JPS5859549A - フイルム上に荷電粒子ビ−ムにより情報を正確に作像するための装置およびフイルムゲ−ト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は、木り１符粁出願第２４５４８号に開示される
ようなフィルム上における荷電粒子ビーム記録技術に関
し、特定すると′１子感知性フィルム上に電子ビームで
正確に作像Ｔるためり１×鼠されたフィルムゲートおよ
び装幽、ＶＬ関する。この千１の装置け、グラフィック
ｍｌ録工朶において時だの実用性かり、出さｉ、、ｔＥ
碓で蘭屏稼紋の作置をｕｌ　Ｔｈ１ｊにする。それゆえ
、電子ビーム配縁は、コンビューメ出力マイクロフイル
ム（ＣＯＭ）の作成、大谷鎗データ６己僧、広帝域暢侶
号凸己録、人工両足写真、自動化地図作成、ならびにコ
ンピュータ利用のマイクログラフィックおよび地襄８己
碌に杵に有用である。 電子ビームレコーダ（ｔ；　ｕ　ｔｔ　）の必須のを系
は、電子銃、−一東束・偏向装置、電子感知ａフィルム
２よびフィルムゲートな含む。動作について述べると、
電子ビームは、フィルムゲートに正確に位置づＶすられ
た１＾１定の電子感知性フィルムの乳ハリ側の紀録穎域
に、電子ビームで１庫ケトレースまたはプロットする。 生気は電子ビームを散乱または分散させるから、′咀子
ビーム６己赫は真空雰囲気内でイテ１より第１る。時短
の其Ｓ＋劉においては、１子ビ一ムｍｌ録装置ビＪに３
段階真空糸が使用されてふ・す、ｊＩ＆藺の真空度をも
つ貢域に電子銃が配直さ７’Ｌ、そ１よりも低い真空度
をもつ領域に記録フィルムσ）乳剤−１に至るビーム路
が含ｆオ

【、最低の貞空洟なもつ傾城にフィルム供給移
送機構が含まｆする。この３段階真空系は、フィルムへ
の迅速なアクセスなｐＴ舵にし、その拌易な変更または
交替なｐＪ　ｈｒシにする。しかしながら、ときどきフ
ィルム上の−に小さな歪が生じ、本発明のある応用１１
Ｃおい°（は、これらの歪のためその価値が制限される
ものが夛）ることが分った。６段階真壁によりフィルム
ｅ（加わる圧力差は、フィルムゲートにあるフィルムＷ
（予測し得ない変わりやすいそりを生じさせるため、フ
ィルムの彫状に悪影響を与えることがあると思われる。 さらに、フィルムは、フィルム甲に菖゛よれる水蒸気や
その他の大気成分の蒸発から生じてフィルムの背恢に捕
えられる空気や、耕しいフィルムを仮−させるためフィ
ルムが送られるときフィルムによりＪｃ空度の低い憤域
からフィルムゲートに移送さｌまた空気によりさらに走
まさ才えることがときどきある。 ビームに関する記録フィルムの位置り不女更ヤ不確定は
、像が藺性能電子ビームレコーダによりフィルム上に記
録される幾何学的積度に及ぼされる主たる限建幀囚であ
ることか認められている。 米国軸針第２５．５４８号に開示されるように、ＥＩＪ
Ｋのフィルムゲートは、予定された連続−曲に沿って目
ピ録用フィルムを梢確に位置づけるため、予定された形
轢に賦形されたフィルム接ｍ囲をｉするように作ること
ができる。連続−曲フイルムゲートは１だ、６己継フイ
ルムなフィルムゲートの手足された連続彎曲に一致さぜ
るため、フィルムを４絖的かつ均一に引止る＋段を購え
ることができる。このようにして、これまでｉ己録フィ
ルムの位１ｄに不安定さと不確ださをもたらす原因とな
っていた走は除去され、フィルムは、これらの走がｌａ
