JPS58501480A - 迅速に動く多成分材料をｘ線分析する方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 迅速に動く多成分材料をＸ線分析する方法及び装置技術分野 本発明は、多成分利料、特に、製造工程で連続的圧生成されて高速で移動する材 料、をＸ線分析する方法及び装置ｆ係ろ。特に、本発明は、その７つの特徴にお いては、材料からの放射線を分析して個々のチャンネルに正規化したチャンネル 応答を形成することができ、とれらの応答は成る成分に対しては実質的に同じで あるが他の成分に対しては異なり、とわ、により、材料内の成る要素もしくは成 分の含有率を表わす比較的明確な、あい１いさのない、然も比較的高速な応答を 計算できろようにする方法及び装置に係る。

本発明は多数の使用目的を有しているが、ここに取り上げる実施例では、高速移 動のベーパシートを灰含有率及び灰成分に対して非破壊分析することについて図 示して説明する。

本発明は、別の特徴においては、灰要素を形成する粘土、白を及び二酸化チタン の相対的な量が測定に比較的影響を及ぼさないような形態にされたＸ線スペクト ルを用いて、ベーパの灰形成要素の量を測定する方法及び装置に係る。この方法 及び装置は、材料の特性によって許される限り本発明に基いて要素の測定を行な えるような他の製品へと一般化することができる。

背景技術 に端分析のような吸収端分析によって材料を分析するものとしては多数の提案や 開発がなされている。これに関連した例は、Ｂｉｇｅｌｏｗ氏の米国特許第、？ 、　１００．．２乙／号、Ａ　Ｉ　Ｖａ　７１３２氏の米国特許第３，７７７１ ｇ３２号、及び０ρａｒ：１氏の米国特許第３．７０／、　ｇ９９　＠にみられ る。

Ａｒｅｎｄｔ　氏の米国特許第３．９０’ｌ、　ｇ７乙号及びＢｕｃｈｎｅａ氏 の米国特許第ｔｔ、　ｏｇｉ、乙７乙号には、多成分ｄ−ノｅに対する商業用の 灰分析器についてａつの提案がなさね、ており、一方、Ｗａｔｔ　氏の米国特許 第’ｌ　、０９０　、（ｎ７号には、石炭灰含有率及び灰成分の測定についての 提案が含捷れている。

７９７５年、７０月ろ日〜９日、ウィスコンシン州、ミルウオーキー、Ｉｎｓｔ ｒｕｍｅｎｔ　５ｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ａｍｅｒｉｃａ。

た新聞の前刷り煮７５−乙／／、Ｃｈｏ　、Ｂ、　Ｙ、及びＵｔｔＯ，Ｌ。

著のゝＸ−！！−・Ｑ用の新しいＴｉＯ２補償型Ｘ線入センサ（Ａ　Ｎｅｗ　Ｔ ４．０２　Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ　Ｘ　Ｒａｙ　Ａｓｈ　５ｅｎｓｏｒ　ｆｏ ｒＰａｐｅｒ　）　″、及び／ワ７乙年、５月７９日〜２７日、ミシガン州、ア ンアーバ、ＥＲＤＡ　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ　ｏｎ　Ｘ−ａｎｄＧａｍｍａ　−Ｒ ａｙ　５ｏｕｒｃｅｓ　ａｎｄ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓで出された新聞の前 刷り、″成分補償型被−ノぐ灰ゲージ（Ｃｏｍｐｏｓ　ｉ　ｔ　ｉｏｎＣｏｍｐ ｅｎｓａｔｅｄ　Ｐａｐｅｒ　Ａｓｈ　Ｇａｕｇｅ　）“のユつの論文には、二 酸化チタン及び炭酸カル７ウム、炭酸カルシウム及び粘土、或いは粘土及び二酸 化チタンのような二成分り灰形成混合物中の全入含有率を測定するイー・や用の 単／チャンネルＸ線ケ８−ノが説明されている。このケ゛−ソは商業的にかなり の成功を収めているが、ベーパ中の灰形成要素の個々の成分を別々に測定できる ことがしばしば所望される。例えば、灰要素が粘土及び二酸化チタンより成る場 合には二酸化チタンが粘土より非常に高価な成分であるから、移動するに一パシ ート自体の測定値から、被−パの重量又は灰形成Ｈ料の重量のうちのどの位の割 合が二酸化チタンであるか及び／又はどの位の割合が粘土であるかを連続的に決 定することが望せれる。又、灰形成要素が例えば粘土、炭酸カルシウム及び二酸 化チタンの３成分混合物である場合や、或いはおそらく、（−・ぐ中のこれら個 々の成分のうちの１つ以上の成分の含イｊ率が問題である場合には、ベーパの全 入含有率を測定できることか望ましい。

研究室では、充分に単色化された放射の波長を変えて何回も測定を行なうことに より、個々の静止材料サンノルが一般的に分析される。螢光放射体及び／又は回 折計、並びに幾つかの放射性同位元素を用いて、効果的な単色放射線を得、とれ を最初にザンフ０ルに向けると共に、回折計及び／又はエネルギ選択検出装置を おそらく多チャンネル分析器と共に用いて、サンプルから受けろ色々な波長の信 号強さをめる。デジタルコンピュータは、この信号強度情報を、サンプル中の種 々の成分の含有率を表わす定量値に変換する数学プロセスを容易にする。

製紙のような連続的な工業プロセスに対し測定や制御を行なう助けとして比較的 高速で且つ高性能のデジタルコンピュータが一般的に使用されるようになったた めに、とれら及びこれと同様の研究室技術を製造中の多成分材料の分析ｆ用いる ことが提案されている。イー・モの灰成分分析のような複雑な問題においてはし ばしば数式を解くことができないが、反覆計算を用いれば理論的に解くことがで きろ。従って、これらの提案の幾つかの理論的な検討においては、製紙プロセス 中にラインにおいて例ジば灰成分の分析を有効に行なえろことが時々はめのかさ れている。然し、実際上の問題として、使用できる線源や検出器には放射線強度 について実際的な制約があるので、研究室的なやり方をこのように用いて確実な 灰成分分析を行なう疋充分な全時間をラインにおいてとることができない。従っ て、実際の場合には、ユ成分の入墨合物の全灰量の測定に一般に限定され、前記 のＵｔｔ及びＣｈｏの装置によって非常に簡単に且つ信頼性の高いやり方で行な えるような作業に限定されろ。

発明の開示 本発明によれば、種々の原子番号の成分をもつ材料から連続的に形成される移動 する製品の要素もしくは成分を測定する方法の段階及び手段の組合せにおいて、 少なくとも１つの成分圧対する吸収端エネルギを含むエネルギを有したＸ線ビー ムを上記製品に向け、上記製品からのＸ線を受け取り、この受け取ったＸ線に応 答して第１チヤンネル応答及び第一チャンネル応答を形成し、このユつのチャン ネル応答はこれらが７つの成分に対しては実質的に同じであるが他の成分に対し ては異なるようにしてλつの異なった工不ルギス被り１ルに応答し、そしてこれ ら第１及び第一のチャンネル応答に応じて、上記製品中の要素もしくは成分の含 有率を表わす合成応答を形成するような方法段階及び手段の組合せが提供されろ 。

典型的に、ユつのチャンネル応答のうちの少なくとも７つは正規化され、この正 規化の後、両チャンネル応答は１つの成分に対して実質的に同じで、他の成分に 対して異なるようにされる。

エネルギスペクトルの少なくとも／っは、上記能の成分に対する一方のチャンネ ルの応答を、上記／っの成分に対するその応答と実質的に同じにするように選択 される。

典型的に、上記の方法は、第１エネルギスペクトルと第１エネルギスペクトルと の間で成る繰り返しシーケンスでビームのＸ線エネルギをシフトし、ぞして第１ 及び第一のエネルギスペクトルに順次に応答して第１及び第一のチャンネル応答 を形成するととを含む。エネルギスペクトルの少なくとも７つは、上記能の成分 に対する一方のチャンネルの応答を、上記７つの成分に対する応答と実質的に同 じにするように選択される。

上記のエネルギシフトシーケンスは第３のエネルギスペクトルを含み、この第３ のエネルギスペクトルに応答することによって第３のチャンネル応答が形成され る。

エネルギスペクトルの少なくとも７つは、上記能の成分に対する一方のチャンネ ルの応答を、上記７つの成分圧対する応答と実質的に同じにするように選択され 、そして別のエネルギスペクトルは、第３成分に対する第３チヤンネルの応答を 、上記７つの成分又は他の成分に対するその応答と実質的に同じにするように選 択される。ビームのＸ線エネルギは、種々の高電圧をＸ線管に順次て印加するこ とによってシフトされる。

製品からのＸ線は第１検出器で受け取られ、この検出器は受け取ったＸ線の７部 分を検出して第１チヤンネル応答を形成すると共に、受は取ったＸ線の第２部分 を伝送し、第１検出器によって伝送されるＸ線は第一チャンネル応答を形成する よって検出される。第１検出器によって伝送されるＸ線は、そのエネルギスペク トルの形状を直すようにフィルタされてから、第一チャンネル応答を形成するよ うに検出される。フィルタ作動は、７つの成分に対する吸収端エネルギより高い エネルギをもったＸ線の相対強度を選択的に下げろように行なわれる。

製品からのＸ線は、第１検出器で受け取られる前にフィルタされて、７つの成分 に対する吸収端エネルギより小さく且つ他の成分に対する吸収端エネルギより大 きいエネルギを有するＸ線の相対強度が選択的に下げられてもよい。又、この場 合にも、第１検出器によって伝送されるＸ線は、エネルギスにクトルの形状を更 に直すようにフィルタされてから、第一チャンネル応答を形成するように検出さ れろ。

典型的に、上記製品は製紙機械によって製造される被−・ぐであり、上記成分は との被−・ぞ中の灰形成材料であり、イー・ぐは基礎重量が変化すると共に水分 含有率が変化し、そして前記方法段階及び装置は、受は取ったＸ線を検出して第 １及び第一の開始応答を形成し、イー・ぐの基礎重量及び水分含有率に対１〜て 応答を形成し、基礎重量及び水分含有率に対する応答に基いて上記第１及び第一 の開始応答の各々を補償し、この補償された応答から第１及び第一チャンネル応 答を導出し、これらのチャンネル応答はぜ−・ぐの基礎重量及び水分含有率には 実質的て拘りのない灰要素の関数であるようにする。灰要素は少なくとも２つの 成分を有し、上記第１及び第一チャンネル応答の少なくとも一方は正規化され、 この正規化の後に、両応答は１つの灰成分に対しては実質的に同じであるが他の 成分に対しては異なるようにされる。エネルギスぜクトルの少なくとも７つは、 上記能の灰成分に対する一方のチャンネルの応答を、上記７つの灰成分に対する その応答と実質的に同じにするように選択される。

