JPS647689B2 - - Google Patents
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- JPS647689B2 JPS647689B2 JP14482780A JP14482780A JPS647689B2 JP S647689 B2 JPS647689 B2 JP S647689B2 JP 14482780 A JP14482780 A JP 14482780A JP 14482780 A JP14482780 A JP 14482780A JP S647689 B2 JPS647689 B2 JP S647689B2
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 17
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
- H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、結合音叉型水晶振動子、特に音叉腕
先端付近の電極形状に関する。
先端付近の電極形状に関する。
従来、電子腕時計には＋5゜Xカツトの屈曲振動
を用いた音叉型水晶振動子が用いられている。こ
の振動子は室温での周波数温度特性が放物線にな
るため、時間精度の点で有利だからである。ま
た、低周波のため消費エネルギーが少ないという
利点もある。しかし、この振動子を用いても、１
ケ月の誤差は20秒程度になる。
を用いた音叉型水晶振動子が用いられている。こ
の振動子は室温での周波数温度特性が放物線にな
るため、時間精度の点で有利だからである。ま
た、低周波のため消費エネルギーが少ないという
利点もある。しかし、この振動子を用いても、１
ケ月の誤差は20秒程度になる。
そこで、更に精度を向上させ、同時に長寿命の
電子時計を実現するため、低周波で室温で３次の
周波数温度特性を有する結合音叉型水晶振動子が
実現された。結合音叉型水晶振動子については、
特開昭54−116191号、特開昭55−75325号、特開
昭55−75326号に詳細に述べられている。
電子時計を実現するため、低周波で室温で３次の
周波数温度特性を有する結合音叉型水晶振動子が
実現された。結合音叉型水晶振動子については、
特開昭54−116191号、特開昭55−75325号、特開
昭55−75326号に詳細に述べられている。
本発明に係わる結合音叉型水晶振動子は、主振
動として屈曲振動の第一高周波、副振動として捩
り振動の基本振動を用いたものである。第１図は
この結合音叉型水晶振動子の外観を示す。１は振
動子、２は支持リード、３は半田、４はプラグで
ある。Ｘ軸は電気軸、Y′軸は電気軸まわりに回
転した機械軸、Z′軸は電気軸まわりに回転した光
軸である。第１図の如く音叉腕はY′軸方向を向
いている。周波数は約200kHzである。
動として屈曲振動の第一高周波、副振動として捩
り振動の基本振動を用いたものである。第１図は
この結合音叉型水晶振動子の外観を示す。１は振
動子、２は支持リード、３は半田、４はプラグで
ある。Ｘ軸は電気軸、Y′軸は電気軸まわりに回
転した機械軸、Z′軸は電気軸まわりに回転した光
軸である。第１図の如く音叉腕はY′軸方向を向
いている。周波数は約200kHzである。
屈曲振動の第一高調波Ｆ１の共振周波数をF、
捩り振動の基本振動T0の共振周波数Tとする。
ただし、F、Tは20℃における値である。F とTの差を △＝F−T と定義する。結合音叉型水晶振動子の周波数温度
特性は、△によつて決まる。△が特定の値△
0のとき、室温で３次の温度特性が得られるので
ある。結合音叉型水晶振動子を量産する際、問題
となるのは、量産上、避けられない外形寸法のば
らつきから、F、Tがばらついてしまい、その結
果、△がばらつき、最終的に周波数温度特性が
ばらつくことである。また、単一モードの振動子
の場合と同じく、主振動の共振周波数が所定の値
からずれるという問題もある。そこで、結合音叉
型水晶振動子を量産するには、周波数温度特性の
調整と主振動の共振周波数の調整が不可欠であ
る。
捩り振動の基本振動T0の共振周波数Tとする。
ただし、F、Tは20℃における値である。F とTの差を △＝F−T と定義する。結合音叉型水晶振動子の周波数温度
特性は、△によつて決まる。△が特定の値△
0のとき、室温で３次の温度特性が得られるので
ある。結合音叉型水晶振動子を量産する際、問題
となるのは、量産上、避けられない外形寸法のば
らつきから、F、Tがばらついてしまい、その結
果、△がばらつき、最終的に周波数温度特性が
ばらつくことである。また、単一モードの振動子
