JPS586265B2 - 電子顕微鏡等における照射電流検出装置 - Google Patents
電子顕微鏡等における照射電流検出装置Info
- Publication number
- JPS586265B2 JPS586265B2 JP52066831A JP6683177A JPS586265B2 JP S586265 B2 JPS586265 B2 JP S586265B2 JP 52066831 A JP52066831 A JP 52066831A JP 6683177 A JP6683177 A JP 6683177A JP S586265 B2 JPS586265 B2 JP S586265B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding member
- electron beam
- irradiation current
- aperture plate
- detection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は簡単な構成で短時間に精度良く照射電流を検出
することのできる電子顕微鏡等における照射電流検出装
置に関するものである。
することのできる電子顕微鏡等における照射電流検出装
置に関するものである。
電子顕微鏡等の電子線装置特にＸ線マイクロアナライザ
ーにおいては定量分析を行う際試料に照射された照射電
流を測定することが不可欠である。
ーにおいては定量分析を行う際試料に照射された照射電
流を測定することが不可欠である。
照射電流の測定には一般にファラゲーケージが使用され
ており、従来は例えば試料台上に試料と共にファラデー
ケージを取付け試料台を移動させて試料とファラゲーケ
ージに交互に電子線を照射して測定したり、あるいは鏡
筒内の電子線通路へ外部から移動機構を用いてファラデ
ーケージを挿入して測定することが行われていた。
ており、従来は例えば試料台上に試料と共にファラデー
ケージを取付け試料台を移動させて試料とファラゲーケ
ージに交互に電子線を照射して測定したり、あるいは鏡
筒内の電子線通路へ外部から移動機構を用いてファラデ
ーケージを挿入して測定することが行われていた。
しかしながら前者では試料台の移動に時間がかメリ分析
時間が極端に長くなってしまい、又後者ではファラデー
ケージに設けられた開口を電子線通路へ再現生よく位置
させなければならず極めて高精度な移動機構が必要とな
り価格の上昇を招く。
時間が極端に長くなってしまい、又後者ではファラデー
ケージに設けられた開口を電子線通路へ再現生よく位置
させなければならず極めて高精度な移動機構が必要とな
り価格の上昇を招く。
本発明はこの様な従来の欠点を除くものであり、以下図
面を用いて詳説する。
面を用いて詳説する。
添付図面は本発明の一実施例の断面図であり、同図にお
いて１は中央に電子線の通過する開口２を有する開口板
であり、この開口の大きさは電子線を殆んどカットする
ことなく後述する電子線通路内に導き、その結果シャッ
タ一部材によって反射された電子等を有効に補捉するの
に適したものとなっている。
いて１は中央に電子線の通過する開口２を有する開口板
であり、この開口の大きさは電子線を殆んどカットする
ことなく後述する電子線通路内に導き、その結果シャッ
タ一部材によって反射された電子等を有効に補捉するの
に適したものとなっている。
３は上記開口板１を保持すると共に開口板に設けられた
開口に連通する筒状の電子線通路４が穿たれた保持部材
である。
開口に連通する筒状の電子線通路４が穿たれた保持部材
である。
この保持部材３は鏡筒側壁５に絶縁物で形成されたリン
グ６を介して固定されている。
グ６を介して固定されている。
又保持部材３の下面には案内溝３ａが形成されており、
この案内溝に沿って真空外から前記保持部材と電気的接
触を保ってシャツタ部材８が挿入可能になっている。
この案内溝に沿って真空外から前記保持部材と電気的接
触を保ってシャツタ部材８が挿入可能になっている。
このシャツタ部材８は大気側においては前記鏡筒に取り
付けられた絶縁シール部材７によって支持されており、
鏡筒とは電気的に絶縁されている。
付けられた絶縁シール部材７によって支持されており、
鏡筒とは電気的に絶縁されている。
そしてシャツタ部材８の大気側の端部にはピストン９が
形成されており、このピストン９は前記絶縁シール部材
７に取付けられているシリンダ１０内で摺動可能に設け
られている。
形成されており、このピストン９は前記絶縁シール部材
７に取付けられているシリンダ１０内で摺動可能に設け
られている。
又上記絶縁シール部材７とピストン９との間にはスプリ
ング１１が介挿されている。
ング１１が介挿されている。
上述の様な構成においてシリンダ１０のヘッド部に設け
られたガス導入中１２から図示外の絶縁物製パイプを介
して高圧ガスを導入すれば、ピストン９はスプリング１
１を圧縮する方向にシリンダ１０内で移動する。
られたガス導入中１２から図示外の絶縁物製パイプを介
して高圧ガスを導入すれば、ピストン９はスプリング１
１を圧縮する方向にシリンダ１０内で移動する。
そしてピストン９のシリンダ内での移動に伴なってシャ
ツタ部材８も前記案内溝に沿ってＡの位置まで摺動し、
前記保持部材３に設けられた電子線通路４の出口をふさ
いでしまう。
ツタ部材８も前記案内溝に沿ってＡの位置まで摺動し、
前記保持部材３に設けられた電子線通路４の出口をふさ
いでしまう。
そのため開口板１、保持部材３及びシャツタ部材８によ
り、ファラデーケージが形成され、開口２を通過して電
子線通路４にはいった電子は直接シャツタ部材８に、又
はシャツタ部材８で反射、散乱された後保持部材３ある
いは開口板１に吸収される。
り、ファラデーケージが形成され、開口２を通過して電
子線通路４にはいった電子は直接シャツタ部材８に、又
はシャツタ部材８で反射、散乱された後保持部材３ある
