JPS585019A - 音叉型振動子 - Google Patents

音叉型振動子

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Publication number
JPS585019A
JPS585019A JP10430481A JP10430481A JPS585019A JP S585019 A JPS585019 A JP S585019A JP 10430481 A JP10430481 A JP 10430481A JP 10430481 A JP10430481 A JP 10430481A JP S585019 A JPS585019 A JP S585019A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tuning fork
frequency
weight
bending
vibration
Prior art date
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Pending
Application number
JP10430481A
Other languages
English (en)
Inventor
Kunihiro Takahashi
邦博 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
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Priority to US06/323,488 priority patent/US4498025A/en
Priority to DE19813149171 priority patent/DE3149171A1/de
Priority to CH793781A priority patent/CH648184GA3/fr
Priority to GB8137511A priority patent/GB2091486B/en
Publication of JPS585019A publication Critical patent/JPS585019A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/21Crystal tuning forks

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は屈曲の二次振動と捩れ振動の結合を利用する音
叉型振動子に関するものである。
近年、腕時計の精度は月差表示がb年1!1!#Nと移
ろうとしている。年差表示可能な腕時計用振動子として
、最近新たに屈曲振動と捩れ振動の結合を利用する音叉
型振動子が考えられている。この方式の場合、良好な肩
波数温度特性を得るためには、適切な結合の度合いを選
択しなければならない。この結合の度合いは、屈曲振動
と捩れ振動の周波数の差によって決まる。ところで、屈
曲振動の周波数は、振動子の長さと輻に依存する。又、
捩れ振動の周波数は、振動子の長さと幅と厚みに依存す
る。そこで結合の度合いを適切なものにするためには、
振動子の厚み寸法を最適値に設定してやれば良い。とこ
ろが実際には、厚み寸法のバラツキが大き過ぎてしまい
、厚み寸法の管理だけでは二つの振動モードの周波数差
を適切な値にする事はできない。そのため、二つの振動
、モードの周波数差の管理は、周波数調整用の錘りの増
減による周波数調整に依存せざるを得ない。
ところで、二つの振動モードの周波数差を適切な値にす
るためには、一方の振動モードの周波数を変化させず、
他方の振動モードだけの周波数を変化させる周波数調整
が必要となる。
第1図は音叉型振動子1の平面図を示している。ム、B
、O,D、IIIは振動子1の位置を表わしている。
第2図は、第1図に示す音叉型振動子1における屈曲の
二次振動(以後、二次モードと呼ぶ)の直線ム亘上の振
動変位を示している。横軸は音叉型振動子1の位置を示
し、縦軸は振動子の幅方向の・変位μWを示す。破線2
1が、第11ilに示す直IIIAAIC上における屈
曲二次モードの幅方向の変位分布を表わしている。直線
ム1上とD点で変位はゼロとなり、1点で振動変位は最
大となる。0点での変位量は、直線BD間では極大であ
る。
第3図は屈曲の二次モードと捩れ振動の基本モードの結
合を利用する音叉型水晶振動子におけるオモリの位置の
従来例を示している。31は音叉型水晶振動子、52.
52’  、33.!$3’は付着さ・れたオモリを示
している。32と32/のオそりは音叉腕の先端にある
。33と33′のオモリは、二次モードの変位がゼロと
なる第1図μおける点りの近傍にある。
一般に、ある振動モードの周波数調整を行なう場合、振
動変位の大きい位置においてオモリを増減すると周波数
は大きく変化する。又、振動変位の小さい位置にオモリ