の場合と同じく、主振動の共振周波数が所定の値
からずれるという問題もある。そこで、結合音叉
型水晶振動子を量産するには、周波数温度特性の
調整と主振動の共振周波数の調整が不可欠であ
る。
本発明は、周波数温度特性の調整とTを設計値
F0に調整することが目的である。
F0に調整することが目的である。
第２図は、本発明の一具体例で音叉腕の電極形
状を示す。〓を付けた電極５は励振電極、〓を付
けた電極６はF粗調電極、〓を付けた電極７は△
調整電極、〓を付けた電極８はF微調電極であ
る。左のY′軸は、音叉の長手方向に平行な軸で、
叉を０、先端を１としてある。F粗調電極６、△
調整電極７、F微調電極８を用いて、FをF0、
△を△0に追い込むことができる。以下に、こ
の原理方法について説明する。
状を示す。〓を付けた電極５は励振電極、〓を付
けた電極６はF粗調電極、〓を付けた電極７は△
調整電極、〓を付けた電極８はF微調電極であ
る。左のY′軸は、音叉の長手方向に平行な軸で、
叉を０、先端を１としてある。F粗調電極６、△
調整電極７、F微調電極８を用いて、FをF0、
△を△0に追い込むことができる。以下に、こ
の原理方法について説明する。
第３図はＦ１のＸ方向変位UX、TOの音叉腕の
中心線を軸としたねじり角τの分布を示してい
る。横軸のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅは第１図のＡ、
Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅの各位置に対応する。UXは音叉
腕の中ほどに振動の腹があり、Ｄの位置に節があ
り、先端で最大となる。τは先端で最大で、叉に
向かつて単調に減少する。範囲９、範囲１０、範
囲１１の部分にF粗調電極７、△調整電極７、
F微調電極８が設けられている。これらの電極を
用いて、F、△を調整したときのF、Tの変化
の推移を第４図に示す。横軸は調整ステツプ、縦
軸は周波数である。横軸の、、、の各ス
テツプは、それぞれ、初期状態、F粗調後状態、
△調整後状態、完成状態である。A1，A2，A3
は、それぞれF粗調操作、△調整操作、F微調
操作である。先ず、F粗調操作A1について説明
する。F粗調電極６は範囲９にあり、この部分で
は、UX、τは共に大きい為、この部分の電極を
レーザービームで除去すると、F、Tは共に上昇
する。FがF0よりも、100ppm程度低いところま
で達したら、F粗調調作A1は終了し、ステツプ
に到達する。次は、△調整操作A2を行う。
△調整電極７は範囲１０にあり、この部分では
UXは極めて小さく、τは逆に大きい。従つて、
この部分の電極をレーザで除去すると、Fは、僅
かしか上昇せず、Tが大きく上昇する。△が△
0に達したら△調整操作A2は終了し、ステツ
プに到達する。最後は、F微調操作A3を行う。
この調整においては、△を△0に維持したま
ま、FをF0に合せねばならない。その為に、第
２図に示した如く特殊な形状の電極を用いるので
ある。第５図はF微調電極をレーザビームで調整
したときの音叉腕先端を示している。１２はF微
調電極、１３はレーザビームで電極を除去した跡
である。F微調操作A3では、第５図の如く音叉
腕の幅方向に横切るように電極を除去する。この
ようにして電極を除去すると、FとTは常に同量
だけ変化する為、△を△0に維持したままFを
F0に調整できる。こうして完成状態に到達す
る。この状態ではFはF0に一致し、周波数温度
特性は室温で３次になつている。
中心線を軸としたねじり角τの分布を示してい
る。横軸のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅは第１図のＡ、
Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅの各位置に対応する。UXは音叉
腕の中ほどに振動の腹があり、Ｄの位置に節があ
り、先端で最大となる。τは先端で最大で、叉に
向かつて単調に減少する。範囲９、範囲１０、範
囲１１の部分にF粗調電極７、△調整電極７、
F微調電極８が設けられている。これらの電極を
用いて、F、△を調整したときのF、Tの変化
の推移を第４図に示す。横軸は調整ステツプ、縦
軸は周波数である。横軸の、、、の各ス
テツプは、それぞれ、初期状態、F粗調後状態、
△調整後状態、完成状態である。A1，A2，A3
は、それぞれF粗調操作、△調整操作、F微調
操作である。先ず、F粗調操作A1について説明
する。F粗調電極６は範囲９にあり、この部分で
は、UX、τは共に大きい為、この部分の電極を
レーザービームで除去すると、F、Tは共に上昇
する。FがF0よりも、100ppm程度低いところま
