JPS5860205A - 光学式寸法測定装置 - Google Patents
光学式寸法測定装置Info
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- JPS5860205A JPS5860205A JP15830281A JP15830281A JPS5860205A JP S5860205 A JPS5860205 A JP S5860205A JP 15830281 A JP15830281 A JP 15830281A JP 15830281 A JP15830281 A JP 15830281A JP S5860205 A JPS5860205 A JP S5860205A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 15
- 239000003708 ampul Substances 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光学式寸法測定装置に係や、特に、薬品用ア
ンプル、ピストン等の、一方向寸法（外径）は高ｎ度を
要するが、他方向寸法（長さ）はそれほど高精度を必要
としない被測定物の寸法を測定する際に用いるに好適な
、一方向に走査される光線ビームを発生する平行走査光
線ビーム発生装置と、被測定物を通過した前記光線ビー
ムの明暗を検出する受光器とを有し、平行走査光線ビー
ム発生装置と受光器の間に配置した被測定物によって前
記光線ビームの一部が鐘ぎられて生じる暗部又は明部の
時間の長さを検出して被測定物の走査方向寸法を求める
ようにした光学式寸法測定装置の改良に関する。
ンプル、ピストン等の、一方向寸法（外径）は高ｎ度を
要するが、他方向寸法（長さ）はそれほど高精度を必要
としない被測定物の寸法を測定する際に用いるに好適な
、一方向に走査される光線ビームを発生する平行走査光
線ビーム発生装置と、被測定物を通過した前記光線ビー
ムの明暗を検出する受光器とを有し、平行走査光線ビー
ム発生装置と受光器の間に配置した被測定物によって前
記光線ビームの一部が鐘ぎられて生じる暗部又は明部の
時間の長さを検出して被測定物の走査方向寸法を求める
ようにした光学式寸法測定装置の改良に関する。
従来から、回転走査光線ビーム（レーザビーム）を、コ
リメータレンズにより、このコリメータレンズと集光レ
ンズ間を通る平行走査光線ビームに変換し、該コリメー
タレンズと集光レンズの間に被測定物を置き、この被測
定物によって前記平行走査光線ビームが遮ぎられて生じ
る暗部又は明部の時間の長さから被測定物の寸法を測定
する高速度走査型レーザ測長機が知られている。
リメータレンズにより、このコリメータレンズと集光レ
ンズ間を通る平行走査光線ビームに変換し、該コリメー
タレンズと集光レンズの間に被測定物を置き、この被測
定物によって前記平行走査光線ビームが遮ぎられて生じ
る暗部又は明部の時間の長さから被測定物の寸法を測定
する高速度走査型レーザ測長機が知られている。
これは、例えば第１図に示す如く、レーザ管１０からレ
ーザビーム１２を固定ミラー１４に向けて発振し、この
固定ミラー１４により反射され九レーザビーム１２を回
転ミラー１６によって走査ビーム１７に変換し、この走
査ビーム１７をコリメータレンズ１８によって平行走査
光線ビーム２０に変換し、この平行走査光線ビーム２０
によりコリメータレンズ１８と集光レンズ２２の間に配
置した被測定物２４を高速走査し、その時被測矩物２４
によって生じる暗部又は明部の時間の長さから、被測定
物２４の走査方向（Ｙ方向）寸法を測定するものである
。即ち、平行走査光線ビーム２０の明暗は、集光レンズ
２２の焦点位置にある受光素子２６の出力電圧の変化と
なって検出され、該受光素子２６からの信号は、プリア
ンプ２８に入力され、ここで増幅された後、セグメント
選択回路３０に送られる。このセグメント選択回路３０
は、受光素子２６の出力電圧から被測定物２４が走査さ