本発明の別の特徴によれば、粘土、白を及び二酸化チタンのいずれか或いはその 全部の成分で構成される灰形成要素を含んだ公称組成並びに公称基礎重量の付近 で変化を示すような移動するに一パシート等を測定する方法及び装置において、 チタンに対するに端エネルギを含むエネルギを有しているＸ線ビームを被−ノク に向け、被−・９からのＸ線を受け取り、との受け取ったＸ線のスにクトルに対 して応答を形成し、このスにクトルにおいては、・＼−・ぐの公称基礎重量及び 組成に対して、粘土、白を及び二酸化チタンの平均実効吸収係数が実質的に等し くされるように強さがエネルギの関数として分布され、上記の応答はぜ−・ぐ中 の灰形成要素の量を表わすものであり、粘土、白♀及び二酸化チタンの相対的な 量によって比較的影響されないというような各段階及び手段を具備した方法及び 装置が提供される。

−ｏ−パに向けられるＸ線ビームは、約左左ＫＶで作動されるＸ線管を含むＸ線 源ユニットによって発生される。

」二記のスにクトルは、カルシウムとチタンとに対するに端エネルギ間のエネル ギをもつＸ線を選択的に吸収するフィルタにＸ線を通すこと（Ｃよって形成でれ る。このフィルタは約１７ｚいしｇμｍのスズ厚みに等価な重量／単位面積のス ズで構成きれる。

本発明は、７つの一般的な紡機にお・いては、単位面積、長さ又は体積当たりの 公称質量の付近で変化を示すと共（−（−１別々の化学ｔｅ素で各々形成された ３つの成分−その’）ちの少々どぶもユつはＸ線スペクトルの隣接領域に吸収端 を有する−のいずれか又はその全部で構成されろ当該要素を含む公称組成の付近 で変化を示すような移動する製品を測定する方法及び装置において、上記成分の 各元素に対する最高の顕著な吸収端エネルギを含むエネルギを有したＸ線ビーム を上記製品に向け、上記製品からＸ線を受け取り、この受け取ったＸ線の検出ス にクトルに対して応答を形成し、このスペクトル（Ｃおいては、単位面積、長さ 又は体積当たりの公称質量及び上り己製品の公称組成に対し３つの成分の平均実 効吸収係数が実質的に等しくさオＬるようにエネルギの関数として強度が分布さ れ、−１−記の応答は上記製品中の当該要素の廿を表わし、上記製品中の３つの 成分の相対的な量には比較的影響されないような各段階及び手段を具備ずろ方法 及び装置を提供する。

本発明の目的は、Ｋ−パのような移動する多要素拐刺中の多成分法のような要素 を分析又は測定する改良されたＸ線方法及び装置を提供することであり、比較的 広いＸ線スペクトルを用いて応答を形成することができ、安定した比較的非エネ ルギ選択性の高強度放射線検出器、例えば電離室を７つ以上用いることができ、 これにより、大きな信号対雑音比及び高速の応答をＪ：業的に実用的な線源でも って形成することができ、成分を個々に測定したり成分を添加したりする必要な く、ひいては添加エラ／−をなくすようにして、本質的に７回の測定で３成分要 素の全量を測定することができ、そして更に、直接的で簡単な解法を許容する数 式が分析に含捷れろだけであり、ひいては計算時間を相当に節減するような方法 及び装置を提供する。

本発明の他の目的及び効果は添付図面を参照した以下の詳細な説明より明らかと なろう。

図面の簡単な説明 第１図は、製紙機械によって連続的に形成さり、るような移動するー？−・ξン ート中の多成分法形成要素を分析すイ）″Ｔ″−々シ得７）のに用いらね、ろ本 発明の一実施例による装置の素子間の相互関係を示すブロック図である。

第２図は粘土、白を及び二酸化チタンの平均実効Ｘ線吸収係数を、Ｘ線管に印加 された電圧の関数として示すグラフである。

第３（２）は第１図又は第１１図の如き装置によって収集されたｙ′−夕を用い て行なわれる数学演算のンータンス及び性質を示す図である。

第７図は第３因の計算に使用さｆ′Ｌる灰成分データを収集するようにゝゝダブ ルデツキ“電離室検出器を用いた本発明の別の実施例による構成体を示す図であ る。

第Ｓ図は第２図に類（、に１１．＋ているが、印加電圧の７つの値に対し３つの 係数全部が等しくされるような形状に直さね−た×線スにクトルを示す図である 。

第４図は３つの灰形成成分の混合物を含むぜ一パ中の全灰安素を測定するＺチャ ンネルＸ線装置の回路図である。

第７図は第４図のＸ線源ユニットにより形成されるＸ線スペクトルを示すグラフ である。

第Ｓ図は第７図のスペクトルの形状を直すことにより形成さ）］−る正規化され たスペクトルを示すグラフである。

発明を実施する態様 第１図を説明す１１、ば、参照番号１０は、図面を見ろ方向に移動するように見 える連続的に形成−ｆｉｆｌ、るに−・ぐシー＝トを示している。典型的に、シ ート１０は製紙機械（図示せず）のカレンダースタックから巻き取りセクション へ送られる。概略的に示された装置の目的は、一般的にデノタルコンピュータ１ ４の制（財）下にある適当な表示、記録及び制御装置１２を作動させろことであ る。

コンピュータ１４は、ライン１６及び１８を経て、水分検出器２０及び基礎重量 検出器２２から水分ａ治率及び基礎重量情報を受け取る。水分検出器２０は線源 ２４からシート１０を貫通して送らハ、る赤外線に応答し、そして基礎重量検出 器２２は線源２６からのβ線に応答する。Ｋ−・Ｊ？１０の灰形成要素を全入成 分又は個々の灰成分として測定できるように更に別の検出器２８が設けられてい る。

検出器２８は、適当ｌ×Ｘ線管含むＸ線源ユニット３０からシート１０を貫通し て送られる低エネルギＸ線に応答する。典型的に、水分検出器２０は適当なノリ ノドステート型光検出器であり、−力検出器２２及び２８は各々適当な設計の電 離室である。こねらの検出器から受ケ取った情報に応答して、コンピュータ１４ は、プログラムされた命令及び機械のＡ被し−クからの入力に基いて、表示、記 録及び制御装置１２を作動をせろ。基礎重量、水分含有量及びその他の計算され たデータは表示及び／又は記録され、そして製紙機械の調整可能な作動・やラメ ータは、／−ト１０の種々の特性を所望の値に実質的に一定に供持丁なように目 動的に制御される。

本発明のここ（（示す実施例は、ベーノぐ１０の灰形成要素の含有率及び／又は 組成を測定及び／′又は制御できろ／ステムを提供するように特に構成されてい る。通常、他の２つの王たる要素はセルロース繊維と水（水分含治率）である。

灰形成安素は一般Ｖこ女１曲７ｉ：光填Ｍとし−（粘土を’；’＋　／′に、で いろと共に、二酸化チタン（几０２）又は白をの、−′、−ｆ　、４４−か又は 両方を漂白剤として含んでいろ。

灰形成要素を凋−・Ｐの他の要素と区別するために、Ｘ線系統２８及び３０は、 粘土中のアルミニウム及びシリコン原子の存在、Ｔｉ　Ｏ２中のチタン原子の存 在及び白を中のカル／ラム原子の存在に犬きぐ頼っている。灰形成要素の成分間 を区別するために、Ｘ線系統は、グ、′？乙乙ＫｅＶのチタンに端及び’１．０ ３７ＫｅＶのカル７ウムに端の存在に頼っている。

第２図は、Ｘ線管にか＼る高電圧の関数として、粘土、白を及びＴｉ　Ｏ２の平 均実効減衰係数μを各々３２．３４．３６で示している。Ｘ線源ユニット３０か らのＸ線は単色でも単色化されたものでもなく、比較的広いス波りトルを構成す る。従って平均実効減衰係数μはに端によって急激な段階的な値の変化を示さな いが、Ｋ端吸収プロセスは３８．４０．４２．４４に交点を形成する。前記のＵ ｔｔ　及びＣｈｏの灰グーノは、これらの交点の利点を取り入れて、ベーパ中の 灰形成要素がコ成分混合物で構成されろ場合にこの灰Ｊし成要素の量を測定ｉろ ｔのである。

例えば、試験された製紙〕２０セスに用いられた全ての粘土はそれらの産出地に 拘すナ＜はマ同じμ値を有することが分った。米国の大部分の製紙プロセスには 粘土及び几０２　の混合物が使用さハ７、−万ヨーロンノＰの大部分の製紙ノ〔 ・セスには粘−１−及び白♀の混合′吻が使用さｆ′Ｌこいろ。

アノード電圧をＶ２にヤノトすると、ケゞ−）は、ユ成成混合物中の粘土成分及 びＴｉＯ２成分の相対的な量に拘りな（ｄ　−ｉ９の灰形成要素の全量を測定す る。同様に、アノード電圧をｖＩ　Ｋセットすると、粘土及び白をのλ成分混合 物を含むベーノソの全天要素を測定することができる。前記のＵｔｔ及びＣｈｏ のケ８−）に用いられるＸ線管、線源及び検出窓並びにその他の幾何学的な構成 では、ｖｌがＩＩ　、２　ＫｅＶでありそして■２が左３にｅＶであり、従って 各々の積算されたＸ線ス被りトルの適切な割合は各々の粘土又はチタンのに端の 上及び下に位置付けさ７１−乙。

これら設定値の適当な７つにおい壬、ケ゛−ノは、粘土及びＴｉ　Ｏ２又は粘土 及び白をに対して全く同様に応答する。

本発明の第７図の実施例では、前記の原理を拡張したものが用いられる。従って 、高圧電源ユニット４６は、とれに組合わされた高圧スイッチユニット４８の選 択された状態に基いて、２つ、又は３つ、或いはそれ以上の所定の電圧のいずれ か７つをＸ線源ユニット３０に供給する。第１図に示されたように、５０とされ た３本の線の群で表示された３つの電圧を利用するととができる。

これらの電圧は第２図のｖｌ、■２及びｖ３に相当する。

又、ｖ３は、Ｘ線ケ゛−ノ２８及び３０がＴｉ　Ｏ２と白をとに対して実質的に 同じ応答を形成する交点４４に相当する。交点４４は、高レベルの検出信号を得 ることができると共に、大きな電圧変動を許容できるので、点３８の代りに用い られる。

