JPS5853765A - 電流電圧測定回路 - Google Patents

電流電圧測定回路

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JPS5853765A
JPS5853765A JP15338681A JP15338681A JPS5853765A JP S5853765 A JPS5853765 A JP S5853765A JP 15338681 A JP15338681 A JP 15338681A JP 15338681 A JP15338681 A JP 15338681A JP S5853765 A JPS5853765 A JP S5853765A
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JP
Japan
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current
load
voltage
circuit
terminal
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JP15338681A
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English (en)
Inventor
Katsuhiro Kageyama
影山 賀都鴻
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ζO発W14社電流電圧書定回路に係や、特に高インピ
ーダンス負荷時osg*に好適な電流電圧測定回路に関
する。
負荷KIIlれる電流と、印加された電圧とを測定する
場合の橢1!回路挿入法に関して社、従来gつの方法が
一般的に−用いられてい★。1111閣は、その第1t
)II綬法を示しえブ霧ツク図で、電源!と負荷2と電
流測定回路3とを直列に接続し、電源1と電流測定回路
3との接続点G、の電位を接地電位とする@電圧測定回
路4は電源1と並り!に挿入される◎負荷電流ILの測
定は、電流測定回路3の出力端子3&と接続点G1  
との間で、負荷電圧Vの測定は電圧測定回路4の出力端
子4&と接続点G、との間で、それぞれ負荷電流xL、
負荷電圧VK比例した信号を測定するととによって行う
O この構成では負荷2が接地出来ないため、負荷2を接地
する必要がある時には、第3図に示すような第2の接続
法を採用する必要がある・第2図に示し光接続法では負
荷2と電流測定回路3との接続点G、が接地されている
・このような接続法が好適あるいは必要とされる場合の
例を第3図及び第4図に基づいて説明する。
第3図は、制御されたクロスフィールド放電装WIシよ
びターゲットで構成されるイオンビーム照射装Wで、負
荷2となるものであゐ・加はイオンと−ムを照射される
ターゲットで接地されて使用され、電流1.が流入する
。電位v1の円筒状の陽極4からは電流工、が、電位V
、の制御電極ηからは電流I、がそれぞれ流出している
0陰極板23a、23bはそれぞれ陽極4に関しターゲ
ラ)20と反対側および同じ1IIt;C配設されてあ
り、イオンビーム散り出しの九めの開孔23hを有して
いる〇陰極板23a、Zlは内部接続されて陰極3を構
成し、電位はV、に保たれ、電流x1が流入している。
これらのターゲット加、陽極4、制御電極n。
陰極りから構成される負荷2は、接地された真容容器ス
内に収容され、その軸方向には図示されない磁場発生装
置により磁場が印加されている0陽極4内部で、2枚の
陰極板23m、23b’にはさまれた空間には、制御さ
れたりiストフィールド放電が生成されており、この放
電によって発生し倉イオンは開孔23hを通ってビーム
となり、ターゲット加を照射する・ このような負荷2においては、電位V1.V、。
マ のすべてと、ターゲット電流!、、電流I、。
X、、X、のうちの少なくとも1つが常時測定されてい
る・Xl、X、、X、の測定回路はそれぞれ同様のもの
で良いから、それらの1つの測定回路について考譚すれ
ば良い0 第4図は、第3図の陽極電流I、′、陽極電圧v1を―
j定する従来の電流電圧調定回路を′第2図に示した第
2の接続法に基づいて構成したも゛のである。
11 、12 、13はそれぞれ陽極電゛源、制御電極
電源、陰極電源で、出力電圧はV。V、、V、゛である
O負荷2にはターゲット電流1.Osi!回路加が接続
されている。31は陽極電流一定回路で、陽極電流x1
を測定するのであるー、実際には後述すゐように電流I
xが測定される・41は陽極電圧マ、の測定回踏切の入
