JPS5848013A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS5848013A JPS5848013A JP56147204A JP14720481A JPS5848013A JP S5848013 A JPS5848013 A JP S5848013A JP 56147204 A JP56147204 A JP 56147204A JP 14720481 A JP14720481 A JP 14720481A JP S5848013 A JPS5848013 A JP S5848013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- kaleidoscope
- light
- laser device
- face
- laser
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/02—Viewing or reading apparatus
- G02B27/08—Kaleidoscopes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Radiation-Therapy Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ装置に係わ9、特に被照射体における照
射レーザ光の強度分布が一様になるようにレーデ光を出
力できるレーザ装置に、関するものである。
射レーザ光の強度分布が一様になるようにレーデ光を出
力できるレーザ装置に、関するものである。
現在、レーザに関する技術の発展には著しいものがあり
、各種の分野においてその応用が試みられている。
、各種の分野においてその応用が試みられている。
その一つとして生体表面の母斑(例えばアザ。
シミ、ソバカスなど)の治療にレーザ装&’に用いる方
法が提案され、試験的に実施嘔れつつあり、その有効性
が報告されている。
法が提案され、試験的に実施嘔れつつあり、その有効性
が報告されている。
ところで、従来のアザの治療には電気乾固法で焼く方法
や、ドライアイス等を用いた細胞破壊、或いは切除、薄
く削るなどの方法や、皮膚移植などの多くの治療法があ
るが、いずれも侵襲が大きく、治療に苦痛を伴なう他、
治療期間も長く、しかもその効果も思わしくないなどの
欠点がおり、入院の必要がある場合もあった。
や、ドライアイス等を用いた細胞破壊、或いは切除、薄
く削るなどの方法や、皮膚移植などの多くの治療法があ
るが、いずれも侵襲が大きく、治療に苦痛を伴なう他、
治療期間も長く、しかもその効果も思わしくないなどの
欠点がおり、入院の必要がある場合もあった。
これに対し、レーザ光により患部を焼く方法では侵襲が
少なく、従って苦痛が少ないなどの長所があるものの、
レーザビームの進行方向に対して面角の断面における光
強度分布は一般に均一で無く、従って、その不均一性の
ために生体表面にレーザビームを照射した場合・照射ム
ラを生じて期待した治療結果が得にくい場合もありた。
少なく、従って苦痛が少ないなどの長所があるものの、
レーザビームの進行方向に対して面角の断面における光
強度分布は一般に均一で無く、従って、その不均一性の
ために生体表面にレーザビームを照射した場合・照射ム
ラを生じて期待した治療結果が得にくい場合もありた。
即ち、現在、レーデによる治療では大きく分けてレーザ
光を面接患部に照射する方法とレーザ光を元ファイバな
どの導光体により導き、患部に照射する方法が存在する
が・前者の方法では照射でれるレーザ光はその九強反分
布が中心附近で強く、外周にゆくほど弱い凸形の分布を
呈している。
光を面接患部に照射する方法とレーザ光を元ファイバな
どの導光体により導き、患部に照射する方法が存在する
が・前者の方法では照射でれるレーザ光はその九強反分
布が中心附近で強く、外周にゆくほど弱い凸形の分布を
呈している。
また1後者の方式ではファイバの出力端面よ)出射する
レーザ光はファイバの特性により決まるファーフィール
トノ母ターンな持っており、ファイバ出力端面と患部と
の距離により、出射されるレーザ光の光強度分布の形は
複雑に変化し、均一な分布のレーザ光を得ることは不可
能である。
レーザ光はファイバの特性により決まるファーフィール
トノ母ターンな持っており、ファイバ出力端面と患部と
の距離により、出射されるレーザ光の光強度分布の形は
複雑に変化し、均一な分布のレーザ光を得ることは不可
能である。
従って、いずれの方法も照射ムラを生ずる根本的な原因
’に!している。
’に!している。
そこで、このような欠点を解消すべく開発されたものが
以下に述べるカライドスコープである。カライドスコー
プを用いる方法は照射野内にほぼ均一な光強度分布でレ
ーザ光を照射することができ、照射野の形状も任意に遠
足できるなどの特徴を持っておシ、またカライドスコー
プの光出射端面から出射される光は自由空間中では急激
に拡がって単位面積尚りの出力も急激に減衰し、しかも
出力光はコヒーレント性を失なうため・誤まって体、特
に目に入った場合などでの安全性が高いと云う長所もあ
ることからアザなどの治療に対し理想的な方法である。
以下に述べるカライドスコープである。カライドスコー
プを用いる方法は照射野内にほぼ均一な光強度分布でレ
ーザ光を照射することができ、照射野の形状も任意に遠
足できるなどの特徴を持っておシ、またカライドスコー
プの光出射端面から出射される光は自由空間中では急激
に拡がって単位面積尚りの出力も急激に減衰し、しかも
出力光はコヒーレント性を失なうため・誤まって体、特
に目に入った場合などでの安全性が高いと云う長所もあ