通常の測定中、電圧ｖ１、Ｖ２及びＶ３は、繰り返しの周期的ｌシーケンスでＸ 線源ユニット３０へ順次に印加される。これにより、Ｘ線源ユニット３０からの ビームのＸ線エネルギは、第１、第２、第３エネルギス被クトル間で繰り返しの シーケンスでシフトされる。切り換えは、一般設計の同期ユニット５２の制御下 で高圧スイッチユニット４８によって行なわれる。ライン５４で示され、たよう に、同期ユニット５２はコンピュータ１４の制御下にあり、従って、データサン プリング作動と、成るコンピュータゝゞメモリスロット“又は、″データボック ス″へのデータ入力とに匹敵する時点で電圧切り換え作動が生じる。これらの作 動は、コンピュータ１４０制御下にある走査・オフ７一ト機構５６によって決定 されるンート１０の巾に対するセンサの瞬時位置に相関される必要がある。同期 については、ここに説明する価値はあるが、その性質は一般的なものであり、本 発明の部分を構成しない。

Ｘ線検出ユニット２８の出力は、増１１」器５８によって増巾される。Ｘ線源ユ ニットへの高圧は、実質的に周期的に切り換えられるので、電離室（検出器）２ ８からの信号出力電流は、非常に広いダイナミソクレンゾとなる。

従って、ライン６０によって示されたように、同期ユニ　゛ソト５２によって制 御される利得切換型増巾器５８を珀いるのが適当である。増巾器５Ｂ及び他の部 品に必要とされるダイナぐツクＬ−’ジを１・−げる方法として、Ｘ線源ユニツ ）３０にＸ線管ビーム電流制御器６２が設けられる。

増巾利得切換構成体又はビーム電流制御器或いはその両方が使用目的に応じて適 当に用いられる。不透明さ及び明かるさを増すために種々の重量のに−・ぞに組 み込捷れる灰形成材料を測定するのに加えて、本発明の方法及び装置は、被−パ に被覆された酸化亜鉛やセレニウム化合物のような他の材料の要素及び成分を測 定するのにも用いられる。その他の用い方としては、テープ上のプラスチック又 は鉄酸化物被膜の塩素含有量の測定が含１れろ。

検出器２８からの信号は、増巾器５８で増巾された後、デマルチプレクサ６４に よってλつ又は３つ（図示された）の個々のチャンネル−＼とデマルチプレクス され、デマルチプレクサの切換作動は同期ユニット５２によって制御される。図 示されたように、筐／のチャンネルは、スイッチ式２９７１回路６６、積分器６ ８及びサンプル・ホールド回路７０を備えている。これら素子の作動は、ライン ７２．７４．７６及び７８で示されたように同期ユニットによって制御される。

他のユつのチャンネルも同じ素子を含む。サンプル・ホールド回路１０によって 発生され乙信号は、ケ゛−ト装置８０及びアナログ−デジタルコンバータ８２の 作動により数値の形態でサンプリングされるようにコンピュータ１４に用いられ る。ライン８４及び８６で示されたようにケ゛−ト装置８０及びコア　ハーク８ ２を制御することにより、コンピュータ１４はライン８８で指示される適当な時 間にデータを収集し、そして第３図に示された計算に用いるようにこのデータを メモリに送る。

第３図に示すように、コンピュータは、受信したデータの個々のチャンネルの認 識を維持する。従って、ｓＭ、は、Ｘ線源ユニット３０が第１図に■１と示され た高圧で作動された時に硬−・Ｊ′１０を通って送られるＸ線に応答して検出器 ２８から与えられろ信号出力の値に相当する第１チヤンネルの値即ち開始応答を 示している。同様に、し、及びｓＭ３　は、各々高圧ｖ２及びｖ３に同様に７・ ｊ応する第Ω及び第３チヤンネル９０及び９２の値を各々示している。第ａ及び 第３チヤンネルのデータに対して行ｌわわ、る計算は第１チヤンネルに対して示 されたものと同じであり、以下で説明する。

９４において、各々のＳ　値からＳ８６　値が減算されｌ る。このＳ８６は予め記憶された標準値であり、これはＸ線源ユニット３０が電 圧Ｖ□　で作動をハ、そして厚みンヤソタ９６（第１図）がＸ線源ユニット３ｏ とに−・Ｆｌｏの位置との間に入れられた時の検出器２８の信号出力を表わして いる。ンヤソタは、コンピュータ１４の制御下にあろシャッタ制御ユニット９８ によって適当な時間に作動される。従って、ｓ８ｏ　はゝゝ無限〃厚みの被−パ ンートが検出器とＸ線源ユニソ）３０との間にある時の検出器２８の信号出力を 表わしている。

残りのｓＭ、値の対数が１ｃｏにおいてとらハ、る。

１０２においてＩ■ｓｏ　が減算される。ｓｏ　は、シャッタ９６が開き、そし て検出器がオフシート位置にあるが、或いは検出器２８とＸ線源ユニッ）３０と の間にＳ−／Ｆンート１０がｌ〈そしてＸ線源ユニット３ｏが高圧７１表わす予 め記憶された標準値である。一般的に、コンピュータ１４は、走査・オフシート 機構５６を作動させてセンサ（２０及び２４）、（２２及び２６）及び（２８及 び３０）を標準化のためのオフシート位置へ動かスコとにより、周期的に、又は 都合の良い時に、ｌｏｇｓ□　の更新値を得る。従って、１ｏ４に得られ、ろ値 ば、被−パ１０がギャップ内にある時の検出器２８の出力と　ｏ−・ぐ１０がな い時の検出器の出方との比を表わしている。

必要ならば、値１０４は、次の如き関数によって決定されるリニアに続く値の中 に入るように、１０６において調整される。

但し、Ｘは１０４の値を表わしそしてｙは１０８の値を表わしている。リニア化 の定数ａ、ｂ、ｃ及びｄは、ＭＹＬＡＲという商標で市販されているポリエステ ル樹脂のような適当ナノート材のサンプルを用いた校正段階において決定されろ 。これらのサンプルは成る範囲の重量／単位面積値を４１し、その測定中ベーパ １０により占有される位置に順次に配置されろ。リニア化定数の値は、１０８に 得らね−ろ値を、ｓ＝　ｊｌエステルシート材の重量／栄位面積のリニア関数に するように決定される。

１０８の値は、必要ならば、１１０において適当な倍率定数Ｃ１で乗算され、こ れにより生じる値は、１１２において、波−・ぐの水分含有率間及び基礎重量（ 重量／単位面積Ｉ　ＢＷを表わすリニア化され且つ倍率乗算された値と加算さｔ する。第３図において、間は、赤外線水分ケ゛−ノヘノド２０．２４で検出され た水分含有率のリニア化さｒｌ−た値を衣わす入力である。同様に、ＢＷは、β 線ケ゛−ダヘノド２２．２６で検出された基礎重量のリニア値された値を表わす 入力である。従って、各々のＢＷ値は１１４において倍率定数０２で乗算され、 各々のＭ値は１１６ｖｃおいて）Ｌ−率定数０３で乗算される。

定数Ｃ］、Ｃ２及びＣ３の値は、適当な灰形成要素及び成る範囲の基礎重量及び 水分値を有するイー・ξ１０の実際のサンプルを用いた校正において決定さ省、 る。第１チヤノネルを校正する場合には、粘土、又は白を、或いはその両方の灰 形成要素を含む適当７−＝−・やサンプルを使用し、１１８に生じる値が間の変 化の影響もＢＷの変化の影響も実質的に受けず、灰要素の量の変化に適切に応答 するように、定数を決定する。この点において、例えば、灰要素として粘土のみ を含むサンプルと、白をのみを含むサンプルとを用いてテストを行ない、このチ ャンネルが実際に白を成分と粘土成分とに対して実質的に同様に応答することを 確かめろ。もしこのようにならなければ、交点４０（第２図）での作動が得ら力 、るようにＸ線ス被りトルが正確に揃えられていないので、高圧Ｖ１を調整し直 さねばならない。

他のチャンネル９０及び９２は、同様に作動し校正されるが、チャンネル９０の 校正については粘土及びＴｉ　Ｏ２を含む〈−・ぐサンプルを用い、そしてチャ ンネル９２の校正については白を及びＴｉ　Ｏ２を含むサンプルを用いろ。

第１チヤンネルにおいて１１８に得らね、る値、第１チヤノネルにおいて１２０ に得られろ値、及び第３チヤンネルにおいて１２２に得られろ値は次いで正規化 され、３つのチャンネル全部が灰の粘土成分に対して厳密に同様に応答するよう にされる。とのため、１１８．１２０及び１２２に得られる値の少なくともユつ は、１２４．１２６、及び１２８で示されたように傾斜−遮断調整を受ける。こ れは、単に、次式に基いて、例えば１１８で得た次々の値に適当な傾斜調整係数 Ｓを乗算し、そして遮断調整定数１を加算することより成る。

ｙ＝ｓｘ＋ｌ　（２） 但し、Ｘは１１８．１２０又は１２２に得られる値であり、Ｓ及び１は次のよう に適当に選択される。

Ｙ１１８−Ｙ１２０−Ｖ１２２　（３）但し、これは粘土のみを含む灰要素をも ったベーパサンプルが装置で測定された時のものである。

第３図において、正規化された第７チヤンネル応答はＳｌ　で示され、正規化さ れた第Ωチャンネル応答はｓ２で示され、そして正規化された第３チヤンネル応 答はＳ３　で示されている。これらの応答は次のように構成される。

ｓｌ　＝Ｃ＋ＡＴ＋Ｈ（４） Ｓ２　＝Ｃ＋Ｔ＋βＨ（５） Ｓ３＝Ｃ＋δ（Ｔ　十Ｈ）　（６１ 但し、Ｃはベーパ中の粘土含有率であり、ＴはＴｉ　Ｏ２含有率であり、そして Ｈは白を含有率である。Ａ１β及びδは定数である。

例えば、第２図を参照して、式（４）について考えると、電圧Ｖ工及び交点４０ を選択することにより、Ｘ線エネルギス被りトルは、粘土及び白をが正規化のた めにｌと考えることのできる同じ応答を形成するように選択される。然し乍ら、 Ｔｉ　Ｏ２は粘土又は白をの約半分の信号しか与えず、従ってへの値はほぼ％で ある。式（５）について考えると、電圧ｖ２において、粘土及び几０２　は同じ ／の（正規化のため）応答を形成するが、白をは約／乙倍の信号を与え、従って βの値ははソ／乙である。電圧ｖ３においては、粘土に対する応答が正規化のた め／であるが、几０２　又は白をは約２倍の信号を与え、従ってδの値は約２０ である。Ａ、β及びδの正確な値は、各個々のり−ジに対する校正で決定するこ とができ、Ｃ１■及びＨ成分及び／又はｄ　−ノｅ　１Ｑの全入要素のいずれか 又は全部に対して式（４）、（５ン及び（６）を解くのに必要な計算、１３０で 示す、は取るに足りない問題である。

