JPS5870542A - 集積回路の不良解析装置 - Google Patents
集積回路の不良解析装置Info
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- JPS5870542A JPS5870542A JP56168841A JP16884181A JPS5870542A JP S5870542 A JPS5870542 A JP S5870542A JP 56168841 A JP56168841 A JP 56168841A JP 16884181 A JP16884181 A JP 16884181A JP S5870542 A JPS5870542 A JP S5870542A
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- integrated circuit
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-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
- G06F11/22—Detection or location of defective computer hardware by testing during standby operation or during idle time, e.g. start-up testing
- G06F11/26—Functional testing
- G06F11/273—Tester hardware, i.e. output processing circuits
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
- G06F11/30—Monitoring
- G06F11/32—Monitoring with visual or acoustical indication of the functioning of the machine
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Quality & Reliability (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ｘ発＃４は良品の集積回路（以下本明細書において集積
回路をＩＣと略記する）と豪検ＸＣとな比較しながら、
ｘａの設計者でなく工も良否判定のできる解析９！に置
に関する。
回路をＩＣと略記する）と豪検ＸＣとな比較しながら、
ｘａの設計者でなく工も良否判定のできる解析９！に置
に関する。
従来ＸＯＫついて良品か否かを解析するとき光字顕微−
によりチェックすることの次に、ａ凍電位ケ与え動作状
態としたＸＣｊｌＩＣ細く絞った電子ビームを当て、二
次電子を検知して得られる電位′ｆｋによりＩＣの良否
判定を行ｙｚつた。そのときＩＯの回路やパターン構造
に高度の知鍼がないと即ちＩＯの設計者でないと電子ビ
ームをＸＯの何の慨分［１１１射して検査をしたのか判
然としない欠点があった・大規模Ｔ工０Ｋ７ｊると昼々
判断が１確となり、多数のｘＣｖ解析するには極めて置
時間を勢した。
によりチェックすることの次に、ａ凍電位ケ与え動作状
態としたＸＣｊｌＩＣ細く絞った電子ビームを当て、二
次電子を検知して得られる電位′ｆｋによりＩＣの良否
判定を行ｙｚつた。そのときＩＯの回路やパターン構造
に高度の知鍼がないと即ちＩＯの設計者でないと電子ビ
ームをＸＯの何の慨分［１１１射して検査をしたのか判
然としない欠点があった・大規模Ｔ工０Ｋ７ｊると昼々
判断が１確となり、多数のｘＣｖ解析するには極めて置
時間を勢した。
Ｘ発明の目的は前述の欠点を改善し、良品を苫む複数の
ＩＯなｗｒ−したステージな便用して９品と豪検工Ｃと
について電位曽を比較することにより高Ｉｆ−率な解析
を行なうｇ７に置を提供することＫある。そのため本発
明の畳上とする所は複数のｘａｖ＊＊ｔ、駆動すること
のできるステ−ジと、検知した二次電子信号ｌ谷ＩＣ毎
に配憶！！不するーｇＩＩ記憶装−を具備することにト
る。
ＩＯなｗｒ−したステージな便用して９品と豪検工Ｃと
について電位曽を比較することにより高Ｉｆ−率な解析
を行なうｇ７に置を提供することＫある。そのため本発