力部、42は出力部である・ターゲット電流測定回路、
制御電極電源、陰極電源の一端はそれぞれ共通接続され
、接続点G、で接地されている。
陽極電源11と負荷2と會結ぶ線路り、と接地との間に
畝インピーダンスz門の電流径路5が形成され、電流f
fpが流れるO陽極電圧測定回路−の入力部41と出力
部42との間には電流!、が流れている・ ここで、陽極電源11と接地との間の静電的0電磁的結
合は、上述した電流径路5以外にはないものとすると、
陽極電流測定回路31が測定すゐ電流I は、 x、 −x、 +xy +x、−−−=−= (1)で
ある・通常、陽極電流X、は高真空領域では非常に小さ
z4め、Xx’ ”;; ’X 1が成立するのは、真
空度がかなり落ちた一部の領域に限定されるため・陽極
電流11を高真空領域全域にわたって精度良<m彎すゐ
ことが出来な−という欠点があった・さらに負荷2のイ
ンピーダンスが高論場合には負’mK重畳して流れる電
流xy +工、の存在が無視出来なくなるため、負荷電
流IX、(−x、)の測定が精度良く打力えなかった・ この発明の目的は、負荷電流の大きさが極めて小宴−場
合て4、負荷に流れる電流と、負荷に印加される負荷電
圧とを高精度に測定出来る電流電圧調定回路を提供する
にある。
この発明においては、電流径路の電流Xfと電圧測定回
路を経由する電流1.とが、負荷電流MLに重畳しない
ようKして、上記の目的を達成した。
以下この発明の実施例を図NK基づいて詳細に説明する
・ 第5図は、この発明の一実施例を示すブロック図である
@電源lの端子1&から共通電位部Oには負荷2を介し
て負荷電流ILが、電流径路5を介して電流1yがそれ
ぞれ流れている。鎖線で囲んだ部分は電流電圧測定回路
6で、電流測定回路3と電圧測定回路4(入力部41.
出力部42)とから成っている・Iは電流測定回路3の
出力、Vは電圧測定回路出力部42 QYkそれぞれ示
している・負荷2に印加された電圧vL tm定すゐ電
圧測定回路4の入力部41は2つの入力端41m、41
t+と出力端41&とを有している◎第6図は入力部4
1の構成の一例を示した亀ので、簡単な分圧器で爽い0
出力端4111からは電流1.が出力部42に向って流
れてシリ、出力部42に設けられた入力端4!1に流入
する。出力部稔の他の入力端42aは共通電位部aKI
I!#1れていゐ・第7図は出力部42の構成の一例を
示しえもので、抵抗と容量と鳥人カイyビーダンスを持
つ演算増幅器とから構成することが出来る。負荷2に流
れる電流II、 t−測定する電fIllIl定回路3
は3つの入力端3a、3’b、3aを有してかり、入力
端31は電源1の端子itと電圧−電■路入力部41の
入力端411とに接続され、入力端31は電源1の他の
端子1)と電圧測定回路入力部41の麹の入力端41t
+とに接続され、入力端3o#i共通電位部OK接続さ
れている0次に動作につ−て説明する。
共通電位部oK*e*れ要電流測定回路30入力端36
から流入して入力端31に向かつて流れ為電流を11と
すると、 □ m  L  F  #    ””””””’伐)が成
立する・ここで入力端31から入力端3・に崗かつて、
電流径路BK流れる電流11に比例する電流ムx11(
ム′:定数)と電圧測定回路入力部41に流入す為−流
1.に比例する電流D1.との重畳電流が流れるようK
してかけば、入力端3Cかも入力端313に向かつて流
れる全電流は上記(の式で示したx、 K”AIp+M
、が加算された形で、x11十ムr)+フX、W工1 
+(1+A )IF+ (1+T))X。
−一・・・−(餉 (粉式のようK11iわされる。畜らに電流調定回路8
内に演算回路を内蔵させて、電流Iyに比例した電流B
X y (B :定数ンおよび電流X、に比例した電流
IFI、(F:定数)を作り、これらの電流を龜)式で
示した電流XZ+ム工、 十III、 K加算すると、
全電流MBは、 xB−xp+(1+ム+B)Iy+(1+D十F)I、
−(4>となる・ここで定数ムシよびDは正値のみをと
るが、定数B、Fは共に正、負、零のいずれの値をもと
ることが出来るので、電機B、IFを遍!!iK選択し
て、 lS−1=−(1+ム)  ’     −−−−=−
L<鰺?=−(1+n)       ・・・−・−−
−−(船(2)、掴弐に従うように定数1.νを定めゐ
ことが真東る0大船、 (* 、 181からX@ −
IL        −”°0°−−−−− eF)が
得られ、電流IFを會壕ない形で表わすことが出来る・ このようにして、電圧測定回路4は電源lと負荷2とO
tam点と共通電位部0との間の電位差を電流I を介
