JPS5850418A - 磁気スケ−ル装置 - Google Patents
磁気スケ−ル装置Info
- Publication number
- JPS5850418A JPS5850418A JP15003881A JP15003881A JPS5850418A JP S5850418 A JPS5850418 A JP S5850418A JP 15003881 A JP15003881 A JP 15003881A JP 15003881 A JP15003881 A JP 15003881A JP S5850418 A JPS5850418 A JP S5850418A
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- Japan
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- scale
- magnetic
- reference point
- detection head
- magnet
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気スケール装置、特に有効測長内に基準点（
絶対原点）発磁体を有し、簡易かつ小型な構成で、しか
も耐損耗性の向上をも具現するための改良に関する。
絶対原点）発磁体を有し、簡易かつ小型な構成で、しか
も耐損耗性の向上をも具現するための改良に関する。
磁気格子の形成された磁気スケールを用いた測尺装置で
は、従来から一般に、相対的に移動される磁気スケール
と検出ヘッドとの単位移動量毎に得られるパルス信号を
計数して測定値を算出するインクリメンタル方式の測定
が行なわれている。
は、従来から一般に、相対的に移動される磁気スケール
と検出ヘッドとの単位移動量毎に得られるパルス信号を
計数して測定値を算出するインクリメンタル方式の測定
が行なわれている。
このようなインクリメンタル方式の測尺装置は構成が簡
単で安価な利点を有しているが、電源がオフされると過
去の位置情報が全て消失するという欠点がある。この欠
点を補完するために、磁気スケールの有効測定長内に基
準点発磁体を設け、これを磁気センサから成る基準点検
出ヘッドにより検出して原点信号を得て、この原点信号
に基づく擬似アブソリュート方式の測定を行なうように
したものが提案されている。
単で安価な利点を有しているが、電源がオフされると過
去の位置情報が全て消失するという欠点がある。この欠
点を補完するために、磁気スケールの有効測定長内に基
準点発磁体を設け、これを磁気センサから成る基準点検
出ヘッドにより検出して原点信号を得て、この原点信号
に基づく擬似アブソリュート方式の測定を行なうように
したものが提案されている。
また上記副尺装置は磁気スケールの表面に鉄粉等が付着
し易く、該磁気スケールに極めて近接した状態で相対移
動される検出ヘッドと磁気スケールとの間に上述のよう
な鉄粉等が挾みこまれた場合には、検出ヘッドや磁気ス
ケールが損傷する恐れがある。
し易く、該磁気スケールに極めて近接した状態で相対移
動される検出ヘッドと磁気スケールとの間に上述のよう
な鉄粉等が挾みこまれた場合には、検出ヘッドや磁気ス
ケールが損傷する恐れがある。
このためスケール検出ヘッドと基準点検出ヘッドを磁気
シールドケース内に収容すると共に磁気スケール検出面
を保護カバーで被覆し、かつワイパーにより摺接するこ
とも提案されている。
シールドケース内に収容すると共に磁気スケール検出面
を保護カバーで被覆し、かつワイパーにより摺接するこ
とも提案されている。
しかし上述した従来の磁気スケール装置では基準点発磁
体を設けることによるクロストークの影響を回避する構
成としなげればならない。即ち、基準点発磁体の信号磁
界にスケール検出ヘッドが感磁するのを防止するために
、磁気スケールと基準点検出ヘッドとの間隔を拡大する
と共に磁気シ゛−ルドケースを２重構造とする必要があ
る。従って磁気スケール装置の構成が大型かつ複雑化す
る。
体を設けることによるクロストークの影響を回避する構
成としなげればならない。即ち、基準点発磁体の信号磁
界にスケール検出ヘッドが感磁するのを防止するために
、磁気スケールと基準点検出ヘッドとの間隔を拡大する