を増減すると、周波数の変化量は小さい。故に、第3図
において、オモリ32と32′は屈曲振動の周波数を大
きく変化させ、オモリ33と35′は屈曲振動の周波数
を殆んど変化させず、捩れ振動の周波数を大きく変化さ
せる事を目的としたものである。
第4¥l!Jは、第31iUに示すオモリ32,32/
とオ毫す33゜3s′をレーザーで飛散させた時の屈曲
の二次モードと捩れの基本モードの周波数変動を示した
ものである。横軸はオモリの飛散量−Wを、縦軸は周波
数変化の割合Δf/fをボしている。41と42はそれ
ぞれ、第3!i!!Iに示すオモリ32と52’を飛ば
した時の捩れ振動と屈曲振動の周波数変動の割合を示し
ている。又、45と44はそれぞれ、第3図に示すオ毫
す33と33′を飛ばした時の捩れ振動と屈曲振動の周
波数変動の割合を示している。直4144から明らかな
様に、第3図に示すオモリ53と33′を飛散させた時
の屈曲二次モードの周波数変動は予想外に大きい。
第5図は、第3図に示すオモリをレーザーで飛ばした時
の周波数調整の様子を示している。縦軸に周波数をとり
、横軸にオモリ32と52”の飛散量とオモリ33と3
3′の飛散量を直列に並べてとったものである。fFo
*f?aはそれぞれ、屈曲振動と捩れ振動の周波数のね
らい値である。又、振動子の寸法やカット角のバラツキ
による多数の振動子の屈曲振動と捩れ振動の周波数の初
期バラツキは、それぞれf’xとfν8.f!□とf 
T、の間にあるものとする。オモリ32と32′を飛ば
し、屈曲振動の周波数をねらい値f11゛・に設定する
。その時捩れ振動の周波数も上昇するが、周波数の初期
バラツキはほぼそのまま保たれる。次にオモリ33と5
3′を飛ばして、捩れ振動の周波数をねらい値f !o
に設定する。しかし、第4図に示した様に、33と33
′のオモリ渣飛ばした時、屈曲振動の周波数も変化して
しまう。その結果、第5図に示す様に、捩れ振動の周波
数を全ての振動子についてねらい値f!。に調整し終っ
た後、屈曲振動の周波数はΔftのバラッキを持ってし
まう、このバラツキが数十ppmの時、発振回路に組み
込んだ歩度調整用のコンデンサを適切な値に設定する事
により腕時計の歩度調整は完了する。しかし、実際には
33と33′のオ彎すを飛散し、捩れ振動の周波数を調
整し終った後のΔfνは1000〜.2000 p p
臘という大きな値となる。その結果、屈曲振動と捩れ振
動の周波数差がばらつき、周波数温度特性もばらついて
しまう。
この様に、第5図に示す従来の周波数調整用のオモリで
は、屈曲振動と捩れ振動の周波数差がばらついてしまう
事により、希望の周波数温度特性が効率良く得られない
という大きな欠点を有していた。本発明は従来の欠°点
を改善し、屈曲振動と捩れ振動の周波数差のばらつきを
小さくシ、その結果、希望する周波数温度特性を効率良
く得られる屈1曲の二次モードと捩些振動の結合を利用
する音叉型振動子を得る事を目的としたものである。
以下、本発明の詳細な説明する。
第6FIliは音叉型水晶振動子の平面図を示す。61
は音叉型水晶振動子、62,63,64.65はオモリ
を示している。点0′は、第1図で示す点aとほぼ同じ
位置にある。即ち、第6fI!Jに示すオモリは屈曲二
次モードの変位が極大値を持つ近傍にある。
第7図は、第6図に示すオモリを飛ばした時の屈曲振動
と捩れ振動の周波数変動の割合を示している。縦軸は周
波数の変動の割合Δf/fを、横軸はオモリの飛散量−
Wを表わしている。71は屈曲の二淡モードの、72は
捩れの基本モードのΔf/fを表わしている。捩れ振動
のΔf/fは非常に小さい。第6図に示すオモリの寸法
1wとWwを適切に選ぶ事によって、捩れ振動の周波数
変動を殆んどゼロにする事が可能である。第3図のオモ
リ33と33′を飛ばした時の屈曲振動と捩れ振動の周
波数変動の比(Δf/f )屈曲ノ(Δf/f)捩れ 
よりも、第6図のオモリを飛ばした時の捩れ振動と屈曲
振動の周波数変動の比(Δf/f>捩れ/(Δf/f)
屈曲 の方がはるかに小さい。屈曲振動と捩れ振動の周
波数差のバラツキを小さくするには、二つの振動の周波
数変動の比が小さければ小さい程良い。この点から、周
波数差のバラツキを小さくする上では、従来の第3図に
示すオモリ33.35’を増減するよりも第6図に示す
オモリを増減した方がはるかに優れている。
第8図は音叉型水晶振動子の平面図を示している。81
は音叉型水晶振動子、82.82’は音叉腕の長さ方向
にも幅方向にもほぼ中央部にあるオモリを示している。
この82と82′のオモリを飛ばしても、捩れ振動の周
波数変動がほぼゼロに近い値を示す位置は存在する。そ
の位置は、音叉腕の長さ方向に関して、第1図に示す0
点とD点の中間にある。
ところで本発明は、音叉腕の長さ方向中央部でしかも幅
方向の端部の位置にあるオモリを増減する事により、屈
曲振動の周波数を調整する事を特徴としている。故に、
音叉腕の長さ方向中央部のオモリの増減により、捩れ振
動の周波数変動はほぼゼロで、しかも屈曲振動の周波数