、卸の幾１ムｊ形状に一致し予測ｉａｊ　Ｈｅとなるよ
うに制御された。動作に際して、電子ビームは、とＪ［
らの予測０４　ｉｔ：″′Ｃ：縦知の娩１μｍ学的世を
補償し、記録フィルム上に＋：責的に幾何重子のない渾
を生ずるように電子的ＶＣ制御さ９た。 上述の出願における幾何的にｉｔ２んだフイルムデ−ト
は、ＥＨ１ｄ録の幾何的精度を相当に改挾しタカ、この
フィルムゲートは、フィルムを幾１μｍ的に歪ませるフ
ィルムゲートにより修正されないようなフィルム走を元
金に除去できなかった。１述すると、荷電粒子＋Ｓｒ’
、録フィルムは、フィルムゲートプラテンのフィルム接
触ないし受容面と必ずしも接触せず、すなわち該表面和
対して十坦でなく、フィルムとフィルム接触プラテン間
に捕えられて気泡状突部を形成する空気または気体によ
り１Ｉｌｆ間されるため士まされることがときどきある
０気亀は、フィルムの嵯子受入れ面が、フィルム４４込
ユ構が占める領域に存する低レベルの真空と嵌植−する
フィルムのａｆｆｌ＋よりも萬レベルの真空にＵ＃され
るという！＃災に起因する。気泡状効果を益さ起こ丁こ
とがある捕捉墾気や気体は、例えばフィルムのたわみや
フィルムのガス発生よりも相当低いフィルム走兄生源で
あるが、この泡状幼来を減少味云することが望ましい。 本発明は、フィルムかフィルムゲートプラテンのフィル
ム砿触囲上にあるときフィルムの電波の領域を通気して
、フィルムとフィルム接触（３）ｌ＝ｊＫ孕気が捕捉さ
れるのを防ぐことにより、従来のＥ　Ｂ　）ｔフィルム
ゲートに採用されるフィルムと蘭連される気削状定の間
趙を見服するものである。 詳述すると、好ましい具体νりにおいては、フィルムの
後面と接触するフィルムプラテン部分は、フイＡ／Ａの
ｄ昭１１に存する高真便と通気され、フィルムのＭＩＪ
　１ｕｌｌおよび後面にかへる圧力を等化し、フィルム
にかＮる差圧を除去するのである。差圧があると、フィ
ルムとプラテン間に望気または気体が捕捉さね、予測で
きない不規則なフィルムの）↑シが生ずることがある。 このように、本発明では、フィルムを、ゲート内Ｖこか
つ荷電粒子ビームに関してフィルムをより１確に（１７
置つける通気され圧力が等化されたフィルムゲートが提
供される。不発明ではまた、通気等圧ゲートを使用して
、荷一枚士感知社フィルム上に情報をより正愉に作１祝
することな口ｒｈじにした改にさｌまたｋｉ　１３　Ｉ
ｔ　＠己縁装置〃・十に供さｌる。 それ−ψえ、本発明の目的は、フィルムの止をさらに除
去し、フィルムをビームに関してより梢繍に位置づける
フィルムゲートおよびｍｌ録装置を提供することである
。 本発明は、フィルムに楯々の予定された音曲な賦与する
プラテンと組み合わせに＆いて使用できる。しかして、
この彎曲は、フィルムの長さまたは幅に沿って存し、単
純なものでも複合的なものでもよく、固定半径より成る
ものでも可変半住より成るものでもよ（、凹面でも凸面
でもよく、あるいは任意の他の連続形態より成るもので
もよい。 本発明のフィルムゲートは、フィルムの↑め＋ｆ足され
た長さに酎って予定された彎曲の通気プラテンケ１（−
え、フィルムをこの通気フィルムプラテンと畝触状悪に
保持するため予定された力をフィルムに賦与するように
するのか都合かよい。 さらに、本発明の他の目的は、フィルム１５Ｍプラテン
の予定された彎曲と、該プラテンのフィルムに対する十
分の支＋ｊｊ能力を偵なうことな（、プラテンに十分の