と共に磁気シ゛−ルドケースを２重構造とする必要があ
る。従って磁気スケール装置の構成が大型かつ複雑化す
る。
また、通常、基準点発磁体はスケールベース内に埋込み
、その発磁体検出面とスケール磁性媒体面とを同一面と
なるように成形するために、スケールベースに対して発
磁体叩込み用の穴又は溝の加工を必要とし、コスト高と
なる。
、その発磁体検出面とスケール磁性媒体面とを同一面と
なるように成形するために、スケールベースに対して発
磁体叩込み用の穴又は溝の加工を必要とし、コスト高と
なる。
更に磁気スケールの検出面が外部に露出する構成である
ため、使用に際して損耗の危険を伴なっている。
ため、使用に際して損耗の危険を伴なっている。
本発明はかかる従来技術の欠点を改良するためになされ
たもので、略コ字状に形成したスケールベースの内側の
一面に磁気スケールを、池面に基準点発磁体を夫々設け
ると共に上記スケール及び発磁体に対向して配置されか
つ磁性体により互いに磁気シールドされたスケール検出
ヘッド及び基準点検出ヘッドによりスケール信号及び基
準点信号を読み出すように構成したことを特徴とする。
たもので、略コ字状に形成したスケールベースの内側の
一面に磁気スケールを、池面に基準点発磁体を夫々設け
ると共に上記スケール及び発磁体に対向して配置されか
つ磁性体により互いに磁気シールドされたスケール検出
ヘッド及び基準点検出ヘッドによりスケール信号及び基
準点信号を読み出すように構成したことを特徴とする。
以下図面に示す実施例により本発明を説明すると、第１
図及び第２図において、■は略コ字状に形成されたスケ
ールベース、２は副尺用磁気スケール、３は基準点発磁
体、４は検出ヘッド装置、５はヘッド取付板、６はケー
ブル、７は保護カバー、８はワイパーである。
図及び第２図において、■は略コ字状に形成されたスケ
ールベース、２は副尺用磁気スケール、３は基準点発磁
体、４は検出ヘッド装置、５はヘッド取付板、６はケー
ブル、７は保護カバー、８はワイパーである。
副尺用磁気スケール２及び基準点発磁体３は夫夫スケー
ルペース１の内側の面に設けられ、これらの間に検出ヘ
ッド装置４が配置されている。検出ヘッド装置４はヘッ
ド取付板５によって固定側に支持され、またヘッドから
の信号取出し及び付勢用電源の供給のため、ケーブル６
が検出ヘッド装置４内に接続されている。
ルペース１の内側の面に設けられ、これらの間に検出ヘ
ッド装置４が配置されている。検出ヘッド装置４はヘッ
ド取付板５によって固定側に支持され、またヘッドから
の信号取出し及び付勢用電源の供給のため、ケーブル６
が検出ヘッド装置４内に接続されている。
スケールベースｌは例えば鉄等の磁性体で成形し、前述
したようにその内側の面にスケール磁性媒体及び基準点
発磁体を直接固着することができ、また傾斜部１′を設
ければ滴下する油等の侵入防止に効果がある。上記スケ
ール磁性媒体には、例えば縦磁界記録法により垂直磁気
目盛を付与して磁気格子を形成し磁気スケール２として
いる。
したようにその内側の面にスケール磁性媒体及び基準点
発磁体を直接固着することができ、また傾斜部１′を設
ければ滴下する油等の侵入防止に効果がある。上記スケ
ール磁性媒体には、例えば縦磁界記録法により垂直磁気
目盛を付与して磁気格子を形成し磁気スケール２として
いる。
基準点発磁体３は希土類磁石或いはゴム磁石やプラスチ
ック磁石等で形成されており、その表面から垂直方向に
基準点信号用磁界を発生する。また前記スケール磁性媒
体はＣｕ、 Ｎ４ 、 ｒｅ ＋Ｃｕ・Ｎ１・Ｃｏ
等のスピノーダル型磁性材料を用いた圧延磁石で形成さ
れ、その表面は均一平面に仕上げられており、スケール
ベース内に収納されているので、損耗の危険は少ないが
、必要に応じて適当な樹脂等から成る保護カバー７を被
覆すると有効である。
ック磁石等で形成されており、その表面から垂直方向に
基準点信号用磁界を発生する。また前記スケール磁性媒
体はＣｕ、 Ｎ４ 、 ｒｅ ＋Ｃｕ・Ｎ１・Ｃｏ
等のスピノーダル型磁性材料を用いた圧延磁石で形成さ
れ、その表面は均一平面に仕上げられており、スケール
ベース内に収納されているので、損耗の危険は少ないが
、必要に応じて適当な樹脂等から成る保護カバー７を被
覆すると有効である。