変動は非常に大きい事が望ましい。第1図に示す点0と
点りの中間の位置は、第2図から明らかな様に、屈曲の
二次モードの変位は非常に小さい所である。その結果、
第8図に示す82と82′のオモリの増減によって、捩
れ振動の周波数変動はゼロになっても、屈曲の二次モー
ドの周波数変動は十分大きくない。このため、第8図に
示す音叉腕の長さ方向中央部にあっても、幅方向中央部
にあるオモリでは、屈曲の二次モードの周波数調整用の
オモリとしては適していない。故に、本発明は、音叉腕
の長さ方向中央部にあって、しかも音叉腕幅方向の端部
にあるオモリを増減する事を特徴とし、捩れ振動の周波
数変動をほぼゼロに抑え、屈曲の二次モードの周波数を
大きく変化させる事が可能である。その結果、屈曲振動
と捩れ振動の周波数差のバラツキを小さく抑え、希望の
周波数温度特性の振動子を大量に作る事が可能となる大
きな利点を持っている。
ところで、音叉腕の長さ方向中央部でしかも音叉腕の幅
方向端部のオモリでは、屈曲振動の周波数のみ大きく変
わり、捩れ振動の周波数はほとんど変化しなかった。適
切な屈曲振動と捩れ振動の周波数差を設定するには、捩
れ振動の周波数も変化させる必要がある。そこで、本発
明は捩れ振動の周波数を変化させるために、音叉腕長さ
方向中央部でかつ幅方向端部以外の一ケ所以上の位置に
もオモリを増減する事を特徴とする。音叉型振動子にお
いて、捩れ振動の周波数を最も大きく変動させるオモリ
の位置は音叉腕の先端である。そのため、捩れ振動の周
波数を大きく変化させるためにオモリを増減させる位置
は音叉腕先端が最も都合が良い。
第9図は、屈曲の二次振動と捩れ振動の結合を利用する
音叉型振動子の本発明の一実施例を示している。91は
音叉型振動子、92と93は音叉腕、94と95は音叉
腕先端に増減するオモリ、?6,97.98.99は音
叉腕長さ方向中央部で、しかも幅方向端部に増減するオ
モリをそれぞれ表わしている。
第10図は、第9図に示すタイプの多数の音叉型振動子
の屈曲振動と捩れ振動の周波数調整の様子を示す。第1
0図の縦軸は周波数fを、横軸はオモリをレーザーで飛
ばした時のオモリの飛散量を表わしている。縦軸上のf
ν。は屈曲振動のねらい値を、f’1とf’sは振動子
の寸法やカット角のバラツキによる多数の振動子の屈曲
振動の周波数の初期のバラツキの上限値と下限値を表わ
している。f!。は捩れ振動のねらい値を、f!。
とfテ、は振動子の寸法やカット角のバラツキによる多
数の振動子の捩れ振動の周波数の初期のバラツキの上限
値と下限値を表わしている。まず、第9図に示す音叉腕
先端のオモリ94と95をレーザーにより飛ばす事によ
り、全ての振動子の捩れ振動の周波数をねらい値fテ。
に調整する。この時、多数の振動子の屈曲振動の周波数
は依然として大きなばらつきを持っている。次に、音叉
腕長さ方向中央部でしかも幅方向端部にあるオモリ96
.97.98.99により、多数の振動子の屈曲振動の
周波数をねらい値f’0に調整する。
この時、捩れ振動の周波数は殆んど変化しないため、全
ての振動子の屈曲振動をねらい値f Foに調整し終っ
た後の多数の振動子の捩れ振動の周波数のバラツキΔf
!は非常に小さい。その結果、第9図に示す本発明の音
叉型振動子は、周波数調整後の多数の振動子の屈曲振動
と捩れ振動の周波数差のパテツキが小さいため、所望の
周波数温度特性をバラツキ少なく大量に得る事ができる
大きな利点を持っている。
第11図は本発明の他の実施例を示す。111は音叉型
振動子、112と113は音叉腕、114と115は音
叉腕先端に増減するオモリ、116と117は音叉腕長
さ方向中央部でしかも幅方向内側端部に増減するオモリ
をそれぞれ示している。
第12図は本発明の他の実施例を示す。121は音叉型
振動子、122と125は音叉腕、124と125は音
叉腕先端に増減するオモリ、126と127は音叉腕長
さ方向中央部でかつ幅方向外側端部にあるオモリをそれ
ぞれ示している。第11図と第12図に示す本発明の実
施例は、第9図に示す本発明の実施例と全く同様な効果
を持っている。
次←、水晶振動子を例にとって本発明の詳細な説明する
。第13図は水晶振動子の方位を示している。!、1/
、Z軸はそれぞれ水晶の電気軸。
機械軸、光軸を示している。振動子の長さ方向はy軸に
あり、幅方向がX軸にある振動子をX軸の回りに角度θ
だけ回転した方位を、同図は示している。回転後の振動
子の長さ方向はy′軸方向にあり、厚み方向;ま2′軸
方向にある。屈曲の二次振動と捩れ振動の結合を利用す
る音叉型水晶振動子は、第13図に示す回転角θがある
値の時、良好な周波数温度特性を示す。
第14図は、本発明の音叉型水晶振動子の一実施例を示
す。振動子の長さ方向は、第13図に示すy′軸方向に
あり、幅方向はX軸方向にあり、厚み方向は2′軸方向
にある。142と142′は音叉腕先端にあるオモリを
示す。143と143′は音叉腕長さ方向中央部でしか