遍′Ａ表面槓を与えることである。 本発明のさらに他の目的は、フィルムが予定された張力
によりフィルムゲートと接触状態に抹持さ第１る、信電
粒子ビームレコーダに対するフィルムケート装置を提供
することである。 本発明の他の目的は、フィルムの新しい部分を向電粒子
ビームに曝らすためにフィルムがフィルムを遡って間欠
的に移送される、荷゛亀粒子ビームレコーダに対するフ
ィルムケート装置を提供することである。 不発明のこれらおよびその他の目的、々り点、前像は、
１囲をβ照してｆＴｉｒつた以ドの好ましい其Ｋ　ｙｄ
　ＶＣツいての説ｌ３１４から明らかとなろう。 第１図は、荷電粒子ビームレコーダの好ましい具体例で
、１０で総括的に指ボされている。電子ビームレコーダ
（Ｅ　Ｌｌ　ｌ（）は、４つの領域１４．１６・　１８
シ゛よび２０に分割できる真空ノ・ウジノブを圓え−Ｃ
いΦ。積載１４は、＾空設Ａにより商Ａ９ＷｕＨ気に減
圧され（ｖｌ」えは１０−’　Ｔｏｒｒ）、頭載１６お
よび１８は、真空↓父Ｂによりこれよりも低度の真空雰
囲気に減圧され（ｔｙＩｌえば１０−５’ｌ’ｏｒｒ）
、そして旭域２０は、Ａ伊段Ｃによりさらに低度の真空
豚囲気に減ぜられる（例えば１０−’　Ｔｏｒｒ）。 真空段Ａ、Ｂ、ＣＫより発生される真空雰囲気は、例え
ば従来形式の真空ポンプにより設定できる。 高真空領域においては、直熱式熱電子放射器を堀える従
来形式の縄解像度三極電子絖２２のよ５な萄電粒子放射
器２２により記録用荷電粒子ビームが発生される。高真
空領域１４は、例えば責通ビーム孔を備える仕切り壁２
４により低真々童域１６から分啼されている。真空温域
１，６４１．ＦＩＪえば３つの電磁コイル２６．２Ｂお
よび３０によるビームの’Ｋ　ｍ　ＩＩＩ　Ｉｌｌ　＆
　ｉｔを備えているｏしかして・この電磁コイルは、好
ましい其俸例ｔｃｐいては、Ａ岳額域１６中を走るビー
ム路を少なくとも部分的に取り囲んでいる。１ｊＬ４！
Ｉｉコイル２６訃よひ２８は、ビームを中心収にして集
束し、他万電ｉコイル３０は、ビームを偏向し、ビーム
をこよる葎のプロットまたはトレースをＭｉｘわせる。 従来のも士的方法を利用Ｉ７て、コイル６０に印加され
る山１１１Ｍ１１８号を変更１２、ビームの輪間を電圧
して、−曲された畦子感力ｌ性フィルム５２のようなｍ
ｌ録閣の耽知の幾１ｕＪ的走を補償し、それによってフ
ィルム上に／９１望の情＠葎を作ることができる。 段ＩｖＢにより作られる真空領域１８は、銃２２により
発生される１−向粒子ビームを受は入れる迫力Ｕの真仝
空ｌ’＋ｉ１をプし１又する。段階Ｃにより作られるに
空−域２０は、６１で総括的に指示されるフィルム移送
ゲート機部と、３４で総括的に指示されるフィルムゲー
トな儂えている。これらは、第２図ないし第５凶により
詳厚田にＦＩＪボされている。フィルムゲート６４は、
＾・低Ａ仝順城１８．２０間に配−されてに９、電子感
知性乳剤被覆フィルム５２のような何区粒手感力１牡り
己録牛段を粒子耗２２に関して正確に位置づげるように
ｍ成、配置されている。フィルム６２は、イーストマン
コダック社から５Ｕ２１９なる枦不で入手されるよう／
ｆ従従形形式ものとし得る。フィルムゲートの９迷子段
６１は、迫って続開するよりに、フィルムを低Ａ仝積載
２０ρ）らフィルムゲート６４中へ、したかつ−〔尚＾
空世域１Ｂ中へ込り込む。 フィルム６２を打つ電子ビームは１．フィルムに化学的