れている時間ｔの間だけゲート回路３２を開くための電
圧Ｖを発生して、ゲート回路３２に出力するようにされ
ている。このゲート回路３２には、クロックパルス発振
器３４からクロックパルスＣＰが入力されているので、
ゲート回路３２からは被測定物２４の走査方向寸法゛〔
例えば外径？に対応した時間ｔに対応するクロックパル
スＰを計数回路３６に入力する。計数回路３６は、この
クロックパルスＰを計数して、デジタル表示器３８に計
数信号を出力し、デジタル表示器３８ｉｊ被測定物２４
の走査方向寸法即ち外径をデジタル表示することになる
。一方、前記回転ミラー１６は、前記クロックパルス発
振器３４出力と同期して正弦波を発生する同期正弦波発
振器４０及びパワーアンプ４２の出力により同期駆動さ
れている同期モータ４４により、前記クロックパルス発
振器３４出力のクロックパルスＣＰと同期して回転され
、測定精度を維持するようにされている。
ーザビーム１２を固定ミラー１４に向けて発振し、この
固定ミラー１４により反射され九レーザビーム１２を回
転ミラー１６によって走査ビーム１７に変換し、この走
査ビーム１７をコリメータレンズ１８によって平行走査
光線ビーム２０に変換し、この平行走査光線ビーム２０
によりコリメータレンズ１８と集光レンズ２２の間に配
置した被測定物２４を高速走査し、その時被測矩物２４
によって生じる暗部又は明部の時間の長さから、被測定
物２４の走査方向（Ｙ方向）寸法を測定するものである
。即ち、平行走査光線ビーム２０の明暗は、集光レンズ
２２の焦点位置にある受光素子２６の出力電圧の変化と
なって検出され、該受光素子２６からの信号は、プリア
ンプ２８に入力され、ここで増幅された後、セグメント
選択回路３０に送られる。このセグメント選択回路３０
は、受光素子２６の出力電圧から被測定物２４が走査さ
れている時間ｔの間だけゲート回路３２を開くための電
圧Ｖを発生して、ゲート回路３２に出力するようにされ
ている。このゲート回路３２には、クロックパルス発振
器３４からクロックパルスＣＰが入力されているので、
ゲート回路３２からは被測定物２４の走査方向寸法゛〔
例えば外径？に対応した時間ｔに対応するクロックパル
スＰを計数回路３６に入力する。計数回路３６は、この
クロックパルスＰを計数して、デジタル表示器３８に計
数信号を出力し、デジタル表示器３８ｉｊ被測定物２４
の走査方向寸法即ち外径をデジタル表示することになる
。一方、前記回転ミラー１６は、前記クロックパルス発
振器３４出力と同期して正弦波を発生する同期正弦波発
振器４０及びパワーアンプ４２の出力により同期駆動さ
れている同期モータ４４により、前記クロックパルス発
振器３４出力のクロックパルスＣＰと同期して回転され
、測定精度を維持するようにされている。
このような高速度走査型レーザ測長機は、移動する物体
、高温物体の長さ、厚み等を非接触で高精度に測定でき
るので広く利用されつつあるが、従来は、丸棒材の外形
寸法等、被測定物の一方向（走査方向）寸法しか測定す
ることができなかった。従つズ、被測定物の二次元的な
寸法を測定する必要がある場合には、まず被測定物の一
方向寸法を測定した後、被測定物ｔ−９００転回し゛て
他方向の寸法を測定する必要があり、測定に長時間を要
していた。
、高温物体の長さ、厚み等を非接触で高精度に測定でき
るので広く利用されつつあるが、従来は、丸棒材の外形
寸法等、被測定物の一方向（走査方向）寸法しか測定す
ることができなかった。従つズ、被測定物の二次元的な
寸法を測定する必要がある場合には、まず被測定物の一
方向寸法を測定した後、被測定物ｔ−９００転回し゛て
他方向の寸法を測定する必要があり、測定に長時間を要
していた。
一方、被測定物の二次元的な寸法を同時に測定する光学
式寸法測定装置も種々提案されているが、従来は、いず
れも二次元的な受光素子を必要とし、装置が極めて高価
であった。
式寸法測定装置も種々提案されているが、従来は、いず
れも二次元的な受光素子を必要とし、装置が極めて高価
であった。
本発明は、前記従来の欠点を解消するべくなされたもの
