JPS5856834B2 - 接触状態検知方法 - Google Patents
接触状態検知方法Info
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- JPS5856834B2 JPS5856834B2 JP55104636A JP10463680A JPS5856834B2 JP S5856834 B2 JPS5856834 B2 JP S5856834B2 JP 55104636 A JP55104636 A JP 55104636A JP 10463680 A JP10463680 A JP 10463680A JP S5856834 B2 JPS5856834 B2 JP S5856834B2
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- contact state
- terminal
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R29/00—Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
- G01R29/02—Measuring characteristics of individual pulses, e.g. deviation from pulse flatness, rise time or duration
- G01R29/027—Indicating that a pulse characteristic is either above or below a predetermined value or within or beyond a predetermined range of values
- G01R29/0276—Indicating that a pulse characteristic is either above or below a predetermined value or within or beyond a predetermined range of values the pulse characteristic being rise time
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置等電子部品と測定ヘッドとの接触状
態の検知方法に関する。
態の検知方法に関する。
集積回路装置ＩＣ等の半導体装置の特性試験を実施する
際に、試験開始に先立ち、被測定物の外部端子とソケッ
ト等測定ヘッドの測定端子との接触状態を点検せねばな
らない。
際に、試験開始に先立ち、被測定物の外部端子とソケッ
ト等測定ヘッドの測定端子との接触状態を点検せねばな
らない。
上記接触状態検知方法としては、入出力端子間に直流電
流を流し、その時の電圧・電流の値を測定することによ
り接触の良否を判別する方法が通常用いられている。
流を流し、その時の電圧・電流の値を測定することによ
り接触の良否を判別する方法が通常用いられている。
このような直流的な方法は直流特性測定機能を有する試
験装置においては容易に実施できる。
験装置においては容易に実施できる。
しかし交流特性の専用試験装置の場合にはかかる方法に
より接触状態を検知するには直流特性測定機能を付加し
なければならないので、測定装置の構成が複雑となり装
置費用が増大するのみならず、所定の特性測定に関係の
ない直流部を付加すると交流特性試験装置の性能低下を
招く。
より接触状態を検知するには直流特性測定機能を付加し
なければならないので、測定装置の構成が複雑となり装
置費用が増大するのみならず、所定の特性測定に関係の
ない直流部を付加すると交流特性試験装置の性能低下を
招く。
本発明の目的は上記問題点を解消して直流特性測定機能
を必要としない、交流的な接触状態検知方法を提供する
ことにある。
を必要としない、交流的な接触状態検知方法を提供する
ことにある。
本発明の特徴は、被測定物を測定ヘッドに装着し、各端
子毎にパルス発生装置の出力パルスを印力ｕした時のパ
ルス波形の立上り時間及び立下り時間いうち倒れか一方
を検知することにより各端子の接触状態の良否を判別す
ることにある。
子毎にパルス発生装置の出力パルスを印力ｕした時のパ
ルス波形の立上り時間及び立下り時間いうち倒れか一方
を検知することにより各端子の接触状態の良否を判別す
ることにある。
以下本発明の一実施例を図面により説明する。
第１図は本発明に係る接触状態検知方法の一実施例を示
す要部ブロック図であって、本実症例ではＩＣの交流特
性自動測定装置を用いて接触状態の良否を判別する例を
説明する。
す要部ブロック図であって、本実症例ではＩＣの交流特
性自動測定装置を用いて接触状態の良否を判別する例を
説明する。
同図において１は被測定物のＩＣ，２は被測定物を装着
する測定ヘッド、３はコントローラ、４は交流特性の測
定部、５は時間（１）を電ｍＶ’ｌｌに変換するＴ−Ｖ
変換回路（ＴＶＣ〕、６は比較回路、７はパルス発生器
、８はパターン発生器でいずれもパルス発生装置、９は
マルチプレクサを示す。
する測定ヘッド、３はコントローラ、４は交流特性の測
定部、５は時間（１）を電ｍＶ’ｌｌに変換するＴ−Ｖ
変換回路（ＴＶＣ〕、６は比較回路、７はパルス発生器
、８はパターン発生器でいずれもパルス発生装置、９は
