JPS5869743A - 導電性ガラスとその製造法 - Google Patents
導電性ガラスとその製造法Info
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- JPS5869743A JPS5869743A JP16835981A JP16835981A JPS5869743A JP S5869743 A JPS5869743 A JP S5869743A JP 16835981 A JP16835981 A JP 16835981A JP 16835981 A JP16835981 A JP 16835981A JP S5869743 A JPS5869743 A JP S5869743A
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- JP
- Japan
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- glass
- film
- oxide
- conductive
- dome
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- Pending
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3417—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
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- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は優れた耐摩耗性を有する導電性ガラス及びその
製造法に関するものである。
製造法に関するものである。
導電性ガラスは窓ガラスの曇や防止、氷結防止用に利用
され、自動車、航空機その他各種交通機関用の防曇ガラ
スとして、また電波雑音防止用ガラスとして広く使用さ
れている。
され、自動車、航空機その他各種交通機関用の防曇ガラ
スとして、また電波雑音防止用ガラスとして広く使用さ
れている。
この種の導電性ガラス社無機ガラスを基材とし、この基
材表面上に銅、ニッケル、ステンレス鋼、ハステロイ等
の金属の皮膜をスパッタリング又は真空蒸着法によって
形成せしむる方法もあるが、透明性に欠けるので、透明
性と特に防曇性が要求される場合には、無機ガラスに塩
化錫の水溶液を吹付け、焼成して酸化錫を主体とする数
百ミリミクロン程度の薄膜を形成する方法が行われてい
る。
材表面上に銅、ニッケル、ステンレス鋼、ハステロイ等
の金属の皮膜をスパッタリング又は真空蒸着法によって
形成せしむる方法もあるが、透明性に欠けるので、透明
性と特に防曇性が要求される場合には、無機ガラスに塩
化錫の水溶液を吹付け、焼成して酸化錫を主体とする数
百ミリミクロン程度の薄膜を形成する方法が行われてい
る。
しかるに酸化錫や、酸化錫にアンチモン又はインジウム
の酸化物が添加された酸化錫系の導電性皮膜は硬度が十
分でなく、摩擦によって摩耗しやすく、自動車の窓ガラ
スの如き苛酷な使用条件では長期間の使用に耐えない欠
点があった。
の酸化物が添加された酸化錫系の導電性皮膜は硬度が十
分でなく、摩擦によって摩耗しやすく、自動車の窓ガラ
スの如き苛酷な使用条件では長期間の使用に耐えない欠
点があった。
本発明者等は耐摩耗性に優れた導電性皮膜を求めて研究
を重ねた結果、例えば塩化第二錫の水溶液をガラスの表
面に吹きつけ、乾燥、焼成して酸化錫の導電性皮膜を生
成せしめた後、その導電性皮膜上にスパッタリングによ
り８１ ＋ Ｔｉ ｓＡｌ等の酸化物、窒化物又は炭化
物よりなる硬化膜、例えばＳｉＯｘ ＊ ＴｉＣｈ ＊
Ａｌｔｏｓ ＊ Ｔｉｃ、 ＴｉＮ等の如き硬質皮膜
を形成させることに°より上記の目的を達成することに
成功した。
を重ねた結果、例えば塩化第二錫の水溶液をガラスの表
面に吹きつけ、乾燥、焼成して酸化錫の導電性皮膜を生
成せしめた後、その導電性皮膜上にスパッタリングによ
り８１ ＋ Ｔｉ ｓＡｌ等の酸化物、窒化物又は炭化
物よりなる硬化膜、例えばＳｉＯｘ ＊ ＴｉＣｈ ＊
Ａｌｔｏｓ ＊ Ｔｉｃ、 ＴｉＮ等の如き硬質皮膜
を形成させることに°より上記の目的を達成することに
成功した。
本発明の特徴は導電性皮膜の上にＳ ｉ Ｏ！ｔ Ｔ
２０ｘ ＊Ａｌｔｏｓをはじめ、各種の無機酸化物の硬
質皮膜を形成させて耐摩耗性を附与した点にあり、特に