ることからアザなどの治療に対し理想的な方法である。
カライドスコープはアクリルや光学ガラ艮などにより作
られた透明な棒状の光伝達体で両端面は平らで側周は滑
らかに形成してあり、導光過程中に元をランダム化させ
る一種の導光路であるが、内部における反射のさせ方に
は二つの方式がめる〇 即ち、導光路を管状とし、その中空の導光路内面に反射
膜を形成したものと、導光路は柱状とし、その柱状の導
光路内の全反射を利用したものとの二種である。
られた透明な棒状の光伝達体で両端面は平らで側周は滑
らかに形成してあり、導光過程中に元をランダム化させ
る一種の導光路であるが、内部における反射のさせ方に
は二つの方式がめる〇 即ち、導光路を管状とし、その中空の導光路内面に反射
膜を形成したものと、導光路は柱状とし、その柱状の導
光路内の全反射を利用したものとの二種である。
これらのうち、前者の反射膜を用いた管状力5−
ライドスコープの特徴は
(リ 管状に刀■工しその内面に反射膜含形成すること
が製作上船しい。
が製作上船しい。
(2) 反射膜の反射率を高くするほどカライドスコ
ープの元の低損失化、2強度分布の均−化及び軸長の短
縮化を図ることができるが、実際には遠赤外線領域及び
近赤外線領域で元の反射率が97〜95チ、また可視領
域で九の反射率が93〜90%程度であシ、柱状のカラ
イドスコープよりも元学的諸特性は劣る。
ープの元の低損失化、2強度分布の均−化及び軸長の短
縮化を図ることができるが、実際には遠赤外線領域及び
近赤外線領域で元の反射率が97〜95チ、また可視領
域で九の反射率が93〜90%程度であシ、柱状のカラ
イドスコープよりも元学的諸特性は劣る。
(3)反射膜の劣化がある。
(4)機械的強度は柱状のカライドスコープにくらべ優
れている。
れている。
などである。
一万、柱状のカライドスコープの特徴は(リ 精度良く
那工でき、反射膜會必喪としない。
那工でき、反射膜會必喪としない。
(2)全反射のため低損失で光強度分布の高い均−注を
実現でき、しかも長さの短いカライドスコープを得るこ
とができる。
実現でき、しかも長さの短いカライドスコープを得るこ
とができる。
6−
(3) )g射部の劣化が無い。
(4)利用できる高光透過性の素材が少ない。
まfC機緘的強度は管状のカライドスコープにくらべて
劣る。
劣る。
などである。
従って、このようなことから管状カライドスコー1は遠
赤外線領域のレーザ光における光強度分布の均一化に対
しての利用が可能であるが、柱状のカライドスコープは
遠赤外領域から可視領域にわ几る全領域での光強度分布
の均一化が可能であり、光学的緒特性はすべての面で管
状のものよりeれでいると云える。
赤外線領域のレーザ光における光強度分布の均一化に対
しての利用が可能であるが、柱状のカライドスコープは
遠赤外領域から可視領域にわ几る全領域での光強度分布
の均一化が可能であり、光学的緒特性はすべての面で管
状のものよりeれでいると云える。
さて、管状、柱状のカライドスコ−1はいずれもレンズ
或いは元ファイバに代衣さり、る導光路のうち少なくと
も1つを必要とし、各々W1図に示すようにレーザ光の
平行光線を凸レンズ1や凹レンズ4などのレンズ系或い
は元ファイバ21fCはそれとレンズ両刀を通して拡が
9角含拡げ、拡がシが拡大されたレーザ光とした後、カ
ライドスコーf3を通すが一般的にこのようi丸字部品
の入射端面では大部分の光束が通過するものの一部の光
束は入射端面上で反射するので、この分が一部の損失と
なる。
或いは元ファイバに代衣さり、る導光路のうち少なくと
も1つを必要とし、各々W1図に示すようにレーザ光の
平行光線を凸レンズ1や凹レンズ4などのレンズ系或い
は元ファイバ21fCはそれとレンズ両刀を通して拡が
9角含拡げ、拡がシが拡大されたレーザ光とした後、カ
ライドスコーf3を通すが一般的にこのようi丸字部品
の入射端面では大部分の光束が通過するものの一部の光
束は入射端面上で反射するので、この分が一部の損失と
なる。
例えば、石英レンズや石英光ファイバの端面では光反射
を抑える光反射防止膜(ARココ−ィング)を施こして
おかないと面一箇所あたり3〜5%程度の表面反射が発
生する。
を抑える光反射防止膜(ARココ−ィング)を施こして
おかないと面一箇所あたり3〜5%程度の表面反射が発
生する。
実際には入射面があれば出射面があるわけであるから3
〜5q6の2倍、すなわち6〜10チ程度の損失がレン
ズ、元ファイバで生じ、カライドスコープでも同様のこ
とが起こる。
〜5q6の2倍、すなわち6〜10チ程度の損失がレン
ズ、元ファイバで生じ、カライドスコープでも同様のこ
とが起こる。
従って、レーザ 装置全体から見た時の光伝搬効率はレ
ンズや元ファイバなどの介在物が少ないほど向上するこ
とになる。
ンズや元ファイバなどの介在物が少ないほど向上するこ
とになる。
ところが、例えば第1図(a)に示すようなレンズ1と
柱状のカライドスコープ3より成るものでは九の全損失
は12〜20%程度で比較的良好な低損失性を示すが、
元ファイバ等によるレーザ光源〃・らの導光系が存在し
ないので、丸字系が固定化され、治療時の操作性が劣る
欠点がある。
柱状のカライドスコープ3より成るものでは九の全損失
は12〜20%程度で比較的良好な低損失性を示すが、
元ファイバ等によるレーザ光源〃・らの導光系が存在し
ないので、丸字系が固定化され、治療時の操作性が劣る
欠点がある。
また、第1図(b)に示すような元ファイバ2と柱状の
カライドスコープ3よシ成るものでは光の全損失はやは
り12〜20%程就で低損失であり、元ファイバによる
導光糸が可撓性に富むことなどから治療時にカライドス
コープ3透所望の位置に操作でき、操作性が良いが・反