マルチプレクサを示す。
なお上記中ＴＶＣ５及び比較回路６は通常交流特性自動
測定装置に具備されているものである。
測定装置に具備されているものである。
交流特性試験を行なうに先立ち、測定ヘッド２に被測定
物を装着する前に、コントローラ３の指令に基いて測定
ヘッド２の各端子毎にパルス発生器７より第２図に示す
ようなパルス信号を印加し、測定ヘッド２の端子部にお
いて上記パルスの立上り時間（または立ち下り時間）を
測定部４により測定し、その値を各端子毎に記憶する。
物を装着する前に、コントローラ３の指令に基いて測定
ヘッド２の各端子毎にパルス発生器７より第２図に示す
ようなパルス信号を印加し、測定ヘッド２の端子部にお
いて上記パルスの立上り時間（または立ち下り時間）を
測定部４により測定し、その値を各端子毎に記憶する。
なお上記測定機能は交流特性自動測定装置に具備されて
いるものであるから、それを用いればよく、伺ら測定回
路を付設する必要はない。
いるものであるから、それを用いればよく、伺ら測定回
路を付設する必要はない。
次いで測定ヘッド２は被測定物のＩＣ１を装着し、コン
トローラ３の指令に基き前と同様の操作を繰り返して各
端子毎の立上り時間を測定する。
トローラ３の指令に基き前と同様の操作を繰り返して各
端子毎の立上り時間を測定する。
第３図は第２図に示したパルスを印加した時の測定ヘッ
ド２の端子部における立上り特性を示す図で、実線は被
測定物が装着されていない時即ち測定系固有の立上り特
性、破線は被測定物が装着された時の立上り特性を示す
。
ド２の端子部における立上り特性を示す図で、実線は被
測定物が装着されていない時即ち測定系固有の立上り特
性、破線は被測定物が装着された時の立上り特性を示す
。
同図に見られる如く、被測定物が装着された時の立上り
特性は測定系固有の立上り特性より悪くなる。
特性は測定系固有の立上り特性より悪くなる。
本発明はこれを利用して接触状態を検知しようとするも
のである。
のである。
そこでパルス電圧の尖頭値ｖ１とパルスを加えない時の
電位Ｖ。
電位Ｖ。
との差〔Ｖｌ−Ｖ。
〕 の例えば１０［％］及び９０陣の値Ｖい及びｖＢを
定める。
定める。
そしてパルスがｖＡからＶＢに達するのに要する時間を
被測定物が装着されていない場合及び装着された場合に
ついて測定する。
被測定物が装着されていない場合及び装着された場合に
ついて測定する。
この時間を夫々ｔｒ、ｔｒ’とする。
前述の立上り時間の測定とは具体的には上記ｔｒ、ｔｒ
’Ｇ測定するものである。
’Ｇ測定するものである。
即ち、コントローラ３の指令に基いて測定部４により先
ずｔｒを測定し、ＴＶＣ５によりこのｔδ対応する電圧
Ｖｒに変換し、更に比較回路６内に設けられたレジスタ
（図示せず）に蓄える。
ずｔｒを測定し、ＴＶＣ５によりこのｔδ対応する電圧
Ｖｒに変換し、更に比較回路６内に設けられたレジスタ
（図示せず）に蓄える。
この操作はコントローラ３の指令によりマルチプレクサ
９を作動せしめることによりすべての端子について行な
われる。
９を作動せしめることによりすべての端子について行な
われる。
次いで同様に各端子毎にｔｒ’を測定しＶｒ’に変換し
、比較回路６により前記Ｖｒ’と比較し、（Ｖｒ’−Ｖ
ｒ’ｌが所定の値△ｖｏより大きいか否かを調べる。
、比較回路６により前記Ｖｒ’と比較し、（Ｖｒ’−Ｖ
ｒ’ｌが所定の値△ｖｏより大きいか否かを調べる。
前述のごとく測定ヘッド２にＩＣ１を装着すると立上り
特性は悪くなりｔｒ＞ｔｒ即ちＶ ｒ ’＞ Ｖ ｒと
なるが、端子の接触が不充分な場合にはその端子は見掛
は上開放状態となりｔｒ”： ｔｒ即ちＶｒ”：；Ｖｒ
となる。
特性は悪くなりｔｒ＞ｔｒ即ちＶ ｒ ’＞ Ｖ ｒと
なるが、端子の接触が不充分な場合にはその端子は見掛
は上開放状態となりｔｒ”： ｔｒ即ちＶｒ”：；Ｖｒ
となる。
従って比較回路６はＶｒ’−Ｖｒ≧Δｖｏであれば接触
状態が良好であることを示す信号例えば信号〔１〕を、
Ｖｒ’Ｖｒ ＜△ｖｏであれば接触状態不良を示す信号
の〕を各端子についてコントローラ３に送出する。
状態が良好であることを示す信号例えば信号〔１〕を、
Ｖｒ’Ｖｒ ＜△ｖｏであれば接触状態不良を示す信号
の〕を各端子についてコントローラ３に送出する。
コントローラ３はすべての端子について接触状態が良好
の時は引き続いて所定の試験を進める制御信号を送出す
る。
の時は引き続いて所定の試験を進める制御信号を送出す
る。
しかし接触状態が不良の端子が１個でもあればコントロ
ーラ３は試験を停止せしめ、接触不良を表示する。
ーラ３は試験を停止せしめ、接触不良を表示する。
上述のごとく本実症例においては交流特性自動測定装置
に直流特性測定機能を付設することなく、交流特性測定
に先立ち、立ち上り特性の測定を追加することにより接
触状態の良否を自動的に検出することができた。
に直流特性測定機能を付設することなく、交流特性測定
に先立ち、立ち上り特性の測定を追加することにより接
触状態の良否を自動的に検出することができた。
上記立ち上り特性の測定を追加するには、交流特性の測
定を進めるためのプログラムを一部変更するのみでよい
ことは容易に理解できよう。
定を進めるためのプログラムを一部変更するのみでよい
ことは容易に理解できよう。
本発明は上記−実症例を更に種々変形して実施し得る。
即ち、上記−実症例では前記Ｖｒ）Ｖｒ’は比較回路６