して出力電圧マとし忙瀾定すゐ事が$ 出来、電流測定回路3は、負荷電流ILを電流Iνと電
流I とから分離して正確に測定し、出力電口 流Iとして測定することが出来るotk’に、電流測定
回路の出力中、電圧測定回路の出力は、用途により、定
電流形とすることも、定電圧形とするととも可能であり
、また電流電圧回路からの出力の取出しについては、負
荷電流中負荷電圧に比例しえ値として散出すだけでなく
、それらの値に演算をほどこしえ値として取出しても嵐
いO第71aK示す電圧測定回路の出力部Cf)抵抗値
を非常に大きくし、ゴンデンナの容量を非常に小さくす
ゐことにより、電流1.O値を非常に小書くすることが
出来る・このようにすゐと、補正による誤差その−のも
小さく出来るので、精度の良論負荷電流測定が可能Kt
ゐ。
この発明は、電流後略ottxyと電圧測定回路を経由
する電流I、とが、負荷電RXLK与える影譬をなくす
ように構成したのて、負荷電流が小さい場合でも、精度
よく、電流・電圧OIm定が出来るので高インピーダン
ス負荷に好適ugiui路を提供出来るという利点があ
る・
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の電流電圧調定回路O第1のsl法を示す
回路図、第2閣は*SO*続法を示、す回路図、第3図
線制御されたクロスフィールド故電装Wシよびターゲッ
トで構成され為イオンビー^照射装置、嬉4図は従来の
#lI!lo*続法に基づ−て構成された#18図のイ
オン照射装置の電流電圧測定回路の接続図、第581捻
この発明の一1lI施ガを示すブロック図、第6閣紘電
圧測定回路入力部0@mの一例を示す回路図、第711
は電圧調定回路出力部の構成の一例を示す回路図でsl
ゐ。 l・・・電源、ト・・負荷、3・・・電***■路、4
・・・電圧測定回路、社・・・電圧測定回路入力部、稔
・・・電圧調定回路出力部、5・・・電流径路、6・・
・電流電圧測定回路、0・・・共通電位部。 出願人代鳳人  #  款     清馬1図 馬3図 鷺4図 馬6図 帛7図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 負荷と、この負荷に!列Ell威される電流1路どに電
    源から電流を供給して、前記負11Kllれる負荷電流
    を測定す為電流測定回路と、前記負荷の両端の負荷電圧
    をS*する電圧1ItFW路とからなる電流電圧測定回
    路に*%Aて、前記負荷〇一端に@続された前記電源の
    第10端子01〕を前記電流測定回路の第10入力端(
    8a)と前配電圧欄電■路の入力部の第1の入力端(4
    h)七に11#L、前記電源の第2の端子(1t+)を
    前記電流測定回路の第1の入力端(3))と前配電EE
    1mQI回路O入力部の第30入力端(41!+)とに
    接続し、前記電圧測定sIIの入力部Oa出力端411
    1)を前記電圧1IIl!回路の出力部を介して前記負
    荷の餉配電源の館1の端子(11)に接続されない側の
    端子が11#11れ★共通電位部に接続し、前節電流測
    定回路aSSの入力層Ba)を前記共通電位部に接続し
    、前記電流測定回路は、前記第10人7JII(8a)
    & fli記#IIL 3 (D入jJtll(3a)
    ト(D闘に鎗記電流後賂に流れる電流工rに比例した第
    xetsiと、#記電圧書定回路の入力部の出力端(4
    La)から前記出方部を介して流れる電流X、に比例す
    為第2の電流と、前記第1の電流に比例し、かつ曽記電
    RXfを打消すえめの所望の関係を有すゐII3の電流
    と、前記第2の電流に比例し・かつ曽記電*1.を打消
    すための所望の関係を有すゐ嬉−の電流とを供給す石よ
    、うにした仁とを特徴とする電流電圧1IIii!回路
    。
JP15338681A 1981-09-28 1981-09-28 電流電圧測定回路 Pending JPS5853765A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012198010A (ja) * 2011-03-03 2012-10-18 Siemens Ag バーナーシステム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012198010A (ja) * 2011-03-03 2012-10-18 Siemens Ag バーナーシステム
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