で達したら、F粗調調作A1は終了し、ステツプ
に到達する。次は、△調整操作A2を行う。
△調整電極７は範囲１０にあり、この部分では
UXは極めて小さく、τは逆に大きい。従つて、
この部分の電極をレーザで除去すると、Fは、僅
かしか上昇せず、Tが大きく上昇する。△が△
0に達したら△調整操作A2は終了し、ステツ
プに到達する。最後は、F微調操作A3を行う。
この調整においては、△を△0に維持したま
ま、FをF0に合せねばならない。その為に、第
２図に示した如く特殊な形状の電極を用いるので
ある。第５図はF微調電極をレーザビームで調整
したときの音叉腕先端を示している。１２はF微
調電極、１３はレーザビームで電極を除去した跡
である。F微調操作A3では、第５図の如く音叉
腕の幅方向に横切るように電極を除去する。この
ようにして電極を除去すると、FとTは常に同量
だけ変化する為、△を△0に維持したままFを
F0に調整できる。こうして完成状態に到達す
る。この状態ではFはF0に一致し、周波数温度
特性は室温で３次になつている。
さて、F微調電極として８の如く特殊な形状が
採られる理由について述べる。第３図に示す如く
範囲１１では、UXの変化は大きいが、τの変化
は小さい。またτによつて生ずる変位は音叉腕の
中心に近いほど小さく、音叉腕の端では大きい。
UXは音叉腕の中心近くでも、端でもほぼ一様で
ある。第６図の斜線部１６にそれぞれ１２′，１
３′，１４，１５の幅で金属膜を蒸着すると、F、
Tの変化量△F、△Tは第７図の如く変化する。
従つて、１４の幅で金属膜を蒸着するとFとTの
低下量が等しくなる。逆に言えばFとTの低下量
の等しくなる金属膜の蒸着する幅が存在するので
ある。蒸着する部分１６の位置を音叉腕の長手方
向に変えればその位置で△Fと△Tが等しくなる
幅が存在する。その位置がＤに近づけば、UXが
急激に小さくなる為、△Fと△Tが等しくなる幅
は小さくなる。Ｅに近づけば、UXが大きい為、
△Fと△Tが等しくなる幅は大きくなる。そこ
で、F微調電極は、８の如き形状となるのであ
る。尚、第７図１２″，１３″，１４′，１５′は第
６図の１２′，１３′，１４，１５の幅で金属膜を
蒸着した場合に対応する。また、△F、△Tは、
金属膜を蒸着しないときの周波数との差である。
採られる理由について述べる。第３図に示す如く
範囲１１では、UXの変化は大きいが、τの変化
は小さい。またτによつて生ずる変位は音叉腕の
中心に近いほど小さく、音叉腕の端では大きい。
UXは音叉腕の中心近くでも、端でもほぼ一様で
ある。第６図の斜線部１６にそれぞれ１２′，１
３′，１４，１５の幅で金属膜を蒸着すると、F、
Tの変化量△F、△Tは第７図の如く変化する。
従つて、１４の幅で金属膜を蒸着するとFとTの
低下量が等しくなる。逆に言えばFとTの低下量
の等しくなる金属膜の蒸着する幅が存在するので
ある。蒸着する部分１６の位置を音叉腕の長手方
向に変えればその位置で△Fと△Tが等しくなる
幅が存在する。その位置がＤに近づけば、UXが
急激に小さくなる為、△Fと△Tが等しくなる幅
は小さくなる。Ｅに近づけば、UXが大きい為、
△Fと△Tが等しくなる幅は大きくなる。そこ
で、F微調電極は、８の如き形状となるのであ
る。尚、第７図１２″，１３″，１４′，１５′は第
６図の１２′，１３′，１４，１５の幅で金属膜を
蒸着した場合に対応する。また、△F、△Tは、
金属膜を蒸着しないときの周波数との差である。
上記の理由からF微調電極をレーザービームで
切り取ると、F，Tを等量、増加させることがで
きる。
切り取ると、F，Tを等量、増加させることがで
きる。
各電極の位置は、音叉腕の長さを１としたとき
先端から、 F微調電極……０〜0.2 △調整電極……0.1〜0.4 F粗調電極……0.3〜0.5 に設けられねばならない。
先端から、 F微調電極……０〜0.2 △調整電極……0.1〜0.4 F粗調電極……0.3〜0.5 に設けられねばならない。
また、これら３種の電極は音叉腕の表裏に等し
い膜厚で付けることが必要である。その理由を以
下に述べる。
い膜厚で付けることが必要である。その理由を以
下に述べる。
第８図は、０℃〜40℃でのFの変化量（△）を
縦軸にとり、△を横軸にとり、製造ばらつきに
よる温度特性のばらつきを示したものである。黒
点は△に対する△を示す。点１７の特性を示す
振動子の−Z′面の△調整電極のみをレーザビー
ムで除去すると△は矢印１９の如く変化し、＋
Z′面の△調整電極のみをレーザビームで除去す
ると△は矢印１８の如く変化する。−Z′面と＋
Z′面の両面の△調整電極をレーザビームで除去
すると矢印２０の如く△は変化する。点２１の特