において記憶され比較されるようにしたが、これに限定
されることなく、Ｖｒ、Ｖｒ’は直接コントローラ３に
送出され比較されるようにしてもよく、要はｔｒとｔｒ
’を各端子毎に何らかの手段により比較すればよく、そ
の手段を限定する必要はない。
において記憶され比較されるようにしたが、これに限定
されることなく、Ｖｒ、Ｖｒ’は直接コントローラ３に
送出され比較されるようにしてもよく、要はｔｒとｔｒ
’を各端子毎に何らかの手段により比較すればよく、そ
の手段を限定する必要はない。
従って測定系固有の立ち上り特ｉ”ｉ＝ ｔ ｒ ’は
予め測定しコントローラ３等に記憶しておき、あとはｔ
ｒ’のみを測定し記憶されたｔｒと比較するという方法
でも本発明を実施できる。
予め測定しコントローラ３等に記憶しておき、あとはｔ
ｒ’のみを測定し記憶されたｔｒと比較するという方法
でも本発明を実施できる。
また更に自動測定器でなく、手動測定器の場合において
は、測定部に通常設けられているシンクロ・スコープ等
により前述のｔｒ、ｔｒ’を測定して比較することによ
り本発明を実施し得る。
は、測定部に通常設けられているシンクロ・スコープ等
により前述のｔｒ、ｔｒ’を測定して比較することによ
り本発明を実施し得る。
以上説明したごとく本発明によれば交流特性測定装置に
は伺ら変更を加えることなく、測定手順を変更するのみ
で測定に先立って測定ヘッドと被測定物の端子間の接触
状態を検知し得る。
は伺ら変更を加えることなく、測定手順を変更するのみ
で測定に先立って測定ヘッドと被測定物の端子間の接触
状態を検知し得る。
従って接触不良による測定誤差を生じることがないので
、測定の信頼度が向上する。
、測定の信頼度が向上する。
第１図は本発明の一実施例に用いたシステムの構成を示
す要部ブロック図、第２図及び第３図は本発明の原理を
示す図である。 図において、１は被測定物、２は測定ヘッド、３はコン
トローラ、４は測定部、７，８はパルス発生装置である
。
す要部ブロック図、第２図及び第３図は本発明の原理を
示す図である。 図において、１は被測定物、２は測定ヘッド、３はコン
トローラ、４は測定部、７，８はパルス発生装置である
。
Claims (1)
- １ パルス発生装置を具備する測定装置を用いて被測定
物の電気的特性試験を行なうに先立ち、被測定物を測定
ヘッドに装着し各端子毎にパルス発生装置の出力パルス
を印加した時のパルス波形の立上り時間及び立下り時間
のうち何れか一方を検知することにより各端子の接触状
態の良否を判別することを特徴とする接触状態検知方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55104636A JPS5856834B2 (ja) | 1980-07-30 | 1980-07-30 | 接触状態検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55104636A JPS5856834B2 (ja) | 1980-07-30 | 1980-07-30 | 接触状態検知方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5729964A JPS5729964A (en) | 1982-02-18 |
| JPS5856834B2 true JPS5856834B2 (ja) | 1983-12-16 |
Family
ID=14385927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55104636A Expired JPS5856834B2 (ja) | 1980-07-30 | 1980-07-30 | 接触状態検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5856834B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023148069A (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-13 | 三菱電機株式会社 | 半導体検査装置及び半導体検査方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| PL3529625T3 (pl) * | 2016-10-19 | 2022-08-29 | SmartKable, LLC | Sposób i urządzenie do przewidywania cyklu życia spojenia |
-
1980
- 1980-07-30 JP JP55104636A patent/JPS5856834B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023148069A (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-13 | 三菱電機株式会社 | 半導体検査装置及び半導体検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5729964A (en) | 1982-02-18 |
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