で、被測定物の一方向（走査方向）寸法を求めるための
光学式寸法測定装置を改良することにより、被測定物の
二方向寸法を、迅速に、且つ、高精度で求めることがで
きる光学式寸法測定装置を提供することを目的とする。
で、被測定物の一方向（走査方向）寸法を求めるための
光学式寸法測定装置を改良することにより、被測定物の
二方向寸法を、迅速に、且つ、高精度で求めることがで
きる光学式寸法測定装置を提供することを目的とする。
本発明は、一方向に走査される光線ビームを発生する平
行走査光線ビーム発生装置と、發・測定物を通過した前
記光線ビームの明暗を検出する第１の受光器とを有し、
平行走査光線ビーム発生装置と第１の受光器の間圧配置
した被測定物によって前記光線ビームの一部が値ぎられ
て生じる暗部又は明部の時間の長さを検出して被測定物
の走査方向寸法を求めるようにした光学式寸法測定装置
において、前記光線ビームをその走査方向と直角な方向
に拡大する光線ビーム拡大手段と、被測定物を通過し九
拡大光線ビームの拡大方向の明暗の長さを検出する＠２
の受光器とを設け、被測定物の走査方向寸法と共に走査
方向と直角な方向の寸法も求められるようにして、前記
目的を達成したものである。
行走査光線ビーム発生装置と、發・測定物を通過した前
記光線ビームの明暗を検出する第１の受光器とを有し、
平行走査光線ビーム発生装置と第１の受光器の間圧配置
した被測定物によって前記光線ビームの一部が値ぎられ
て生じる暗部又は明部の時間の長さを検出して被測定物
の走査方向寸法を求めるようにした光学式寸法測定装置
において、前記光線ビームをその走査方向と直角な方向
に拡大する光線ビーム拡大手段と、被測定物を通過し九
拡大光線ビームの拡大方向の明暗の長さを検出する＠２
の受光器とを設け、被測定物の走査方向寸法と共に走査
方向と直角な方向の寸法も求められるようにして、前記
目的を達成したものである。
又、前記光線ビーム拡大手段を、―■紀紀行行走査光線
ビーム発生装置ビーム発生源とビーム走査手段の関に配
設されたシリンドリカルレンズとして、容易に拡大光線
ビームが得られるようにしたものである。
ビーム発生装置ビーム発生源とビーム走査手段の関に配
設されたシリンドリカルレンズとして、容易に拡大光線
ビームが得られるようにしたものである。
更に、前記拡大光線ビームを、被測定物を通過した後に
２方向に分割し、独立して般けられた前記第１の受光器
及び第２の受光器に、それぞれ入射するようにして、後
段の信号処理を単純化したものである。
２方向に分割し、独立して般けられた前記第１の受光器
及び第２の受光器に、それぞれ入射するようにして、後
段の信号処理を単純化したものである。
或いは、前記第１の受光器と１ｓ２の受光器を共用化し
て、構成を単純化したものである。
て、構成を単純化したものである。
又、前記第２の受光器を、ホトダイオードアレイとした
ものである。
ものである。
本発明は、薬品用アンプル、ピストン等、一方向寸法（
例えば外径）は高精度を要するが、他方向寸法（例えば
長さ）は必ずしも高精駁を必要としない被測定物が多い
ことに着目してなされたものである。
例えば外径）は高精度を要するが、他方向寸法（例えば
長さ）は必ずしも高精駁を必要としない被測定物が多い
ことに着目してなされたものである。
以下図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
本発明の第１実施例は、第２図及び第３図に示す如く、
従来と同様のレーザ管１０、固定ミラー１４、回転ミラ
ー１６を有する高速度走査型レーザ測長機において、レ
ーザ管ｌＯと固定ミラー１４の間に、レーザビーム１２
をその走査方向（Ｙ方向）と直角な方向（Ｘ方向）Ｋ拡
大するシリンドリカルレンズ５０を配置すると共に、こ
れに合わせて、被測定物２４の前後に配置されるコリメ
ータレンズ５２及び集光レンズ５４をシリンドリカルレ
ンズ化し、更に、被測定物２４及び集光レンズ５４を通
過し九拡大光線ビーム５６を２方向に分割するためのハ