成分或いはイー・ぞの３成分灰形成混合物の全入要素を、第を図に概略的に示さ れたダブルデツキ検出構成体を用いて説明することができる。

この場合、　ｄ　−ｔＰンート１３２は、Ｘ線源ユニット１３４とダブルデツキ 検出器１３６との間に連続的に通される。測定中、Ｘ線源ユニット１３４に送ら れる高圧は、所定のエネルギスペクトル及び一定の出力強度をもつＸ線ビームを 発生させるように、非常に安定化された一定の高圧である。第１図の実施例の場 合のように、スにクトルは、灰成分の少なくとも／っに対する吸収端エネルギを 含んでいる。第１図の場合と同様に、線源ユニット１３４は移動する４−パンー ト製品１３２へＸ線ビームを向け、ダブルデツキ検出構成体１３６は、製品１３ ２から、これを貫通して送られたＸ線を受ける。

検出構成体１３６は電離室殻１３８を備え、これは仕切板１４０によって仕切ら ねてぃて、λつの電離室検出器１４２及び１４４が形成されている。被−パ１３ ２から受けたＸ線は窓１４６を通って第１検出器１４２へ入り、窓１４６は１０ ｆ！いし、２０ミル（０，２５ないし０．Ｓ−）厚みのベリリウムシートより成 り、これは室１４２を充分に加圧できるようにし然も軟Ｘ線を実質的に透過式せ る。破線１６２は、後述するように室１４２に入るＸ線のエネルギスペクトルを 整形する助けとして任意に用いられるフィルタの位置を示している。フィルタ１ ６２の実際の厚みは典型的に数ばクロン（μｍｎ）シかないので、フィルタ１６ ２の厚みは相白に誇張して示されている。

電離電流は電極１４８によって収集され、この電極は典型的に約Ｓミル（０，／ ３ｒｔａ＝）厚みのベリリウムシートにアルミニウムのフレームを設けたものよ り成る。仕切板１４０も典型的におそらく５ないし１０ミルＣＯ，／３ないし０ ．２！ｆ；ｗｎ）の厚みのベリリウムシートで形成され、とわけ、もし適当であ れば、Ωつの検出器が異なった圧力の異なったガスを含むことができるようにす る。従って、第１検出器は、イー・や１３２から受けたＸ線の７部を検出して第 １検出器応答を形成すると共に、上記の受け取ったＸ線の第２部分を電極１４８ 及び仕切板１４０を通して第λ検出器即ち電離室１４４へ伝送する。破線１５０ は、後述するように、第１検出器１４２に入るＸ線のスペクトルを整形する助け として典型的に用いられるフィルタの位置を示している。第１検出器１４２の電 離電流は電極１５２によって収集される。電極１５２は相当の厚みのものであり 、電離室１４４はこれに入るＸ線からできるだけ多くの電離電流を取り出すよう に設計される。

第１及び第コ検出器から収集さね、た電離電流は各々の高インピーダンス演算増 巾器１５４及び１５６によって増巾をれて、お＼まかな信号の形態の開始応答が １５８及び１６０に各々形成される。これらのお＼まがな信号は、第１図につい て述べたのと同様にケ９−ト装置８０ａ及びアナログ−デジタルコンバータ８２ ａを制御するデジタルコンピュータ１４ａによって適当な時間にサンプリングさ れる。サンプリングされたデータは、コンピュータにより、第３図について前記 したようにλつの個々のチャンネルにおいて開始応答ｓＭ□及びｓＭ、（又は８ Ｍ２及び８Ｍ３、又はＳＭ□及び５Ｍ３）として処理され、情報は最終的には１ ３０において灰含有率の計算に用いられる。

第３図に示されたデータ処理作動は比較的簡単であるから、これらの作動は所望 ならば一般のアナログコンピュータ素子で行なうこともできる。

第”ｌ”（／ｊのＶ（置の特定の構造にもよ石）が、本発明を実施す＜Ｊ場せい −）５）、多数の態様を選ぶことができろ。７群の態様に卑いて、ス成分の灰要 素′り成分を測定することができる。例えば、＋質的（Ｃ粘土及び二酸化チタン より成る灰要素の＋ｊｌｌｌ定について先ず考える。これらの実施例にお（ハて ）す、フ・丁ルク１６２力泳丘、ノモざ、ｎ−１，４，。線源ユニット１３４内 Ｌｆ）　Ｘ：線管Ｖｒ　ｔ＼；’、、）　市ＦＥ＋ＣＮ３　ＨｐノＣｈｏ及び１ Ｊｔｔの最初・り論文に＋／ｉゾ＼Ｌ、れた。Ｌっに、交点４２（電ｆ：ｔ　Ｖ ２＋をイノ）ろ９Ｊ：うに調整でれ、従ってＳ　（第３図）とし２て２ 示きｔ＋、　ｆ、−第１電離室１４２がらの信号１５８（第９図）が第３図の、 ■、うに処理さｆｌ−だ時には、処理さね、た信号Ｓ２　か次式のように構成さ ｆ″１．ろ。

５２＝ｃ＋ｒ　（７） イ１１シ、既に定めたように、Ｃは粘土（Ｃ対する応答を衣ゎｌ−ぞ１−てＴは ７ＺＯ２に対ｔろ応答を衣ゎす。

１に末、２ｐムＩＬ離室１４４つ・ｌっの信号１６０はｓＭ　３　とへ・リ−て し−Ｊ”υ終曲に第３図の８−、とｆＬ７）が、との信号１６０　ｉ、１式（７ ）と同様に構成さ＋′１ない。というのは、硬Ｘ線、１、りも軟Ｘ線の方デ）ζ 第１′亀離室１４２の通過中に多く吸収を八、従って電離室１４４に入るＸ線の スペクトルをゝゝ硬イヒ″させるからである。電離室１４４中での粘土にズＪす る応答と几０２　にｚ３する応答とを異なったものにするために、必要ならば、 例えば数μｍ厚みのアルミニウムフィルタ１５０に設けろことによってこの硬化 ノロセスを促進させるＣとができろ。従−って１．コ号Ｓ３は次のように構成さ ハるＯ ３３　＝　Ｃ半Ａ□丁　（８） 式（７）及び（８）は簡単な解Ｔ−（Ｓｚ−Ｓ２＋／（Ａ、−／　）　及びＣ・ −８，−王　をも−９゜ ｙ線硬化促進手段を用いて電離’−７（１４４中で／７）粘−１に対する応答と ′１″ｔ０２　にｚｌ−ｒろ応答とを入きぐ’７４　：４こらせる代す（で、約 ｌ　７０μｍ厚みのすｆｌ）−フィルタをＴ２Ｏに使用することができろ。この チタンフィルタは−１−タンに端、より高い工不ルキな有する大部分のＸ線を＄ ：１ハ的に除去し、従って電離室１４４がらイ（）ら７ｊ−る応答は次のｊ、う に構成さノＬる。

ｓ３＝　Ｃ＋Ａ２Ｔ　（９） ことで、定数へ２は第ユ図から明らか４、ようにはＮ７１・岳の値を有する。と いうのは、チタンに端より低いゴー不ルギにおいては、几０２　の吸収係数が粘 土の吸収係数の約十分たからである。式（７）及び（９）は、丁−ス（ｓ２”” ”ｓ３１　及びＣ＝　５２−Ｔに近イＴ　＝　（Ｓ２　ｓ３）／（／−Ａ２）　 Ｋ対して解かれろ。

交点４２を得ろようにＸ線エネルギを選択する場合には、二酸化チタン成分に７ ４する一方のチャンネルの応答Ｓ２　を、式（７）で例示されるように、粘土成 分に対するその応答と同ＩＣにするという計算トの利点を含む多数の利点が７ち る。こハば、粘土成分Ｖこ対する両チャンネルの応答Ｓ２及びＳ３を同じにする という正規化により生じる利点に加えられろものである。然し乍ら、このエネル ギ選択は、灰成分の計算を行なえろようにするために絶対的に心安であるという ものではない。例えば、厳密にエネノノキ゛を選択けずＫ　１５　Ｑ　ｙ（チタ ンフィルタを用いた場合には、式（７）が次のようになる。

Ｓ２　＝Ｃ４式３丁　ＯＱ そして第コ検出器は式（９）と同じ応答を形成する。式（９）及び０１はＴ　＝ 　（Ｓ３Ｓ２）／（Ａ３−Ａ２）及びＣ＝５２−Ａ３Ｔに対して解かれる。

１５０にチタンフィルタを用いず、厳密なエネルギ選択も行なわない場合には、 ２つのチャンネル応答は次のように構成さねろ。

こバはＴ　−（５２−３３１／（Ａ４−Ａ５）　及びＣ＝Ｓ２−Ａ、Ｔ　に対し 、てｊａｒ　＜ことができろ。

第７図の装置の前記の応用例では、尽−・ぐの１つのλ成分灰安素、特に粘土及 び几０２　の混合物、のみの成分を測定する使い方を説明した。同様に、この装 置を、他の氾成分混合物、例えば粘土及び白をの混合物或いは白を及びＴｉ　０ ２　の混合物にも利用することができる。″軟化″技術を用いて第２検出器１４ ４から対比応答を得るように粘土及び白を混合物を分析すべき場合には、フィル タ１５０は、カル／ラムのに端より高いエネルギを有するＸ線を選択的に除去す るように数μｍのスズで構成される。というのは、実用的なカルシウムフィルタ を所要の仕様に構成する技術は現在のところ知られ、ていないからである。スズ フィルタの特性は以下で詳細に説明する。

次に考慮すべきものは、灰形成成分のユ成分混合物又は、？成分混合物、例えば 、粘土、白を及びＴｉ　Ｏ２成分のうちのいずれか１つ、いずれかユつ、又は３ つ全部を含むぜ−・ぐの全天要素を測定ずろために本発明によって利用できる任 意選択体である。

