JPS5868029U - 半導体ウエ−ハ用キヤリヤの搬送用ハンドル - Google Patents

半導体ウエ−ハ用キヤリヤの搬送用ハンドル

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Publication number
JPS5868029U
JPS5868029U JP1981163302U JP16330281U JPS5868029U JP S5868029 U JPS5868029 U JP S5868029U JP 1981163302 U JP1981163302 U JP 1981163302U JP 16330281 U JP16330281 U JP 16330281U JP S5868029 U JPS5868029 U JP S5868029U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
support arm
arms
gripping
semiconductor wafer
wafer carrier
Prior art date
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Pending
Application number
JP1981163302U
Other languages
English (en)
Inventor
章 岩山
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Publication of JPS5868029U publication Critical patent/JPS5868029U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は半導体ウェーハ用キャリヤの一例を示す斜視図
、第２図は従来の搬送用ハンドルを水子斜視図、第３図
はその操作要領を示す正面図、第４図はこの考案の一実
施例の搬送用ハンドルを示す正面図である。゛ １・・・半導体ウェーハ用キャリア、７・・・把持腕、
９・・・第２の支持腕、１０・・・把持体、１１・・・
爪、１２・・・搬送用ハンドル、１３・・・第１の支持
腕、１４・・・肉薄部、１５・・・アーチ状部分、１６
・・・棒体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウェーハ用キャリヤ両端の搬送用切込みに係合す
    る爪を、その先部に設けた略平行な二本の把持腕と、二
    本の把持腕の上端を連結一体化させた第１の支持腕と、
    二本の把持腕の中間部に第１の支持腕と略平行にその両
    端を連結一体化させた第２の支持腕とからなり、第１及
    び第２の支持腕間を握ることにより、二本の把持腕の先
    部をハ字状に開いた状態で半導体ウェーハ用キャリヤに
    嵌め合わせ、第１及び第２の支持腕の把握力を緩めるこ
    とにより、爪を搬送用切欠きに係合させるものにおいて
    、第１の支持腕の中間部に肉薄部を設け、且つこの中間
    部を外側から囲むアーチ状部分を第１の支持腕と一体に
    形成すると共に、このアーチ状部分の中央から前記肉薄
    部に向って突出する棒体を設けたことを特徴とする半導
    体ウェーハ用キャリヤの搬送用ハンドル。
JP1981163302U 1981-10-30 1981-10-30 半導体ウエ−ハ用キヤリヤの搬送用ハンドル Pending JPS5868029U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1981163302U JPS5868029U (ja) 1981-10-30 1981-10-30 半導体ウエ−ハ用キヤリヤの搬送用ハンドル

Applications Claiming Priority (1)

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JP1981163302U JPS5868029U (ja) 1981-10-30 1981-10-30 半導体ウエ−ハ用キヤリヤの搬送用ハンドル

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5868029U true JPS5868029U (ja) 1983-05-09

Family

ID=29955601

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1981163302U Pending JPS5868029U (ja) 1981-10-30 1981-10-30 半導体ウエ−ハ用キヤリヤの搬送用ハンドル

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5868029U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03177043A (ja) * 1989-12-05 1991-08-01 Oki Electric Ind Co Ltd ウエハキャリアの挟持構造

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03177043A (ja) * 1989-12-05 1991-08-01 Oki Electric Ind Co Ltd ウエハキャリアの挟持構造

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