ーフミラ−５８を設け、肢ハーフミラ−５Ｂを通過した
光を、それぞれ、被測定物２４の走査方向（Ｙ方向）寸
法を測定するための第１の受光器であるホトダイオード
アレイ５９と、被測定物２４のビーム拡大方向（Ｘ方向
）寸ａｔ−測定する丸めの第２の受光器である自己走査
型のホトダイオードアレイ６０に入射し、更に、前記ホ
トダイオードアレイ５９及び６０の出力に応じて、被測
定物２４の走査方向（Ｙ方向）寸法及びビーム拡大方向
（Ｘ方向）寸法を求める信号処理装置６２ｆｔ設けたも
のである。
従来と同様のレーザ管１０、固定ミラー１４、回転ミラ
ー１６を有する高速度走査型レーザ測長機において、レ
ーザ管ｌＯと固定ミラー１４の間に、レーザビーム１２
をその走査方向（Ｙ方向）と直角な方向（Ｘ方向）Ｋ拡
大するシリンドリカルレンズ５０を配置すると共に、こ
れに合わせて、被測定物２４の前後に配置されるコリメ
ータレンズ５２及び集光レンズ５４をシリンドリカルレ
ンズ化し、更に、被測定物２４及び集光レンズ５４を通
過し九拡大光線ビーム５６を２方向に分割するためのハ
ーフミラ−５８を設け、肢ハーフミラ−５Ｂを通過した
光を、それぞれ、被測定物２４の走査方向（Ｙ方向）寸
法を測定するための第１の受光器であるホトダイオード
アレイ５９と、被測定物２４のビーム拡大方向（Ｘ方向
）寸ａｔ−測定する丸めの第２の受光器である自己走査
型のホトダイオードアレイ６０に入射し、更に、前記ホ
トダイオードアレイ５９及び６０の出力に応じて、被測
定物２４の走査方向（Ｙ方向）寸法及びビーム拡大方向
（Ｘ方向）寸法を求める信号処理装置６２ｆｔ設けたも
のである。
前記信号処理装置６２は、例えば票４図に示す如く、前
記従来例と同様のりｐツクパルス発振器３４と、＃クロ
ックパルス発信器３４と前記ホトダイオードアレイ５９
の各受光素子！、〜Ｅｎの出力との論理積を出力するゲ
ート回路６４−１〜６４−ｎと、該ゲート回路６４−１
〜６４− ｎの出力に応じて、ビーム拡大方向（Ｘ方向
）寸法を選択するための選択回路６６と、骸選択回路６
６の出力に応じて、対応する走査方向（Ｙ方向）の寸法
を計数するカウンタ６８−１〜６８−′ｎと、前記クロ
ックパルス発振器３４出力のクロックパルスを分局する
分周器７０と、該分局器７０出力に応じてホトダイオー
ドアレイ６０を駆動するための駆動回路７２と、前記ホ
トダイオードアレイ６０出力をサンプリングするサンプ
リング回路７４と、該サンプリング回路７４の出力に応
じて、被測′定物２４のビーム拡大方向（Ｘ方向）の寸
法を計数するカウンタ７６とから構成されている。
記従来例と同様のりｐツクパルス発振器３４と、＃クロ
ックパルス発信器３４と前記ホトダイオードアレイ５９
の各受光素子！、〜Ｅｎの出力との論理積を出力するゲ
ート回路６４−１〜６４−ｎと、該ゲート回路６４−１
〜６４− ｎの出力に応じて、ビーム拡大方向（Ｘ方向
）寸法を選択するための選択回路６６と、骸選択回路６
６の出力に応じて、対応する走査方向（Ｙ方向）の寸法
を計数するカウンタ６８−１〜６８−′ｎと、前記クロ
ックパルス発振器３４出力のクロックパルスを分局する
分周器７０と、該分局器７０出力に応じてホトダイオー
ドアレイ６０を駆動するための駆動回路７２と、前記ホ
トダイオードアレイ６０出力をサンプリングするサンプ
リング回路７４と、該サンプリング回路７４の出力に応
じて、被測′定物２４のビーム拡大方向（Ｘ方向）の寸
法を計数するカウンタ７６とから構成されている。
以下作用を説明する。
拡大光線ビーム５６の被測定物２４に対する各時刻ｔｏ
″−ｔ’ｌＩの走査位置、各時刻ｔ０、ｔ １−ｉ ４
＊ｔ６〜ｔｏ、ｌ＋ａ〜ｔ”’ｔｓ ’、 ｔ ３４
及びｔＨにおける各拡大光線ビームの明暗の状態及び、
ホトダイオードアレイ６０との位置関係の一例を第５図
に示す。
″−ｔ’ｌＩの走査位置、各時刻ｔ０、ｔ １−ｉ ４
＊ｔ６〜ｔｏ、ｌ＋ａ〜ｔ”’ｔｓ ’、 ｔ ３４
及びｔＨにおける各拡大光線ビームの明暗の状態及び、
ホトダイオードアレイ６０との位置関係の一例を第５図
に示す。
