JPS5856434U - 薄板の加工装置 - Google Patents

薄板の加工装置

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JPS5856434U
JPS5856434U JP15263781U JP15263781U JPS5856434U JP S5856434 U JPS5856434 U JP S5856434U JP 15263781 U JP15263781 U JP 15263781U JP 15263781 U JP15263781 U JP 15263781U JP S5856434 U JPS5856434 U JP S5856434U
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JP
Japan
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thin plate
plate processing
processing equipment
processing device
peripheral edge
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Application number
JP15263781U
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English (en)
Inventor
敏樹 森
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は従来装置の一例の概略図・　を示
し、第１図は平面図、牽２図は正面図である。 第３図および第４図はこの考案の背面となる従来装置の
他の例の概略図を示し、第３図は平面図、第４図は正面
図である。第５図ｉよび第６図はこの考案の二実流側の
薄板の加工装置の概略図を示し、第５図は平面図、第６
図は正面図である。 １・・・・・・薄板（千尋体ウェーハ）、２・・・・・
・台、５・・・・・・加工体（ブラシ）、５ａ・・・・
・・薄板の中心部に対応する部分、５ｂ・・・・・・薄
板の周縁部に対応する部分。　−

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ゛薄板を固定して回転せしめる台と、薄板の中心部から
    周縁部に周面の一部が線接触して回転する加工体とを備
    える薄板の加工装置において、前記加工体を薄板の中心
    部純対応する部分が大径で周縁部に対応する部分が小径
    の円錐形状にしたことを特徴とする薄板の加工装置。
JP15263781U 1981-10-13 1981-10-13 薄板の加工装置 Pending JPS5856434U (ja)

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JP15263781U JPS5856434U (ja) 1981-10-13 1981-10-13 薄板の加工装置

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JP15263781U JPS5856434U (ja) 1981-10-13 1981-10-13 薄板の加工装置

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JPS5856434U true JPS5856434U (ja) 1983-04-16

Family

ID=29945277

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JP15263781U Pending JPS5856434U (ja) 1981-10-13 1981-10-13 薄板の加工装置

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