変化を生じさせ、そしてこのフィルムはその後の従来の
処理で視像され、所望の情＠１蜜を生ずることができる
。 技術ＫＭ通したものにより認められるよ５ＩＣ。 ゛成子ビームＨｒｊ２縁は、多数の高品質の１ｉｌｊｔ
４！が祇を的速度で発生される人工衛星またはスキャナ
データ表示装置のような誦解像度写真に時に適当でｋ）
る。 コンピュータ節１＠ＥＢｔ′を記録装置は、人文字、地
質学、生態学、展梁、気象学、地区作成、土地利用の研
究や調査に狩に利昼なもたらす。＋ｙ足のｉＩ】Ｂ　ｉ
ｔ表装置、（１）簡速慄処理、（２）センサヤ人−［密
層の位置により惹起される幾１μＪ的−差や放射−測足
岨差のオノライン修正、（３）連続ηＣれセンサナータ
のオンラインによるフレーミングおよび汁釈１−Ｊけ、
（４）　Ａ　解ｙ　ｙよびダイナミックレンジ、および
ｔｂ＋放射線副足および幾１６１的修正隊を倚るために
も揮に対する原センサデータな肖配列し、コンピュータ
処理する（オフライン）心安を除去することと関連する
著しい時間およびコストの低０＆をｕＪ舵にする凌７し
たデータ処Ｊ８！谷門を提供する。Ｅ　ｔｊｔｔ昏置は
装ベクトルプロッティング、各前２よび文草の組合せ作
成またはラスクスキャニングのような檜々の記録技術に
より地図を作成する自動化地図作成技術ｔｉｃ有用であ
る。像形式は、使用されるフィルム寸法およびフィルム
移送装置Ｋｙ３存して変更できる。さらに、ＥＢＲ記録
装置は、線画、アルファベットおよび数字組合せ、シン
ボル／トレードマーク、またはグラフィックアート形式
のもののごとき筒エネルギ品員のグラフィックの作成を
可姓に−「る資本の任意のものまたはその混合物と適合
し得る全体的な組立ておよびプロッティング１］ヒカを
提供する。殆んどどのような形式のフィルムでも、マイ
クロ出版物、ビジネスデータコンピュータ出力マイクロ
グラフインク（ＣＯＭ）、工学図１１１１］および地理
データ衣ボのようなフィルムＶＣ録を回部にするマイク
ログラフィックＥｋ３ｋＬで４０川できる。 マイクログラフィックＥＢＲ装置の担任の性能レベルは
、この種の装ばか、赦科誓や雑誌やマニュアルのフィル
ム上における亀子的組立て、ｍｌ縁に容易に通性し倚る
ことをボしている。 又草、ハーフトンおよびグラフィックはフイルムシート
上で電子門に混合できる。フィルムシートは、従来の印
刷装置で使用するための印刷版を作成するように拡大で
きる。 ａＢｔｚ　ｏＯ棟々の記録および作成能力は、フィルム
ゲート３，４および電子銃２２により発生される荷電粒
子に関するフィルム３２の既知の関謙における正−かつ
安定で限定された位１釘づけに大きく依存する。荷電粒
子ビームは、分子粒子散乱に畝感であり、したがって、
このような散乱を避けるため記録フィルム６２のビーム
＊ｓｍを爽使雰囲器内に配することが非常に４ましい。 しかしながら、最近、篩・低臭仝雰囲気１８νよび２０
間のフィルムゲート３４に−ｉ　ｄフィルム６２を配置
すると、フィルムがゲート中を送部されるときフィルム
ゲート中に待ち込まれてフィルムとフィルムゲート間に
捕えられる空気に起し４して、フィルム表囲に小さな気
泡状走を生じることがあることが分った。この気泡状蛍
は、あａ積の応用においては、ビーム作渾の精度、した
がってｗＢにの実用性を憤ｆＣうことがあり得る。 第２図を参照すると、本発明の通気、轡圧フィルムゲー
ト６４の好ましい具体？りが、フィルムフレーム３６お