図から明らかな如く、従来と同様に、各拡大光線ビーム
５６の走査方向（Ｙ方向）の明暗の時間（ｔｏ ｔｓ
）、（ｔ ｎ ｔ ｒ ）から、被測定物２４の外径
寸法Ｙ ＋ 、 Ｙｔ 、 Ｙｓ 、 Ｙ４を高精度で
求めることができ、又、各走査時刻ｔＩ−ｔａ、ｔ＊〜
ｔ９、ｔｅａ〜ｔ１ｍにおけるホトダイオードアレイ６
０の影像受光素子数ＣＥｘｉ−ＥＸ２） 、（Ｅｒａ−
ＥＸＷ）、 （Ｂｘｓ−Ｅｘ、）から、被測定物２４の
長さＸｌ、 Ｘｔ 、 Ｘｓを求めることができるもの
である。具体的には、例えば走査速度を４００ Ａｍ／
秒とすると、時刻ｔ０と時刻ｔ６の差から１分解能０．
４μ風でＹ方向寸法Ｙ ｒ 、 Ｙｗを求めることがで
き、同様に、時刻ｔｕと時刻ｔ１の差から、同じく分解
能０．４μ講でＹ方向寸法Ｙｌ、Ｙ４を求めることがで
きる。又、Ｘ方向寸法については、例えば、各受光素子
の単位長さが２０７１ＦＪＬであるとすると、受光素子
ＥＸＩとＥＸＷの間隔から、Ｘ方向寸法ＸＩを分解能２
０μ肩で求めることができ、又、受光素子Ｅ Ｘ ｔと
Ｅ Ｘ ｍの間隔から、Ｘ方向寸法Ｘ、を同じく分解能
２０μ舅で求めることができ、更に、受光素子Ｅｘ＋と
ＥＸＩの間隔から、Ｘ方向寸法Ｘｓを同じく分解能２０
μｍで求めることができる。
５６の走査方向（Ｙ方向）の明暗の時間（ｔｏ ｔｓ
）、（ｔ ｎ ｔ ｒ ）から、被測定物２４の外径
寸法Ｙ ＋ 、 Ｙｔ 、 Ｙｓ 、 Ｙ４を高精度で
求めることができ、又、各走査時刻ｔＩ−ｔａ、ｔ＊〜
ｔ９、ｔｅａ〜ｔ１ｍにおけるホトダイオードアレイ６
０の影像受光素子数ＣＥｘｉ−ＥＸ２） 、（Ｅｒａ−
ＥＸＷ）、 （Ｂｘｓ−Ｅｘ、）から、被測定物２４の
長さＸｌ、 Ｘｔ 、 Ｘｓを求めることができるもの
である。具体的には、例えば走査速度を４００ Ａｍ／
秒とすると、時刻ｔ０と時刻ｔ６の差から１分解能０．
４μ風でＹ方向寸法Ｙ ｒ 、 Ｙｗを求めることがで
き、同様に、時刻ｔｕと時刻ｔ１の差から、同じく分解
能０．４μ講でＹ方向寸法Ｙｌ、Ｙ４を求めることがで
きる。又、Ｘ方向寸法については、例えば、各受光素子
の単位長さが２０７１ＦＪＬであるとすると、受光素子
ＥＸＩとＥＸＷの間隔から、Ｘ方向寸法ＸＩを分解能２
０μ肩で求めることができ、又、受光素子Ｅ Ｘ ｔと
Ｅ Ｘ ｍの間隔から、Ｘ方向寸法Ｘ、を同じく分解能
２０μ舅で求めることができ、更に、受光素子Ｅｘ＋と
ＥＸＩの間隔から、Ｘ方向寸法Ｘｓを同じく分解能２０
μｍで求めることができる。
従って、一方向寸法（外径）Ｆｉ高精変を要求されるが
、他方向寸法（長さ）は必ずしも高精叶を必要としない
、薬品用アンプル、ピストン等の２次元的な寸法を、各
測定方向に適した精度で、迅速に、且つ、高精関で測定
することができる。
、他方向寸法（長さ）は必ずしも高精叶を必要としない
、薬品用アンプル、ピストン等の２次元的な寸法を、各
測定方向に適した精度で、迅速に、且つ、高精関で測定
することができる。
なお前記第１実施例においては、被測定物を通過した拡
大光線ビームの拡大方向の明暗の長さを検出するための
第２の受光器が、被測定物を通過した光線ビームの走査
方向の暗部又は明部の時間の長さを検出するための第１
の受光器と別体とされていたが、第６図及び第７図に示
す第２実施例の如く、両者を共用化して、自己走査型の
ホトダイオードアレイ６０のみとし、該ホトダイオード
アレイ６０の出力から、光線ビームの走査方向の暗部又
は明部の時間の長さも検出するようにして、被測定物の
ビーム拡大方向寸法だけでなく、走査方向寸法を得るよ
うにすることも可能である。
大光線ビームの拡大方向の明暗の長さを検出するための
第２の受光器が、被測定物を通過した光線ビームの走査
方向の暗部又は明部の時間の長さを検出するための第１
の受光器と別体とされていたが、第６図及び第７図に示
す第２実施例の如く、両者を共用化して、自己走査型の
ホトダイオードアレイ６０のみとし、該ホトダイオード
アレイ６０の出力から、光線ビームの走査方向の暗部又
は明部の時間の長さも検出するようにして、被測定物の
