子体としての組立ては、第3図で基台9に装着
されている絶縁性部材3,5の凹部に圧電振動子を固定
し、前記電極引き出しの配線をする、しかる後、絶縁性
部材4,6が装着してある上側キャンプ10を圧着ある
いは半田などで封止する。
されている絶縁性部材3,5の凹部に圧電振動子を固定
し、前記電極引き出しの配線をする、しかる後、絶縁性
部材4,6が装着してある上側キャンプ10を圧着ある
いは半田などで封止する。
このようにして構成した圧電振動子体の電極引き出し線
7は、その柔軟性ゆえに振動子を介して振動子に応力を
与えることが無く、振動子電極金属膜との接続部も従来
法に比べて十分小さいため従来接着量が多くてまねいて
いたQ値の低下を引き起さず、絶縁性部材と振動子の上
下方向と左右方向の空間のために支持による応力を受け
ず、衝撃に対して振動子の電極オープン,破損が無く小
型振動子体を得ることができる。
7は、その柔軟性ゆえに振動子を介して振動子に応力を
与えることが無く、振動子電極金属膜との接続部も従来
法に比べて十分小さいため従来接着量が多くてまねいて
いたQ値の低下を引き起さず、絶縁性部材と振動子の上
下方向と左右方向の空間のために支持による応力を受け
ず、衝撃に対して振動子の電極オープン,破損が無く小
型振動子体を得ることができる。
第1図は、従来の振動子支持構造を示す。
第2図は、本発明振動子構造の斜視図を示す。
1・・・・・・圧電振動子、2・・・・・・金属電極膜
、3,4,5,6・・・・・・絶縁性部材、7・・・・
・・電極引き出し線、8・・・・・・外部電極引き出し
線、9・・・・・・基台。 第3図は、本発明振動子構造の上側キャップ、絶縁性部
材、圧電振動子、基台の断面図を示す。 第4図は、本発明実施例の絶縁性部材の平面外形図を示
す。
、3,4,5,6・・・・・・絶縁性部材、7・・・・
・・電極引き出し線、8・・・・・・外部電極引き出し
線、9・・・・・・基台。 第3図は、本発明振動子構造の上側キャップ、絶縁性部
材、圧電振動子、基台の断面図を示す。 第4図は、本発明実施例の絶縁性部材の平面外形図を示
す。
Claims (1)
- 1 振動子および振動子封止ケースを有し、前記振動子
封止ケースは、上側キャンプおよひ下側基台で構或され
、前記上側キャップおよひ下側基台の各々に、絶縁性部
材を装着し、各々の前記絶縁性部材の間に前記振動子を
空間的余裕を残して挿入することを特徴とする振動子の
支持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51008673A JPS5847885B2 (ja) | 1976-01-29 | 1976-01-29 | 振動子の支持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51008673A JPS5847885B2 (ja) | 1976-01-29 | 1976-01-29 | 振動子の支持構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5291687A JPS5291687A (en) | 1977-08-02 |
| JPS5847885B2 true JPS5847885B2 (ja) | 1983-10-25 |
Family
ID=11699439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51008673A Expired JPS5847885B2 (ja) | 1976-01-29 | 1976-01-29 | 振動子の支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5847885B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1271556A (en) * | 1984-12-19 | 1990-07-10 | Geoffrey C. Herrick | Constraining mount system for surface acoustic wave devices |
| JP5396780B2 (ja) * | 2008-09-05 | 2014-01-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
| JP5510414B2 (ja) * | 2011-08-23 | 2014-06-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS517772A (ja) * | 1974-06-15 | 1976-01-22 | Matsushita Electric Works Ltd | Furitsukaresugatahodentotentosochi |
-
1976
- 1976-01-29 JP JP51008673A patent/JPS5847885B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5291687A (en) | 1977-08-02 |
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