JPS5855609B2 - 真空しや断器 - Google Patents
真空しや断器Info
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- JPS5855609B2 JPS5855609B2 JP54093526A JP9352679A JPS5855609B2 JP S5855609 B2 JPS5855609 B2 JP S5855609B2 JP 54093526 A JP54093526 A JP 54093526A JP 9352679 A JP9352679 A JP 9352679A JP S5855609 B2 JPS5855609 B2 JP S5855609B2
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- shields
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H33/00—High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
- H01H33/66—Vacuum switches
- H01H33/662—Housings or protective screens
- H01H33/66261—Specific screen details, e.g. mounting, materials, multiple screens or specific electrical field considerations
-
- H—ELECTRICITY
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- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
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- H01H2033/66269—Details relating to the materials used for screens in vacuum switches
-
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- H01H2033/66292—Details relating to the use of multiple screens in vacuum switches
Landscapes
- High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空しゃ断器に関するものである。
従来の真空しゃ断器にあ・いては耐電圧の向上のために
シールドギャップや電極ギャップの増大、複合シールド
の採用によるギャップの分割化、シールド形状の改良に
よるギャップ電界の均等化などの対策がとられている。
シールドギャップや電極ギャップの増大、複合シールド
の採用によるギャップの分割化、シールド形状の改良に
よるギャップ電界の均等化などの対策がとられている。
しかるに高圧用の真空しゃ断器になると電極や電極棒さ
らにはシールドなどからの一次電子放射が増大し、この
一次電子は電界に加速されてシールドなどの表面に衝突
する。
らにはシールドなどからの一次電子放射が増大し、この
一次電子は電界に加速されてシールドなどの表面に衝突
する。
一方、シールドは一般にうず電流抑制などのために非磁
性材であるステンレス鋼により製作されてかり、シール
ドは加工時に発生する熱により表面に厚さ数1OAの酸
化被膜を形成され、この酸化被膜は1O−4Torr以
下の真空中にあ・いて4 Fe 203 (酸化第2鉄
)のアモルファス(非結晶質)状態にあることが表面分
析装置(オージェ電子分光、X線光電子分光等)により
確認されている。
性材であるステンレス鋼により製作されてかり、シール
ドは加工時に発生する熱により表面に厚さ数1OAの酸
化被膜を形成され、この酸化被膜は1O−4Torr以
下の真空中にあ・いて4 Fe 203 (酸化第2鉄
)のアモルファス(非結晶質)状態にあることが表面分
析装置(オージェ電子分光、X線光電子分光等)により
確認されている。
とのFe2O3はその二次電子放出係数δ(放射二次電
子数/入射−次電子数)がδmax〉■であるため一次
電子がシールドの表面に衝突するとこの一次電子の数よ
り多い二次電子がシールドから放射され、シールド間や
シールドと電極又は電極棒間の真空ギャップVcF;−
げる絶縁破壊を生ずるに至った。
子数/入射−次電子数)がδmax〉■であるため一次
電子がシールドの表面に衝突するとこの一次電子の数よ
り多い二次電子がシールドから放射され、シールド間や
シールドと電極又は電極棒間の真空ギャップVcF;−
げる絶縁破壊を生ずるに至った。
このため従来の真空しゃ断器では充分な耐電圧を得るこ
とができなかった。
とができなかった。
本発明は上記の点を考慮して、耐電圧を向上することが
でき、しゃ断能力を向上することができる真空しゃ断器
を提供することを目的とする。
でき、しゃ断能力を向上することができる真空しゃ断器
を提供することを目的とする。
以下本発明の実施例を図面とともに説明する。
第1図は本発明の第1の実施例を示し、図に卦いて、1
,2は接続リング3? 4fo−よびステンレス製の