性を示す振動子の−Z′面のみ、＋Z′面のみ、＋Z′面
と−Z′面の両面にそれぞれ同様の操作を施すと、
矢印２３，２２，２４の如く△が変化する。もし
も、片面の△の調整電極だけを除去すると、点
１６と点１７の振動子では、△＝０となる△が
異なつてしまう。ところが両面の△調整電極を
レーザビームで除去すれば、矢印２０，２４に示
す如く、２つの振動子は△が△0で△＝０とな
る。これは量産する際、△を管理することで、
温度特性を調整できるので大きな利点である。こ
のことはF粗調電極、F微調電極に対しても言え
ることである。
縦軸にとり、△を横軸にとり、製造ばらつきに
よる温度特性のばらつきを示したものである。黒
点は△に対する△を示す。点１７の特性を示す
振動子の−Z′面の△調整電極のみをレーザビー
ムで除去すると△は矢印１９の如く変化し、＋
Z′面の△調整電極のみをレーザビームで除去す
ると△は矢印１８の如く変化する。−Z′面と＋
Z′面の両面の△調整電極をレーザビームで除去
すると矢印２０の如く△は変化する。点２１の特
性を示す振動子の−Z′面のみ、＋Z′面のみ、＋Z′面
と−Z′面の両面にそれぞれ同様の操作を施すと、
矢印２３，２２，２４の如く△が変化する。もし
も、片面の△の調整電極だけを除去すると、点
１６と点１７の振動子では、△＝０となる△が
異なつてしまう。ところが両面の△調整電極を
レーザビームで除去すれば、矢印２０，２４に示
す如く、２つの振動子は△が△0で△＝０とな
る。これは量産する際、△を管理することで、
温度特性を調整できるので大きな利点である。こ
のことはF粗調電極、F微調電極に対しても言え
ることである。
第９図は本発明の他の実施例である。２５は励
振電極、２６はF粗調電極、２７は△調整電
極、２８は微調電極である。F粗調電極２６、△
調整電極２７、F微調電極２８は、第３図にお
いて範囲１１，１０，９にある。第２図のF微調
電極８と第９図のF微調電極２８とが音叉腕の長
手方向に形状が逆転しているが、これはF微調電
極８においては音叉先端側でUXが大きく、F微
調電極２８においては、音叉基部側でUXが大き
くなつているからである。△、Fの調整は第４
図において述べた方法で可能となる。各電極の位
置は、 F粗調電極……０〜0.2 △調整電極……0.1〜0.4 F微調電極……0.2〜0.5 に設定されなければならない。
振電極、２６はF粗調電極、２７は△調整電
極、２８は微調電極である。F粗調電極２６、△
調整電極２７、F微調電極２８は、第３図にお
いて範囲１１，１０，９にある。第２図のF微調
電極８と第９図のF微調電極２８とが音叉腕の長
手方向に形状が逆転しているが、これはF微調電
極８においては音叉先端側でUXが大きく、F微
調電極２８においては、音叉基部側でUXが大き
くなつているからである。△、Fの調整は第４
図において述べた方法で可能となる。各電極の位
置は、 F粗調電極……０〜0.2 △調整電極……0.1〜0.4 F微調電極……0.2〜0.5 に設定されなければならない。
第１０図は、F微調電極の形状を示す。ａとｂ
の２通りがあり、辺３９，４０は、一般には直線
とはならない。図示の角度θ、θ′はθ，θ′＝30゜〜
80゜である。
の２通りがあり、辺３９，４０は、一般には直線
とはならない。図示の角度θ、θ′はθ，θ′＝30゜〜
80゜である。
以上、述べてきた調整方法を有効に行うには、
あらかじめF粗調電極、F微調電極、△調整電
極に厚く金属を蒸着、もしくはスパツタしておく
か、メツキしておくとよい。
あらかじめF粗調電極、F微調電極、△調整電
極に厚く金属を蒸着、もしくはスパツタしておく
か、メツキしておくとよい。
以上の実施例において、第２図７、第９図２７
を第１金属膜錘りとし、第２図８、第９図２８を
第２金属膜錘りとし、第２図６、第９図２６を第
３金属膜錘りとする。
を第１金属膜錘りとし、第２図８、第９図２８を
第２金属膜錘りとし、第２図６、第９図２６を第
３金属膜錘りとする。
以上の本発明の説明中で調整は総てレーザビー
ムで行うとしたが、蒸着でも可能であり、レーザ
ビームと蒸着の併用でも可能である。
ムで行うとしたが、蒸着でも可能であり、レーザ
ビームと蒸着の併用でも可能である。
以上の説明中で、温度特性は△で管理した
が、Ｒ（≡T／F、F、Tは20℃での値）で管理
してもよい。このとき△＜Fのため、F≒Tと
なり、F微調電極の形状は、△で温度特性を管
理する場合とほぼ同一の形状となる。例えば、F
≒200kHzのとき、△≒4kHzであるから。
が、Ｒ（≡T／F、F、Tは20℃での値）で管理
してもよい。このとき△＜Fのため、F≒Tと
なり、F微調電極の形状は、△で温度特性を管
理する場合とほぼ同一の形状となる。例えば、F