前記したように、１Ｊｔｔ及びＣｈｏの論文に述べられた市販のケゝ−ノは、Ｘ 線強度の約１５％がチタンのに端エネルギより上にあり、残りの約ｇＳ係がとの に端エネルギより下にあるようにスペクトルを選択（〜たＸ線ビー）・を被−・ Ｐに向けて、第２図の交点４２を得ると共に、／チャンネル装置内の単／検出器 で測定を行なうことにより、粘土及び几０２　の混合物を含むペーパ内の全灰量 を測定できろようにされている。同様に、粘土及び白をの混合物は、Ｘ線強度の 約１１０％がカルシウムのに端エネルギより上にあるようにスペクトルを選択し て、交点４ｏを得ろようにすることにより、」１１定することができる。然し乍 ら、現在捷でのととる、粘土、白を及び几０２　の混合物を含むベーパにおいて 同様の全灰量測定を行なえるような×線スぜクトルを形成することは不可能とさ れている。

然し乍ら、本発明によれば、第Ｓ図に点１６４で示されたように、粘土、白を及 びＴｉＯ２に対して等しい平均実効吸収係数を得ることができると分った。この 結果を得るために、Ｘ線源ユニソ）１６６Ｃ第乙図）は、チタンに対するに端エ ネルギがり６９乙６ＫｅＶであるような第７図１／Ｃｗ、す工不ルギスー？クト ル１６８を有するＸ線ビームを発生するように約５．５ＫＶで作動されるＸ線管 を備えている。これらのＸ線はフィルタ１７０によってフィルタされてから、測 定さるべきベーパ１７２に入射する。

電離室検出器１７４はに一パからＸ線を受け取る。

フィルタ１７０は、カルシウムに対するに端エネルギとチタンに対するに端エネ ルギとの間のエネルギを有したＸ線を選択的に吸収するように設計される。この 特定の選択性は、スズのＬ端吸収特性である。スス゛は、例えば蒸着によって被 膜としてベリリウム窓に付着される場合には、約４’７ｚいしｇμｍの厚みを有 し、或いは例えばイオン衝撃によってマトリクスとして分布された場合には、ス ズの重量／単位面積が約グーｇμｍのスズ厚みに等価でなければならない。

公称基礎重量が７０θ２／ｍ２でありそして公称組成として約７０％の全灰量な 含むようｆｘ　ｄ−・その場合には、スズフィルタ１７０の厚みが約４．６μｍ でなければならないことがコンピュータによって指示される。被−・ξ１７２が ない場合には、検出器１７４によって検出されろＸ線は第Ｓ図（Ｃ示したエネル ギ分布を有する。スにクトル１７６は第７図の元のス被りトル１６８の強度に対 して正規化される。実際には、スズのフィルタはＸ線を約２０の係数で減衰させ 、従って、Ｘ線源ユニット１６６は前記のＵｔｔ及びＣｈｏの論文に述べられた 市販のゲージに用いられるＸ線ビームよりも相当に強力ｌＸ線ビームを発生しな ければならない。

検出器１７４によって発生された信号１７６で増巾され、１７８でデノタル信号 に変換され、そしてコンピュータ１８０はこれを用いてライン１８２に応答を形 成し、この応答は第１図について述べたのと同様に表示、記録及゛び／又は制御 装置１８４によって適当に使用される。

第Ｓ図に示したようなエネルギ選択性及びフィルタ１７０の作用により、１８２ に生じる応答は検出系統により受け取られたＸ線のスペクトルに応じたものであ り、このスペクトルは、粘土、白を及びＴｉ　Ｏ２に対する平均実効吸収係数が 第Ｓ図の点１６４において実質的に等しくされるようにエネルギの関数として強 度が分布されたものである。

公称質量／単位面積、公称質量／単位長さ、或いは公称質量／単位体積の付近の 変化を示すと共に、別々の化学元素で形成された３つの成分のうちのいずれが或 いはその全部−そのうちの少ｌくともユつはＸ線ス被りトルの隣接領域に吸収端 を有する−で構成された当該要素を含む公称組成の付近の変化を示すような他の 移動製品を測定するのに、一般的に同様の方法及び装置を用いることができろ。

第６図に示されたように啄−Ａ中の灰を測定する実施例においては、スズフィル タ１７０に対して適切な厚みを選択しそしてエネルギ選択を行なった場合に、選 択された公称基礎重量及び公称組成に対し、第Ｓ図に示したように同じ平均実効 吸収係数を得ることができる。然し乍ら、いったんパラメータを選択すると、測 定されているイー・ぐの基礎重量又は組成が公称基礎重量及び組成から大きく異 なるようになった場合には、その差が増す程、内第に大きなエラーが生じる。こ れは、ベーパ自体がフィルタとして働いて、Ｘ線源ユニット１６６により形成さ れたＸ線エネルギスペクトル１６８（第７図）の形状を成る程度変えるためであ る。

従って、測定される材料が相当に広範な変化を受ける場合や最初にケ゛−ノパラ メータのゝゝ同調″を正確にとれない場合には、例えば位置１６２にスズフィル タのようなフィルタを追加して第７図のダブルデツキ検出構成体を用いろことが できる。この装置においては、例えばベーパ中の灰の白基成分のような１つの成 分の量が変化する場合の不完全な幾何学的補償の影響に対し、第コの検出器を用 いて第１の検出器の応答が修正される。この場合、応答Ｓ２及びＳ３は次のよう に構成される。

陣−Ｃ＋Ｔ＋　（／−δ）Ｈ０３ ３＝Ｃ＋Ａ６Ｔ＋ＢＨＱ４１ 但し、δは、例えばフィルター６２として不適切な厚５みのスズを用いたために 白をに対する微調が不充分であることによって生じる残留エラーを示している。

δ、Ａ６及びＢ（その厳密な値は結局は校正中に決定することができる）は設計 定数であり、次の条件を満足するようにされる。

δは正でも狛でもよいことに注意されたい。

条件００を満足するために、フィルター５０及び１６２の材料を選択するのに加 えて、電離室１３８及び１４４用の充填がスの組成及び圧力が選択されろ。及− ・ぐの灰の分析器の場合には、クセノンが４．７７ｚいし５．’＋ＫｅＶの範囲 の大きなＬ端エネルギを有し、クリプトンは当該領域に大きな吸収端エネルギを 持たず、そしてアルゴンは３．．３ＫｅＶのに端エネルギを有することに注意さ れたい。

アルゴンは、電離室１４４からの信号電流の振巾を増加するために電離室１３８ に一般的に使用されることが予想される。Ｘ線管の高圧は、製造裕度の影響を成 る程度調整する微調・ぐラメータである。

全灰含イ１率１・〜１　に／↑して弐ｑ４及び（＋４）　Ｑ２解ぐと、次のよＡ ｔ　の訓定稙Ｉｔ　ｃとではＴｉＯ２の未知の含有率■に基くイ、のであ４）が 、第１項及び第３項は小さな修正項に過きないσ、とが分かろう。１δ１”、、 、　０．　／であり、：Ｆ：し、て（Ａ６−／）・てθ、ダであるから、第３項 を無視することによる一Ｌシラー実際の几○、含イ１率の７７２０未満である。

す１に、Ｔｉ　Ｏ２は比較的コストが高いので、３成分混合物中の几Ｏ３含イＪ 率は５％を越えない。従って第３頂を無視する。二とによるエラーはθ、、２１ −φ未満である。従って全入１ｆ冒１次式から泪算さハ、ろ。

ＡＩ＝４（Ｂ　／）ｓ２−δＳ３）／（８−／−δ）０７）Ｖ（０２含有率の範 囲が既知の場合には、次式を用いるととにより代る程度の付加的な敗色す行なう ことができ４）。

△１−（（Ｂ／）Ｓ２−δＳ３３’２δ（Ａ６−／）Ｔｍ８ｘ）／（Ｂ−／−δ ］　０８１世し、”ｍａｘ　は予想さｔする最大７”ｉ　０２　含イ１率である 。

条件０［有］？設定する代りに、次のような別の７組の条件を設定することもで きろ。

Ｉδ！・二〇、ゲ ＋ｉでｌ記の条件（ｌ！Ｋｌでは、フィルタ位置１６２に相当の厚みのスズカー 必要とさｆＬＩ−）と共に、フィルタ位置１５０に硬化フィル々が１７・要とさ え１ゴーが、条件Ｑ９は、例えば相当に薄いスズフィルタを用い然もフィルタ位 置１５０に適当な厚みのチタンを用いろことによって満足す・ｂことができる。

式α（９から、δの値に拘りなく、八６−／の場合に、式θηが適正ｔ−ものと なることに注意されｊ、−い。

又、式θ７）：辻、ス成分の混合物の全灰量の測定にも適用できる。との式は、 粘土及び白票混合物に対（２てはその−ｊ＼使うことができ、そして粘土及びＴ ｉ　０２　混合物に対してばδ＝０沈七ツｉ・することにより適切斤ものにさｆ ′＋ろ。

光業者唇明らかなように、製紙機のラインに用いらｈ−１Ｘ線、γ線等を使用」 る多成分灰の分析器）オ、幾つかのエラー発佳源の影響を受け、これらのエラー 発（１−源はささいなものではあるが犬１〕に明確に減少させろことができない 。灰の成分を個々に測定或いは語算ｌ〜そして加算して全灰量を得なければなら ない場合に、例えば３成分の灰を測定する際には、上記の減少できないエラーの 大きさが成る状態の下で３倍になるということを考慮しなければならない。この 特定の問題は第６図の方法及び装手続補正書（方式） 特許庁長官　殿 １、事件の表示　ＰＣＴ／ＵＳ　８２１０　］　０２９３、補正をする者 事件との関係　出願人 名称　アキュレイ　コーポレーション ４、代　理　メ ５、補正命令の日付　昭和５８年６月７日補正書の翻訳文提出書 （特許法第１８４条の７第１項） 特許庁長官　若　杉　和　夫　殿 １、特許出願の表示　ＰＣＴ／ＵＳ８２１０１０２９３、特許出願人 名　称　アキュレイ　コーポレーション５、補正書の提出年月日　昭和５８年１ 月２１日請求の範囲 ／　種々の原子番号の成分をもつ材料から連続的に形成される移動する製器の要 素ないしは成分を測定する方法において、 少なくとも１つの成分に対する吸収端エネルギを含むエネルギを有したＸ線ビー ムを上記製品に向け、上記製品からＸ線を受け取り、この受け取ったＸ線に応答 して第７チヤンネル応答及び第７チヤンネル応答を形成し、このλつのチャンネ ル応答はこれらが１つの成分に対しては実質的に同じであるが別の成分に対して は異なるように２つの異なったエネルギスにクトルに応じたものであり、 エネルギスペクトルの少なくとも７つは、上記別の成分に対する一方のチャンネ ルの応答を、上記７つの成分に対するその応答と実質的に同じにするように選択 され、そして、上記第１及び第ユのチャンネル応答に応じて、上記製品中の要素 ないしは成分の含有率を表わす合成応答を形成することを特徴とする方法。