更に検出ヘッド装置４の磁気スケール２と対向する底面
にはワイパー８が取付けられており、該ワイパーは例え
ばポリウレタン、ニトリルゴム等の弾性材料で成形され
ていて、その先端部は方形状を成している。このワイパ
ーの方形状部は磁気スケール２の表面に弾性的に接触し
ており、磁気スケール２と検出ヘッド装置４との相対移
動に伴なって、磁気スケール面上を摺動して、該面に付
着した鉄粉等を除去する作用をなす。
にはワイパー８が取付けられており、該ワイパーは例え
ばポリウレタン、ニトリルゴム等の弾性材料で成形され
ていて、その先端部は方形状を成している。このワイパ
ーの方形状部は磁気スケール２の表面に弾性的に接触し
ており、磁気スケール２と検出ヘッド装置４との相対移
動に伴なって、磁気スケール面上を摺動して、該面に付
着した鉄粉等を除去する作用をなす。
次に検出ヘッド装置４は１例えば第３図乃至第５図に示
す如く、磁気スケール２と対向するスケール検出ヘッド
９、基準点発磁体側に対向する基準点検出ヘッド１０、
磁性体ヘッドケース】１、非磁性体カバー１２．１３及
び端子板１４等からな、る。
す如く、磁気スケール２と対向するスケール検出ヘッド
９、基準点発磁体側に対向する基準点検出ヘッド１０、
磁性体ヘッドケース】１、非磁性体カバー１２．１３及
び端子板１４等からな、る。
磁性体ヘッドケース１１は断面形状がＨ字状をなしてお
り、その土部及び下部はカバー１２．１３で密閉され、
その一方の室にはスケール検出ヘッド９が、また他方の
室には基準点検出ヘッド１ｏが夫々収納されて、各検出
ヘッドからの信号線は端子板１４においてケーブル６に
接続されている。
り、その土部及び下部はカバー１２．１３で密閉され、
その一方の室にはスケール検出ヘッド９が、また他方の
室には基準点検出ヘッド１ｏが夫々収納されて、各検出
ヘッドからの信号線は端子板１４においてケーブル６に
接続されている。
上述した如（スケール検出ヘッド９と基準点検出ヘッド
１０は磁性体ヘッドケース１１により互いに磁気シール
ドされ、磁気スケール２及び基準点発磁体３に対し閉磁
路が形成されるようになるのでお互いの干渉はほぼ完全
に防止される。
１０は磁性体ヘッドケース１１により互いに磁気シール
ドされ、磁気スケール２及び基準点発磁体３に対し閉磁
路が形成されるようになるのでお互いの干渉はほぼ完全
に防止される。
更にヘッドケース１ｊ及びヘッド取付板５は精密鋳造等
に一体成形でき、極めて簡易な構成となし得る。
に一体成形でき、極めて簡易な構成となし得る。
なお、磁気スケール２は、縦磁界目盛に限定されるもの
ではなく、そのスケール磁性媒体に横磁界記録法により
磁気極子を形成するようにしてもよい。この場合、スケ
ールベースは非磁性体で形成する。
ではなく、そのスケール磁性媒体に横磁界記録法により
磁気極子を形成するようにしてもよい。この場合、スケ
ールベースは非磁性体で形成する。
か（して検出ヘッド装置４に対する磁気スケール２及び
基準点発磁体３の相対移動により、該発磁体からの磁界
を基準点検出ヘッド１０によって検出して基準点位置情
報を得ると共に磁気スケール２からの信号磁界をスケー
ル検出ヘッド９によって検出される副尺位置情報を上記
基準点位置情報に基づ（絶対的な位置情報として出力す
ることができる。
基準点発磁体３の相対移動により、該発磁体からの磁界
を基準点検出ヘッド１０によって検出して基準点位置情
報を得ると共に磁気スケール２からの信号磁界をスケー
ル検出ヘッド９によって検出される副尺位置情報を上記
基準点位置情報に基づ（絶対的な位置情報として出力す
ることができる。
第６図は切削粉等のスケール内侵入を防止するための本
装置の使用方法を示している。同図に示す如（、スケー
ルベースｌの検出ヘッドを取付けていない部分を上方に
向け、これと平行にヘッド取付板５を配置しである。
装置の使用方法を示している。同図に示す如（、スケー
ルベースｌの検出ヘッドを取付けていない部分を上方に
向け、これと平行にヘッド取付板５を配置しである。
第７図は磁気スケール自体を防塵構造とした実施例で、
弾性体カーテン１５．１６がスケールベース１の開口部
両端に取付けられている。
弾性体カーテン１５．１６がスケールベース１の開口部
両端に取付けられている。