よびフィルムプラテン５８を含むものとして斜視図で示
されている。フィルムフレーム５６は、該フレーム５６
、ゲート３４、およびその中に支持されるフィルム３２
を荷電粒子航２２に関して位ｌＩｔづけるための前部基
準向４０を有している。フレーム５６はまた、フレーム
６６およびプラテン３８間にフィルム通路を形成する後
面４２を有している。フレーム６６は、削＠基阜面４０
から後面４２に通ずるｗｒ田孔４４夕餉えている。プラ
テン６８は、フィルム非接触面４８で縁どりされ４６で
総括的に（−示されたフィルム接触ないし受容面を有し
ている。非接触面４８は、段階ＣＫ起因する烏圧力憤域
１８と段階Ｂに起因する世圧力積載２０間の主たる障壁
として−（。 プラテン３８のフィルム接触ｇ４６は、フィルム６６の
恢ｔ！Ｏ４：？から約フィルム２程分の＃さたけ分陰す
れており、フィルム入口５０とフィルム出［１５２を有
するフィルム進路を形成している。 フィルム入口５０は、フィルムプラテン５８と７Ｌ／−
ム５６の前縁により形成され、他方フィルム出口５２は
、プラテン６８とフレーム５６の後縁により形成されて
いる。したがって、誓「シいフィルム３２がフィルムゲ
ート３４を通って送給されるとき、フィルムは、フィル
ムゲート３４内においてフレーム孔４４を介して真空領
域１８の高真空に曝される。それゆえ、フィルムゲート
５４内においては、フィルム３２０表面は真空積載２０
におけるよりも高真空に曝される。この状態の効果は、
耕しいフィルムがゲート５４中に送給されて作像位置に
係止されるとき、真空積載２゜の空気が、フィルム接触
面４６と障壁面４８の間のところでフィルムゲート３４
内のフィルム６２の背後に搬入される。フィルムゲート
６４内のフィルム６２の背後のこの空気は、通気されな
ｔｊ　ｉｔば、フィルムにビームに回５気泡状矢部を生
じさせることがある。 ［７たがって、本舛明のプラテン５８は、プラテンのフ
ィルム接触面の圧力を緩和する手段が敵けられており、
フィルム３２にか〜る圧力が等イヒされ、フィルム６２
背面とプラテン６８間において空気またはガスが捕捉さ
れ侍るプラテン３Ｂの表面種が減・ぜられるようになさ
れている。 しかしながら、プラテン６８の圧力緩和手段は、プラテ
ン上に支持されるフィルム６２に予屋の連続的彎曲な賦
辱するブラテ／のロピカを減じてもいけないし、それと
干渉してもいけない。好ましい具体例においては、フィ
ルムゲート６４は、フィルム接′Ｍｉ面４６な通気する
手段５４を備えているが、これはプラテン６Ｂの表囲Ｖ
ｃ芽たれ、圧力を緩和するようにフィルム前曲に加わる
雰囲気に接続されている。 好ましい具体１ＮＪ　Ｋ−おいては、通気手段は、第２
図およびｌ１ｇ６図にボされるように、プラテン３８の
フィルム°非接触１１１Ｊ４Ｂｔで勉ひているプラテン
６８のフィルム接触面４６に配置された複数の４ぞと、
プラテン３８のフィルム非接触面４８に配Ｉ区された＾
ぞ５４の延艮部分５６に隣接するフレーム６６中リオリ
フイス５８より成り、それにょリプラテン３８上に存す
るフィルムの前面と後面に加わる圧力雰囲気間の接続が
行なわれている。 他の好ましい具体例においては、複数の手打なみぞ５４
が、フィルムゲート３４中におけるフィルム移送方向に
垂直な方向にプラテン３８のフィルム接触面４６に配置
されている。実際の具体ｎにおいては、フィルムプラテ