透明性を要求されない場合には導電性皮膜は広く一般的
な金属皮膜すなわち、銅、ニッケル、ステンレス、ハス
テロイ等をスパッタリング又は真空蒸看によりガラス上
に形成したものでよい。又耐摩耗性皮膜としては、珪素
、チタン、アルミニウム等の酸化物以外にこれらの炭化
物又は窒化物でもよい。父上記のもの＼２ｆ］１２ｉ１
１成物であってもよい。
２０ｘ ＊Ａｌｔｏｓをはじめ、各種の無機酸化物の硬
質皮膜を形成させて耐摩耗性を附与した点にあり、特に
透明性を要求されない場合には導電性皮膜は広く一般的
な金属皮膜すなわち、銅、ニッケル、ステンレス、ハス
テロイ等をスパッタリング又は真空蒸看によりガラス上
に形成したものでよい。又耐摩耗性皮膜としては、珪素
、チタン、アルミニウム等の酸化物以外にこれらの炭化
物又は窒化物でもよい。父上記のもの＼２ｆ］１２ｉ１
１成物であってもよい。
以下、本発明の導電性ガラス及びその製造法の実施例を
図面を参照しつ＼説明する。
図面を参照しつ＼説明する。
実施例
塩化アンチモン１チを含む塩化第２錫の１０チ水溶液１
００ＣＣに５ｑｂ塩酸ｔｏｏｃｃを加え、噴霧用水溶液
とした。この水溶液を自動車用ガラスに噴霧した。次に
上記のガラス板を１００℃で乾燥し、更に６５０℃で１
時間焼成することによシ峻化錫系の導電性皮膜を形成せ
しめた。上記において塩化アンチモノは、アンチモンが
導電性皮膜の比抵抗を変えることから補助剤として使用
される。アンチモンのほかにインジュウムを用いてもよ
い。得られた導電性皮膜の面積抵抗率は７０オーム／ｃ
Ｉｉで膜厚は２，５００オングストローム（２５０ミリ
ミクロン）であった。
００ＣＣに５ｑｂ塩酸ｔｏｏｃｃを加え、噴霧用水溶液
とした。この水溶液を自動車用ガラスに噴霧した。次に
上記のガラス板を１００℃で乾燥し、更に６５０℃で１
時間焼成することによシ峻化錫系の導電性皮膜を形成せ
しめた。上記において塩化アンチモノは、アンチモンが
導電性皮膜の比抵抗を変えることから補助剤として使用
される。アンチモンのほかにインジュウムを用いてもよ
い。得られた導電性皮膜の面積抵抗率は７０オーム／ｃ
Ｉｉで膜厚は２，５００オングストローム（２５０ミリ
ミクロン）であった。
次に図面に示す如きスパックリング装置により上記の導
電性皮膜の上に更に耐摩耗性皮膜を形成した。図中、１
は真空用耐圧ガラスのドームで鋼鉄製であってもよい。
電性皮膜の上に更に耐摩耗性皮膜を形成した。図中、１
は真空用耐圧ガラスのドームで鋼鉄製であってもよい。
２は試料となる上記の導電性ガラスで陽極となり、３は
陰極のＳ ｉ Ｏｘ板である。上記スパッタリング装置
は真空ボンダ５でドーム１内を１０−６■Ｈｆ迄排気し
た後、アルゴンガス導入管７からアルゴンガスを導入し
、１０１ｍＨｔの真空度とする。次に高周波電源８によ
り陰極に１０Ｋｖ、１ｉ５６ＭＨｒの加速電圧を印加す
ると、アルゴンガスが電離し、生じた陽イオンが陰極に
衝突し、表面のＳ ｉ Ｏｘ分子に運動エネルギーを与
え、陽極に向って拡散してゆく。所定の厚さに皮膜を形
成したのちシャッター４を閉じてＳ ｉ Ｏｘの分子流
を遮断し、スパッタリングを終った。このようにして得
られた５ｉ０２の膜の厚さは１０００ないし１５００オ
ングストローム（１００ないし１５０ミリミクロン）で
あった。
陰極のＳ ｉ Ｏｘ板である。上記スパッタリング装置
は真空ボンダ５でドーム１内を１０−６■Ｈｆ迄排気し
た後、アルゴンガス導入管７からアルゴンガスを導入し
、１０１ｍＨｔの真空度とする。次に高周波電源８によ
り陰極に１０Ｋｖ、１ｉ５６ＭＨｒの加速電圧を印加す
ると、アルゴンガスが電離し、生じた陽イオンが陰極に
衝突し、表面のＳ ｉ Ｏｘ分子に運動エネルギーを与
え、陽極に向って拡散してゆく。所定の厚さに皮膜を形
成したのちシャッター４を閉じてＳ ｉ Ｏｘの分子流
を遮断し、スパッタリングを終った。このようにして得
られた５ｉ０２の膜の厚さは１０００ないし１５００オ
ングストローム（１００ないし１５０ミリミクロン）で
あった。
更に本発明の導電性ガラスと耐摩耗性皮膜のない従来の
導電性ガラスにつき自動車のフロントガラスの使用条件
を想定した試験方法により耐摩粍性を比較した。すなわ
ち、水に２チの粘土を添加した懸濁液を上記２種の導電
性ガラスにかけながらワイパーブレードで往復摩擦を繰
返し１０時間続けた結果、本発明による導電性ガラスに
は損傷が殆んどなかったが、従来の方法による導電性皮
膜は殆んど摩耗して、ガラス基材が露出する状態となっ
た。
導電性ガラスにつき自動車のフロントガラスの使用条件
を想定した試験方法により耐摩粍性を比較した。すなわ