いは開口板１に吸収される。
このとき開口板１、保持部材３及びシャツタ部材８はリ
ング６及びシール部材７によって鏡筒側壁と絶縁されて
おり、従って例えばピストン９（あるいはピストンと接
触しているシリンダ１０）と鏡筒５との間に電流計１３
を接続することにより試料に照射される電流を検出する
ことができる。
ング６及びシール部材７によって鏡筒側壁と絶縁されて
おり、従って例えばピストン９（あるいはピストンと接
触しているシリンダ１０）と鏡筒５との間に電流計１３
を接続することにより試料に照射される電流を検出する
ことができる。
そして照射電流を測定後ガスの導入を中止すれば、スピ
リング１１によってピストン９は押し戻され電子線はシ
ャツタ部材８によって遮られることな試料に照射される
。
リング１１によってピストン９は押し戻され電子線はシ
ャツタ部材８によって遮られることな試料に照射される
。
以上詳述した様に本発明によればシャツタ部材の移動で
けで照射電流の測定ができるため、前述の様な照射電流
測定のための試料台の移動が不要となるばかしでなく、
一つの地点の分析が終了して次の分析位置へ電子線を移
動させる際のプランキング期間内に照射電流の測定が可
能であるため、分析時間の大幅な短縮が可能となる。
けで照射電流の測定ができるため、前述の様な照射電流
測定のための試料台の移動が不要となるばかしでなく、
一つの地点の分析が終了して次の分析位置へ電子線を移
動させる際のプランキング期間内に照射電流の測定が可
能であるため、分析時間の大幅な短縮が可能となる。
又従来の様にファラデーケージを移動させる方法では開
口と電子線通路との位置関係は機械的な誤差により測定
の度に異なるが、本発明では開口板は予め固定されてお
りシャツタ部材のみが移動するため位置関係は変わらな
い。
口と電子線通路との位置関係は機械的な誤差により測定
の度に異なるが、本発明では開口板は予め固定されてお
りシャツタ部材のみが移動するため位置関係は変わらな
い。
従って高精度で再現性の良い測定を行うことができる。
尚、本発明はＸ線マイクロアナライザーばかりでなく他
の電子線応用機器に用いることができることは言うまで
もない。
の電子線応用機器に用いることができることは言うまで
もない。
又、シャツタ部材を移動する手段は上述した実施例に限
らず、他の機械的あるいは電磁的な駆動機構を使用する
ことができ、又シャッタ一部材を外部から操作可能な回
転軸によって回動させるように構成してもよい。
らず、他の機械的あるいは電磁的な駆動機構を使用する
ことができ、又シャッタ一部材を外部から操作可能な回
転軸によって回動させるように構成してもよい。
更に開口板は鏡筒に固定された保持部材に取付けたが、
これに限定されることなく、開口板を絶縁物を介して直
接鏡筒に固定すると共に該開口板の下部にシャッタ一部
材と一体化された保持部材を配置してもよい。
これに限定されることなく、開口板を絶縁物を介して直
接鏡筒に固定すると共に該開口板の下部にシャッタ一部
材と一体化された保持部材を配置してもよい。
図面は本発明の一実施例を示す断面図である。
１：開口板、２：関口，３：保持部材、５：鏡筒、６：
絶縁リング、７：絶縁シール部材、８：シャッタ一部材
、９：ピストン、１０：シリンダ、１１：スプリング、
１２ガス導入口、１３：電流計。
絶縁リング、７：絶縁シール部材、８：シャッタ一部材
、９：ピストン、１０：シリンダ、１１：スプリング、
１２ガス導入口、１３：電流計。
Claims (1)
- １ 開口板が鏡体に電気的に絶縁された状態で取り付け
られた保持部材の上部に取り付けられており、該保持部
材には前記開口を通過した電子線を通過させるため筒状
の電子線通路が穿たれており，該電子線通路を遮断する
ため該保持部材の底部近傍においてシャッタ一部材が前
記保持部材と電気的接触を保って該通路に対して挿入可
能になっており、該シャッタ一部材は前記鏡体と電気的
に絶縁されており、前記開口板、保持部材及び該シャッ
タ一部材によって吸収され該シャッタ一部材を介して導
かれた電流を検出するための手段を具備していることを
特徴とする電子顕微鏡等における照射電流検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52066831A JPS586265B2 (ja) | 1977-06-07 | 1977-06-07 | 電子顕微鏡等における照射電流検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52066831A JPS586265B2 (ja) | 1977-06-07 | 1977-06-07 | 電子顕微鏡等における照射電流検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS542057A JPS542057A (en) | 1979-01-09 |
| JPS586265B2 true JPS586265B2 (ja) | 1983-02-03 |
Family
ID=13327165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52066831A Expired JPS586265B2 (ja) | 1977-06-07 | 1977-06-07 | 電子顕微鏡等における照射電流検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS586265B2 (ja) |
-
1977
- 1977-06-07 JP JP52066831A patent/JPS586265B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS542057A (en) | 1979-01-09 |
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