JPS5851452A - 分析電子顕微鏡 - Google Patents
分析電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5851452A JPS5851452A JP56148021A JP14802181A JPS5851452A JP S5851452 A JPS5851452 A JP S5851452A JP 56148021 A JP56148021 A JP 56148021A JP 14802181 A JP14802181 A JP 14802181A JP S5851452 A JPS5851452 A JP S5851452A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- energy
- electron beam
- analyzer
- electron
- sample
- Prior art date
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- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本＠明は、走査透過電子顕微−観察モードでエネルギー
フィルター像を得る場合、試料とでの電子＃Ｍ射位置の
移動に関するエネルギーずれの補正を自動的ｌこ行える
分析電子顕微鏡ｊこ関するものである。
フィルター像を得る場合、試料とでの電子＃Ｍ射位置の
移動に関するエネルギーずれの補正を自動的ｌこ行える
分析電子顕微鏡ｊこ関するものである。
最近の透過電子顕微鏡は走査電子＃４倣＃ｉＩ像の観察
、Ｘ４１１分析、を子線のエネルギー分析等の多くの機
能が付加され、所−分析電子顕微鏡を溝成しでいる・こ
の様な装置で試料透過電子線のエネルギー分析を行うｆ
ζは結像レンズ系の下方ｌζエネルギーアナライザーを
置き、このアナライザーを掃引すること憂こより、試料
透過電子の試料ｄζよるエネルギーロスのスペクトル等
を得でいる０第１図は斯るエネルギーアナライザー°を
備えた電子顕微鏡の概略を示すもので１は結像レンズ系
を示し、実際には対物レンズ、投影レンズ、中間レンズ
等より＊ｓ、されている。対物レンズの中、又はその直
ぐ土方薯ζは薄膜試料２が置かれ、図示外の電子線照射
系より細く集束された電子線ｇＢ部がエネルギー１ナラ
イヂー６に導入される。このアナライザーとしては、例
えば２枚の平行磁極板間Ｉこ一様磁界（紙面と垂直方向
）を形成し、この磁界ｌこよる偏向力の差を利用して電
子のエネルギー分離を行う、所−セクタ線域アナライザ
ーが用いられ該アナライザーの直ぐ後段１こは出射スリ
ット４が置かれ、これを通過した特定エネルギーの電子
のみが検出器５Ｉこ検出される。この検出器の出力は紀
録計或いは表示装置１こ供給されている〇前記アナライ
ザーの強度は可変であり、一定範囲で掃引するとスリッ
ト４を通過して取り出される電子のエネルギーが変わり
、エネルギースペクトルが表示される。６ｍ、６ｂは電
子線偏向コイルであり、試料２のと方に置かれ、電子線
を試料上で走査するために用いられる。
、Ｘ４１１分析、を子線のエネルギー分析等の多くの機
能が付加され、所−分析電子顕微鏡を溝成しでいる・こ
の様な装置で試料透過電子線のエネルギー分析を行うｆ
ζは結像レンズ系の下方ｌζエネルギーアナライザーを
置き、このアナライザーを掃引すること憂こより、試料
透過電子の試料ｄζよるエネルギーロスのスペクトル等
を得でいる０第１図は斯るエネルギーアナライザー°を
備えた電子顕微鏡の概略を示すもので１は結像レンズ系
を示し、実際には対物レンズ、投影レンズ、中間レンズ
等より＊ｓ、されている。対物レンズの中、又はその直
ぐ土方薯ζは薄膜試料２が置かれ、図示外の電子線照射
系より細く集束された電子線ｇＢ部がエネルギー１ナラ
イヂー６に導入される。このアナライザーとしては、例
えば２枚の平行磁極板間Ｉこ一様磁界（紙面と垂直方向
）を形成し、この磁界ｌこよる偏向力の差を利用して電
子のエネルギー分離を行う、所−セクタ線域アナライザ
ーが用いられ該アナライザーの直ぐ後段１こは出射スリ
ット４が置かれ、これを通過した特定エネルギーの電子
のみが検出器５Ｉこ検出される。この検出器の出力は紀
録計或いは表示装置１こ供給されている〇前記アナライ
ザーの強度は可変であり、一定範囲で掃引するとスリッ
ト４を通過して取り出される電子のエネルギーが変わり
、エネルギースペクトルが表示される。６ｍ、６ｂは電
子線偏向コイルであり、試料２のと方に置かれ、電子線
を試料上で走査するために用いられる。
所で、この鎌な装置ｌこおいて、偏向コイル６ａ。
６ｂにより集束電子＠ＨＢを試料上で一久元的、又は二
次元重着ζ走査（又は掃引）すると試料の各照射点を透
過した電子線が結像レンズ系を通してエネルギーアナラ
イザー５内６ζ導かれ、エネルギー分離され、出射スリ
ット４を通過したものが検出器５に検出され表示装置に
送られるので、試料２の走査透過モードでのエネルギー
フィルター像を得ることができる０しかし乍ら、走査に
より点線ｇＢで示す如く、試料上での電子−の位置が移
動するのでその結像面（アナライザー６の入射面）での
スポット位置が移動し、アナライザーの中で実線と点線
で示す如く異った位置でエネルギー分離がなされ、出射
スリットを通過する電子のエネルギーｔζずれを生ずる