明の畳上とする所は複数のｘａｖ＊＊ｔ、駆動すること
のできるステ−ジと、検知した二次電子信号ｌ谷ＩＣ毎
に配憶！！不するーｇＩＩ記憶装−を具備することにト
る。
以下本発明の５ｊ！１１＆例につい″Ｃ説明する。図面
におい”ｔ ｌｉ＋は甲央匍Ｊ−装置、■はＩＯのファ
ンクＶ ｗ ７デ一タ記＊ｇｋ鉦＊＜ｓ−１＞＜ｓ−ｓ
＞はビデオ信号記憶用ＲＡＭ、（番−１）（４−２）は
ｍ健表示装置。
におい”ｔ ｌｉ＋は甲央匍Ｊ−装置、■はＩＯのファ
ンクＶ ｗ ７デ一タ記＊ｇｋ鉦＊＜ｓ−１＞＜ｓ−ｓ
＞はビデオ信号記憶用ＲＡＭ、（番−１）（４−２）は
ｍ健表示装置。
（！５−１） （５−１りはマーカ、寄はスキャンゼふ
レータ、 ＋７１はフレームメモリ、■は偏向補正回路
。
レータ、 ＋７１はフレームメモリ、■は偏向補正回路
。
（９１ｔ；！ １１位の“Ｉｌ″″“Ｌ”利足回路、鐘
は全体的に示す電子大学系、ｔＵ＋６電子ビーム、Ｏ汀
集束しンｘ 、 ａｓＦＸｓ物レンズ、Ｕは一同器、鋳
に二次電子検知器、 （１４＄−１）（ｌ６−りｆｉ良
品ｘＣと１検ｘｏ。
は全体的に示す電子大学系、ｔＵ＋６電子ビーム、Ｏ汀
集束しンｘ 、 ａｓＦＸｓ物レンズ、Ｕは一同器、鋳
に二次電子検知器、 （１４＄−１）（ｌ６−りｆｉ良
品ｘＣと１検ｘｏ。
ｆｎＦｘｘＣ′ＩＩＡ動回路、−ＦＩＸ−１ステージ、
卯ハブランキングｓＩＰｍ、−はビー為ブツンキング駆
動回路、ａｌはステージ駆動回路、＠はステージ位置指
示キーボードＶ示す。今良品Ｉ Ｏ（１６−１）と被検
ｙ ａ （１６−ｇ）の８個のｘＣｖ所定位微に七フト
し、１０間の所足距ｌＩＦは予め甲央溜匂−装置亀１１
に記憶さゼておく。良品工０ （１６−１） Ｋつｔｌ
て解析する位！＃をキーボード＠により指示してＩＵＶ
、Ｓ釦する。ＩＯに直流電位！与えない状態で電子ビー
ムＯｖ照射し二次電子検知器（至）の出力は−Ｌ’″Ｈ
”判定１１９」を経ないでフレームメモリＩ’７１ Ｋ
入力させる。次［ＩＩ検Ｉ Ｏ（１ｇ−１り Ｋ ツい
て対応する所定位−の状態ナフレームメモＱ１〕１に入
力し、ビ、デオ信号ＲＡ Ｍ （！５−１） と（ａ
−ｇ）に切替入力し９表゛示装置ｆ （４−１） （４
−ｇ）に表示させる。このようにして直流電圧をＩＯ＃
ｃ印加しない状態で肉ｘＯを比較する。次いで両ＸＯに
駆動回路節を介しＩｉＬ流電圧電圧加して電子ビームＯ
を照射する。二次電子検知Ｓ−の出力はこの場合はＩＩ
′″−１１”判定回路（９１を介してフレームメモ２月
７１に入力させる。“ＸＪ”Ｂ”の判Ｔは検知！！ｉ＄
−の出力の大小による０次にビデオ信号Ｌ１（ｓ−ｘ）
（ｓ−ｚ）を使用し、前述と同機に両１０の状態を比
較する。このようＫして動作状態にある被検工ａＶ良＆
ｘａの状態と比較して良品か否か解析できる。
卯ハブランキングｓＩＰｍ、−はビー為ブツンキング駆
動回路、ａｌはステージ駆動回路、＠はステージ位置指
示キーボードＶ示す。今良品Ｉ Ｏ（１６−１）と被検
ｙ ａ （１６−ｇ）の８個のｘＣｖ所定位微に七フト
し、１０間の所足距ｌＩＦは予め甲央溜匂−装置亀１１
に記憶さゼておく。良品工０ （１６−１） Ｋつｔｌ
て解析する位！＃をキーボード＠により指示してＩＵＶ
、Ｓ釦する。ＩＯに直流電位！与えない状態で電子ビー
ムＯｖ照射し二次電子検知器（至）の出力は−Ｌ’″Ｈ
”判定１１９」を経ないでフレームメモリＩ’７１ Ｋ
入力させる。次［ＩＩ検Ｉ Ｏ（１ｇ−１り Ｋ ツい
て対応する所定位−の状態ナフレームメモＱ１〕１に入
力し、ビ、デオ信号ＲＡ Ｍ （！５−１） と（ａ
−ｇ）に切替入力し９表゛示装置ｆ （４−１） （４
−ｇ）に表示させる。このようにして直流電圧をＩＯ＃
ｃ印加しない状態で肉ｘＯを比較する。次いで両ＸＯに
駆動回路節を介しＩｉＬ流電圧電圧加して電子ビームＯ
を照射する。二次電子検知Ｓ−の出力はこの場合はＩＩ
′″−１１”判定回路（９１を介してフレームメモ２月
７１に入力させる。“ＸＪ”Ｂ”の判Ｔは検知！！ｉ＄
−の出力の大小による０次にビデオ信号Ｌ１（ｓ−ｘ）
（ｓ−ｚ）を使用し、前述と同機に両１０の状態を比
較する。このようＫして動作状態にある被検工ａＶ良＆
ｘａの状態と比較して良品か否か解析できる。
被検ＩＣのチップ上パターン位敏が良＆ｂＸＯの対応位
−′と比較し若干ずれ１いる場合があり、そのためＩ・
！ステージを所定を桜勧さゼたとき９両ｘＯの対応する
部分に正―に電子ビームが照射するとに限らない、その