ン３８は、１インチ当り２本の１７４インチ幅のみぞを
有している。プラテン３８のフィルム接触面４６０通気
手段は、プラテン３８の全フィルム接触向４６の表−槓
を減じる。かくして、フィルム３２０両側で圧力点が起
こったとすれば、フィルム５２は圧力勾配の方向にたわ
むことになろう。それゆえ、本％明の一ゲート３４は、
フィルムにか〜る圧力勾配を商去するように圧力が等化
される態悼でフィルム６２を位置づけることが電装であ
る。したがって、プラテンのフィルム接触面４６は、フ
ィルム３２のビーム面に加わる雰囲気に通気さｎるのか
好まし〜１゜ さらに、技術に＃Ｉ＝したものにより１めもれるように
、本発明のＥｉ３Ｒ１０のフィルム供給鎖酸２０は、フ
ィルム父侠のためフィルム３２へのアクセスな容易にす
るため、はんの１０”−１Ｔｏｒｒ　　の部分真壁を維
持し、他方、ビーム路領域および偏量積載１６および１
８は、粒子ビームの分子散乱を避けるため、比較的安全
な真空（１σ５Ｔｏｒｒ　）を維持することが望ましい
。 フィルムの乳剤面上に存するガスは、フィルム５２の乳
剤用１と汝触する高真仝頭域により容易に消散される。 他方、フィルム５２の板面上支持されるガスは、気Ｎと
してフィルム６２とプラテン６８のＩｉｌに捕捉される
ことがしばしｒよあり、これがフィルム３２の配ｒＩｔ
、に走な導入し、ビーム作鐵の積度を類７エう。それゆ
え、プラテン５８のフィルム接触面４６をフィルム囲に
汝触する商真免′−城１Ｂに通気させることが望ましい
。 第３１Ｂｌにおいて、フィルム６２は、彎曲フレーム６
６と蓋直された一曲プラテン６８間の清路甲のフィルム
ゲート３４に入る。弯曲フレーム６６および彎曲プラテ
ン６８のフィルム対同表面４２および４６は、電子感知
性フィルム５２が、その長さ方向に沿って比較的自由に
動くが、電子銃２２に対する実質的な接近・離間運動は
阻止されるようＫ１１７間されている。 ９４４４図を参照すると、電子感知性フィルム６２は、
フィルム供給シャフト６８上に装層されたフィルム供給
リール６４により供給される。電子感知性７　イルＡ　
３２　ハ、ローラ７０、フィルムセンサ７２およびロー
ラ７４を経てフィルムゲート６４に入る。真空糸の動作
な谷ｙＪＫするため、電子感知性フィルム６２の厚さの
約２倍の間隔が適当と考えられる。 フィルムゲート３４はまた、第４図に詳細にボされるよ
うに１フイルム′５２を、入口５０および出口５２を逼
って領域２０から領域１８に移動させる移送手段６１を
備えている。この移送手段は、フィルム６２に張力を与
えて、フィルム３２ケフイルム接触−１４６上に保持し
、それによりフィルムがフィルムゲート６４内にある間
フィルムにプラテン５８の予定された彎曲を賦与する。 電子感知性フィルム５２に予定されたレベルの張力を加
えることによって、電子感知性フィルム５２が弯曲プ２
テン６Ｂのフィルム摺動表面との接触を維持することが
保旺され、面４６の予定された彎曲が電子感知性フイル
ム３２に賦与されることが保証される。電子ビームの位
置は、例えば＃Ｌ１ｍ遍回コイル６０により容易に修正
され、フィルムゲート６４の予定された一曲と予にされ
たフィルム張力により設足さハる記録フィルム６２内の
予測可能な蛍を補償する。 動作において、フィルム５２はフィルム５４において靜
止し、電子銃２２は、フィルム５２上に予め符ボさオし
た葎を連続的または間欠的にプロットまたはトレースす
