JPS5860850U - 荷電粒子線装置 - Google Patents
荷電粒子線装置Info
- Publication number
- JPS5860850U JPS5860850U JP15553181U JP15553181U JPS5860850U JP S5860850 U JPS5860850 U JP S5860850U JP 15553181 U JP15553181 U JP 15553181U JP 15553181 U JP15553181 U JP 15553181U JP S5860850 U JPS5860850 U JP S5860850U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- beam device
- converting
- heating current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は電子顕微鏡の電子銃における高圧とフィラメン
トの駆動回路図を示す。 １・・・・・・高圧電源、２・・・・・・フィラメント
電源、３・・・・・・変換器、４・・・・・・増巾器、
５・・・・・・表示器、６・・・・・・光ファイバー、
７・・・・・・トランス、８・・・・・・光変換器、ｉ
・・・・・・整流器、１０・・・・・・増巾器、１１・
・・・・・検出器、１２−−−−−−ウェネルト、１３
・・・・・・フィラメント、１４・・・・・・電子銃、
１５・・・・・・高圧ケーブル。
トの駆動回路図を示す。 １・・・・・・高圧電源、２・・・・・・フィラメント
電源、３・・・・・・変換器、４・・・・・・増巾器、
５・・・・・・表示器、６・・・・・・光ファイバー、
７・・・・・・トランス、８・・・・・・光変換器、ｉ
・・・・・・整流器、１０・・・・・・増巾器、１１・
・・・・・検出器、１２−−−−−−ウェネルト、１３
・・・・・・フィラメント、１４・・・・・・電子銃、
１５・・・・・・高圧ケーブル。
Claims (1)
- 陰極加熱電流を検出し、語検出信号を光に変換する手段
を用いて低圧側に搬送し、再び電気信号に変換し、陰極
加熱電流値の監視を可能としたことを特徴とする荷電粒
子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15553181U JPS5860850U (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15553181U JPS5860850U (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 荷電粒子線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5860850U true JPS5860850U (ja) | 1983-04-23 |
Family
ID=29948109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15553181U Pending JPS5860850U (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5860850U (ja) |
-
1981
- 1981-10-21 JP JP15553181U patent/JPS5860850U/ja active Pending
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