。その結果、得られた走査透過像は場所擾こより異なる
エネルギーのフィルター像となり、同一エネルギーフィ
ルター像は観察できないという欠点がある。
次元重着ζ走査（又は掃引）すると試料の各照射点を透
過した電子線が結像レンズ系を通してエネルギーアナラ
イザー５内６ζ導かれ、エネルギー分離され、出射スリ
ット４を通過したものが検出器５に検出され表示装置に
送られるので、試料２の走査透過モードでのエネルギー
フィルター像を得ることができる０しかし乍ら、走査に
より点線ｇＢで示す如く、試料上での電子−の位置が移
動するのでその結像面（アナライザー６の入射面）での
スポット位置が移動し、アナライザーの中で実線と点線
で示す如く異った位置でエネルギー分離がなされ、出射
スリットを通過する電子のエネルギーｔζずれを生ずる
。その結果、得られた走査透過像は場所擾こより異なる
エネルギーのフィルター像となり、同一エネルギーフィ
ルター像は観察できないという欠点がある。
本発明はと起点番こ１１み、エネルギーずれのない同一
エネルギーフィルター像を観察し得る装置を提供するこ
とを目的とするものである。その為の本発明の構成は試
料とで集束暉子線を走査又は掃引し、試料を透過した電
子線を結像レンズ系を通してエネルギーアナライザー４
こ導びき、該アナライザーの出射スリットを通過した電
子を検出し、その出力を表示装置−ご導入する装＃Ｌｔ
ｃおいで、前記エネルギー１ナライヂーの強度を試料上
の電子線の照射位置の変化ｌこ拘らず出射電子のエネル
ギーが一定ｊこなるように前記電子−の走査又は掃引に
同期して変調することを特徴とｒるｂのである。
エネルギーフィルター像を観察し得る装置を提供するこ
とを目的とするものである。その為の本発明の構成は試
料とで集束暉子線を走査又は掃引し、試料を透過した電
子線を結像レンズ系を通してエネルギーアナライザー４
こ導びき、該アナライザーの出射スリットを通過した電
子を検出し、その出力を表示装置−ご導入する装＃Ｌｔ
ｃおいで、前記エネルギー１ナライヂーの強度を試料上
の電子線の照射位置の変化ｌこ拘らず出射電子のエネル
ギーが一定ｊこなるように前記電子−の走査又は掃引に
同期して変調することを特徴とｒるｂのである。
第２図は本発明の一実施例装置のブロック線図であり、
第１図と同一符号は同一の構成物を示しである。図中７
は走査電源で鋸歯状波信号を発生し、偏向コイル６、．
６ｔ）と表示装置８の偏向コイルに供給する。この表示
装置は例えば陰４ｉｉｉｉｉ管であり、その輝度信号と
して検出＠５からの信号が映像増幅器９を介して供給さ
れる０１０はアナライザー６の励磁電源であり、制御回
路１１１ζより制御される。この制御回路には前記走査
電源７から走査信号−ζ同期した制御信号が送られてお
り、従ってアナライｆ−５の強度は電子線ｇＢの走査に
関連しで変調されることをこなる０即ら、電子線のはア
ナライザーの励磁を弱くするように電源１０を制御し、
その結果実線の場合でも点線の場合でも同一のエネルギ
ーをもつ電子がスリット４を通して取り出されることｔ
こＰる０丘記第３図暑ζおいて点線で示す電子線が実線
のそれの左ｗ錘こある場＆■ごは逆にアナライザーの励
磁強度は強（されることｉζなる０この様な１ナライず
−の制御を行えば、表示装装置８上番こはエネルギー補
正のされた、つまり単一エネルギーのラインプロファイ
ル、又は画像が表示されることＩＣなる。
第１図と同一符号は同一の構成物を示しである。図中７
は走査電源で鋸歯状波信号を発生し、偏向コイル６、．
６ｔ）と表示装置８の偏向コイルに供給する。この表示
装置は例えば陰４ｉｉｉｉｉ管であり、その輝度信号と
して検出＠５からの信号が映像増幅器９を介して供給さ
れる０１０はアナライザー６の励磁電源であり、制御回
路１１１ζより制御される。この制御回路には前記走査
電源７から走査信号−ζ同期した制御信号が送られてお
り、従ってアナライｆ−５の強度は電子線ｇＢの走査に
関連しで変調されることをこなる０即ら、電子線のはア
ナライザーの励磁を弱くするように電源１０を制御し、
その結果実線の場合でも点線の場合でも同一のエネルギ
ーをもつ電子がスリット４を通して取り出されることｔ
こＰる０丘記第３図暑ζおいて点線で示す電子線が実線
のそれの左ｗ錘こある場＆■ごは逆にアナライザーの励
磁強度は強（されることｉζなる０この様な１ナライず
−の制御を行えば、表示装装置８上番こはエネルギー補
正のされた、つまり単一エネルギーのラインプロファイ
ル、又は画像が表示されることＩＣなる。
尚、と紀実施例１こおいて、結像レンズ１の倍率を可変
するとエネルギーアナライザー６の入射面１こおける電
子線の変位献が異αるので、該倍率ｉこ応じて補正が適
正６ζ行われるように制御回路１１を自動か、又は手動
により調整できるよう１こなすと良い。又、エネルギー
アナライザーとしてセクタータイプを示したが、これ膓
こ限定されずΩ減や静電ａ１などら利用できることは勿
論である。
するとエネルギーアナライザー６の入射面１こおける電
子線の変位献が異αるので、該倍率ｉこ応じて補正が適
正６ζ行われるように制御回路１１を自動か、又は手動
により調整できるよう１こなすと良い。又、エネルギー
アナライザーとしてセクタータイプを示したが、これ膓
こ限定されずΩ減や静電ａ１などら利用できることは勿
論である。
第１図は一般の分析電子顕微鏡の主要部を示す図、第２
