JPS5854409A - ヒ−タ温度制御装置 - Google Patents
ヒ−タ温度制御装置Info
- Publication number
- JPS5854409A JPS5854409A JP56153428A JP15342881A JPS5854409A JP S5854409 A JPS5854409 A JP S5854409A JP 56153428 A JP56153428 A JP 56153428A JP 15342881 A JP15342881 A JP 15342881A JP S5854409 A JPS5854409 A JP S5854409A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- heater
- temperature
- outputs
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/20—Control of temperature characterised by the use of electric means with sensing elements having variation of electric or magnetic properties with change of temperature
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/1906—Control of temperature characterised by the use of electric means using an analogue comparing device
- G05D23/1913—Control of temperature characterised by the use of electric means using an analogue comparing device delivering a series of pulses
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はヒータ温度制御装置に関する・従来から、ヒー
タ温度制御装置として、単純なオン・オフ制御や半導体
制御整流素子(サイリスタ)の点弧角制御をする方式が
ある。
タ温度制御装置として、単純なオン・オフ制御や半導体
制御整流素子(サイリスタ)の点弧角制御をする方式が
ある。
しかし、前者は、制御精度が悪く、後者は、ノイズ源と
なる欠点を有している。
なる欠点を有している。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり1ノイ
ズ源とならず、かつ、精度良い制御をするために1ゼロ
クロススイ、チングを行いながら、PID制御を行うよ
うKしたヒータ温度制御装置を提供する仁とを目的とし
たものである。
ズ源とならず、かつ、精度良い制御をするために1ゼロ
クロススイ、チングを行いながら、PID制御を行うよ
うKしたヒータ温度制御装置を提供する仁とを目的とし
たものである。
以下、図面を参照し本発明について説明する。
第1図は、本発明の実施例によるヒータ温度制御装置の
構成説明図である。図において、1はヒータ、2は交流
電源、5はフォトサイリスタ4,6及びトライア、り6
から成る交流電圧制御部、7紘フォトカプラ8.9及び
Aa回路10から成り、電源電圧Esのゼロクロス時号
E□を出力するゼロクロス検出部である011は演算増
幅器12、と−夕1の近傍、又は、接触して設置される
トランジスタ13、基準電fi14等から成る温度検出
部、15は減算部、16は温度設定部である。減算部1
5は、温度゛検出部5の出力信号E2(ヒータ1の温度
に比例)から濃度設定部16の出力信号E3を減算し、
信号E、を出力するようになりている。17は信号E4
を入力し、設定値との差を樽でPID演算を行い、制御
信号E5を\出力する演算部である01Bは演算−幅器
19、コンデン?20、抵抗21.22.23郷から成
る積分器、24は方形波信号E6を出力する信号発生部
、25は1分518の出力端子に抵抗26を介して接続
され、信号E7を出力するゼナーダイオードである。積
分器18は、信号E51 E6及びE7を加算積分し信
号E8を出力するようになっている026は基準電位点
をしきい値とし、信号Σ8との比較をして、比較信号E
9を出力するコンパレータ、27は信号Ei及びE、を
入力とし、その出力でフォトカプラ4及びSをオン・オ
フ制御するAND回路である。
構成説明図である。図において、1はヒータ、2は交流
電源、5はフォトサイリスタ4,6及びトライア、り6
から成る交流電圧制御部、7紘フォトカプラ8.9及び
Aa回路10から成り、電源電圧Esのゼロクロス時号
E□を出力するゼロクロス検出部である011は演算増
幅器12、と−夕1の近傍、又は、接触して設置される
トランジスタ13、基準電fi14等から成る温度検出
部、15は減算部、16は温度設定部である。減算部1
5は、温度゛検出部5の出力信号E2(ヒータ1の温度
に比例)から濃度設定部16の出力信号E3を減算し、
信号E、を出力するようになりている。17は信号E4
を入力し、設定値との差を樽でPID演算を行い、制御
信号E5を\出力する演算部である01Bは演算−幅器
19、コンデン?20、抵抗21.22.23郷から成
る積分器、24は方形波信号E6を出力する信号発生部
、25は1分518の出力端子に抵抗26を介して接続
され、信号E7を出力するゼナーダイオードである。積
分器18は、信号E51 E6及びE7を加算積分し信
号E8を出力するようになっている026は基準電位点
をしきい値とし、信号Σ8との比較をして、比較信号E
9を出力するコンパレータ、27は信号Ei及びE、を
入力とし、その出力でフォトカプラ4及びSをオン・オ
フ制御するAND回路である。
次に、上記構成の装置の動作について、第2図を参照し
て説明する。
て説明する。
ゼロクロス検出部7は、第2図(ハ)に示す信号細を入