る。従来形式の′電子感知性フィルム６２を便用する場
合、彎曲プラテン３８のフィルム（１胛部４６に対して
幻１６０インチの曲率半径を使用するのが適当であるこ
とが分った。 フィルムゲート６４を出るフィルム３２は、出１５２馨
）眞って鎖酸１８から穎城２０に戻り、ローラ１８を紅
、側ボローラ８ｏおよびロー８２１０１を通り、巻取り
スプール８４上に巻き取られる。 巻取りスプール８４は、巻取りスピンドル８６Ｆに装着
されている。 第５図を参照すると、記録フィルム３２に張力を加える
手段と、フィルム３２を送給するための手段が例ホされ
ている。従来形のトルクモータ８８がフィルム供給シャ
ツ）９０に連結されており、予定されたトルクをフィル
ム供給スプール９２に賦与する。この予定されたトルク
は、巻取りスプール９６に連結された従来形式のロック
された送給モータ９４により固足された電士感知性フィ
ルム３２に作用し、これに予定された汝カをもたらす。 この張力は、供給スプール上のフィルムの半径９８に逆
比例的に変わる。前述のように、この予定さｊｔた張力
は、−予感知性フイルムロ２が、彎曲プラテン５８のフ
ィルム俊触１ｇｊ４６と十分の接触を維持することを保
ａＩＥ−ｒる。５１／！　インチ暢４ミル厚の従来フィ
ルムが使用される場せ、約２０オンスの張力が適当であ
る。 ブレーキを備える従来彫弐の８ＩＩ進ギヤ七−タ９４が
巻取りシャツ）１００Ｋ連結されており、電子感知性フ
ィルム３２をフィルムゲート５４中に引込むように間欠
態様で動作する０祇子への産出中、ｍｌ録フィルム６２
は静止される。 技術に精通したものにより認められるよ’）ＶＣ。 フレームのオリフィス５８は、プラテンの通気手段５４
ケフイルム５２の前面すなわちビーム１■１ｔＣ向する
真空傾城１８に平行に接続するフレームＳ６中の畢−の
開口より樋底することができる。 こ〜に説明される好ましい具体例は、本発明の率なる例
示を意図するものであることを理解されたいｏ４−発明
は、改良されたフィルムゲート、したかつて改良された
実際的な荷−粒子ビームｉ己録装電を提供するものであ
ることが認められよう。 装置は時に電子ビーム記録と関連して説明したが、本発
明の■長されたゲートおよび装置は、プロトンおよびイ
オンな％生する装置な含めて種々の異なる荷＃！Ｌ粒子
発生装置と組付せて開用できることは容易にり」りかで
あろう。さらに、技術に祠辿したものに認められるよう
ｖＣ１フィルムゲートのイ曲は、任意の連続形式のもの
とし得、また本発明はフィルムに引張りを加えても加え
なくても実施できる。 さらに、上には、本発明をある程度狩ボされた打子しい
形式について説明したが、好ましい具体例についてのこ
の開示は例示としてなされたものであり、構造のＩｖ細
はｔ＋！ｆ粁６育求の範囲から逸脱することなく変更し
得るものであることを理解されたい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の改良された成子ビームレコーダ装置の
一部障ｎｏの上面図、第２図は第１図に示される不党明
の改良されたフィルムゲートの好ましい具体例の一部町
ｍの拡大斜視図、第６図は弔１図に示されるフィルムゲ
ートの好ましいｇ　ｓ　丙の倶１曲凶、Ｍ４図は５１４
１図に乃くされるフィルムゲートの好ましい具体例の上
開口、第５図は弔１凶のフィルムゲートと組みθわせて
使用されるフィルム送りおよび引張り手段の干（３）図