ち、水に２チの粘土を添加した懸濁液を上記２種の導電
性ガラスにかけながらワイパーブレードで往復摩擦を繰
返し１０時間続けた結果、本発明による導電性ガラスに
は損傷が殆んどなかったが、従来の方法による導電性皮
膜は殆んど摩耗して、ガラス基材が露出する状態となっ
た。
本実施例で形成せしめ九耐摩耗性皮膜はＳｌへであるが
ＴｉＯ！ｔ ＡｈＯｓをはじめとする各種無機酸化物で
もよく、又、珪素、チタン等の炭化物及び窒化物を形成
せしめてもよい、 ＴｌＣ−、ＴｉＮ等の炭化物、窒化
物の場合は金属を窒素ガス又は炭化水素ガスの雰囲気中
でスパッタリングする反応性スパッタリング法によって
皮膜を形成してもよい。
ＴｉＯ！ｔ ＡｈＯｓをはじめとする各種無機酸化物で
もよく、又、珪素、チタン等の炭化物及び窒化物を形成
せしめてもよい、 ＴｌＣ−、ＴｉＮ等の炭化物、窒化
物の場合は金属を窒素ガス又は炭化水素ガスの雰囲気中
でスパッタリングする反応性スパッタリング法によって
皮膜を形成してもよい。
本発明は簡単な方法で導電性皮膜に耐摩粍性等の物理的
強度を附与することができ、またスパッタリング皮膜に
よっては耐薬品性などの化学的性質を附与できるなど多
くの優れた効果が得られる。
強度を附与することができ、またスパッタリング皮膜に
よっては耐薬品性などの化学的性質を附与できるなど多
くの優れた効果が得られる。
図はスパッタリング装置の概略図を示す。
図中、
１・・・真空ガラスドーム ２・・・導電性ガラス５・
・・５ｉＯｆ板’・・・シャッター５・・・ｋ２７ボン
プ ６・・・バルブ７・・・アルゴンガス導入管
８・・・高周波電源９・・・試料支持台 １ｏ・・
・シャッター支持棚（＃１か１名）
・・５ｉＯｆ板’・・・シャッター５・・・ｋ２７ボン
プ ６・・・バルブ７・・・アルゴンガス導入管
８・・・高周波電源９・・・試料支持台 １ｏ・・
・シャッター支持棚（＃１か１名）
Claims (2)
- （１） ガラス表面に導電性皮膜を彰成し、その上に
珪素、チタン、アルミニウム等の酸化物の一種以上もし
くは之等の窒化物又は炭化物の硬質皮膜を形成したこと
を特徴とする導電性ガラス。 - （２） ガラス表面に導電性皮膜を形成したのち珪素
、チタン又はアルミニウム等の酸化物を不活性ガス中で
スパッタリングするか、又はこれらの金属元素を、窒素
ガス又は炭化水素ガスの雰囲気中でスパッタリングする
ことにより硬質皮膜を形成せしむることを特徴とする導
電性ガラスの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16835981A JPS5869743A (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 導電性ガラスとその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16835981A JPS5869743A (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 導電性ガラスとその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5869743A true JPS5869743A (ja) | 1983-04-26 |
Family
ID=15866610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16835981A Pending JPS5869743A (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 導電性ガラスとその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5869743A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6027623A (ja) * | 1983-07-22 | 1985-02-12 | Toyota Motor Corp | 電磁遮蔽ウインドガラス |
| JPS6027624A (ja) * | 1983-07-22 | 1985-02-12 | Toyota Motor Corp | 電磁遮蔽ウインドガラス |
| JPS6082436U (ja) * | 1983-11-14 | 1985-06-07 | トヨタ自動車株式会社 | 自動車用窓ガラス |