面、元ファイバ2から出射されるレーザ光の拡がシ角が
レンズを用いた場合よりも小さく、このため、カライド
スコープの軸長全長くしないと十分な光強度分布の均一
化を図ることができない。
カライドスコープ3よシ成るものでは光の全損失はやは
り12〜20%程就で低損失であり、元ファイバによる
導光糸が可撓性に富むことなどから治療時にカライドス
コープ3透所望の位置に操作でき、操作性が良いが・反
面、元ファイバ2から出射されるレーザ光の拡がシ角が
レンズを用いた場合よりも小さく、このため、カライド
スコープの軸長全長くしないと十分な光強度分布の均一
化を図ることができない。
即チ、レンズを用いた時の拡がシ角會θl 1元ファイ
バを用いたときの拡がシ角全02としたとき、同じ均一
度を得るために必要なカライドスコーグ軸長全各々Xl
、X2とすると次式が成立する。
バを用いたときの拡がシ角全02としたとき、同じ均一
度を得るために必要なカライドスコーグ軸長全各々Xl
、X2とすると次式が成立する。
X1tanθl −X 2 tan θ2
”’ (リ一般的に直光透過率の素材は高価
であることから元ファイバ固有の元払がり角だけではカ
ライドスコープ長が長くなり、高価なものとなう9− てしまう。そこで考えられるのが第1図(c)に示す元
ファイバ2と凹レンズ40両刀を用いる方式である。
”’ (リ一般的に直光透過率の素材は高価
であることから元ファイバ固有の元払がり角だけではカ
ライドスコープ長が長くなり、高価なものとなう9− てしまう。そこで考えられるのが第1図(c)に示す元
ファイバ2と凹レンズ40両刀を用いる方式である。
一般にこの方式では十分な拡がp角を得ることができ、
カライドスコープ長も短くすることことからこれによる
光損失が増大して全体としての損失は18〜30fDK
:もなってしまい効率の点で問題が残る。
カライドスコープ長も短くすることことからこれによる
光損失が増大して全体としての損失は18〜30fDK
:もなってしまい効率の点で問題が残る。
本発明は上記事情に鑑みて成さj、たもので柱状のカラ
イドスコープを用いて出射レーザ光の光強匿分布均−化
合図るレーザ装置において・レーザ光を元ファイバによ
り導くようレヒすると共に前記カライドスコープのレー
ザ光入射端面を凹面状に形成し、ここに元ファイバから
のレーザ光を入射することによって九の拡がりを大きく
し、光強に分布の均−化機舵や操作性を損なうことなく
九の伝達効率を高め、また、カライドスコープの断面形
状’1ePfr望の形状とすると10− とによシ、照射野(照射しているレーザビームの被照射
体における眺j、囲)の形状を所望とする形状に効率よ
く変挨して朋射L2得るレーザ装仏を提供することを目
的とする。
イドスコープを用いて出射レーザ光の光強匿分布均−化
合図るレーザ装置において・レーザ光を元ファイバによ
り導くようレヒすると共に前記カライドスコープのレー
ザ光入射端面を凹面状に形成し、ここに元ファイバから
のレーザ光を入射することによって九の拡がりを大きく
し、光強に分布の均−化機舵や操作性を損なうことなく
九の伝達効率を高め、また、カライドスコープの断面形
状’1ePfr望の形状とすると10− とによシ、照射野(照射しているレーザビームの被照射
体における眺j、囲)の形状を所望とする形状に効率よ
く変挨して朋射L2得るレーザ装仏を提供することを目
的とする。
以下・本発明の一実施例について図面を径照しながら説
明する。
明する。
第2図に示すようにレーザ光源よりレーザ光を導く元フ
ァイバ21とこの導かれたレーザ光が入射される柱状の
カライドスコープ22から成る構成では例えば元ファイ
バ21の出力端21hから01なる角度なもって出射さ
れた元はnl なる屈折率を持つ空間中を伝搬した後、
nz’fiる屈折率を持つ柱状のカライドスコ・−12
2に入射することとなるが、この時、元ファイバ21か
ら出射したレーザ光の光束がカライドスコープ22内に
入ると次式(2)で六わされる角度θ2に変俣さnる。
ァイバ21とこの導かれたレーザ光が入射される柱状の
カライドスコープ22から成る構成では例えば元ファイ
バ21の出力端21hから01なる角度なもって出射さ
れた元はnl なる屈折率を持つ空間中を伝搬した後、
nz’fiる屈折率を持つ柱状のカライドスコ・−12
2に入射することとなるが、この時、元ファイバ21か
ら出射したレーザ光の光束がカライドスコープ22内に
入ると次式(2)で六わされる角度θ2に変俣さnる。
n 1m、θI:n2S!+102 ”
’ (2)ここで上記空間が空気中であるものとすると
nl ζlでろるから、 。1 〈。2 °−
(3)であり、したがって sinθ2 く8石θ1
°−(4)こね、よシ θ2〈θl ・・・(5)即
ち、柱状のカライドスコープ内での元の拡がシ角θ2は
θl よりも小さくなってしまう。
’ (2)ここで上記空間が空気中であるものとすると
nl ζlでろるから、 。1 〈。2 °−
(3)であり、したがって sinθ2 く8石θ1
°−(4)こね、よシ θ2〈θl ・・・(5)即
ち、柱状のカライドスコープ内での元の拡がシ角θ2は
θl よりも小さくなってしまう。
つま)、光の拡がシ角が小でいと云うことは同じ元強度
分布均一度を得るのに長さの長いカライドスコープが必
要であることを意味するわけであり、カライドスコープ
の素材が高いだけにこれによシ高価なものになってしま
う。
分布均一度を得るのに長さの長いカライドスコープが必
要であることを意味するわけであり、カライドスコープ
の素材が高いだけにこれによシ高価なものになってしま
う。
そこで第3図に示すように柱状のカライドスコー7′2
