JPS5848483A - メタル・インシユレ−タ−・メタルより成る非線形素子の製造方法 - Google Patents
メタル・インシユレ−タ−・メタルより成る非線形素子の製造方法Info
- Publication number
- JPS5848483A JPS5848483A JP56145883A JP14588381A JPS5848483A JP S5848483 A JPS5848483 A JP S5848483A JP 56145883 A JP56145883 A JP 56145883A JP 14588381 A JP14588381 A JP 14588381A JP S5848483 A JPS5848483 A JP S5848483A
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- JP
- Japan
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- metal
- insulator
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- anodic oxidation
- Prior art date
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ガラス基板上にメタル・インシュレーター・
メタルから成る非線形素子を１マトリツクス状に配し九
メタル・インシュレーター・メタルの製造過程でのレジ
ストパターン形状に関する〇マトリックス状に配したメ
タル−インシュレーター・メタルの一層目の金属線、陽
極酸化により、インシュレーターを形成するので電気的
に接続さｎていなけｎばならない。陽極酸化＃Ｃより、
インタｚ ｌ／−ター暫ＳａＷ、メタル・インシュレー
ター・メタルとして使用しない不要な部分を埴り除く必
要がある。
メタルから成る非線形素子を１マトリツクス状に配し九
メタル・インシュレーター・メタルの製造過程でのレジ
ストパターン形状に関する〇マトリックス状に配したメ
タル−インシュレーター・メタルの一層目の金属線、陽
極酸化により、インシュレーターを形成するので電気的
に接続さｎていなけｎばならない。陽極酸化＃Ｃより、
インタｚ ｌ／−ター暫ＳａＷ、メタル・インシュレー
ター・メタルとして使用しない不要な部分を埴り除く必
要がある。
従来は、第１図処示す様に、メタル・インシュレーター
・メタルで使用する部分のみにレジスト５ｔバターニン
グした。
・メタルで使用する部分のみにレジスト５ｔバターニン
グした。
このようなレジストパターンを用いて、陽極酸化さＡ九
一層目の金属２ｔ−エツチングすると、ガラスｉ［１の
露出している面がエツチング畜ｎてし筐うという欠点が
あつ友・ また、ガラス基＆１がエツチングさｎる九め処党の透過
率が悪くなってし１うという欠点があった。
一層目の金属２ｔ−エツチングすると、ガラスｉ［１の
露出している面がエツチング畜ｎてし筐うという欠点が
あつ友・ また、ガラス基＆１がエツチングさｎる九め処党の透過
率が悪くなってし１うという欠点があった。
不発’ＪＡは、かかる欠点を除去したもので、七の目的
は、カラス１板１がエツチングされることすく、メタル
・インシュレーター・メタルの不必要な部分の陽ｉ１歳
化さｎた一層目の金属２ｔエツチングするレジストパタ
ーンｔ″提供するｔのでちる。
は、カラス１板１がエツチングされることすく、メタル
・インシュレーター・メタルの不必要な部分の陽ｉ１歳
化さｎた一層目の金属２ｔエツチングするレジストパタ
ーンｔ″提供するｔのでちる。
以下実施例にｉづいて不発＃４’に＃（、（説曲丁４゜
第５図は、本４ＩＩ５明に蕪づ（レジスト形状で、４は
ガラ不基板、５はメタル・インシュレーターやメタルの
不必要な部分の＃ＩＩ極酸化さｎた金属６に、レジスト
、７はメタルナインシュレータ−・メタルの一層目のｔ
ｔｉｔ極酸化さｎた金属として使用される部分で＃４ｏ
＃’図はその断面１で＃）ゐ０メタル・インシュレータ
ー・メタルとして使用される部分７を除いて、不必要な
陽極酸化され友金属５１１−エツチングする０エツチン
グの際、ガラス面がエツチングされるのｔ防ぐために、
メタル・インシュレーター・メタルとし下用いない、陽
極酸化し皮金属５荀除く丁べての部分音レジストでおお
ったものである。
ガラ不基板、５はメタル・インシュレーターやメタルの
不必要な部分の＃ＩＩ極酸化さｎた金属６に、レジスト
、７はメタルナインシュレータ−・メタルの一層目のｔ
ｔｉｔ極酸化さｎた金属として使用される部分で＃４ｏ
＃’図はその断面１で＃）ゐ０メタル・インシュレータ
ー・メタルとして使用される部分７を除いて、不必要な
陽極酸化され友金属５１１−エツチングする０エツチン
グの際、ガラス面がエツチングされるのｔ防ぐために、
メタル・インシュレーター・メタルとし下用いない、陽
極酸化し皮金属５荀除く丁べての部分音レジストでおお
ったものである。
このような方法上用いることにより、メタル−インシュ
レータ〜・メタルに使用しない不必要な陽極酸化さｎな
い金属の−９−にエツチングできる利点がある。
レータ〜・メタルに使用しない不必要な陽極酸化さｎな
い金属の−９−にエツチングできる利点がある。