| JPS63297246A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Central Glass Co Ltd | 色ガラス板 |
| US5387433A (en) * | 1991-02-20 | 1995-02-07 | Saint-Gobain Vitrage International | Protective layer on a conductive substrate |
| EP0782975A1 (en) * | 1996-01-04 | 1997-07-09 | Ppg Industries, Inc. | Reduction of haze in transparent coatings |
| US20060027450A1 (en) * | 2004-08-06 | 2006-02-09 | Thomas Hegemann | Arrangement and method for the production of gas-impermeable layers |
| US8715779B2 (en) | 2011-06-24 | 2014-05-06 | Apple Inc. | Enhanced glass impact durability through application of thin films |
| WO2012177563A3 (en) * | 2011-06-24 | 2015-12-10 | Apple Inc. | Enhanced glass impact durability through application of thin films |
-
1981
- 1981-10-21 JP JP16835981A patent/JPS5869743A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6027623A (ja) * | 1983-07-22 | 1985-02-12 | Toyota Motor Corp | 電磁遮蔽ウインドガラス |
| JPS6027624A (ja) * | 1983-07-22 | 1985-02-12 | Toyota Motor Corp | 電磁遮蔽ウインドガラス |
| JPS6082436U (ja) * | 1983-11-14 | 1985-06-07 | トヨタ自動車株式会社 | 自動車用窓ガラス |
| JPS63297246A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Central Glass Co Ltd | 色ガラス板 |
| US5387433A (en) * | 1991-02-20 | 1995-02-07 | Saint-Gobain Vitrage International | Protective layer on a conductive substrate |
| EP0782975A1 (en) * | 1996-01-04 | 1997-07-09 | Ppg Industries, Inc. | Reduction of haze in transparent coatings |
| US20060027450A1 (en) * | 2004-08-06 | 2006-02-09 | Thomas Hegemann | Arrangement and method for the production of gas-impermeable layers |
| US8715779B2 (en) | 2011-06-24 | 2014-05-06 | Apple Inc. | Enhanced glass impact durability through application of thin films |
| WO2012177563A3 (en) * | 2011-06-24 | 2015-12-10 | Apple Inc. | Enhanced glass impact durability through application of thin films |
| US9282653B2 (en) | 2011-06-24 | 2016-03-08 | Apple Inc. | Enhanced glass impact durability through application of thin films |
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