≒200kHzのとき、△≒4kHzであるから。
以上、述べた如く屈曲振動の第一高周波と捩り
振動の基本振動の結合を用いた結合音叉型水晶振
動子において、音叉腕先端にF粗微調電極、△
調整電極を設け、F、△を所定のF0、△0に
合せ込むことが可能となつた。本発明により、結
合音叉型水晶振動子の歩留りを向上させることが
できる。また、本発明になる結合音叉型水晶振動
子の電子腕時計に用いることにより、長寿命、高
精度を実現できる。
振動の基本振動の結合を用いた結合音叉型水晶振
動子において、音叉腕先端にF粗微調電極、△
調整電極を設け、F、△を所定のF0、△0に
合せ込むことが可能となつた。本発明により、結
合音叉型水晶振動子の歩留りを向上させることが
できる。また、本発明になる結合音叉型水晶振動
子の電子腕時計に用いることにより、長寿命、高
精度を実現できる。
第１図は、従来の結合音叉型水晶振動子。第２
図は、本発明の一具体例。第３図は、屈曲振動と
捩り振動の変位分布図。第４図は、F、△調整
操作の説明図。第５図は、F微調を施された微調
電極。第６図、第７図は、F微調電極の形状を説
明するための図。第８図は、＋Z′面、−Z′面の違い
を説明するための図。第９図は、本発明の他の具
体例である。第１０図は、F微調電極の形状を示
す。 １……結合音叉型水晶振動子、２……リード、
３……半田、４……プラグ、５……励振電極、６
……F粗調電極、７……△調整電極、８……F
微調電極、９，１０，１１……電極配置の位置の
範囲、１２……レーザビームで分割されたF微調
電極、１３……レーザビームで電極を除去した
跡、１２′，１３′，１４，１５……金属膜の幅、
１２″，１３″，１４′，１５′……１２′，１３′，
１４，１５の各幅に対応する、１６……金属膜の
位置、１７……ばらついている振動子のうちの１
つ、１８……＋Z′面の△調整電極のみに調整を
施したときの挙動、１９……−Z′面の△調整電
極のみに調整を施したときの挙動、２０……＋
Z′面と−Z′面の△調整電極に調整を施したとき
の挙動、２１……ばらついている振動子のうちの
他の１つ、２２……＋Z′面の△調整電極のみに
調整を施したときの挙動、２３……−Z′面の△
調整電極のみに調整を施したときの挙動、２４…
…＋Z′面と−Z′面の△調整電極に調整を施した
ときの挙動、２５……励振電極、２６……F粗調
電極、２７……△調整電極、２８……F微調電
極。
図は、本発明の一具体例。第３図は、屈曲振動と
捩り振動の変位分布図。第４図は、F、△調整
操作の説明図。第５図は、F微調を施された微調
電極。第６図、第７図は、F微調電極の形状を説
明するための図。第８図は、＋Z′面、−Z′面の違い
を説明するための図。第９図は、本発明の他の具
体例である。第１０図は、F微調電極の形状を示
す。 １……結合音叉型水晶振動子、２……リード、
３……半田、４……プラグ、５……励振電極、６
……F粗調電極、７……△調整電極、８……F
微調電極、９，１０，１１……電極配置の位置の
範囲、１２……レーザビームで分割されたF微調
電極、１３……レーザビームで電極を除去した
跡、１２′，１３′，１４，１５……金属膜の幅、
１２″，１３″，１４′，１５′……１２′，１３′，
１４，１５の各幅に対応する、１６……金属膜の
位置、１７……ばらついている振動子のうちの１
つ、１８……＋Z′面の△調整電極のみに調整を
施したときの挙動、１９……−Z′面の△調整電
極のみに調整を施したときの挙動、２０……＋
Z′面と−Z′面の△調整電極に調整を施したとき
の挙動、２１……ばらついている振動子のうちの
他の１つ、２２……＋Z′面の△調整電極のみに
調整を施したときの挙動、２３……−Z′面の△
調整電極のみに調整を施したときの挙動、２４…
…＋Z′面と−Z′面の△調整電極に調整を施した
ときの挙動、２５……励振電極、２６……F粗調
電極、２７……△調整電極、２８……F微調電
極。
Claims (1)
- １ 屈曲振動に捩り振動を結合させた結合音叉型
水晶振動子において、音叉腕上で前記屈曲振動の
節となる位置とその近傍に屈曲振動周波数Fと捩
り振動周波数の周波数差△を調整する第１金属
膜錘りを設け、前記第１金属膜錘りの位置から音
叉腕先端方向もしくは音叉腕根元方向のいずれか
の方向に向かつて徐々に幅が広くなる第２金属膜
錘りと、前記第１金属膜錘りに対して前記第２金
属膜錘りとは反対側の位置に設けられ屈曲振動の
周波数Fを大きく変化させる粗調整用の第３の金
属膜錘りを形成してなり、第２金属膜錘りは音叉
腕の長手方向と直角な方向にいずれの箇所の金属
膜錘りを除去もしくは付着しても前記周波数差△
をほぼ一定に保つ形状に形成され、且つ前記第