である。 １０：　荷電粒子ビームレコーダ １４．１６．１８．２０：　真空を負数２２：　電子銃 ２４：　仕切壁 ２６．２８．６０：　通磁コイル ６１：　フィルム移送機構 ６２：　電子感知性フィルム ６４：　フイルムゲー　ト ５８＝　プラテン ４４：　フレームの蕗出孔 ５４：　みぞ ５６：　みその延長部 ５８：　オリフィス 代理人の氏名　　倉　内　基　弘 回　　　　　　　首　　情　　　　　　味ノータＩ メ”−、ｑ、−Ｊ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ＋１＋　　荷電粒子ビームによりフィルム上に１ヒｍ　
   ｒｃ、　ｔ’ｐ葎する荷電粒子１録装置にお〜・て、−
   真空度を、＠し、＃電粒子ビームが貫通投射される第１
   υ〕積緘を形成する手段と、該第１穎域より低圧Ｑ）部
   分＾空を有する第２の漬域を形成する手段と、１４ｉＪ
   　＜荷電粒子ビームを横切るように位置づけらオし−Ｃ
   Ｍ１１記両狽域間に障壁を形成し、かつ＾＾空憤域ふ・
   よび前記プラテンのビーム面に前記フィルムを出入れす
   るための人口および出口手段を儂えるフィルムゲートと
   、ｉｉ己フィルムを＃＋７１１！１：：第１憤域にお（
   ・て荷電粒子ビームに喫すため、フィルＡ　’ｘ：　Ｂ
   ｉｌ紀粥２懺域から前記入口および出口手段を遥り前記
   プラテンを横切って移動させるための移送−ｐ段と、フ
   ィルムの歪みを避けるため、Ｆｌｔｌ　Ｈ己プラテンの
   フィルム背恢のビーム面を繭ｄ己第１慣域罠遮気させる
   プラテン内の通気手段とを含む倚電粒子記録装置。 （２）符ｔ＋−請求の範囲第１項す己載の装置において
   、８１ノ記シラテンの通気手段が、−１ｍｌプラテンの
   フィルム接触面にｆ！ｉ、直された少なくとも１つのみ
   ぞを含む荷電粒子６己録装置。 （３１特許請求の１，１弟２項記載の装置において、！
   ！ｕ記少７ｘ　くとも１つの＆ぞが、削ｍｌゲート中に
   ２けるフィルムの送り方向に父叉方間に配ばされた葡電
   粒子ｄ己録装置ｆ。 （４）　　轡１ＦＦｌｒ＃求の範囲第１唄り己躯の装置
   において、萌６己少なくとも１つのみそが、フィルムフ
   レームラ通してフィルムのビーム面ＶＣ力１１わる雰囲
   気に１！２絖される荷電粒子記録装置。 （５）　　特許請求の範囲第１項記載の装置に２いて、
   Ｍｊ１１プラテンが共通の通気手段に接続された↑屓献
   のみぞケ含む＃隠粒子記録装ば〇 （６）　　峙〆「祠水の範曲ＦＡ１項＾己礪の装置にお
   い一〇、フィルムなｎ’ｌ　Ｗプラテンと蜜僅状襲に保
   持１゛るため創６ピフイルムに予定された長十万回張力
   を賦与する引張り手段を會む荷電粒子記録装置。 （７）脣＃！ｆ−請求の範囲第６項記載の装置において
   、前記の予定さ１また張力が約２０オンスである荷電粒
   子記録装［。 （８１ｖｉ針請求の範囲第１項記載の装置においで、前
   ｄ己プラテンが予定された連続的−曲を備える葡電粒子
   記録装置〇 （９）特ｆ／ｆｉ＃求の範囲４８項記載の装置に２いて
   、前ｍｌの予定された連続的弯曲が荷電ビームの力闘に
   関して凹面状である荷電粒子記録装置。 曲　軸ＩＩ−ｆ請求の１．囲第１項記載の挟置において
   、前６ｉ荷電粒子ビームが電子ビームである何醸粒子ｉ
   己録装置虻。