20元入射端面22hを22bで示すように凹面状に形
成してここで凹レンズの効果會得るようにすることが考
えられる。
20元入射端面22hを22bで示すように凹面状に形
成してここで凹レンズの効果會得るようにすることが考
えられる。
柱状のカライ5..ド子コー122の光入射端面22a
を凹面状にする利点は上記(5)式で示される拡が9角
の関係を θ2ζθl ・・・(6)ある
いは θ2 〉θ1 ・・・(
7)なる拡がり角θ2にすることができると太うことで
ある。
を凹面状にする利点は上記(5)式で示される拡が9角
の関係を θ2ζθl ・・・(6)ある
いは θ2 〉θ1 ・・・(
7)なる拡がり角θ2にすることができると太うことで
ある。
即ち、第4図に示すように元ファイバ21の出力端21
aからθlなる拡がシ角で出射されたレーザ光が柱状の
カライドスコープ22の光入射端面22thに形成され
た凹面部22bの法線に対してξなる角度でカライドス
コーf22に入射したとすると、カライドスコープ22
中の光束と凹面部22bの法線との成す角η及び柱状の
カライドスコープ22内の元来とこのカライドスコーf
22の中心軸との成す角θ2は次のような関係となる。
aからθlなる拡がシ角で出射されたレーザ光が柱状の
カライドスコープ22の光入射端面22thに形成され
た凹面部22bの法線に対してξなる角度でカライドス
コーf22に入射したとすると、カライドスコープ22
中の光束と凹面部22bの法線との成す角η及び柱状の
カライドスコープ22内の元来とこのカライドスコーf
22の中心軸との成す角θ2は次のような関係となる。
θ2=ξ−η ・・・(8)nss
in(θ1−ξ )==n2sin η
・ (9ンしたがって θ2=ξ−5ln−’ (”’ sin (θ1−ξ)
)・・・αQ2 上式<11の意味するところはカライドスコープ22中
の光束拡がり角θ2はξの影響を受ける13− と云うことであシ、それはすなわち凹面部22bの形状
により左右されると云うことでおる。
in(θ1−ξ )==n2sin η
・ (9ンしたがって θ2=ξ−5ln−’ (”’ sin (θ1−ξ)
)・・・αQ2 上式<11の意味するところはカライドスコープ22中
の光束拡がり角θ2はξの影響を受ける13− と云うことであシ、それはすなわち凹面部22bの形状
により左右されると云うことでおる。
ここで−例をあげると、凹面部22bの曲面形状を球面
としその球体中心に元ファイバ21の出力端が位置する
ものと[7て光ファイバ21から17°の角度で出射し
たレーザ光の光束がξ=36°の点に入射した場合・屈
折率n = 1.5のもとではη=−12°となり、θ
2=48°となってカライドスコープ22内に48°の
拡がシ角でレーザ光が入ることとなる。
としその球体中心に元ファイバ21の出力端が位置する
ものと[7て光ファイバ21から17°の角度で出射し
たレーザ光の光束がξ=36°の点に入射した場合・屈
折率n = 1.5のもとではη=−12°となり、θ
2=48°となってカライドスコープ22内に48°の
拡がシ角でレーザ光が入ることとなる。
従って柱状のカ光入射端面−1220元入射端面22*
f凹面状にすることにより、カライドスコープ22中の
光束拡がシ角02をθlに近づけることができ、或いは
θlよ)も太きくすることができることになり、短いカ
ライドスコープ長にて光強度分布の良好な均一化特性を
得ることができ、しかも透明なカライドスコープ用の素
材も少なくて済むことになる。
f凹面状にすることにより、カライドスコープ22中の
光束拡がシ角02をθlに近づけることができ、或いは
θlよ)も太きくすることができることになり、短いカ
ライドスコープ長にて光強度分布の良好な均一化特性を
得ることができ、しかも透明なカライドスコープ用の素
材も少なくて済むことになる。
ここで、カライドスコーf22の光入射端面に形成する
凹面部の形状を球面とすることによ14− リ、次のような特性が得られる。
凹面部の形状を球面とすることによ14− リ、次のような特性が得られる。
即ち、元ファイバ21の出力端位tv前記球面の球体中
心とすることによりθ1と02が等しくなり・元ファイ
バ21から出射される光はすべてカライドスコープ22
の光入射端22aの凹面部に対し垂直に入射することか
ら、反射損失を最小とすることができることである。す
なわち、球体中心に元ファイバ21の出力端21hがあ
る場合、 θl −ξ ・・・0
ηこれを前記式0りに代入すると θ2:ξ工θ1 ・・・04−万、
光面反射率をTE波、TM波それぞれに対しRTゆ’
RTMとすると ”・RTK ”” RTM
・・・αカー万、前記式α1及び0→の最小値を求める
と次のようになる。即ち、 θ′=θl−ξ ・・・(喝とし
て とするとRTI8はθ′二〇のとき最小となり、R7M
JP はθ’=jan のとき最小となる。
心とすることによりθ1と02が等しくなり・元ファイ
バ21から出射される光はすべてカライドスコープ22
の光入射端22aの凹面部に対し垂直に入射することか
ら、反射損失を最小とすることができることである。す
なわち、球体中心に元ファイバ21の出力端21hがあ
る場合、 θl −ξ ・・・0
ηこれを前記式0りに代入すると θ2:ξ工θ1 ・・・04−万、
光面反射率をTE波、TM波それぞれに対しRTゆ’
RTMとすると ”・RTK ”” RTM
・・・αカー万、前記式α1及び0→の最小値を求める
と次のようになる。即ち、 θ′=θl−ξ ・・・(喝とし
て とするとRTI8はθ′二〇のとき最小となり、R7M
JP はθ’=jan のとき最小となる。
ところが、元ファイバを用いた場合N光ファイバから出