力とし、同図(へ)K示す信号E□を出力する。
力とし、同図(へ)K示す信号E□を出力する。
又、制御状l1liにおいて、ヒータは高温状噛になっ
てお砂、温度検出部11は、ヒータ温度に対応する信号
E2を出力する。減算部15にて、E2−E3の減算が
行われ、その差信号E4が演算部17に与えられる0演
算部17は、信号E4が負(ヒータ温度〈設定温度)の
時、所定のPID演算を行い、第2図(うに示す信号E
5を出力し、又、信号E4が正、又は、零(ヒータ温度
≧設定温度)の時、零信号(E5−0’)を出力する。
てお砂、温度検出部11は、ヒータ温度に対応する信号
E2を出力する。減算部15にて、E2−E3の減算が
行われ、その差信号E4が演算部17に与えられる0演
算部17は、信号E4が負(ヒータ温度〈設定温度)の
時、所定のPID演算を行い、第2図(うに示す信号E
5を出力し、又、信号E4が正、又は、零(ヒータ温度
≧設定温度)の時、零信号(E5−0’)を出力する。
一方、信号発生部24は、第2図(へ)に示す対称な方
形波信号E6(周期To)を出力する。この九め、ヒー
タ温度≧設定温度の時、又は、ヒータ温度く設定温度の
時、積分器18以降において、以下の動作が行われる。
形波信号E6(周期To)を出力する。この九め、ヒー
タ温度≧設定温度の時、又は、ヒータ温度く設定温度の
時、積分器18以降において、以下の動作が行われる。
(1) ヒータ温度≧設定温度の時の動作。
積分器叱による長時間の積分値は零となるので、ゼナー
ダイオード25による帰還信号E7を零にするように、
積分器18はその出力を決定する0即ち、上記状11に
ありては、信号E8は負にな如、コンパレータ26の出
力信号EQは++ 0 ++となp、信号E、の状態に
関係な(、NAND回路27(D出力信号”10は1“
。
ダイオード25による帰還信号E7を零にするように、
積分器18はその出力を決定する0即ち、上記状11に
ありては、信号E8は負にな如、コンパレータ26の出
力信号EQは++ 0 ++となp、信号E、の状態に
関係な(、NAND回路27(D出力信号”10は1“
。
と表る0したがうて、フォトサイリスタ4,5及びトラ
イアック6はオフとなり、ヒータ1に電圧−が印加され
ない。
イアック6はオフとなり、ヒータ1に電圧−が印加され
ない。
(2) ヒータ温度く設定温度の時の動作0積分器1
8は、周期Toにおける積分値が零になるように動作す
るが、上記のように、信号E6が対称な方形波であるの
で、信号IC5による積分値と信号E7による積分値が
等しくなるように動作することになる。即ち、積分器1
8は、第2図に)に示す信号E8を出力し、その信号で
ゼナーダイオード25を、第2図に)に示すようにオン
・オフすると共に、周期TOにおける信号IC7に対応
する積分値(82図(ロ)のB部分に対応する量)と信
号E5に対応する積分値(第254fJ−t)C部分に
対応する量)が等しくなるように動作する。そして、コ
ンノ(レータ26は、第2図())K示すように、ダイ
オード250オン中オフに同期して、“+ 1 ++、
又轄、°O・・O状態となる。
8は、周期Toにおける積分値が零になるように動作す
るが、上記のように、信号E6が対称な方形波であるの
で、信号IC5による積分値と信号E7による積分値が
等しくなるように動作することになる。即ち、積分器1
8は、第2図に)に示す信号E8を出力し、その信号で
ゼナーダイオード25を、第2図に)に示すようにオン
・オフすると共に、周期TOにおける信号IC7に対応
する積分値(82図(ロ)のB部分に対応する量)と信
号E5に対応する積分値(第254fJ−t)C部分に
対応する量)が等しくなるように動作する。そして、コ
ンノ(レータ26は、第2図())K示すように、ダイ
オード250オン中オフに同期して、“+ 1 ++、
又轄、°O・・O状態となる。
又、WAND I回路27は、信号%がII l II
で、かつ、信号E0がIll“10時のみII Q I
Iの信号”10を出力するOし九がって、フォトサイリ
スタ4,5及びトライア。
で、かつ、信号E0がIll“10時のみII Q I
Iの信号”10を出力するOし九がって、フォトサイリ
スタ4,5及びトライア。
り6は、信号E、が0゛1→°°1°°に切換りた状部
において、信号E工の最初のII i 11信号によっ
でオンになる。又、信号Σ、が°1°′→°″Q ++
に切換つ良状態において、′ヒータ電流(ヒータ印加電
圧と同位相で流れる)の最初のゼロクロスによりてオフ
になる0即ち、ヒータ1に印加される電圧Ehは、第2
図(イ)に示すように、時刻t2’ t8’ t13等
でオン、時刻t5゜tlG e tよ6等でオフとなり
、いずれも電圧波形のゼロクロスでオン・オフされる。
において、信号E工の最初のII i 11信号によっ
でオンになる。又、信号Σ、が°1°′→°″Q ++
に切換つ良状態において、′ヒータ電流(ヒータ印加電
圧と同位相で流れる)の最初のゼロクロスによりてオフ
になる0即ち、ヒータ1に印加される電圧Ehは、第2
図(イ)に示すように、時刻t2’ t8’ t13等
でオン、時刻t5゜tlG e tよ6等でオフとなり
、いずれも電圧波形のゼロクロスでオン・オフされる。
上記のように、電圧制御部5は、ゼロクロススイ、?′
ングを行い、かつ、PID制御を行う0このため、ノイ
ズの発生が抑止され、精度Oaい温度制御が行われbo 尚、本発明は、温度検出部、ゼロクロス検出部電圧制御
部等を、上記実施例に@定するものではない。
ングを行い、かつ、PID制御を行う0このため、ノイ
ズの発生が抑止され、精度Oaい温度制御が行われbo 尚、本発明は、温度検出部、ゼロクロス検出部電圧制御
部等を、上記実施例に@定するものではない。
以上詳しく説明したように、本発明のヒータ温tII制
御装置によれは、ゼロクロススイッチングを行いながら
、pID制御を行うようになりでいるえめ、ノイズ源と
ならず、かつ、精度の良い制御を行うことかで自る。
御装置によれは、ゼロクロススイッチングを行いながら
