JPS5855710A - 欠陥位置表示方法 - Google Patents
欠陥位置表示方法Info
- Publication number
- JPS5855710A JPS5855710A JP56155340A JP15534081A JPS5855710A JP S5855710 A JPS5855710 A JP S5855710A JP 56155340 A JP56155340 A JP 56155340A JP 15534081 A JP15534081 A JP 15534081A JP S5855710 A JPS5855710 A JP S5855710A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- defects
- printed circuit
- pattern
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はプリント基板表面に形成されたパターンの欠陥
位置表示方法に関する。
位置表示方法に関する。
電子計算機には多数のプリント基板が用いられているが
、プリント基板の信頼度を維持するため、僅かな欠陥も
残さぬようその製造工程において形成されたパターンを
検査し、発見された欠陥はすべて補修を施こす。そのた
め発見されたパターンの欠陥位置を正確に表示すること
が必要で、従来は欠陥表示Ｖ−）に発見された欠陥に対
応する位［Ｋマークを付したものを作成し、この欠陥表
示シートをプリンＦ板上に当てがって修正すべき欠陥を
職別していた。
、プリント基板の信頼度を維持するため、僅かな欠陥も
残さぬようその製造工程において形成されたパターンを
検査し、発見された欠陥はすべて補修を施こす。そのた
め発見されたパターンの欠陥位置を正確に表示すること
が必要で、従来は欠陥表示Ｖ−）に発見された欠陥に対
応する位［Ｋマークを付したものを作成し、この欠陥表
示シートをプリンＦ板上に当てがって修正すべき欠陥を
職別していた。
しかしこの方法では欠陥表示Ｖ−）は紙を用いるため不
透明でＴｏシ、欠陥を識別するには表示されたマークの
所を指でおさえて欠陥表示Ｖ−）をめ〈シ、指でおさえ
た近傍を探して欠陥を見つけ危ければならず、また見出
した欠陥を補修するときは欠陥表示゛Ｖ−）を取りはず
さねばならないという不便さがあつ九。
透明でＴｏシ、欠陥を識別するには表示されたマークの
所を指でおさえて欠陥表示Ｖ−）をめ〈シ、指でおさえ
た近傍を探して欠陥を見つけ危ければならず、また見出
した欠陥を補修するときは欠陥表示゛Ｖ−）を取りはず
さねばならないという不便さがあつ九。
本発明の目的は上記問題点を解消し、プリント基板に欠
陥表示Ｆ−）をかぶせたまま欠陥を識別し、補修し得る
欠陥位置表示方法を提供することにＴｏシ、この目的は
本発明において、欠陥表示シートの検出された欠陥に対
応する位置に１窓を開口するととにより達成される。
陥表示Ｆ−）をかぶせたまま欠陥を識別し、補修し得る
欠陥位置表示方法を提供することにＴｏシ、この目的は
本発明において、欠陥表示シートの検出された欠陥に対
応する位置に１窓を開口するととにより達成される。
以下本発明の一実施例を図面により説明する、第１図は
本発明の欠陥位置表示方法の一実施例を説明するための
図で、使用した欠陥位置表示装置のシステム構成を併せ
て示す。
本発明の欠陥位置表示方法の一実施例を説明するための
図で、使用した欠陥位置表示装置のシステム構成を併せ
て示す。
図において、１は検査しようとするプリント基板である
。このプリント基板１のパターン２を、レーザ８から出
射されたレーザビームをビームエキスパンダ４により一
旦拡大し、これを回転ミラー５により反射し、レンズ６
で微小スポットに絞って照射する。パターン２で反射し
た光はレンズ６を通り回転ミラー５及びハーフミラ−７
で反射し、レンズ８により光検知器９の受光面に結像さ
れる。光検知器９はこれを入射光強度に応じた電気信号
に変換し、増幅器１１に送出する。増幅器１１で増幅さ
れた前記信号はコンパレータ１２で２値化されて、前記
パターンの有無に応じて１ドか０”の映書信号に変換さ
れる。
。このプリント基板１のパターン２を、レーザ８から出
射されたレーザビームをビームエキスパンダ４により一
旦拡大し、これを回転ミラー５により反射し、レンズ６
で微小スポットに絞って照射する。パターン２で反射し
た光はレンズ６を通り回転ミラー５及びハーフミラ−７
で反射し、レンズ８により光検知器９の受光面に結像さ
れる。光検知器９はこれを入射光強度に応じた電気信号
に変換し、増幅器１１に送出する。増幅器１１で増幅さ
れた前記信号はコンパレータ１２で２値化されて、前記
パターンの有無に応じて１ドか０”の映書信号に変換さ
れる。
このような操作を回転ミラ−５を回転させることにより
レーザビームの照射位置を移動させ、またプリント基板
を載愛したｘＹテープ／Ｌ／（図示せず）を移動させる
ことによりプリント基板１全面に対して行う。このよう
にプリント基板ｌ全面をレーザビームで走査し、プリン
ト基板１のパターンに対応し九映像信号がアドレスと共