射される元はTE波とTM波の合成された元として扱え
るから元ファイノ9開口数NAで規定される拡が9角内
で反射率を論じる、場合、RTつとRTMの和が最小と
なる角度を求める必要がある。
射される元はTE波とTM波の合成された元として扱え
るから元ファイノ9開口数NAで規定される拡が9角内
で反射率を論じる、場合、RTつとRTMの和が最小と
なる角度を求める必要がある。
そこで、こn’i求めるとθ′=0にて最小値を示す。
このように元ファイバの出力端をカライドスコープの光
入射端面における球面状の凹面部球体中心に討〈ことは
光ファイバ21から出射したレーザ光のカライドスコー
プ22への入射時に生ずる赤面反射損を最小にするうえ
で特に効果がおる。
入射端面における球面状の凹面部球体中心に討〈ことは
光ファイバ21から出射したレーザ光のカライドスコー
プ22への入射時に生ずる赤面反射損を最小にするうえ
で特に効果がおる。
更にこの時、柱状のカライドクコ−1220元入射端凹
面部球面六面に反射防止膜、即ちARココ−ィングを施
こすと、すべての元来が球面に垂直に入射するので非常
に有効に作用し、レーザ光のカライドスコー1における
赤面反射損をさらに小さくすることができる。
面部球面六面に反射防止膜、即ちARココ−ィングを施
こすと、すべての元来が球面に垂直に入射するので非常
に有効に作用し、レーザ光のカライドスコー1における
赤面反射損をさらに小さくすることができる。
例えば柱状のカライドスコーグ素材として光学ガラスで
あるBK−7’&用い、その光入射端面部の球面表面に
ARココ−ィングを施こせば光入射端での表゛面反射損
をlチ程度にまでt減させることが可能である。
あるBK−7’&用い、その光入射端面部の球面表面に
ARココ−ィングを施こせば光入射端での表゛面反射損
をlチ程度にまでt減させることが可能である。
一17=
一万、柱状のカライドスコープ22の光入射端面22a
中心部を円、三角形、方形成いはその他の多角形など任
意の断面形状で陥没させた後、その奥を更に球面に仕上
げた場合、次のような特性を得ることができる。
中心部を円、三角形、方形成いはその他の多角形など任
意の断面形状で陥没させた後、その奥を更に球面に仕上
げた場合、次のような特性を得ることができる。
例えば第5図に示すように球半径なRとし、K−R(但
しKは任意の値)だけ任意の形状Aで陥没させた場合、
Kが1より十分率さい範囲に対し、 θ1:ξ=R: (1+K)R・・・(21)したがっ
て ξζ(1+K)θ1 ・・・(22)これを
式0りに代入して θ2:ξ十龜 L−−−−、石(KO2)) ・・・
(23)2 上式(23)の意味するところは元ファイバ21の出力
端21aの位置を球体中心から後方へKRだけずらすこ
とによシ柱状のカライドスコーグ22中の光束拡がシ角
θ2をさらに拡げることができると云うことでおる。
しKは任意の値)だけ任意の形状Aで陥没させた場合、
Kが1より十分率さい範囲に対し、 θ1:ξ=R: (1+K)R・・・(21)したがっ
て ξζ(1+K)θ1 ・・・(22)これを
式0りに代入して θ2:ξ十龜 L−−−−、石(KO2)) ・・・
(23)2 上式(23)の意味するところは元ファイバ21の出力
端21aの位置を球体中心から後方へKRだけずらすこ
とによシ柱状のカライドスコーグ22中の光束拡がシ角
θ2をさらに拡げることができると云うことでおる。
例えば元ファイバ21から17°の角度をもつ18−
て出射された光束はに=0すなわち、元ファイバ出力端
、22aがカライドスコ−122の凹面部22h球体中
心よp 0.4 Rだけ後方に位置する場合では に=Oゆξ=02=17゜ K = 0.4中ξ=23.8°、θ2=28゜となり
、元来の拡がり角を更に拡げるのに著しい効果がある。
、22aがカライドスコ−122の凹面部22h球体中
心よp 0.4 Rだけ後方に位置する場合では に=Oゆξ=02=17゜ K = 0.4中ξ=23.8°、θ2=28゜となり
、元来の拡がり角を更に拡げるのに著しい効果がある。
従って、このように柱状のカライドスコ−122の光入
射端面の中心部を任意の形状で陥没させ、そこからさら
に球面で陥没させた形状の凹面部とすることによシ、元
ファイバ21を介して入射されたレーザ光はカライドス
コープ22中で大きな拡がり角で拡がることになり、こ
れにより軸長の短いカライドスコープでも十分な光強度
分布の均一化を図ることができることになる。
射端面の中心部を任意の形状で陥没させ、そこからさら
に球面で陥没させた形状の凹面部とすることによシ、元
ファイバ21を介して入射されたレーザ光はカライドス
コープ22中で大きな拡がり角で拡がることになり、こ
れにより軸長の短いカライドスコープでも十分な光強度
分布の均一化を図ることができることになる。
これまでに述べたすべてのカライドスコープは元ファイ
バ2ノの位置がカライドスコ−122の光入射端面中心
部よシ少々ずれていてもあるいはカライドスコープ中心
軸と元ファイバの出力端の中心軸が平行でなくとも十分
なカライドスコープ長があればほとんど問題なく光強度
分布の均一化が成されるが、導元部すなわら元ファイバ
21の出力端21aがカライドスコープ22の中心軸上
に位置され、且つ各々の中心軸が平行であるようにすれ
ば、軸長の短いカライドスコープでも十分な光強度分布
の均一化が可能となる。
バ2ノの位置がカライドスコ−122の光入射端面中心
部よシ少々ずれていてもあるいはカライドスコープ中心
軸と元ファイバの出力端の中心軸が平行でなくとも十分
なカライドスコープ長があればほとんど問題なく光強度
分布の均一化が成されるが、導元部すなわら元ファイバ
21の出力端21aがカライドスコープ22の中心軸上