支持金具5を介して相互に一端を接続された各絶縁筒、
6,7は夫々絶縁筒1,2の他端に接続リング8,9を
介して封着されたステンレス製の各端板で、これらの部
材により真空容器が構成される。
,2は接続リング3? 4fo−よびステンレス製の
支持金具5を介して相互に一端を接続された各絶縁筒、
6,7は夫々絶縁筒1,2の他端に接続リング8,9を
介して封着されたステンレス製の各端板で、これらの部
材により真空容器が構成される。
又、10は端板6に挿着された固定電極棒、11は端板
7に挿通されるとともにベローズ12を介して端板7に
取付けられた可動電極棒、13.14は夫々各電極棒1
0,11の先端に対向して取付けられた固定電極訃よび
可動電極、15は支持金具5に取付けられた主シールド
、16.17は夫々端板6,7に取付けられた外シール
ド、18.19は夫々電極棒10,11に取付けられた
軸シールドpよびベローズシールドで、各シールド15
〜19はアーク中の粒子が絶縁筒1.2などに付着した
りあるいは衝突して二次電子を発生したりすることによ
り絶縁耐力が低下するのを防ぐために設けてあり、いず
れもうず電流抑制のためにステンレス鋼により形成され
ている。
7に挿通されるとともにベローズ12を介して端板7に
取付けられた可動電極棒、13.14は夫々各電極棒1
0,11の先端に対向して取付けられた固定電極訃よび
可動電極、15は支持金具5に取付けられた主シールド
、16.17は夫々端板6,7に取付けられた外シール
ド、18.19は夫々電極棒10,11に取付けられた
軸シールドpよびベローズシールドで、各シールド15
〜19はアーク中の粒子が絶縁筒1.2などに付着した
りあるいは衝突して二次電子を発生したりすることによ
り絶縁耐力が低下するのを防ぐために設けてあり、いず
れもうず電流抑制のためにステンレス鋼により形成され
ている。
又、各シールド15〜190表面と端板6p 7>よ
び支持金具5の真空容器内部側の表面にはCr203(
酸化クロム)の被膜20を真空中のイオン蒸着により3
0〜20OAの厚さで形成する。
び支持金具5の真空容器内部側の表面にはCr203(
酸化クロム)の被膜20を真空中のイオン蒸着により3
0〜20OAの厚さで形成する。
上記の真空しゃ断器に卦いてはCr2O3の被膜20の
二次電子放出係数δmax=1であるためしゃ断時にシ
ールド15〜19、端板6,7:bよび支持金具5は一
次電子が入射してもこれとほぼ同数の二次電子しか放出
しない。
二次電子放出係数δmax=1であるためしゃ断時にシ
ールド15〜19、端板6,7:bよび支持金具5は一
次電子が入射してもこれとほぼ同数の二次電子しか放出
しない。
従って、電子増倍作用は生じず、真空容器内の絶縁耐力
が向上し、しゃ断能力が向上する。
が向上し、しゃ断能力が向上する。
第2図は被膜20を形成した場合(イ線で示す)と被膜
20を形成せずにシールド15〜19などの表面がFe
2O3のアモルファス状態にある場合(口線で示す)と
にかげる電極間距離とインパルス耐電圧(せんら〈電圧
)との関係を示すもので、図から明らかなように被膜2
0を形成した場合には耐電圧が約1.5倍に向上した。
20を形成せずにシールド15〜19などの表面がFe
2O3のアモルファス状態にある場合(口線で示す)と
にかげる電極間距離とインパルス耐電圧(せんら〈電圧
)との関係を示すもので、図から明らかなように被膜2
0を形成した場合には耐電圧が約1.5倍に向上した。
又、第3図はシールド15〜19などの表面に被膜20
を形成したステンレス鋼の表面の光電子スペクトルを示
し、この測定はX線光電子分光装置(X線源はAIKa
15 KV、 40mA )を用いて10.、−g
Torr の真空中にかいて行った。
を形成したステンレス鋼の表面の光電子スペクトルを示
し、この測定はX線光電子分光装置(X線源はAIKa
15 KV、 40mA )を用いて10.、−g
Torr の真空中にかいて行った。
この結果、スペクトルのピーク値が577eVでCr2
O3の結合エネルギーと一致し、被膜20がCr2O3
であることが確認された。
O3の結合エネルギーと一致し、被膜20がCr2O3
であることが確認された。
又、Ar+(アルゴン)のスパッタリングにより被膜2
0をエツチングしてCr0(金属クロム)の結合エネル
ギー575eVを検出し、被膜20の厚さが30〜20
0Aであることを確認した。
0をエツチングしてCr0(金属クロム)の結合エネル
ギー575eVを検出し、被膜20の厚さが30〜20
0Aであることを確認した。
二次電子の発生部は表面から数十A0であるから被膜2
0が上記の厚さであれば充分である。
0が上記の厚さであれば充分である。
尚、Cr2O3の被膜20の形成はシールド15〜19
などのステンレス材を■硝酸その他強力な酸化剤を含む
溶液中に浸漬する。
などのステンレス材を■硝酸その他強力な酸化剤を含む
溶液中に浸漬する。
■表面を電解研摩する。
■真空中でCr 203を蒸着する。■酸素又は空気中
で低温加熱する。
で低温加熱する。
などの手段によっても達成できる。
第4図は本発明の第2の実施例を示し、第1の実施例と
同一部材は同一符号を付して説明は省略する。
同一部材は同一符号を付して説明は省略する。
21は支持金具5に取付けられた主シールド、22.2
3は夫々端板6,7に取付けられた外シールド、24.