も幅方向内側端部にあるオモリを示す。142と142
′のオモリは捩れ振動の周波数を調整するためにあり、
143と143′のオモリは屈曲振動の周波数のみを変
化させるためにある。
第15図は、第14図に示す直線PIF’上で切った断
面図を示す。151と152は二本の音叉腕の断面を示
している。153,155,158.1510は同相、
又1s4,156,157゜159も同相の電極を示し
ている。但し、153と154の電極は逆相である。こ
の様にすると、音叉腕の断面内には矢印で示す電界が発
する。
第16図は、第14図に示す直線GG’上で切った断面
図を示す。161と162は二本の音叉腕の断面を示し
ている。1153,145,168.1610は同相、
又164,166.167゜169も同相の電極を示し
ている。但し、163と164の電極は逆相である。こ
の様にすると、音叉腕の断面内には矢印で示す電界が発
生する。
第14図、第15図、第16図に示す電極構造にすると
、水晶振動子は屈曲の二次振動で励振する事が可能とな
る。
以上詳細に説明した様に、本発明の屈曲二次振動と捩れ
振動の結合を利用する音叉型振動子は、多数の振動子を
屈曲振動と捩れ振動の所望の周波数差に設定する事がで
き、その結果、優れた周波数温度特性を持つ大量の振動
子を得る事ができる大きな利点を持っている。
【図面の簡単な説明】
第1図は音叉型振動子の平面図。第2図は屈曲二次振動
の変位分布を表わすグラフ。第3図は従来の増減するオ
モリの位置を示す音叉型振動子の。第5図は、第3図に
示す従来の振動子の周波数調整の工程を示すグラフ。第
6図は本発明の増減するオモリの位置を示す音叉型振動
子の平面塾。 第7図は、第6図に示すオモリを減少させた時の屈曲振
動と捩れ振動の周波数変動を示すグラフ。 第8図は従来の増減するオモリの位置を示す音叉型振動
子の平面図。第9図は本発明の実施例を示す音叉型振動
子の平面図。第10図番ま本発明の音叉製振動子の周波
数調整の工程を示すグラフ。第11図と第12図はそれ
ぞれ本発明の実施例を示す音叉型振動子の平面図、第1
3図番ま水晶振動子の方位を示す斜視図。第141iU
Gst本発明の一実施例を示す水晶振動子の斜視図。第
15図と第16の断面図である。。 子 92.93,112−.113,122,123.15
1,152,161,162・・・・・・音叉腕96〜
99.11+6,117,126.127143・・・
・・・オモリ 以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士 最上  務 第1図 第6図 第7図 →  −W 第8W1 11′ 第9茜

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)  屈曲の二次振動と捩れ振動の結合を利用する
    音叉型振動子において、音叉腕の長さ方向中央部でしか
    も幅方向端部の位置にオモリを増減する事を特徴とする
    音叉型振動子。 (z)  特許請求の範囲第1項記載の音叉型振動子に
    おいて、オモリの位置は音叉腕の長さ方向中央部でしか
    も幅方向内側の端部である事を特徴とする音叉製振動子
    。 (3)特許請求の範囲第1項記載の音叉型振動子におい
    て、オモリの位置が音叉腕の長さ方向中央部でしかも幅
    方向外側の端部である事を特徴とする音叉型振動子。 6) 特許請求の範!!!!#11項記載の音叉製振動
    子において、オモリの位置は孟音叉腕の長さ方向中央部
    でしかも幅方向の両端部である事を特徴とする音叉型振
    動子。 (5)特許請求の範囲第1項、第2項、第3項もしくは
    第4項記載の音叉型振動子において、オモリを音叉腕の
    長さ方向中央部でしかも幅方向端部の位置と、その他の
    一ケ所以上の位置に増減する事を特徴とする音叉型振動
    子。 (6)特許請求の範囲第5項記載の音叉型振動子におい
    て、オモリを音叉腕の長さ方向中央部でしかも幅方向端
    部の位置と音叉腕先端の位置に増減する事を特徴とする
    音叉型振動子。
JP10430481A 1980-12-12 1981-07-02 音叉型振動子 Pending JPS585019A (ja)

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DE19813149171 DE3149171A1 (de) 1980-12-12 1981-12-11 Stimmgabel
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GB8137511A GB2091486B (en) 1980-12-12 1981-12-11 Piezo-electric tuning fork resonator

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