ため１ＬｔＩＬ電圧を印ｍしない伏型で両ＩＯｋ＊１Ｍ
Ｌ、、ながら、偏ａＳ正−ｗＩ＠を使用し例えば普検Ｉ
Ｏの場合について偏向量ｖＷａ贅する量をセツティング
しておく、ｔａａｗ、ＦＥｖ印加Ｌｍとき良品ｘｃｖｃ
つい′Ｃは補正回路■を使用せず例えはスイッチを開い
１＃き、被検ｘＣＩＩｃついてはスイッチを閉じ、前述
したセツティング量により偏向を補正する・ また二次電子検知器の出力につい工“ＬＩ″１”判定な
行なうとぎ電圧比較１１ＣＬり判定する力；。
−′と比較し若干ずれ１いる場合があり、そのためＩ・
！ステージを所定を桜勧さゼたとき９両ｘＯの対応する
部分に正―に電子ビームが照射するとに限らない、その
ため１ＬｔＩＬ電圧を印ｍしない伏型で両ＩＯｋ＊１Ｍ
Ｌ、、ながら、偏ａＳ正−ｗＩ＠を使用し例えば普検Ｉ
Ｏの場合について偏向量ｖＷａ贅する量をセツティング
しておく、ｔａａｗ、ＦＥｖ印加Ｌｍとき良品ｘｃｖｃ
つい′Ｃは補正回路■を使用せず例えはスイッチを開い
１＃き、被検ｘＣＩＩｃついてはスイッチを閉じ、前述
したセツティング量により偏向を補正する・ また二次電子検知器の出力につい工“ＬＩ″１”判定な
行なうとぎ電圧比較１１ＣＬり判定する力；。
エネルギー分析器ｌ用いると判だの精度がより同上する
。
。
更にＳｉ１以上の工Ｃｖ胸−ステージ＃Ｃ舟畝すると解
析の効率により同上する。そのとき勘数−のｉｋ會デー
タについてビーム伽同系の補正を打なうときのデータ差
分を中央処ｍ＊＊で演算し′Ｃ走分画悔な表示すると艮
否判足が明確化する。
析の効率により同上する。そのとき勘数−のｉｋ會デー
タについてビーム伽同系の補正を打なうときのデータ差
分を中央処ｍ＊＊で演算し′Ｃ走分画悔な表示すると艮
否判足が明確化する。
このようＫして本発Ｉ’ｌによると予め良品と判ってい
る工０についての電位体Ｖ１１検ｘＣと比較するため＃
Ｃ画像データを記憶し表示する抽−を使用し比較するた
め、ＮＯの回路構造について十分な知識を持っていない
肴でも速やかに適確な解析な行なうことができる。多数
のｘＯｖ解析するときに極めて有効である・
る工０についての電位体Ｖ１１検ｘＣと比較するため＃
Ｃ画像データを記憶し表示する抽−を使用し比較するた
め、ＮＯの回路構造について十分な知識を持っていない
肴でも速やかに適確な解析な行なうことができる。多数
のｘＯｖ解析するときに極めて有効である・
図面は本発明の実施例１示すブ【ずり構成図である・
１１１・・・中央１！１１＠装歇
（２１−−−ファンクシ冒ンデータ記憚装置（Ｓ−１）
（３１）・・・ビデオ信号記憶用Ｒム輩（４−工）（
４−１！、）・−ｉｉ＋体表示５Ｗ（Ｂ−１）（５−２
）・−マーカ 鴎）・φ・スキャンゼネレータ １７１…フレームメモリ Ｌ８１拳ａ−匍同視正回路
＋９１・−“Ｈ”Ｌ”判定回・路 ［相］・・・電
子光字糸ｔＵ＋−ｚ子ビーム ロ争−集束レンズＯ
・一対物レンズ （至）・・・伽ｌａＪ器−・・・
二次電子検知器 （１６−１）（１６−２）−一艮品工Ｏと被検Ｘ０ｅ−
ｉｏ＆動回路 （１−４−Ｙステージ（至）・−・ブ
ランキング装蒙 匈・−ビームブランキングＩＩＡ動回路ロトー・ステー
ジ駆動回路 （２）・・・ステージ位ｗｌｎＩ示キーボード特許出動
人 富士通株式会社 代 理 人 弁理土鈴木栄祐
（３１）・・・ビデオ信号記憶用Ｒム輩（４−工）（
４−１！、）・−ｉｉ＋体表示５Ｗ（Ｂ−１）（５−２
）・−マーカ 鴎）・φ・スキャンゼネレータ １７１…フレームメモリ Ｌ８１拳ａ−匍同視正回路
＋９１・−“Ｈ”Ｌ”判定回・路 ［相］・・・電
子光字糸ｔＵ＋−ｚ子ビーム ロ争−集束レンズＯ
・一対物レンズ （至）・・・伽ｌａＪ器−・・・
二次電子検知器 （１６−１）（１６−２）−一艮品工Ｏと被検Ｘ０ｅ−
ｉｏ＆動回路 （１−４−Ｙステージ（至）・−・ブ
ランキング装蒙 匈・−ビームブランキングＩＩＡ動回路ロトー・ステー
ジ駆動回路 （２）・・・ステージ位ｗｌｎＩ示キーボード特許出動
人 富士通株式会社 代 理 人 弁理土鈴木栄祐
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 細く絞った電子ビームの当った集積−回路からの二
次電子を検知して集積回路の不良を解析する装置におい
て、複数個の集積回路を所定距Ｉ隔て搭載して移動する
ことのできるステージと、ｗ数個の集積回路な同ｗ＃に