、２２つのチャンネル応答のうちの少なくとも７つは正規化され、この正規化の 後、両チャンネル応答はｌっの成分に対して実質的、顛同じで、別の成分に対し て異なるようにされる請求の範囲第１項に記載の方法。

３　第１エネルギス被クトルと第１エネルギス被クトルとの間で成る繰り返しシ ーケンスで上記ビーム中のＸベクトルに順次に応答して第１及び第二のチャンネ ル応答を形成する請求の範囲第１項又は第２項に記載の方法。

ク　上記のシーケンスは第３のエネルギスペクトルを含み、この第３のエネルギ スはクトルに応答して第３のチャンネル応答を形成する請求の範囲第３項に記載 の方法。

Ｓ　第３成分に対する第３チヤンネルの応答を、上記７つの成分又は上記別の成 分に対するその応答と実質的に同じにするように別のエネルギスペクトルが選択 されろ請求の範囲第を項に記載の方法。

乙　Ｉ−記ビームのＸ線エネルギは、種々の高電圧をＸ線管に順次に印加するこ とによってシフトされる請求の範囲第３項に記載の方法。

７　種々の原子番号の成分をもつ材料から連続的に形成されろ移動する製品の要 素ないしは成分を測定する方法Ｗおいて、 少なくとも７つの成分に対する吸収端エネルギを含む一エーネルギをイ］（７た Ｘ線ビームを−」二記製品に向け、Ｌ記製品からＸ線を受け取り、この受け取っ たＸ線の７部分を検出する第１検出器が、この受け取ったＸ線に応答して、第１ チヤンネル応答を形成すると共に、この受け取ったＸ線の第１部分を伝送するよ うにし、−ｈ記第１検出器によって伝送されたＸ線を検出して第二チャンネル応 答を形成し、 上記のチャンネル応答はこれらが７つの成分に対しては実質的に同じであるが別 の成分に対しては異なるようにユつの異なったエネルギスにクトルに応じたもの であり、 そして、上記第１及び第二のチャンネル応答に応じて、上記製品中の要素ないし は成分の含有率を表わす合成応答を形成することを特徴とする方法。

ｇ　上記第７検出器によって伝送され、ろＸ線は、そのエネルギスペクトルの形 状を直すようにフィルタで力５てから、第二チャンネル応答を形成するように検 出これろ請求の範囲第７項に記載の方法。

９　Ｆ記フィルタ作動は、上記７つの成分に対する吸収端エネルギより高いエネ ルギをもったＸ線の相対強度を選択的に下げろように行なわれる請求の範囲第ｇ 項に言ビ載の方法。

１０　製品からのＸ線は、第１検出器で受け取られる前にフィルタし、上記１つ の成分に対する吸収端エネルギより小さく且つ上記別の成分に対する吸収端エネ ルギより大きいエネルギをイボするＸ線の相対強度を選択的に下げろ請求の範囲 第７項に記載の方法。

／／　第１検出器によって伝送でれるＸ線は、エネルギスにりトルの形状を更に 直すようにフィルタでれてから、第二チャンネル応答を形成ずろように検出され る請求の範囲第７０項に記載の方法。

／２　製紙機械によって製造される移動するぜ一パンート中の灰形成イ２料又は 灰形成材料の成分を測定する方θ二において、上記灰形成材料は種々の原子番号 の成分なイｊし、上記硬−・Ｐは基礎重量が変化しそして水分含有率も変化し、 上記方法は、 少なくとも７つの成分に対する吸収端エネルギを含むエネルギを有したＸ線ビー ムを上記に−・ξに向け、上記に−・ξからＸ線を受け取り、この受け取ったＸ 線を検出して第１及び第二の開始応答を形成（〜、−１Ｌ記ベーパの基礎重量及 び水分含有率に対して応答を形成し、 基礎重量及び水分含有率に対する上記応答に基いて上記第１及び第二の開始応答 の各々を補償し、との補償された応答から第１及び第二チャンネル応答を導出し 、こわらのチャンネル応答はに−・ンの基礎重量及び水分含有率には実質的に拘 りのない灰要素の関数であり、２つのチャンネル応答はこれが１つの灰成分に対 しては実質的に同じであるが別の灰成分に対しては異なるように〕つの別々のＸ 線エネルギスぜり］・ルに応じたものであり、 そして、上記第１及び第二チャンネル応答に応じて、上記に−・ξ中の灰要素も しくは成分の含有率を表わす合成応答を形成することを特徴とする方法。

／３　上記の灰要素は少ｌぐとも一つの成分を有し、上記第１及び第二チャンネ ル応答の少ｌくとも一方は正規化され、この正規化の後に、両応答は７つの灰成 分に対しては実質的に同じであるが他の成分に対しては異なるようにされる請求 の範囲第１２項に記載の方法。

／グ　エネルギスにクトルの少なくとも７つは、」−ａ己他の灰成分に対する一 方のチャンネルの応答を、上記７つの灰成分に対するその応答と実質的に同じに するように選択される請求の範囲第１３項に記載の方法。

１５　粘土、白を及び二酸化チタンのいずねか或いはその全部の成分で構成され ろ灰形成要素を含んだ公称組成並びに公称基礎重量のイ・」近で変化を示すよう な移動するに−・ぐシート等を測定する方法において、チタンに対するに端エネ ルギを含むエネルギをイｊしているＸｉビームを＜−ノｅに向ケ、 Ｋ−・やからＸ線を受け取り、この受け取ったＸ線のスにりトルに対して応答を 形成し、とのスペクトルにおいては、綬−・ぐの公称基礎重量及び組成に対して 、粘土、白を及び二酸化チタンの平均実効吸収係数が実質的に等しくされるよう に強さがエネルギの関数として分布され、上記の応答は波−カ中の灰形成要素の 量を表わすものであり、粘土、白を及び二酸化チタンの相対的な量によって比較 的影響さね、ないことを特徴とする方法。

／乙　Ｋ−Ｉに向けられろＸ線ビームは、約５．３ＫＶで作動されるＸ線管を含 むＸ線源ユニットによって発生される請求の範囲第７５項に記載の方法。

／７　」−記のスイクトルは、カル／ラムとチタンとに対するに端エネルギ間の エネルギをもつＸ線を選択的に吸収するフィルタにＸ線を通すことによって形成 されろ請求の範囲第１６項に記載の方法。

７ｇ　上記フィルタは、約グないしｇμｍのスズ厚みに等価な重量／単位面積の スズで構成される請求の範囲第７７項に記載の方法。

／ｑ　単位面積、長さ又は体積当たりの公称質量の付近で変化を示すと共に、別 々の化学元素で各々形成された３つの成分−そのうちの少なくとも２つはＸ線ス ペクトルの隣接領域に吸収端を有する−のいずれか又はその全部で構成される当 該要素を含む公称組成の付近で変化を示すような移動する製品を測定する方法に おいて、上記成分の各元素に対する最高の顕著な吸収端エネルギを含むエネルギ を有したＸ線ビームを上記製品に向け、上記製品からＸ線を受け取り、この受け 取ったＸ線の検出スペクトルに対して応答を形成し、このスペクトルにおいては 、単位面積、長さ又は体積当たリメ公称質量及び上記製品の公称組成に対し３つ の成分の平均実効吸収係数が実質的に等しくされるようにエネルギの関数として 強度が分布され、上記の応答は上記製品中の当該要素の量を表わし、上記製品中 の３つの成分の相対的な量には比較的影響されないことを特徴とする方法。

２０　種々の原子番号の成分をもつ材料から連続的に形成される移動する製品の 要素ないしは成分を測定する装置において、 少なくとも７つの成分に対する吸収端エネルギを含むエネルギを有したＸ線ビー ムを上記製品に向ける手段と、上記製品からＸ線を受け取り、この受け取ったＸ 線に応答して第１チヤンネル応答及び第コチャンネル応答を形成する手段とを具 備し、この２つのチャンネル応答はこれらが１つの成分に対しては実質的に同じ であるが別の成分に対しては異なるように２つの異なったエネルギスペクトルに 応じたものであり、 エネルギスペクトルの少なくとも１つは、上記別の成分に対する一方のチャンネ ルの応答を、上記７つの成分に対するその応答と実質的に同じにするように選択 され、そして更に、上記第１及び第２のチャンネル応答に応じて、上記製品中の 要素ないしは成分の含有率を表わす合成応答を形成する手段を具備することを特 徴とする装置。

コ／　２つのチャンネル応答のうちの少なくとも１つを正規化し、この正規化の 後、両チャンネル応答が１つの成分に対して実質的に同じで、別の成分に対して 異なるようにする手段を具備した請求の範囲第２０項に記載の装置。

２２　第１エネルギス被クトルと第１エネルギスペクトルとの間で成る繰り返し のシーケンスで上記ビームのＸ線エネルギをシフトする手段と、第１及び第コの エネルギスペクトルに順次に応答して第１及び第２のチャンネル応答を形成する 手段とを備えた請求の範囲第２０項又は第一７項に記載の装置。

コ３　上記の繰り返しシーケンスは第３のエネルギスペクトルを含み、上記装置 は、この第３のエネルギスにクトルに応答して第３のチャンネル応答を形成する 手段を含む請求の範囲第２２項に記載の装置。

、２／Ｉ　第３成分に対する第３チヤンネルの応答を、上記１つの成分又は上記 別の成分に対するその応答と実質的に同じにするように別のエネルギスペクトル が選択される請求の範囲第２３項に記載の装置。

２左　上記Ｘ線エネルギシフト手段は、種々の高電圧をＸ線管に順次に印加する 手段を備えている請求の範囲第２２項に記載の装置。

コ乙　種々の原子番号の成分をもつ材料から連続的に形成される移動する製品の 要素ないしは成分を測定する装置において、 少なくとも１つの成分に対する吸収端エネルギを含むエネルギを有したＸ線ビー ムを上記製品に向ける手段と、上記製品からＸ線を受け取る手段とを具備し、こ の手段は、この受け取ったＸ線の７部分を検出して第１チヤンネル応答を形成す ると共に上記載は取ったＸ線の第２部分を伝送する第１検出手段と、この第７検 出手段により伝送されたＸ線を検出して第２チヤンネル応答を形成する第コ検出 手段とを備え、 上記λつのチャンネル応答はこれらが１つの成分に対しては実質的に同じである が別の成分に対しては異なるようにλつの異なったエネルギスペクトルに応じた ものであゆ、 そして更に、上記第７及び第スのチャンネル応答に応じて、上記製品中の要素な いしは成分の含有率を表わす合成応答を形成する手段を具備したことを特徴とす る装置。