に位置され、且つ各々の中心軸が平行であるようにすれ
ば、軸長の短いカライドスコープでも十分な光強度分布
の均一化が可能となる。
また、前述の柱状カライドスコ−122はその中心軸に
直交する断面が円形、三角形、方形その他任意の多角形
としても良く、いずれの場合も十分な均一化が可能であ
り、しかもその断面の形状の照射野を得ることができる
。
直交する断面が円形、三角形、方形その他任意の多角形
としても良く、いずれの場合も十分な均一化が可能であ
り、しかもその断面の形状の照射野を得ることができる
。
尚、本発明において柱状のカライドスコープの光入射端
面を任意の形状で陥没させそこから更に球面で凹面を形
成しているが1iil!6図に示すように柱状のカライ
ドスコ=122における光入射端面22hfBで示すよ
うに球面で陥没させ、元ファイバ21の出力端21aの
位置が柱状のカライドスコープ22の光入射端面の手前
になるようにすることにより元手的には同等の効果を得
ることができる。
面を任意の形状で陥没させそこから更に球面で凹面を形
成しているが1iil!6図に示すように柱状のカライ
ドスコ=122における光入射端面22hfBで示すよ
うに球面で陥没させ、元ファイバ21の出力端21aの
位置が柱状のカライドスコープ22の光入射端面の手前
になるようにすることにより元手的には同等の効果を得
ることができる。
以上詳述したように本発明はレーザ光源からのレーザ光
を元ファイバにより導くとともにこの導かれた光を透明
柱状で光入射端は凹面状に形成すると共に他は平滑に仕
上げた光強度分布を均一化して照射するためのカライド
スコープに入射させる構造としたので、元ファイバから
の出射レーザ光はカライドスコープの凹面部で屈折によ
り拡げられ、これによりカライドスコープ内で十分に拡
がるためカライドスコープの軸長を短くしても照射レー
ザ光の光強度分布が十分に均一化されまたカライドスコ
ープの断面形状を選択することにより、照射形状を円形
。
を元ファイバにより導くとともにこの導かれた光を透明
柱状で光入射端は凹面状に形成すると共に他は平滑に仕
上げた光強度分布を均一化して照射するためのカライド
スコープに入射させる構造としたので、元ファイバから
の出射レーザ光はカライドスコープの凹面部で屈折によ
り拡げられ、これによりカライドスコープ内で十分に拡
がるためカライドスコープの軸長を短くしても照射レー
ザ光の光強度分布が十分に均一化されまたカライドスコ
ープの断面形状を選択することにより、照射形状を円形
。
三角形、方形その細長角形にに換して照射できるので、
目的に合う照射野形状で治療を行なうことができる他、
元ファイバによりカライドスコープにレーザ光を導くた
め操作性が良く、またカライドスコープの軸長が短くと
も良いこと21− から小形@量でしかも高価なカライドスコープの木材が
少なくて済ことによる価格の低廉化を図ることができ、
また、前記凹面部に光反射を抑えるコーティングを施こ
すことと光学レンズは使用しないことによシ元の損失を
抑えることができるなど、優れた特徴を有するレーザ装
置を提供することができる。
目的に合う照射野形状で治療を行なうことができる他、
元ファイバによりカライドスコープにレーザ光を導くた
め操作性が良く、またカライドスコープの軸長が短くと
も良いこと21− から小形@量でしかも高価なカライドスコープの木材が
少なくて済ことによる価格の低廉化を図ることができ、
また、前記凹面部に光反射を抑えるコーティングを施こ
すことと光学レンズは使用しないことによシ元の損失を
抑えることができるなど、優れた特徴を有するレーザ装
置を提供することができる。
尚本発明は上記し且つ図面に示す実施例に雨足すること
なくその要旨を変更しない範囲内で適宜変形して実施し
得るものでおり、例えば本装置は治療用レーザに限らず
、金属等のアニーリング加工に使用するレーザ装置にも
適用できることは云うまでもない。
なくその要旨を変更しない範囲内で適宜変形して実施し
得るものでおり、例えば本装置は治療用レーザに限らず
、金属等のアニーリング加工に使用するレーザ装置にも
適用できることは云うまでもない。
第1図(a)はカライドスコープにおける凸レンズとの
組み合わせによる実施例を示す概略図、第1図(b)は
元ファイバとの組み合わせによる実施例を示す概略図、
第1図(C)は元ファイノ々と凹レンズ及びカライドス
コープの組み合わせによる実施例を示す概略図、第2図
は元ファイノ々と22− の組み合わ・せた時の光路を示した概略原理図、第3図
は柱状のカライドスコープの光入射端面に凹面部を形成
した場合の光路の状態を示した図、第5図は柱状カライ
ドスコープの光入射端面を任意形状で陥没させた後さら
に球面状に陥没させたときの光路を示す概略的原理図、
第6図は柱状カライドスコープの光入射端面中心部を球
面で陥没させ元ファイバ出力端位置を手前にずらした時
の図である。 l・・・凸レンズ、2.21・・・元ファイバ、3゜2
2・・・カライドスコープ、4・・・凹レンズ、22a
・・・光入射端面、22b、A、B・・・凹面部。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦オ I N (a) 23− 手続補正書は式) 昭和57年2・圧ビ日 特許庁長官 島 1)春 樹 殿 ■、事件の表示 特願昭56−147204号 2、発明の名称 レーザ装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 (307)東京芝浦電気株式会社 4、代理人 昭和57年1月26日 6、補正の対象 明細書 7、補正の内容 (1) 明細書第23頁第4行目に記載の「図、第5
