JPS585987B2 - 回転式蒸着装置

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【発明の詳細な説明】本発明は、複数の基板に順次蒸着膜を形成する回転式蒸
着装置の改善に係り、とくに蒸着膜を形成する複数の基
板を回転枠に軸支した回動自在な吊下げ具に取り付ける
ようにした新しい蒸着装置に関するものである。

従来、例えば間接放電型ガス放電表示パネルの製造工程
において、ガラス基板上に形成した所定パターンの電極
を被覆してＡｌ１２０ｆ、にどの誘電体層を形成する場
合、量産性の見地から第１図に示すような回転式蒸着装
置が用いられていた。

すなわち第１図において、１は蒸着槽となる円筒状の真
空容器、２は前記真空容器１の中に設置された蒸着試料
容器、３は前記蒸着試料容器内に収容される蒸着試料で
、４は蒸着すべき基板５を固定する回転枠である。

このような構成の回転式蒸着装置においては、あらかじ
め電極パターンを形成した基板５を回転枠４の各辺に被
蒸着面が内向きとなるよう取付けさらにＡｌ２Ｏ３など
の所定の蒸着試料３を蒸着試料容器２に収容する。

そして真空容器１内を図示しない真空ポンプで排気し高
真空を保持した状態で回転枠４を矢印Ａ方向に回転する
と、基板５の蒸着膜形成面が蒸着試料３の上側に順次位
置するようになる。

かくして前記蒸着試料３を加熱して蒸発せしめれば前記
回転枠４の各辺に取り付けた複数の基板５のそれぞれの
蒸着膜形成面に順次蒸着膜を形成することができる。

しかしながらかかる構成の回転式蒸着装置にあっては、
基板５の蒸着膜形成面のみならずその他の部分にも蒸着
膜が付着する。

その付着物が数μ以上の厚さとなると、真空容器１内の
熱サイクル等によって該付着物が剥離し易くなって落下
する場合がある。

この場合に蒸着膜を形成する基板５の内、下側に位置し
ている基板は蒸着膜形成面が上向きとなっているため、
当該蒸着膜形成面上に前記付着物が剥離して落下すると
、そのまま異物として残留し、次の蒸着膜との間に閉じ
込められたりして蒸着膜の均一性を損なう欠点があった
。

本発明は前記の欠点を解消すべくなされたもので、基板
を回転枠に軸支した回動自在な吊下げ具に取り付け、回
転枠の回転位置にかかわらず各基板の蒸着膜形成面が常
時下向きとなるように保持せしめることを目的としたも
のである。

簡単に述べると本発明は、回転枠に支持された複数の基
板の少なくとも一側表面に蒸着膜を形成する回転式蒸着
装置において、前記回転枠に回動自在に軸支された複数
の吊下げ具を設け、該吊下げ具を介して前記蒸着すべき
基板をその蒸着膜形成面が常時下向きとなるよう保持せ
しめたことを特徴とするものである。

以下図面を参照しながら本発明に係る回転式蒸着装置に
ついて詳細に説明する。

第２図は、本発明に係る回転式蒸着装置の一実施例の概
略を示す側断面図で、前図と同等の部分については同一
符号で記しである。

６は回転枠で７は前記回転枠６の円周上の略等間隔の位
置に軸８により回転自在に軸支された複数の吊下げ具で
ある。

このような構成とすることによって基板５を前記複数の
吊下げ具１に蒸着膜形成面が下向きとなるよう取り付け
、前記回転枠６を矢印Ａ方向に回転する左、基板５を取
り付けた吊下げ具７は重力によって常時水平状態を保持
された形となり、基板５の蒸着膜形成面も常に下向きと
なる。

かくして基板５の蒸着膜形成面以外に付着した不要な蒸
着物が剥離し落下しても、前記基板５の蒸着膜形成面は
常時下側を向いた形で水平状態にあるので、蒸着膜形成
面に付着することがなくなり、高品質の蒸着膜が形成で
きるわけである。

なお、本実施例ではガス放電表示パネルの電極基版表面
に対する誘電体層用の蒸着膜を形成する装置について詳
述したが、その他蒸着工程を有する各種素子のための量
産向蒸着装置として適用が可能である。

以上説明したように、本発明に係る回転式蒸着装置によ
れば、回転枠６の回転位置にかかわらず複数の基板５の
蒸着膜形成面が常時下方を向いた状態にあるので、蒸着
装置内において無用な異物の付着が防止でき、高品質の
蒸着膜の形成が可能となり、各種の一着装置に適用して
、極めて有益である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の回転式蒸着装置の概略を示す側断面図
、第２図は、本発明に係る回転式蒸着装置の一実施例の
概略を示す側断面図である。１・・・真空容器、２・・・蒸着試料容器、３・・・蒸
着試料、４，６・・・回転枠、５・・・基板、７・・・
吊下げ具、８・・・観

【特許請求の範囲】