第８図はスケールヘッド一体構成のユニット型磁気スケ
ール装置の実施例を示す。同図において、１７はスケー
ルベース１の外筒面を案内とするスライダーで、このス
ライダーに検出ヘッド装置４が取付けられている。
ール装置の実施例を示す。同図において、１７はスケー
ルベース１の外筒面を案内とするスライダーで、このス
ライダーに検出ヘッド装置４が取付けられている。
以上説明した所から明らかなように本発明によれば、ス
ケールベースは成形容易であり、このスケールベース内
に磁気スケール、基準点発磁体及び検出ヘッド装置を収
納する構造であるから損耗の危険は少な（防塵の点で効
果的であり、しかも全体的に簡易な構造である。
ケールベースは成形容易であり、このスケールベース内
に磁気スケール、基準点発磁体及び検出ヘッド装置を収
納する構造であるから損耗の危険は少な（防塵の点で効
果的であり、しかも全体的に簡易な構造である。
特に基準点発磁体はスケールベース内側面のスケール副
尺方向の任意位置に取付可能であり、その検出ヘッドと
関連して閉磁路構成とすることは容易であるから、従来
に比して磁気スケールとの間隔は縮少でき、小型化の点
で有利である。
尺方向の任意位置に取付可能であり、その検出ヘッドと
関連して閉磁路構成とすることは容易であるから、従来
に比して磁気スケールとの間隔は縮少でき、小型化の点
で有利である。
また従来の如（基準点発磁体をスケールベース内に埋込
む必要がないので、成形加工が簡易化され、コスト低下
に資する所大である。
む必要がないので、成形加工が簡易化され、コスト低下
に資する所大である。
更に基準点検出ヘッドとスケール検出ヘッドとを、磁性
体ヘッドケースを用いることにより夫々基準点発磁体と
磁気スケールとに対し互いに独立した閉磁路構成とする
ことができるので、磁気シールド効果は極めて高い。
体ヘッドケースを用いることにより夫々基準点発磁体と
磁気スケールとに対し互いに独立した閉磁路構成とする
ことができるので、磁気シールド効果は極めて高い。
その他、防水、防塵構造とすることは極めて容易であり
、実用に供してその効果は顕著である。
、実用に供してその効果は顕著である。
第１図及び第２図は本発明の一実施例による磁気ヘッド
装置を示す概略図、第２図（ａ）、 （ｔ））、第３図
（ａ）、 （ｂ）及び第４図は上記実施例における検出
ヘッド装置の構成を示す概略図、第６図、第７図及び第
８図は夫々本発明の他の実施例を示す概略図である。 １・・・スケールベース、２・・・磁気スケーノν、３
・・・基準点発磁体、４・・・検出ヘッド装置、５・・
・ヘッド取付板、８・・・ワイパー。 特 許 出 願 人 ソニーマグネスケール株式会
社第４図 （０） 第６図 第７図 □
装置を示す概略図、第２図（ａ）、 （ｔ））、第３図
（ａ）、 （ｂ）及び第４図は上記実施例における検出
ヘッド装置の構成を示す概略図、第６図、第７図及び第
８図は夫々本発明の他の実施例を示す概略図である。 １・・・スケールベース、２・・・磁気スケーノν、３
・・・基準点発磁体、４・・・検出ヘッド装置、５・・
・ヘッド取付板、８・・・ワイパー。 特 許 出 願 人 ソニーマグネスケール株式会
社第４図 （０） 第６図 第７図 □
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） 略コ字状に形成したスケールベースの内側の
一面に磁気スケールを、他面に基準点発磁体を夫々設け
ると共に上記スケール及び発磁体に対向して配置されか
つ磁性体により互いに磁気シールドされたスケール検出
ヘッド及び基準点検出ヘッドによりスケール信号及び基
準点信号を読み出すように構成したことを特徴とする磁
気スケール装置。 （２）前記磁性体はＨ字形に形成されていて、前記磁気
スケール及び基準点発磁体とに対し互いに独立した閉磁
路を構成していることを特徴とする（３） 前記スケ
ールベースの開口部両端に防塵用カーテンを取付けたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気スケー
ル装置。 （４） 前記スケールベースの外筒面を案内とするス
ライダーに前記検出ヘッドを支持させるように構成した
ことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の磁気
スケール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15003881A JPS5850418A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 磁気スケ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15003881A JPS5850418A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 磁気スケ−ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5850418A true JPS5850418A (ja) | 1983-03-24 |
| JPS6222403B2 JPS6222403B2 (ja) | 1987-05-18 |
Family
ID=15488137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15003881A Granted JPS5850418A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 磁気スケ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5850418A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59175105U (ja) * | 1983-05-10 | 1984-11-22 | 株式会社 エスジ− | 位相シフト型直線位置検出装置 |
| JPS6387504U (ja) * | 1986-11-27 | 1988-06-07 | ||
| JP2024051215A (ja) * | 2022-09-30 | 2024-04-11 | Dmg森精機株式会社 | 位置検出装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5049455U (ja) * | 1973-08-31 | 1975-05-15 | ||
| JPS5430953U (ja) * | 1977-08-04 | 1979-02-28 | ||
| JPS54100743U (ja) * | 1977-12-27 | 1979-07-16 | ||
| JPS5635765U (ja) * | 1979-08-28 | 1981-04-07 |
-
1981
- 1981-09-21 JP JP15003881A patent/JPS5850418A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5049455U (ja) * | 1973-08-31 | 1975-05-15 | ||
| JPS5430953U (ja) * | 1977-08-04 | 1979-02-28 | ||
| JPS54100743U (ja) * | 1977-12-27 | 1979-07-16 | ||
| JPS5635765U (ja) * | 1979-08-28 | 1981-04-07 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59175105U (ja) * | 1983-05-10 | 1984-11-22 | 株式会社 エスジ− | 位相シフト型直線位置検出装置 |
| JPS6387504U (ja) * | 1986-11-27 | 1988-06-07 | ||
| JP2024051215A (ja) * | 2022-09-30 | 2024-04-11 | Dmg森精機株式会社 | 位置検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6222403B2 (ja) | 1987-05-18 |
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