JPS5933246U - キヤリアハンドル - Google Patents

キヤリアハンドル

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Publication number
JPS5933246U
JPS5933246U JP12775282U JP12775282U JPS5933246U JP S5933246 U JPS5933246 U JP S5933246U JP 12775282 U JP12775282 U JP 12775282U JP 12775282 U JP12775282 U JP 12775282U JP S5933246 U JPS5933246 U JP S5933246U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier
handle
carrier handle
teflon
etching
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12775282U
Other languages
English (en)
Inventor
池山　一孝
Original Assignee
九州日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 九州日本電気株式会社 filed Critical 九州日本電気株式会社
Priority to JP12775282U priority Critical patent/JPS5933246U/ja
Publication of JPS5933246U publication Critical patent/JPS5933246U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は本考案の実施例を示した図である。 尚、図において、１・・・キャリアハンドル、２・・・
キャリア運搬治具、ａ−ｂ・・・エツチング用キャリア
を、はさみつかめる部分、Ｃ−ｄ・・・手で力を加える
部分、ｅ・・・カバー、ｂ・・・エツチング用キャリア
を載せる事ができる部分、ｇ・・・手で持つ部分、ｈ・
・・カバー、である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ′　　シリコンウェハースをある枚数単位で収納してい
    るテフロン製のキャリアをエツチング処理する゛　場合
    に使用するキャリアハンドルにおいて、側面から見ると
    コの字形をしておりテフロン製のキャリアをはさみ掴む
    事が出来きる様に、その先端が内側に曲っており、中心
    部に手で力を加える事により両端が広がったり、離すと
    閉じる様な一本の支柱を有し、その素手で取り扱う部分
    に素手全体を覆う様なカバーが付いている様な構造を有
    する事を特徴とするキャリアハンドル。
JP12775282U 1982-08-24 1982-08-24 キヤリアハンドル Pending JPS5933246U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12775282U JPS5933246U (ja) 1982-08-24 1982-08-24 キヤリアハンドル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12775282U JPS5933246U (ja) 1982-08-24 1982-08-24 キヤリアハンドル

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5933246U true JPS5933246U (ja) 1984-03-01

Family

ID=30290045

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12775282U Pending JPS5933246U (ja) 1982-08-24 1982-08-24 キヤリアハンドル

Country Status (1)

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JP (1) JPS5933246U (ja)

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