図は」を「図、第4図は第3図におけるカライドスコー
プの入射光路を説明するための図、第5図は」と訂正す
る。
組み合わせによる実施例を示す概略図、第1図(b)は
元ファイバとの組み合わせによる実施例を示す概略図、
第1図(C)は元ファイノ々と凹レンズ及びカライドス
コープの組み合わせによる実施例を示す概略図、第2図
は元ファイノ々と22− の組み合わ・せた時の光路を示した概略原理図、第3図
は柱状のカライドスコープの光入射端面に凹面部を形成
した場合の光路の状態を示した図、第5図は柱状カライ
ドスコープの光入射端面を任意形状で陥没させた後さら
に球面状に陥没させたときの光路を示す概略的原理図、
第6図は柱状カライドスコープの光入射端面中心部を球
面で陥没させ元ファイバ出力端位置を手前にずらした時
の図である。 l・・・凸レンズ、2.21・・・元ファイバ、3゜2
2・・・カライドスコープ、4・・・凹レンズ、22a
・・・光入射端面、22b、A、B・・・凹面部。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦オ I N (a) 23− 手続補正書は式) 昭和57年2・圧ビ日 特許庁長官 島 1)春 樹 殿 ■、事件の表示 特願昭56−147204号 2、発明の名称 レーザ装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 (307)東京芝浦電気株式会社 4、代理人 昭和57年1月26日 6、補正の対象 明細書 7、補正の内容 (1) 明細書第23頁第4行目に記載の「図、第5
図は」を「図、第4図は第3図におけるカライドスコー
プの入射光路を説明するための図、第5図は」と訂正す
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1) レーデ光源と、このレーデ光源からの光を導
く元ファイバと、この導かfi−fcレーザ元が入射嘔
れる光入射端面が凹面状に形成されまた光出射端面は平
面に形成されると共に周面は滑らかに形成されて成る出
射レーザ九九強度分布の均一化を図るための柱状で透明
なカライドスコープと金備えたことを特徴とするレーザ
装置。 (2) 前記力ライドスコーグはその光入射端面の凹
面状部分を球面に形成したこと全特徴とする特許請求の
範囲第1項記載のレーザ装置。 (3)前記カライドスコープはその光入射端面の中心部
な所望の形状に陥没させ且つその奥部を球面に形成させ
ることt特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレーザ
装置。 (リ 前記カライドスコープは光入射端面の少なくとも
前記凹面状部分に元反射防止膜を形成することを特徴と
する特許HN求の範囲第1項記載のレーザ装置。 (5)前記力ライドスコーグはその断面形状が円または
任意の多角形に形成されたことを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載のレーザ装置。 (6) 前記元ファイバの光出力端が前記カライドスコ
ープの光入射端面側に形成された球面状部分の中心に位
置されるよう配設することを特徴とする特許請求の範囲
第2項または第3項記載のレーザ装置。 (7) 前記元ファイバはその光出力端におけるその軸
線を前記カライドスコープの中心軸線と一致させて配設
させることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56147204A JPS5848013A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56147204A JPS5848013A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | レ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5848013A true JPS5848013A (ja) | 1983-03-19 |
| JPS6258485B2 JPS6258485B2 (ja) | 1987-12-07 |
Family
ID=15424910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56147204A Granted JPS5848013A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5848013A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01165723A (ja) * | 1987-12-21 | 1989-06-29 | Daido Steel Co Ltd | パイプコイル光輝焼鈍方法およびパイプ内パージング装置 |
| JPH04100244U (ja) * | 1991-01-30 | 1992-08-31 | ||
| JPH06128644A (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-10 | Daido Steel Co Ltd | パイプコイルの熱処理装置 |
| JP2005129916A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-05-19 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | ビームホモジナイザ、レーザ照射装置、半導体装置の作製方法 |
