JPS6184508U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6184508U JPS6184508U JP16739584U JP16739584U JPS6184508U JP S6184508 U JPS6184508 U JP S6184508U JP 16739584 U JP16739584 U JP 16739584U JP 16739584 U JP16739584 U JP 16739584U JP S6184508 U JPS6184508 U JP S6184508U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- laser diode
- laser
- measuring device
- cross
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
第１図は接触式の微細形状測定器の１例を示す
略縦断側面図、第２図は光学式の変位検出器の原
理の第１例を示す略側面図、第３図は臨界角プリ
ズムの原理を示す略側面図、第４図は臨界角プリ
ズムにより生じる電位差と変位量との関係を示す
線図、第５図は光学式変位検出器の原理の第２例
を示す略側面図、第６図はレーザダイオードから
投射される光束の断面を示す図、第７図はこの光
束の短径方向の光強度分布を示す線図、第８図は
同じく長径方向の光強度分布を示す線図、第９図
は長径方向に亘り生じる干渉による光束を示す断
面図、第１０図はこの長径方向の光強度分布を示
す線図、第１１図はシリンドリカルレンズを用い
た断面形変換用の光路を示す斜視図、第１２図は
プリズムを用いた光路の斜視図、第１３図は同じ
く平面図である。 １：被測定面、２：触針、３：鉄芯、４：コイ
ル、５，６：ばね、７：レーザダイオード、８：
コリメータレンズ、９：偏光ビームスプリツタ、
１０：４分の１波長板、１１：対物レンズ、１２
：ハーフミラー、１３：第一の臨界角プリズム、
１４：第一のフオトダイオード、１５：第二の臨
界角プリズム、１６：第二のフオトダイオード、
１７：円形部分、１８：干渉部分、１９，２０，
２１：シリンドリカルレンズ、２２：プリズム。
略縦断側面図、第２図は光学式の変位検出器の原
理の第１例を示す略側面図、第３図は臨界角プリ
ズムの原理を示す略側面図、第４図は臨界角プリ
ズムにより生じる電位差と変位量との関係を示す
線図、第５図は光学式変位検出器の原理の第２例
を示す略側面図、第６図はレーザダイオードから
投射される光束の断面を示す図、第７図はこの光
束の短径方向の光強度分布を示す線図、第８図は
同じく長径方向の光強度分布を示す線図、第９図
は長径方向に亘り生じる干渉による光束を示す断
面図、第１０図はこの長径方向の光強度分布を示
す線図、第１１図はシリンドリカルレンズを用い
た断面形変換用の光路を示す斜視図、第１２図は
プリズムを用いた光路の斜視図、第１３図は同じ
く平面図である。 １：被測定面、２：触針、３：鉄芯、４：コイ
ル、５，６：ばね、７：レーザダイオード、８：
コリメータレンズ、９：偏光ビームスプリツタ、
１０：４分の１波長板、１１：対物レンズ、１２
：ハーフミラー、１３：第一の臨界角プリズム、
１４：第一のフオトダイオード、１５：第二の臨
界角プリズム、１６：第二のフオトダイオード、
１７：円形部分、１８：干渉部分、１９，２０，
２１：シリンドリカルレンズ、２２：プリズム。
Claims (1)
- レーザダイオードから投射される断面が楕円形
のレーザ光を集束して被測定面を照射し、この被
測定面からの反射光をフオトダイオードにより検
知して上記被測定面の微細な凹凸を測定する微細
形状測定器に於いて、上記レーザダイオードから
投射される楕円形断面のレーザ光をシリンドリカ
ルレンズとプリズムとの少なくとも一方を有し上
記レーザ光の断面形を円形とする光路を、対物レ
ンズよりもレーザダイオードに近い部分に設けた
ことを特徴とする微細形状測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984167395U JPH044166Y2 (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984167395U JPH044166Y2 (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184508U true JPS6184508U (ja) | 1986-06-04 |
| JPH044166Y2 JPH044166Y2 (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=30725189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984167395U Expired JPH044166Y2 (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH044166Y2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5860205A (ja) * | 1981-10-05 | 1983-04-09 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 光学式寸法測定装置 |
| JPS58122410A (ja) * | 1982-01-13 | 1983-07-21 | Fujitsu Ltd | 表面形状測定方法 |
| JPS5979104A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学装置 |
| JPS5990007A (ja) * | 1982-11-16 | 1984-05-24 | Olympus Optical Co Ltd | 光学式寸度測定装置 |
-
1984
- 1984-11-06 JP JP1984167395U patent/JPH044166Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5860205A (ja) * | 1981-10-05 | 1983-04-09 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 光学式寸法測定装置 |
| JPS58122410A (ja) * | 1982-01-13 | 1983-07-21 | Fujitsu Ltd | 表面形状測定方法 |
| JPS5979104A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学装置 |
| JPS5990007A (ja) * | 1982-11-16 | 1984-05-24 | Olympus Optical Co Ltd | 光学式寸度測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH044166Y2 (ja) | 1992-02-07 |
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