、pID制御を行うようになりでいるえめ、ノイズ源と
ならず、かつ、精度の良い制御を行うことかで自る。
第1図は、本発明の実施例によるヒータ温度制御装置の
構成説明図、第2図は、本発明による装置の動作説明図
である。 1・・・ヒータ、2・・・電源、3・・・電圧制御部、
4及び5・・・フォトサイリスタ、6・・・トライア、
り、7・・・ゼロクロス検出部、8及び9・・・フォト
カプラ、10・・・AND回路、11・・・温度検出部
、13・・・トランジスタ、14・・・基準電源、15
・・・減算部、16・・・温度設定部、17・・・演算
部、18・・・積分器、24・・・方形波信号発生部、
25・・・ゼナーダイオード、26・・・コンパレータ
、27・・・NAND回路。
構成説明図、第2図は、本発明による装置の動作説明図
である。 1・・・ヒータ、2・・・電源、3・・・電圧制御部、
4及び5・・・フォトサイリスタ、6・・・トライア、
り、7・・・ゼロクロス検出部、8及び9・・・フォト
カプラ、10・・・AND回路、11・・・温度検出部
、13・・・トランジスタ、14・・・基準電源、15
・・・減算部、16・・・温度設定部、17・・・演算
部、18・・・積分器、24・・・方形波信号発生部、
25・・・ゼナーダイオード、26・・・コンパレータ
、27・・・NAND回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 と−タに印加する交流電圧を、半導体制御整流素子で制
御し、該ヒータの温度を制御する装置において、 前記交流電圧のゼロク關スを検出するゼロクロス検出部
と、前記と−タの温度を測定値とし、設定値との差を得
て制御演算を行う演算部と、方形波信号発生部と、前記
演算部の出力信号と前記方形波信号発生部の出力信号を
加算積分すると共に、該積分信号でゼナーダイオードを
オン・オフ制御し、該ゼナー電圧を前記2つの信号の加
算点に加算する積分器と、前記ゼナーダイオードのオン
時間と前記ゼロクロス時の論理積をとり、線出力信号に
よって前記半導体制御整流素子を制御する手段とを具備
することを特徴とするヒータ温度制御装置〇
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56153428A JPS5854409A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | ヒ−タ温度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56153428A JPS5854409A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | ヒ−タ温度制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5854409A true JPS5854409A (ja) | 1983-03-31 |
| JPS6326885B2 JPS6326885B2 (ja) | 1988-06-01 |
Family
ID=15562294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56153428A Granted JPS5854409A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | ヒ−タ温度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5854409A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6278834A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-11 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体素子用樹脂封止装置 |
| JPS62119893A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-06-01 | 三洋電機株式会社 | 制御系の帰還方式 |
| JPS62151607U (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-25 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5645904U (ja) * | 1979-09-17 | 1981-04-24 |
-
1981
- 1981-09-28 JP JP56153428A patent/JPS5854409A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5645904U (ja) * | 1979-09-17 | 1981-04-24 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6278834A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-11 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体素子用樹脂封止装置 |
| JPS62119893A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-06-01 | 三洋電機株式会社 | 制御系の帰還方式 |
| JPS62151607U (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-25 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6326885B2 (ja) | 1988-06-01 |
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