JPS59181573U - 荷電粒子線装置における試料室排気装置 - Google Patents
荷電粒子線装置における試料室排気装置Info
- Publication number
- JPS59181573U JPS59181573U JP7588683U JP7588683U JPS59181573U JP S59181573 U JPS59181573 U JP S59181573U JP 7588683 U JP7588683 U JP 7588683U JP 7588683 U JP7588683 U JP 7588683U JP S59181573 U JPS59181573 U JP S59181573U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample chamber
- particle beam
- charged particle
- exhaust system
- chamber exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例装置を示す構成略図である。
１・・・・・・試料室、２・・・・・・試料、３・・・
・・・２次電子検出器、４．５・・・・・・盲蓋、６・
・・・・・真空ポンプ、ｊ・・・・・・電源、８・・・
・・・光検出器、９・・・・・・判別回路。
・・・２次電子検出器、４．５・・・・・・盲蓋、６・
・・・・・真空ポンプ、ｊ・・・・・・電源、８・・・
・・・光検出器、９・・・・・・判別回路。
Claims (1)
- 荷電粒子が照射される試料を収納する試料室と、該試料
室内に設けられた光を検出する光検出器と、該光検出器
よりの信号を判別する判別回路と、該判別回路よりの信
号によって前記試料室内を排気する真空ポンプを制御す
る手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置におけ
る試料室排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7588683U JPS59181573U (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 荷電粒子線装置における試料室排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7588683U JPS59181573U (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 荷電粒子線装置における試料室排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59181573U true JPS59181573U (ja) | 1984-12-04 |
Family
ID=30205946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7588683U Pending JPS59181573U (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 荷電粒子線装置における試料室排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59181573U (ja) |
-
1983
- 1983-05-20 JP JP7588683U patent/JPS59181573U/ja active Pending
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