25は夫々端板6,7に接続・リング26.27を介し
て取付けられたシールド支持絶縁筒、28.29は夫々
シールド支持絶縁筒24,25に接続リング30.31
を介して取付けられた内シールドで、各シールド21〜
2328.29はステンレス鋼から成り、夫々の表面に
は上述したいずれかの手段によりCr2O3の被膜20
を30八〇以上の厚さで形成する。
3は夫々端板6,7に取付けられた外シールド、24.
25は夫々端板6,7に接続・リング26.27を介し
て取付けられたシールド支持絶縁筒、28.29は夫々
シールド支持絶縁筒24,25に接続リング30.31
を介して取付けられた内シールドで、各シールド21〜
2328.29はステンレス鋼から成り、夫々の表面に
は上述したいずれかの手段によりCr2O3の被膜20
を30八〇以上の厚さで形成する。
この実施例では各シールド18,19.21〜23゜2
8.29により真空ギャップを分割して絶縁耐力を高め
るとともに各シールドの表面にCr2O3の被膜を形成
したことにより各シールドからの二次電子放出を減少さ
せて絶縁耐力を高めている。
8.29により真空ギャップを分割して絶縁耐力を高め
るとともに各シールドの表面にCr2O3の被膜を形成
したことにより各シールドからの二次電子放出を減少さ
せて絶縁耐力を高めている。
又、第5図は本発明の第3の実施例を示し、前記各実施
例と同一部材は同一符号を付し、説明は省略する。
例と同一部材は同一符号を付し、説明は省略する。
la、1b、2a、2bは各絶縁筒、32〜35は絶縁
筒間に設けられた接続リング、36.37は接続リング
間に設けられたステンレス製の支持金具、38は支持金
具5に取付けられた第1の主シールド、39,40ば夫
々支持金具36.37に取付けられた第2の主シールド
で、各シールド38〜40はステンレス鋼により形成さ
れ、各シールド38〜400表面pよび各支持金具36
.37の表面には上述したいずれかの手段によりCr、
、03の被膜20を30A0以上の厚さで形成する。
筒間に設けられた接続リング、36.37は接続リング
間に設けられたステンレス製の支持金具、38は支持金
具5に取付けられた第1の主シールド、39,40ば夫
々支持金具36.37に取付けられた第2の主シールド
で、各シールド38〜40はステンレス鋼により形成さ
れ、各シールド38〜400表面pよび各支持金具36
.37の表面には上述したいずれかの手段によりCr、
、03の被膜20を30A0以上の厚さで形成する。
この実施例にかいても前記実施例と同様な効果を有する
。
。
以上のように本発明にかいては真空容器内に設けたステ
ンレス製のシールドの表面にCr2O3の被膜を形成し
たので、従来は表面にFe2O3の被膜を形成されて二
次電子放出係数δmaX>1であったシールドがδma
x〒1となり、しゃ断時にあ・けるシールドの二次電子
放出が減少する。
ンレス製のシールドの表面にCr2O3の被膜を形成し
たので、従来は表面にFe2O3の被膜を形成されて二
次電子放出係数δmaX>1であったシールドがδma
x〒1となり、しゃ断時にあ・けるシールドの二次電子
放出が減少する。
このため、シールド間、シールドと電極間、釦よびシー
ルドと電極棒間などにあ・ける真空ギャップでの絶縁破
壊が生じ難くなり、耐電圧が従来より1.5倍程度向上
する。
ルドと電極棒間などにあ・ける真空ギャップでの絶縁破
壊が生じ難くなり、耐電圧が従来より1.5倍程度向上
する。
従って、しゃ断能力が向上し、これに伴って小形で安価
な真空しゃ断器が得られる。
な真空しゃ断器が得られる。
又、シールドの表面VCCr203 の被膜を形成する
だけであり、シールドの形状などを変更する必要がない
ので製作も容易である。
だけであり、シールドの形状などを変更する必要がない
ので製作も容易である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例に係る真空しゃ断器の縦
断正面図、第2図はシールドなどのステンレス鋼の表面
にCr2O3の被膜を形成した場合と形成しない場合と
にあ・ける電極間距離とせんら〈電圧の関係図、第3図
は表面にCr2O3の被膜を形成したステンレス鋼の光
電子スペクトル、第4,5図は夫々本発明の第2あ・よ
び第3の実施例にあ・ける真空しゃ断器の縦断正面図。
断正面図、第2図はシールドなどのステンレス鋼の表面
にCr2O3の被膜を形成した場合と形成しない場合と
にあ・ける電極間距離とせんら〈電圧の関係図、第3図
は表面にCr2O3の被膜を形成したステンレス鋼の光
電子スペクトル、第4,5図は夫々本発明の第2あ・よ
び第3の実施例にあ・ける真空しゃ断器の縦断正面図。
Claims (1)
- 1 真空容器の内部に一対の電極を接離可能に対向配置
した真空しゃ断器にかいて、真空容器内に設けたステン
レス製のシールドの表面にCr20gの被膜を形成した
ことを特徴とする真空しゃ断器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54093526A JPS5855609B2 (ja) | 1979-07-23 | 1979-07-23 | 真空しや断器 |
| GB8023081A GB2055250B (en) | 1979-07-23 | 1980-07-15 | Vaccum power interrupters |
| US06/170,045 US4361742A (en) | 1979-07-23 | 1980-07-17 | Vacuum power interrupter |
| DE3027948A DE3027948C2 (de) | 1979-07-23 | 1980-07-23 | Vakuumschalter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54093526A JPS5855609B2 (ja) | 1979-07-23 | 1979-07-23 | 真空しや断器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5618324A JPS5618324A (en) | 1981-02-21 |
| JPS5855609B2 true JPS5855609B2 (ja) | 1983-12-10 |
Family
ID=14084750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54093526A Expired JPS5855609B2 (ja) | 1979-07-23 | 1979-07-23 | 真空しや断器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4361742A (ja) |