図は本発明の一実施例を示すブロック線図、第３図は第
２図の説明図である。 １：結像レンズ系、２：試料、６：エネルギー１ナライ
ヂー、４：出射スリット、５：検出器、６．．６ｂ：偏
向コイル、７：走査電源、８：表示装置、９：増ｍ器、
１０：励磁電源、１１：制御回路。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者加勢忠雄
図は本発明の一実施例を示すブロック線図、第３図は第
２図の説明図である。 １：結像レンズ系、２：試料、６：エネルギー１ナライ
ヂー、４：出射スリット、５：検出器、６．．６ｂ：偏
向コイル、７：走査電源、８：表示装置、９：増ｍ器、
１０：励磁電源、１１：制御回路。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者加勢忠雄
Claims (1)
- 試料Ｉこ集束電子線を照射する手段、該電子線を試料上
で走査又は掃引する手段、試料を透過した電子を結像す
るレンズ系、該レンズ系の下方に置かれた電子線のエネ
ルギーアナライザー、このアナライザーから出射した電
子を検出する検出器、及びこの検出器の出力信号が供給
され名前起電子線の走査又は掃引と同期した表示手段か
らなる装置において、前記エネルギーアナライザーの強
度を試料との電子線の照射位置の変化基こ拘らず出射電
子のエネルギーが一定になるように前記電子−の走査又
は掃引量こ同期して変調する如く構成したことを特徴と
する分析電子顕微鏡
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56148021A JPS5851452A (ja) | 1981-09-19 | 1981-09-19 | 分析電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56148021A JPS5851452A (ja) | 1981-09-19 | 1981-09-19 | 分析電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5851452A true JPS5851452A (ja) | 1983-03-26 |
| JPS6332220B2 JPS6332220B2 (ja) | 1988-06-29 |
Family
ID=15443327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56148021A Granted JPS5851452A (ja) | 1981-09-19 | 1981-09-19 | 分析電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5851452A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004165146A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-06-10 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | 電子顕微鏡システム |
| EP1463089A3 (en) * | 2003-03-24 | 2009-07-29 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope with an energy filter |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5227349A (en) * | 1975-08-28 | 1977-03-01 | Siemens Ag | Transmission scanning particle beam microscope |
-
1981
- 1981-09-19 JP JP56148021A patent/JPS5851452A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5227349A (en) * | 1975-08-28 | 1977-03-01 | Siemens Ag | Transmission scanning particle beam microscope |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004165146A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-06-10 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | 電子顕微鏡システム |
| EP1463089A3 (en) * | 2003-03-24 | 2009-07-29 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope with an energy filter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6332220B2 (ja) | 1988-06-29 |
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