に欠陥検出回路１Ｂに送シ込まれる。欠陥検出回路ＩＢ
は入力された映像信号に基いて、所定の論理演算を行っ
てパターンの欠陥とそのアドレスを検出し、アドレスメ
叱り１８に格納する。なおここで、Ａは欠陥検出手段を
示す。
レーザビームの照射位置を移動させ、またプリント基板
を載愛したｘＹテープ／Ｌ／（図示せず）を移動させる
ことによりプリント基板１全面に対して行う。このよう
にプリント基板ｌ全面をレーザビームで走査し、プリン
ト基板１のパターンに対応し九映像信号がアドレスと共
に欠陥検出回路１Ｂに送シ込まれる。欠陥検出回路ＩＢ
は入力された映像信号に基いて、所定の論理演算を行っ
てパターンの欠陥とそのアドレスを検出し、アドレスメ
叱り１８に格納する。なおここで、Ａは欠陥検出手段を
示す。
プリント基板ｌ全面の検査が終了すると、コントローラ
１４は、前記アドレスメ屹す１８に格納された欠陥のア
ドレスを読み出し、欠陥位置表示Ｖ−）パンチャ９０を
作動せしめて欠陥表示シー１０に窓を開口する。
１４は、前記アドレスメ屹す１８に格納された欠陥のア
ドレスを読み出し、欠陥位置表示Ｖ−）パンチャ９０を
作動せしめて欠陥表示シー１０に窓を開口する。
欠陥表示Ｓ／−）パンチャ２０は、欠陥表示シー）８１
を駆動するローフ２２．！２Ｂ、欠陥表示シー）ＢＩＫ
Ｉ！を開口するためのバンチ８４、バンチｇ４を支持す
る支持部２５、支持部２６をガイドバーｇ６上を紙面に
直交する方向に移動させる送シネｓｐｓ’ｒ、及びパン
チ駆動部２８．ローラ駆動部２９、送りネジ駆動部８０
を具備して構成されている。
を駆動するローフ２２．！２Ｂ、欠陥表示シー）ＢＩＫ
Ｉ！を開口するためのバンチ８４、バンチｇ４を支持す
る支持部２５、支持部２６をガイドバーｇ６上を紙面に
直交する方向に移動させる送シネｓｐｓ’ｒ、及びパン
チ駆動部２８．ローラ駆動部２９、送りネジ駆動部８０
を具備して構成されている。
コントローラ１４は読み出された欠陥のアドレスに従っ
て、ローラ駆動部２９及び送りネジ駆動部３０を作動さ
せて、欠陥表示シート２１上の前記欠陥のアドレスに対
応する場所に、バンチ２４を正確に位置せしめる。そし
てパンチ駆動部２８を作動させて、欠陥表示シート２１
に窒を開口する。このようにして検出された欠陥のすべ
てに対応する窓の開口を行う。
て、ローラ駆動部２９及び送りネジ駆動部３０を作動さ
せて、欠陥表示シート２１上の前記欠陥のアドレスに対
応する場所に、バンチ２４を正確に位置せしめる。そし
てパンチ駆動部２８を作動させて、欠陥表示シート２１
に窒を開口する。このようにして検出された欠陥のすべ
てに対応する窓の開口を行う。
第２図の斜視図はこのようＫして作成された欠陥表示Ｆ
−）２１と対応するプリン１基板を示す図で、８１は開
口された窓である。欠陥表示シート２１及びプリント基
板１にはそれぞれ位置合わせ用のガイドホーｆｉ／８２
及び８８が設けられている。そこでこのガイドホーμ８
２．８８にガイドビン（図示せず）を挿通する等の方法
で、プリント基板ｌ上に位置を正しく合わせて、欠陥表
示シート２１を重ねる。
−）２１と対応するプリン１基板を示す図で、８１は開
口された窓である。欠陥表示シート２１及びプリント基
板１にはそれぞれ位置合わせ用のガイドホーｆｉ／８２
及び８８が設けられている。そこでこのガイドホーμ８
２．８８にガイドビン（図示せず）を挿通する等の方法
で、プリント基板ｌ上に位置を正しく合わせて、欠陥表
示シート２１を重ねる。
すると第８図に示すように窓３１部にプリント基板ｌの
パターン２の欠陥８４が表出する。図では！！８１及び
欠陥８４をそれぞれ１個のみ示したが、欠陥が２個以上
存在する場合でも欠陥のそれぞれに窓が対応して開口さ
れるので、欠陥表示シート２１をかぶせたま−すべての
欠陥を職別でき３す る。しかも欠陥は上述のように愈ｐ部に表出しているの
で、欠陥表示シート２１をかぶせたｔ〜補修を施こすこ
とができる。
パターン２の欠陥８４が表出する。図では！！８１及び
欠陥８４をそれぞれ１個のみ示したが、欠陥が２個以上
存在する場合でも欠陥のそれぞれに窓が対応して開口さ
れるので、欠陥表示シート２１をかぶせたま−すべての
欠陥を職別でき３す る。しかも欠陥は上述のように愈ｐ部に表出しているの
で、欠陥表示シート２１をかぶせたｔ〜補修を施こすこ
とができる。
以上説明したごとく本発明によりプリント基板の表面に
形成されたパターンの欠陥を欠陥表示シートをかぶせた
ま覧識別し補修することが可能となり、パターンの補習
作業が容易且つ確実となり、プリント基板の信頼度が向
上する。
形成されたパターンの欠陥を欠陥表示シートをかぶせた
ま覧識別し補修することが可能となり、パターンの補習
作業が容易且つ確実となり、プリント基板の信頼度が向
上する。
第１図は本発明の一実施例を示すシステム構成図、第２
図、第８図は上記一実施例によシ作成された欠陥表示Ｖ
−）を示す斜視図、及び上面図である。 図において、１はプリント基板、２はパターン、１８は
アドレスメ壁す、１４はコントローラ、２０は欠陥表示
シートパンチャ、２１は欠陥表示シート、８１は窒、３