１，第２，第３の金属膜錘りは音叉腕の両面に形
成されたことを特徴とする結合音叉型水晶振動
子。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14482780A JPS5768924A (en) | 1980-10-16 | 1980-10-16 | Coupling turning fork quartz oscillator |
| FR8103611A FR2477803A1 (fr) | 1980-03-04 | 1981-02-24 | Resonateur a quartz du type diapason a couplage de modes |
| GB8106490A GB2072943B (en) | 1980-03-04 | 1981-03-02 | Piezo-electric crystal vibrator |
| US06/240,045 US4377765A (en) | 1980-03-04 | 1981-03-03 | Mode coupled tuning fork type quartz crystal vibrator and method of tuning |
| CH145181A CH645509GA3 (ja) | 1980-03-04 | 1981-03-04 | |
| DE3108166A DE3108166C2 (de) | 1980-03-04 | 1981-03-04 | Stimmgabelquarzkristallschwinger mit Schwingungskopplung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14482780A JPS5768924A (en) | 1980-10-16 | 1980-10-16 | Coupling turning fork quartz oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5768924A JPS5768924A (en) | 1982-04-27 |
| JPS647689B2 true JPS647689B2 (ja) | 1989-02-09 |
Family
ID=15371367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14482780A Granted JPS5768924A (en) | 1980-03-04 | 1980-10-16 | Coupling turning fork quartz oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5768924A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018008386A1 (ja) | 2016-07-05 | 2018-01-11 | 日東化成株式会社 | ポリエステル重合用触媒、ポリエステル樹脂の製造方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60136406A (ja) * | 1983-12-24 | 1985-07-19 | Matsushima Kogyo Co Ltd | 結合音叉型水晶振動子の調整方法 |
| US4929860A (en) * | 1988-05-17 | 1990-05-29 | Sundstrand Data Control, Inc. | Electrode configuration for vibrating beam transducers |
| JP4885206B2 (ja) | 2008-12-22 | 2012-02-29 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
-
1980
- 1980-10-16 JP JP14482780A patent/JPS5768924A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018008386A1 (ja) | 2016-07-05 | 2018-01-11 | 日東化成株式会社 | ポリエステル重合用触媒、ポリエステル樹脂の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5768924A (en) | 1982-04-27 |
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