２７　上記第１検出器によって伝送されるＸ線を検出して第コチャンネル応答を 形成する前に、そのエネルギスペクトルの形状を直すようにフィルタする手段を 備えた請求の範囲第２乙項に記載の装置。

２ｇ　上記フィルタ手段は、上記７つの成分に対する吸収端エネルギより高いエ ネルギをもったＸ線の相対強度を選択的に下げる手段を備えている請求の範囲第 ２７項に記載の装置。

ニア　製品からのＸ線を、第１検出器で受け取る前にフィルタし、上記１つの成 分に対する吸収端エネルギより小さく且つ上記別の成分に対する吸収端エネルギ より大きいエネルギを有するＸ線の相対強度を選択的に下げるようなフィルタ手 段を備えた請求の範囲第、２乙項に記載の装置。

３０　上記第１検出器によって送られるＸ線を検出して第１チヤンネル応答を形 成する前にそれらのエネルギスペクトルの形状を更に直すようにフィルタする手 段を備えた請求の範囲第２９項に記載の装置。

３／　製紙機械によって製造される移動する被−パシート中の灰形成材料又は灰 形成材料の成分を測定する装置において、上記灰形成材料は種々の原子番号の成 −分をイラし、−１−１・１．バー・ハす基礎型破が変化しそしで水分含有率も 変化し、上記装置は、 少なくとも７つの成分に！ｊ史る吸収端エネルギを含む工不ルキ゛をｍｌ−たＸ 線ビームを上記イーパに向ける手段Ｉ−記一？−・ｐか１つＸ線を受け取り、こ の受け取ったＸ線を検出して第１及び第２の開始応答を形成する手段と、−４、 記せ−・？の基礎重量及び水分含有率に対して応答を形ルｙする手段と、 基礎重量及び水分含有率に対する上記応答に基いて上記第１及び第二の開始応答 の各々を補償する手段と、？−の補償さバーだ応答から第１及び第ａチャンネル 応答を勇出する手段とを具備し、これらのチャンネル応答は−ぐ−・ｅの基礎重 量及び水分金石率には実質的に拘りのなり）ｂｋ、　９素の関数であり、ユつの チャンネル応答はこれらが７１つの構成分に対しては実質的に同じであるが別の 構成≦）（こχ１しては異なるように二つの別々のＸ線エネルギスーぐりトル９ （応じたものであり、 ｆｌで史に、上記第１及び第ρチャンネル応答に応じて、１記・り−Δ中の灰要 素も１〜くは成分の含有率を衣わず合成応答を形成ずろ手段を具備することを特 徴とする装置。

３２　上記の灰要素は少ｌくともΩつの成分を有し、１−記載１及び第コチャン ネル応答の少なくとも一方を正規化して、この正規化の後に、両応答が７つの構 成分にズ−■しては実質的に同じであるが他の成分に対しては異なるようにずろ 手段を備えた請求の範囲第３７項に記載の装置。

３３　エネルギス綬りｉ・ルの少ｌぐとも１つは、−１−記載の構成分に対する 一方のチャンネルの応答を、−１−記１つの構成分に対するその応答と実質的に 同じにする。ｌ：つに選択されろ請求の範囲第３２項に記載の装置。

３／Ｉ−粘土、白票及び二酸化チタンのいず７′１か或いはその全部の成分で構 成さバーろＩＪ杉成要素を含んだ公称組成並びに公称基礎重量の付近で変化を示 すような移動するぜ−・ぐシート等を測定する装置において、チタンに対ずろに 端エネルギを含むエネルギをｍｌ−でイルＸ線ビームをく一パに向ける手段と、 １ベー・やからＸ線を受け取り、この受け取ったＸ線のス波りトルに対して応答 を形成する手段どを」ル備し、とのスぜクトルにおいては、硬−・ξの公称基礎 重量及び組成に対して、粘土、自学及び二酸化チタンの平均実効吸収係数か実質 的Ｋ　”’ｐ　Ｌ　（されろように強さがエネルギの関数どして分布さえｊ、Ｉ −記の比、Ａｒ主？−・Ｑ巾の灰形成弗幸の量を表わすものであり、粘土、白を 及び二酸化チタンの相対的な量によって比較的影響さハ、すいことを特徴とする 装置。

３３　被−・ＱにＸ線ビームを向けろ上記手段は、約９．５ＫＶで作動されるＸ 線管を含むＸ線源ユニットを備えている請求の範囲第３１１項に記載の装置。

３乙　」−記のスにクトルは、カルシウムとチタンとに対するに端エネルギ間の エネルギをもつＸ線を選択的に吸収するフィルタにＸ線を通すことによって形成 される請求の範囲第３５項に記載の装置。

３７　上記フィルタは、約／ｌｆｘ、いしｇμｍのスズ厚みに等価な重量／単位 面積のスズで構成されろ請求の範囲第３４項に記載の装置。

３ｇ　Ｉ＋’位面積、長さ又は体積当たりの公称質量の付近で変化を示すと共に 、別々の化学元素で各々形成された３つの成分−そのう（、の少なくともノつは Ｘ線スにクトルの隣接領域に吸収端を有する−のいずれか又はその全部で構成さ ハ５る当該要素を含む公称組成の付近で変化を示すような移動する製品を測定す る装置において、」−構成分の各元素に対する最高の顕著な吸収端エネルギを含 むエネルギを有したＸ線ビームを」二記製品に向ける手段と、 −１−記製品からＸ線を受け取り、この受け取ったＸ線の検出スペクトルに対し て応答を形成する手段とを具備し、このスにりｌ・ルにおいては、単位面積、長 さ又は体積当たりの公称質量及び上記製品の公称組成に対し３つの成分の平均実 効吸収係数が実質的に等しくされろようにエネルギの関数として強度が分布され 、上記の応答は上記製品中の当該要素の量を表わし、上記製品中の３つの成分の 相対的な量には比較的影響されないことを特徴とする装置。