ビーム拡大方向寸法だけでなく、走査方向寸法を得るよ
うにすることも可能である。
本実施例においては、別体の受光器を設ける必要がなく
なり、構成が単純化される。
なり、構成が単純化される。
父、前記実施例においては、いずれも、光線ビーム拡大
手段としてシリンドリカルレンズが用いられていたが、
光線ビーム拡大手段は、これに限定されず、例えば、直
線偏光のレーザビームが使用されている場合には、ビー
ムスプリッタ或いは偏光プリズムを用いることも可能で
ある。
手段としてシリンドリカルレンズが用いられていたが、
光線ビーム拡大手段は、これに限定されず、例えば、直
線偏光のレーザビームが使用されている場合には、ビー
ムスプリッタ或いは偏光プリズムを用いることも可能で
ある。
以上説明し喪通り、本発明によれば、被測定物の一方向
（走査方向）寸法を求めるための光学式寸法測定装置を
改良することにより、被測定物の２方向寸法を、迅速に
、且つ、高精度で測定することができるという優れた効
果を有する。
（走査方向）寸法を求めるための光学式寸法測定装置を
改良することにより、被測定物の２方向寸法を、迅速に
、且つ、高精度で測定することができるという優れた効
果を有する。
第１図は、従来の高速置走査屋レーザ測長機の構成を示
すブロック線図、第２図は、本発明に係る光学式寸法測
定装置の第１実施例の構成を示す平面図、第３図は、同
じく側面図、第４図は、前記第１実施例で用いられてい
る信号処理装置の回路構成を示すブロック線図、第５図
は、同じく前記第１実施例における、拡大光線ビームの
被測定物に対する各時刻の走査位置、各時刻における各
拡大光線ビームの明暗の状態、及び、ホトダイオードア
レイとの位置関係の一例を示す線図、第６図は、本発明
に係る光学式寸法測定装置の第２実施例の構成を示す平
面図、第７図は、同じく側面図である。 １０・・・レーザ管、１２・・・レーザビーム。 １４・・・固定ミラー、１６・・・回転ミラー、２４・
・・被測定物、５０・・・シリンドリカルレンズ、５２
・・・コリメータレンズ、５４・・・集光レンズ、５６
・・・拡大光線ビーム、５８・・・ハルツミラー、５９
．６０・・・ホトダイオードアレイ、６２・・・信号処
理装置。 代理人 高 矢 論 （ほか１名）
すブロック線図、第２図は、本発明に係る光学式寸法測
定装置の第１実施例の構成を示す平面図、第３図は、同
じく側面図、第４図は、前記第１実施例で用いられてい
る信号処理装置の回路構成を示すブロック線図、第５図
は、同じく前記第１実施例における、拡大光線ビームの
被測定物に対する各時刻の走査位置、各時刻における各
拡大光線ビームの明暗の状態、及び、ホトダイオードア
レイとの位置関係の一例を示す線図、第６図は、本発明
に係る光学式寸法測定装置の第２実施例の構成を示す平
面図、第７図は、同じく側面図である。 １０・・・レーザ管、１２・・・レーザビーム。 １４・・・固定ミラー、１６・・・回転ミラー、２４・
・・被測定物、５０・・・シリンドリカルレンズ、５２
・・・コリメータレンズ、５４・・・集光レンズ、５６
・・・拡大光線ビーム、５８・・・ハルツミラー、５９
．６０・・・ホトダイオードアレイ、６２・・・信号処
理装置。 代理人 高 矢 論 （ほか１名）
Claims (5)
- （１） 一方向に走査される光線ビームを発生する平
行走査光線ビーム発生装置と、被測定物を通過した前記
光線ビームの明暗を検出する第１の受光器とを有し、平
行走査光線ビーム発生装置と第１の受光器の間に配置、
した被測定物によって前記光線ビームの一部が迩ぎられ
て生じる暗部又は明部の時間の長さを検出して被測定物
の走査方向寸法を求めるようにした光学式寸法測定装置
において、前記光線ビーム會その走査方向と直角な方向
に拡大する光線ビーム拡大手段と、被測定物を通過した
拡大光線ビームの拡大方向の明暗の長さを検出するＷ、
２の受光器とを設け、被測定物の走査方向寸法と共に走
査方向と直角な方向の寸法も求められるようにしたこと