また露出してｈるガラス基板４がレジストでお２ｖれて
いるためにガラス面がエツチングさｒＬることがない利
点がめる０ １次、エツチングの際、ｇ出しているカラス基板４に汚
ｎが付着しないという利点がある。
いるためにガラス面がエツチングさｒＬることがない利
点がめる０ １次、エツチングの際、ｇ出しているカラス基板４に汚
ｎが付着しないという利点がある。
本発明は、マトリックス状にメタル嗜インシエレーター
・メタルより成る非線形素子を有するガラス基板の製造
に有効となる。
・メタルより成る非線形素子を有するガラス基板の製造
に有効となる。
第１図、第２−はメタル・インシュレーター・メタルで
使用する部分のみにレジストをパターニングし友もので
あり、第１図に平面−２第２−は、＠面図でめる０ 第３１．第４図は不鞄明に基づくレジスト形状で第３図
は平面図、第４■は断面図である０１．４・・・・・・
ガラス基板 ２・・・・・・陽極酸化さｆ′Ｌ九一層目の金属５．６
・・・・・令 レジスト ５・・・・・・メタル・インシュレータ−・メタルのり
必豪な部分の陽極酸化さｎた金属 ７・・・・・・メタル・インシュレーター・メタルの鳩
目の陽極酸比重ｎた金属 以 上 信州精器株式会社 出鳳人株式会社諏訪精工２會 代理人 ９ 最 上 務 第１図 八 ９５２図 第４図 手続補正書（自発） 昭和５７年 １月２０日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和ｓ４年特許願第１４５８８ｉ号 ２ 発明の名称 非線形素子の製造方法 ３ 補正をする者 事件との関係 出願人 手続補正書 １、発明の名称 ［メタル、インシュレーター、メタルエタ成非線形素子
の製造方法」とあるｔ「非線形素子の製造方法」に補正
する。 ２、特許請求の範囲
使用する部分のみにレジストをパターニングし友もので
あり、第１図に平面−２第２−は、＠面図でめる０ 第３１．第４図は不鞄明に基づくレジスト形状で第３図
は平面図、第４■は断面図である０１．４・・・・・・
ガラス基板 ２・・・・・・陽極酸化さｆ′Ｌ九一層目の金属５．６
・・・・・令 レジスト ５・・・・・・メタル・インシュレータ−・メタルのり
必豪な部分の陽極酸化さｎた金属 ７・・・・・・メタル・インシュレーター・メタルの鳩
目の陽極酸比重ｎた金属 以 上 信州精器株式会社 出鳳人株式会社諏訪精工２會 代理人 ９ 最 上 務 第１図 八 ９５２図 第４図 手続補正書（自発） 昭和５７年 １月２０日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和ｓ４年特許願第１４５８８ｉ号 ２ 発明の名称 非線形素子の製造方法 ３ 補正をする者 事件との関係 出願人 手続補正書 １、発明の名称 ［メタル、インシュレーター、メタルエタ成非線形素子
の製造方法」とあるｔ「非線形素子の製造方法」に補正
する。 ２、特許請求の範囲
Claims (1)
- １［［１メタル・インシュレーターｅメタルヨリ成る非
線形素子ｔ１ガラス基板上にマトリックス状に配した非
畿形素子において、前記メタル・インシュレータ−・メ
タルの一層目のメタルを所足の形状にバターニングし、
前記一層目のメタル管陽極酸化し、−前記一層目のメタ
ルおよびインシエレーターｔ１所足の形状にエツチング
し、二層目のメタルｔｓｘ＃′ＦＪｂａ造方式ＩＬ訃い
て、前記一層目のメタルおよびインシュレーターをエツ
チングする際、非エツチング部分をレジストでおおった
ことｔ−物像とするメタル・インシュレーターΦメタル
より成る非−形素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56145883A JPS5848483A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | メタル・インシユレ−タ−・メタルより成る非線形素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56145883A JPS5848483A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | メタル・インシユレ−タ−・メタルより成る非線形素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5848483A true JPS5848483A (ja) | 1983-03-22 |
Family
ID=15395249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56145883A Pending JPS5848483A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | メタル・インシユレ−タ−・メタルより成る非線形素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5848483A (ja) |
-
1981
- 1981-09-16 JP JP56145883A patent/JPS5848483A/ja active Pending
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