| JP (1) | JPS5855609B2 (ja) |
| DE (1) | DE3027948C2 (ja) |
| GB (1) | GB2055250B (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4553007A (en) * | 1983-09-30 | 1985-11-12 | Westinghouse Electric Corp. | Arc resistant vapor condensing shield for vacuum-type circuit interrupter |
| JPS6343229A (ja) * | 1986-08-07 | 1988-02-24 | 三菱電機株式会社 | 真空しや断器 |
| JPH0719520B2 (ja) * | 1986-09-29 | 1995-03-06 | 三菱電機株式会社 | 真空遮断器 |
| US4831327A (en) * | 1987-05-01 | 1989-05-16 | Hydro-Quebec | Self-powered electrical measuring system isolated from electrical perturbances |
| DE10029763B4 (de) | 2000-06-16 | 2009-01-15 | Siemens Ag | Vakuumschaltröhre |
| DE10030670C2 (de) * | 2000-06-23 | 2002-06-13 | Siemens Ag | Vakuumschaltröhre mit zwei Kontaktsystemen |
| DE102005043484B4 (de) | 2005-09-13 | 2007-09-20 | Abb Technology Ag | Vakuumschaltkammer |
| DE502005008656D1 (de) * | 2005-12-12 | 2010-01-14 | Siemens Ag | Vakuumschaltröhre |
| US9177742B2 (en) * | 2011-10-18 | 2015-11-03 | G & W Electric Company | Modular solid dielectric switchgear |
| WO2013127084A1 (zh) * | 2012-03-02 | 2013-09-06 | 西安交通大学 | 一种带有固定断口的真空灭弧室 |
| DE102015214509A1 (de) * | 2015-07-30 | 2017-02-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Elektrische Schaltkammer mit erhöhter dielektrischer Spannungsfestigkeit und deren Herstellungsverfahren |
| DE112017007422T5 (de) * | 2017-04-11 | 2020-01-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Vakuumunterbrecher und Vakuumschaltkreistrenner der denselben nutzt |
| US12362115B2 (en) * | 2021-12-02 | 2025-07-15 | Meidensha Corporation | Vacuum interrupter |
| EP4553878A1 (en) * | 2023-11-08 | 2025-05-14 | Abb Schweiz Ag | Vacuum interrupter with coated parts |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB993987A (en) * | 1963-04-30 | 1965-06-02 | Ass Elect Ind | Improvements relating to vacuum switches |
| US4020304A (en) * | 1972-07-24 | 1977-04-26 | Westinghouse Electric Corporation | Two-material vapor shield for vacuum-type circuit interrupter |
| US3889080A (en) * | 1973-12-19 | 1975-06-10 | Westinghouse Electric Corp | Vacuum interrupter shield protector |
-
1979
- 1979-07-23 JP JP54093526A patent/JPS5855609B2/ja not_active Expired
-
1980
- 1980-07-15 GB GB8023081A patent/GB2055250B/en not_active Expired
- 1980-07-17 US US06/170,045 patent/US4361742A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-07-23 DE DE3027948A patent/DE3027948C2/de not_active Expired
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| IEEE TRANSACTIONSON INSULATION=1976 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2055250A (en) | 1981-02-25 |
| US4361742A (en) | 1982-11-30 |
| JPS5618324A (en) | 1981-02-21 |
| GB2055250B (en) | 1983-08-10 |
| DE3027948C2 (de) | 1983-01-13 |
| DE3027948A1 (de) | 1981-01-29 |
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