を特徴とする光学式寸法測定装置。 - （２）前記光線ビーム拡大手段が、前記平行走査哨１１ 光線ビーム発生装置のビーム発生源にビーム走査手段の
間に配設されたシリンドリカルレンズである特許請求の
範囲第１項に記載の光学式寸法測定装置。 - （３）前記拡大光線ビームが、被測定物を通過した彼に
２方向に分割され、独立して設けられた前記第１の受光
器及び第２の受光器に、それぞれ入射するようにされて
いる特許請求の範囲第１項に記載の光学式寸法測定装置
。 - （４）前記第１の受光器が第２の受光器と共用化さ扛て
いる特許請求の範囲第１項に記載の光学式％式％ - （５） 前記第２の受光器が、ホトダイオードアレイ
である特許請求の範囲第１項、第３項、又は、７１ｇ４
項のいずれか一項に記載の光学式寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15830281A JPS5860205A (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | 光学式寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15830281A JPS5860205A (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | 光学式寸法測定装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP246687A Division JPS62272104A (ja) | 1987-01-08 | 1987-01-08 | 走査型光学式寸法測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5860205A true JPS5860205A (ja) | 1983-04-09 |
| JPH0421803B2 JPH0421803B2 (ja) | 1992-04-14 |
Family
ID=15668643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15830281A Granted JPS5860205A (ja) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | 光学式寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5860205A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6184508U (ja) * | 1984-11-06 | 1986-06-04 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51135241A (en) * | 1975-05-14 | 1976-11-24 | Maki Mfg Co Ltd | Separater for fruit and vegetable |
-
1981
- 1981-10-05 JP JP15830281A patent/JPS5860205A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51135241A (en) * | 1975-05-14 | 1976-11-24 | Maki Mfg Co Ltd | Separater for fruit and vegetable |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6184508U (ja) * | 1984-11-06 | 1986-06-04 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0421803B2 (ja) | 1992-04-14 |
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