国際調査報告

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ／　種々の原子番号の成分をもつ材料から連続的に形成される移動する製品の要 素ないしは成分を測定する方法において、 少なくとも１つの成分に対する吸収端エネルギを含むエネルギを有したＸ線ビー ムを上記製品に向け、上記製品からＸ線を受け取り、この受け取ったＸ線に応答 して第１チヤンネル応答及び第１チヤンネル応答を形成し、このコつのチャンネ ル応答はこれらが１つの成分に対しては実質的に同じであるが別の成分に対して は異なるように２つの異なったエネルギスペクトルに応じたものであり、 そして、上記第１及び第コのチャンネル応答に応じて、上゛記製品中の要素ない しは成分の含有率を表わす合成応答を形成することを特徴とする方法。 、２．２つのチャンネル応答のうちの少なくとも１つは正規化され、この正規化 の後、両チャンネル応答は７つの成分に対して実質的に同じで、別の成分に対し て異なるようにされろ請求の範囲第１項に記載の方法。 ３　エネルギスペクトルの少なくとも７つは、上記別の成分に対する一方のチャ ンネルの応答を、上記１つの成分に対するその応答と実質的に同じにするように 選択される請求の範囲第１項又は第２項に記載の方法。 グ　第１エネルギスペクトルと第１エネルギスペクトルとの間で成る繰り返しシ ーケンスで上記ビーム中のＸ線エネルギをシフトし、そして第１及び第ユのエネ ルギスペクトルに順次に応答して第１及び第λのチャンネル応答を形成する請求 の範囲第１項又は第２項に記載の方法。 左　エネルギスペクトルの少なくとも１つは、上記別の成分に対する一方のチャ ンネルの応答を、上記１つの成分に対するその応答と実質的に同じにするように 選択される請求の範囲第グ項に記載の方法。 乙　上記のシーケンスは第３のエネルギスペクトルを含み、この第３のエネルギ スペクトルに応答して第３のチャンネル応答を形成する請求の範囲第り瑣に記載 の方法。 ７　エネルギスペクトルの少なくとも１つは、上記別の成分に対する一方のチャ ンネルの応答を、上記１つの成分に対するその応答と実質的に同じにする上りに 選択され、第３成分に対する第３チヤンネルの応答を、上記７つの成分又は上記 別の成分に対するその応答と実質的に同じにするように別のエネルギスペクトル が選択される請求の範囲第６項に記載の方法。 ｇ　上記ビームのＸ線エネルギは、種々の高電圧をＸ線管に順次に印加すること によってシフトされる請求の範囲第９項に記載の方法。 ９　上記製品からのＸ線は第１検出器で受け取り、この第１検出器は受け取った Ｘ線の７部分を検出して第１チヤンネル応答を形成すると共に上記受は取ったＸ 線の第ユ部分を伝送し、上記第１検出器で伝送されるＸ線は第１チヤンネル応答 を形成するように検出される請求の範囲第１項又は第２項に記載の方法。 １０−Ｆ記第１検出器によって伝送されるＸ線は、そノエネルギスベクトルの形 状を直すようにフィルタされてから、第ユチャンネル応答を形成するように検出 される請求の範囲第９項に記載の方法。 ／／　上記のフィルタ作動は、上記７つの成分に対する吸収端エネルギより高い エネルギをもったＸ線の相対強度を選択的に下げるように行なわれる請求の範囲 第７０項に記載の方法。 ／２　製品からのＸ線は、第１検出器で受け取られる前にフィルタし、上記７つ の成分に対する吸収端エネルギより小さく且つ上記別の成分に対する吸収端エネ ルギより大きいエネルギを有するＸ線の相対強度を選択的に下げる請求の範囲第 ９項に記載の方法。 ／３　上記第１検出器によって伝送されるＸ線は、エネルギスにクトルの形状を 更に直すようにフィルタされてから、第ユチャンネル応答を形成するように検出 されろ請求の範囲第１．２項に記載の方法。 ／４ｔ　上記製品は製紙機械によって製造される波−ノやであり、上記要素はと のぺ−・ξ中の灰形成材料であり、上記イー・ぐは基礎Ｍ量が変化しそして水分 含有率も変化し、 」−記載は取ったＸ線を検出して第１及び第ユの開始応答を形成し、 上記イー・ぐの基礎重量及び水分含有率に対して応答を形成し、 基礎重量及び水分含有率に対する上記応答に基いて上記第１及び第ユの開始応答 の各々を補償し、この補償された応答から第１及び第ユチャンネル応答を導出し 、これらのチャンネル応答ばに−・ぞの基礎重量及び水分含有率には実質的に拘 りのない灰要素の関数であるようにする請求の範囲第１項に記載の方法。 ／左　上記の灰要素は少ｌくとも２つの成分を鳴し、上記第１及び第ユチャンネ ル応答の少なくとも一方は正規化され、この正規化の後に、両応答は／っの灰成 分に対しては実質的に同じであるが他の成分に対しては異な／７　粘土、白を及 び二酸化チタンのいずれが或いはその全部の成分で構成きれる灰形成要素を含ん で公称組成並びに公称基礎重量の付近で変化を示すような移動するに−・ぐンー ト等を測定する方法において、チタンに対するに端エネルギを含むエネルギを４ １しているＸ線ビームをベーパに向け、 被−パからＸ線を受け取り、との受け取ったＸ線のス被りトルに対して応答を形 成し、このス被りトルにおいては、イー・ぐの公称基礎重量及び組成に対して、 粘土、白を及び二酸化チタンの平均実効吸収係数が実質的に等しくされろように 強さがエネルギの関数として分布され、上記の応答は被−・ぐ中の灰形成要素の 量を表わすものであり、粘土、白を及び二酸化チタンの相対的な量によって比較 的影響されないことを特徴とする方法。 ／　ｇ　＜　−ｙｅに向けられるＸ線ビームは、約５．５ＫＶで作動さり、る× 線管を含むＸ線源ユニットによって９’６％される請求の範囲第１７項に記載の 方法。 ／ｑに記のスにクトルは、カルシウムとチタンとに対するに端エネルギ間のエネ ルギをもつＸ線を選択的に吸収するフィルタにＸ線を通すことによって形成され る請求の範囲第１ｇ項に記載の方法。 ２０　」二記フィルタは、約ｌｌないし８８ｍのスズ厚みに等価な重量／単位面 積のスズで構成される請求の範囲第１′７項に記載の方法。 、２７　単位面積、長さ又は体積当たりの公称質量の付近で変化を示すと共に、 別々の化学元素で各々形成された３つの成分−そのうちの少なくとも２つはＸ線 スぜクトルの隣接領域に吸収端を有する−のいずれが又はその全部で構成さねろ 当該要素を含む公称組成の付近で変化を示すような移動する製品を測定する方法 において、上記成分の各元素に対する最高の顕著な吸収端エネルギを含むエネル ギを治したＸ線ビームを上記製品に向け、−」二記製品からＸ線を受け取り、こ の受け取ったＸ線の検出ス浸りトルに対して応答を形成し、このス被りトルにお いては、単位面積、長さ又は体積当たりの公称質量及び上記製品の公称組成に対 し３つの成分の平均実効吸収係数が実質的に等しくされるようにエネルギの関数 として強度が分布され、上記の応答は上記製品中の当該要素の量を表わし、上記 製品中の３つの成分の相対的な量には比較的影響されないことを特徴とする方法 。 ２２　種々の原子番号の成分をもつ材料から連続的に形成される移動する製品の 要素ないしは成分を測定する装置において、 少ｌくとも７つの成分に対する吸収端エネルギを含むエネルギを有したＸ線ビー ムを上記製品に向ける手段と、上記製品からＸ線を受け取り、この受け取ったＸ 線に応答して第１チヤンネル応答及び第ユチャンネル応答を形成する手段とを具 備し、このΩつのチャンネル応答はこれらが１つの成分に対しては実質的に同じ であるが別の成分に対しては異なるようにユっの異なったエネルギスにクトルに 応じたものであり、 そして更に、上記第１及び第コのチャンネル応答に応じて、上記製品中の要素な いしは成分の含廟率を表わす合成応答を形成する手段を具備することを特徴とす る装置。 、２３　．２つのチャンネル応答のうちの少ｌくとも／っを正規化し、この正規 化の後、両チャンネル応答が７つの成分に対して実質的に同じで、別の成分に対 して異なるようにする手段を具備した請求の範囲第、２２項に記載の装置。 ２り　エネルギス被りトルの少なくとも／っは、上記別の成分に対する一方のチ ャンネルの応答を、上記１つの成分に対するその応答と実質的に同じにするよう に選択される請求の範囲第２２項又は第２３項に記載の装置。 ２Ｓ　第１エネルギスペクトルと第１エネルギスペクトルとの間で成る繰り返し のシーケンスで上記ビームのＸ線エネルギをシフトする手段と、第１及び第ユの エネルギスペクトルに順次に応答して第１及び第ユのチャンネル応答を形成する 手段とを備えた請求の範囲第２２項又は第、２３項に記載の装置。 λ乙　エネルギスペクトルの少ｌくとも１つは、上記別の成分に対する一方のチ ャンネル応答を、上記１つの成分に対するその応答と実質的に同じにするように 選択される請求の範囲第２５項に記載の装置。 、２７　上記の繰り返しシーケンスは第３のエネルギスにクトルを含み、上記装 置は、この第３のエネルギスペクトルに応答して第３のチャンネル応答を形成す る手段を含む請求の範囲第２Ｓ項に記載の装置。 ２ｇ　エネルギスにクトルの少なくとも７つは、上記別の成分に対する一方のチ ャンネルの応答を、上記７つの成分に対するその応答と実質的に同じにするよう に選択され、第３成分に対する第３チヤンネルの応答を、上記７つの成分又は上 記別の成分に対するその応答と実質的に同じにするように別のエネルギスペクト ルが選択される請求の範囲第２７項に記載の装置。 ユ９　上記Ｘ線エネルギシフト手段力ま、種々、の高電圧をＸ線管に順次に印加 する手段を備えている請求の範囲第２Ｓ項に記載の装置。 ３θ　上記製品からＸ線を受け取る手段は、この受け取ったＸ線の７部分を検出 して第１チヤンネル応答を形成すると共に上記載は取ったＸ線の第２部分を伝送 する第１検出手段と、この第１検出手段により伝送されたＸ線を検出して第１チ ヤンネル応答を形成する第ス検出手段とを備えている請求の範囲第、２２項又は 第、２３項に記載の装置。 ３／　上記第１検出器によって伝送されるＸ線を検出して第ユチャンネル応答を 形成する前に、そのエネルギスペクトルの形状を直すようにフィルタする手段を 備えた請求の範囲第３θ項に記載の装置。 吸収端エネルギより高いエネルギをもったＸ線の相対強度を選択的に下げる手段 を備えている請求の範囲第３／項に記載の装置。 ３３　製品からのＸ線を、第１検出器で受け取る前にフィルタし、上記７つの成 分に対する吸収端エネルギより小さぐ且つ上記別の成分に対する吸収端エネルギ より大きいエネルギを有するＸ線の相対強度を選択的に下げるようなフィルタ手 段を備えた請求の範囲第３θ項に記載の装置。 ３’ｌ　上記第１検出器によって送られるＸ線を検出して第ユチャンネル応答を 形成する前にそれらのエネルギ３ スにクトルの形状を更に直すようにフィルタする手段を備えた請求の範囲第３３ 項に記載の装置。 ３５　上記製品は製紙機械によって製造される梗−・セであり、上記要素はとの イーノＰ中の灰形成材料であり、５上記イー・ξは基礎重量が変化しそして水分 含有率も変化し、上記装置は、 受は取ったＸ線を検出して第１及び第ユの開始応答を形成する手段と、 」−記波一・ぐの基礎重量及び水分含有率に対して応答を形成する手段と、 基礎重量及び水分含有率に対する上記応答に基いて上記第１及び第ユの開始応答 の各々を補償する手段と、との補償さねた応答から第１及び第ユチャンネル応答 を導出する手段とを具備し、これらのチャンネル応答はベーパの基礎重量及び水 分含有率には実質的に拘りのない灰要素の関数であることを特徴とする請求の範 囲第２２項に記載の装置。 ３乙　上記の灰要素は少なくともユつの成分を有し、」−記載１及び第１チヤン ネル応答の少なくとも一方を正規化して、この正規化の後に、両応答が７つの灰 成分に対しては実質的に同じであるが他の成分に対しては異なるようにする手段 を備えた請求の範囲第３５項に記載の装置。 、３７　エネルギスぜクトルの少ｌぐとも１つは、上記他の灰成分に対する一方 のチャンネルの応答を、上記１つの灰成分に対するその応答と実質的に同じにす るように選択される請求の範囲第３乙項に記載の装置。 ３ｇ　粘土、白を及び二酸化チタンのいずれか或いはその全部の成分で構成され る灰形成要素を含んだ公称組成並びに公称基礎重量の付近で変化を示すような移 動するに一パシート等を測定する装置において、チタンに対するに端エネルギを 含むエネルギを有しているＸ線ビームをセーノｇに向ける手段と、被−パからＸ 線を受け取り、との受け取ったＸ線のスペクトルに対して応答を形成する手段と を具備し、このスペクトルにおいては、被−・ぐの公称基礎重量及び組成に対し て、粘土、白を及び二酸化チタンの平均実効吸収係数が実質的に等しくされるよ うに強さがエネルギの関数として分布され、上記の応答は被−パ中の灰形成要素 の量を表わすものであり、粘土、白を及び二酸化チタンの相対的な量によって比 較的影響されないことを特徴とする装置。 ３ｑ　Ｒ−／ｅにＸ線ビームを向ける上記手段は、約５．５にＶで作動されるＸ 線管を含むＸ線源ユニットを備えている請求の範囲第３ｇ項に記載の装置。 グθ　上記のスきクトルは、カルシウムとチタンとに対するに端エネルギ間のエ ネルギをもつＸ線を選択的に吸収するフィルタにＸ線を通すことによって形成さ れる請求の範囲第３９項に記載の装置。 ｌＩ／　上記フィルタは、約＋ｆｘいしｇμｍのスズ厚みに等価な重量／単位面 積のスズで構成されろ請求の範囲第１１ｏ項に記載の装置。 ’１２　単位面積、長さ又は体積当たりの公称質量の付近で変化を示すと共に、 別々の化学元素で各々形成された３つの成分−そのうちの少ｌくともユつは×線 スペクトルの隣接領域に吸収端を有する−のいずれか又はその全部で構成さお、 ７）当該要素を含む公称組成の付近で変化を示すような移動する製品を測定する 装置において、上記成分の各元素に対する最高の顕著な吸収端エネルギを含むエ ネルギを有したＸ線ビームを上記製品に向ける手段と、 上記製品からＸ線を受け取り、この受け取ったＸ線の検出スにクトルに対して応 答を形成する手段とを具備し、とのスペクトルにおいては、単位面積、長さ又は 体積当Ｉ、−りの公称質量及び上記製品の公称組成に対し３つの成分のＹ均実効 吸収係数が実質的に等しくされるようにエネルギの関数として強度が分布きれ、 上記の応答は上記製品中の当該要素の量を表わし、上記製品中の３つの成分の相 対的な量には比較的影響されないことを特徴とする装置。