釦Ｉ作状塾に駆動する島！Ｉ１１回路と、二次電子を検
知した他号を各集積回路毎に記憶表示するＷ＃ｇ７に記
憶５に随な具便することを特徴とする果檜枦１路の不良
解析９１！置。 ２ 集積回路の！！向に′＃Ｌ子ビームを定棄さゼる偏
向系において集積回路チップの位置ばらつきを補正する
駕Ｎ補＼Ｘ曳偏向補正製滅を設けたことＶ弊徴とする特
許請求の範囲８８１項記軟の集積回路の不良解析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56168841A JPS5870542A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 集積回路の不良解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56168841A JPS5870542A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 集積回路の不良解析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5870542A true JPS5870542A (ja) | 1983-04-27 |
Family
ID=15875515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56168841A Pending JPS5870542A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 集積回路の不良解析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5870542A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4489477A (en) * | 1984-02-23 | 1984-12-25 | Northern Telecom Limited | Method for screening laser diodes |
| JP2002013559A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Nsk Warner Kk | ラチェット型ワンウェイクラッチ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5676545A (en) * | 1979-11-26 | 1981-06-24 | Hitachi Ltd | Scanning electron microscope or the like |
| JPS5693339A (en) * | 1979-12-27 | 1981-07-28 | Fujitsu Ltd | Function test device of integrated circuit |
-
1981
- 1981-10-23 JP JP56168841A patent/JPS5870542A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5676545A (en) * | 1979-11-26 | 1981-06-24 | Hitachi Ltd | Scanning electron microscope or the like |
| JPS5693339A (en) * | 1979-12-27 | 1981-07-28 | Fujitsu Ltd | Function test device of integrated circuit |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4489477A (en) * | 1984-02-23 | 1984-12-25 | Northern Telecom Limited | Method for screening laser diodes |
| JP2002013559A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Nsk Warner Kk | ラチェット型ワンウェイクラッチ |
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