| WO2005057271A1 (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 光学素子、レーザ光源、及び2次元画像形成装置 |
| JP2006003342A (ja) * | 2004-05-18 | 2006-01-05 | Ccs Inc | 光照射装置及び光伝達素子 |
| JP2006310802A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-11-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 光学素子および光照射装置 |
| US7978412B2 (en) | 2003-09-30 | 2011-07-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Beam homogenizer, laser irradiation apparatus, and method for manufacturing semiconductor device |
| JP2011237665A (ja) * | 2010-05-12 | 2011-11-24 | Sharp Corp | 導光部材、レーザ導光構造体、レーザ照射装置および光源装置 |
-
1981
- 1981-09-18 JP JP56147204A patent/JPS5848013A/ja active Granted
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01165723A (ja) * | 1987-12-21 | 1989-06-29 | Daido Steel Co Ltd | パイプコイル光輝焼鈍方法およびパイプ内パージング装置 |
| JPH04100244U (ja) * | 1991-01-30 | 1992-08-31 | ||
| JPH06128644A (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-10 | Daido Steel Co Ltd | パイプコイルの熱処理装置 |
| US7978412B2 (en) | 2003-09-30 | 2011-07-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Beam homogenizer, laser irradiation apparatus, and method for manufacturing semiconductor device |
| JP2005129916A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-05-19 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | ビームホモジナイザ、レーザ照射装置、半導体装置の作製方法 |
| US8623675B2 (en) | 2003-09-30 | 2014-01-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Beam homogenizer, laser irradiation apparatus, and method for manufacturing semiconductor device |
| US8735186B2 (en) | 2003-09-30 | 2014-05-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Beam homogenizer, laser irradiation apparatus, and method for manufacturing semiconductor device |
| WO2005057271A1 (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 光学素子、レーザ光源、及び2次元画像形成装置 |
| JPWO2005057271A1 (ja) * | 2003-12-10 | 2007-12-13 | 松下電器産業株式会社 | 光学素子、レーザ光源、及び2次元画像形成装置 |
| US7522792B2 (en) | 2003-12-10 | 2009-04-21 | Panasonic Corporation | Optical element, laser light source, and two-dimensional image forming apparatus |
| JP2006003342A (ja) * | 2004-05-18 | 2006-01-05 | Ccs Inc | 光照射装置及び光伝達素子 |
| JP2006310802A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-11-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 光学素子および光照射装置 |
| JP2011237665A (ja) * | 2010-05-12 | 2011-11-24 | Sharp Corp | 導光部材、レーザ導光構造体、レーザ照射装置および光源装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6258485B2 (ja) | 1987-12-07 |
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