４は欠陥、Ａは欠陥検出手段を示す。 町 法 笛２図
図、第８図は上記一実施例によシ作成された欠陥表示Ｖ
−）を示す斜視図、及び上面図である。 図において、１はプリント基板、２はパターン、１８は
アドレスメ壁す、１４はコントローラ、２０は欠陥表示
シートパンチャ、２１は欠陥表示シート、８１は窒、３
４は欠陥、Ａは欠陥検出手段を示す。 町 法 笛２図
Claims (1)
- 検査対象パターンの欠陥を認識しその位置アドレスを検
知する欠陥検出手段と、該検出された欠陥位置アドレス
を格納するアドレスメモリとを具備し、該アドレスメモ
リに格納された欠陥位置アドレスを読み出して、前記検
査対象パターン上における欠陥位置を示す信号を送出す
る欠陥検出装置を用いてプリント基板を検査し、前記欠
陥位置を示す出力信号に従って欠陥位置表示シートに前
記プリント基板のパターンの欠陥に対応する窓を開口す
ることを特徴とする欠陥位置表示方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56155340A JPS5855710A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 欠陥位置表示方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56155340A JPS5855710A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 欠陥位置表示方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5855710A true JPS5855710A (ja) | 1983-04-02 |
| JPH0129255B2 JPH0129255B2 (ja) | 1989-06-08 |
Family
ID=15603746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56155340A Granted JPS5855710A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 欠陥位置表示方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5855710A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6273577U (ja) * | 1985-10-24 | 1987-05-11 | ||
| CN108549147A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-09-18 | 卢响锋 | 一种全方位便携式电路板用放大器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5371563A (en) * | 1976-12-08 | 1978-06-26 | Hitachi Ltd | Automatic inspection correcting method for mask |
| JPS541879A (en) * | 1977-06-08 | 1979-01-09 | Fujitsu Ltd | Method of correcting defective pattern |
-
1981
- 1981-09-28 JP JP56155340A patent/JPS5855710A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5371563A (en) * | 1976-12-08 | 1978-06-26 | Hitachi Ltd | Automatic inspection correcting method for mask |
| JPS541879A (en) * | 1977-06-08 | 1979-01-09 | Fujitsu Ltd | Method of correcting defective pattern |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6273577U (ja) * | 1985-10-24 | 1987-05-11 | ||
| CN108549147A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-09-18 | 卢响锋 | 一种全方位便携式电路板用放大器 |
| CN108549147B (zh) * | 2018-04-18 | 2020-11-24 | 义乌市倩飞科技有限公司 | 一种全方位便携式电路板用放大器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0129255B2 (ja) | 1989-06-08 |
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