JPS5871193A - 光学的情報記録媒体 - Google Patents
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- G11B2007/24316—Metals or metalloids group 16 elements (i.e. chalcogenides, Se, Te)
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- G11B2007/24318—Non-metallic elements
- G11B2007/24328—Carbon
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- G11B7/253—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates
- G11B7/2533—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates comprising resins
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、記録された情報を光学的に読取り可能な光学
的情報記録媒体に係り、特に光熱等のエネルギービーム
の照射により記録膜に孔または四部が形成されることに
よって情報を記録するようにした光学的情報記録媒体に
関する。
的情報記録媒体に係り、特に光熱等のエネルギービーム
の照射により記録膜に孔または四部が形成されることに
よって情報を記録するようにした光学的情報記録媒体に
関する。
光学的情報記録媒体として、従来、警手−５＝＝＝ｔＣ
券寸寸今≠基板／土に形成された記録膜ｌにエネルギー
ビームを照射し、記録されるべき情報に対応したピット
ノ列を形成するようにしたものがある。このような光学
的情報記録媒体において、従来より記録膜ｔとしてテル
ル（Ｔｅ）を使用することが知られている。Ｔｅ膜は非
常に低いエネルギーで所望の孔（ピット）を形成でき、
この種の用途においては高感度材料として極めて有望で
ある。ここで感度とは、単位面積当シの記録部（この場
合はピット）形成に要するエネルギー（ｍＪ／ｃｒｎ）
で定義される。
券寸寸今≠基板／土に形成された記録膜ｌにエネルギー
ビームを照射し、記録されるべき情報に対応したピット
ノ列を形成するようにしたものがある。このような光学
的情報記録媒体において、従来より記録膜ｔとしてテル
ル（Ｔｅ）を使用することが知られている。Ｔｅ膜は非
常に低いエネルギーで所望の孔（ピット）を形成でき、
この種の用途においては高感度材料として極めて有望で
ある。ここで感度とは、単位面積当シの記録部（この場
合はピット）形成に要するエネルギー（ｍＪ／ｃｒｎ）
で定義される。
しかしながらＴｅは大気中に放置された場合、酸素や水
分により酸化され、透明になる度合が速い。記録膜とし
て使用する場合、膜厚は７００Ｘ程度と極めて薄いため
、膜の酸化で生じた透明度の増加に起因する感度の劣化
は著しい。すなわち、膜が酸化されると、融解、蒸発温
度が上昇するとともに、透明化により光等のエネルギー
の吸収が少なくなるため、ピット形成に要するエネルギ
ーが大きくなり、感度の劣化を来たす。
分により酸化され、透明になる度合が速い。記録膜とし
て使用する場合、膜厚は７００Ｘ程度と極めて薄いため
、膜の酸化で生じた透明度の増加に起因する感度の劣化
は著しい。すなわち、膜が酸化されると、融解、蒸発温
度が上昇するとともに、透明化により光等のエネルギー
の吸収が少なくなるため、ピット形成に要するエネルギ
ーが大きくなり、感度の劣化を来たす。
例えば温度７０℃、相対湿度８５％の雰囲気に放置した
場合、約５時間で感度が約２０％低下し、約１５時間で
約５０％低下してしまう。
場合、約５時間で感度が約２０％低下し、約１５時間で
約５０％低下してしまう。
このため、Ｔｅ膜の酸化防止のために種々の対策がとら
れている。
れている。
その一つである安定無機物質でＴｅ膜をコーティングす
る方法は、Ｔｅ膜の酸化防止には有効であるが、感度を
低下させてしまうことと高価であることのため、実用化
されていない。一方、プラスチックコーティングは熱伝
導率が小さいことから感度を損なう度合が小さく有利で
あるが、酸素や水を比較的容易に透過させるため、Ｔｅ
膜の酸化防止にはあまり役立たない。
る方法は、Ｔｅ膜の酸化防止には有効であるが、感度を
低下させてしまうことと高価であることのため、実用化
されていない。一方、プラスチックコーティングは熱伝
導率が小さいことから感度を損なう度合が小さく有利で
あるが、酸素や水を比較的容易に透過させるため、Ｔｅ
膜の酸化防止にはあまり役立たない。
また、このような光学的情報記録媒体には、高密度で大
容量の記録が要求されるようになっておシ、そのため１
．５〜２μｍピッチで記録トラックを形成させる必要が
ある。その場合記録。
容量の記録が要求されるようになっておシ、そのため１
．５〜２μｍピッチで記録トラックを形成させる必要が
ある。その場合記録。
再生時のトラッキングを容易とするだめ、ガラス板に写
真蝕刻法により溝を設けたものを原盤としてアクリル板
にトラッキング用溝を転写する方法がとられていたが、
トラッキング用溝の精度とコスト面で問題があった。
真蝕刻法により溝を設けたものを原盤としてアクリル板
にトラッキング用溝を転写する方法がとられていたが、
トラッキング用溝の精度とコスト面で問題があった。
本発明は上記問題を解決するためになされたもので、高
感度の長寿命であって、しかもトラッキング用パターン
を精度よく簡単に形成できる光学的情報記録媒体を提供
することを目的とする。
感度の長寿命であって、しかもトラッキング用パターン
を精度よく簡単に形成できる光学的情報記録媒体を提供
することを目的とする。
本発明に係る光学的情報記録媒体は、特に基板上に被着
された記録膜にエネルギービームの照射により情報を孔
もしくは四部として記録するものであって、記録膜を低
融点金属またはその合金とＣおよびＨを含有する膜によ
って形成し、さらにこの記録膜に記録トラックに沿って
光反射率が周囲より高いドラッギング用パターンを予め
形成するようにしたことを特徴としており、これによっ
て高感度、長寿命かつ低ノイズの長所を兼ね備えるとと
もに、トラッキングを容易とし、さらに低コスト化を図
ったものである。ここで低融点金属としては、膜形成技
術および記録特性から２５〜６００℃の融点をもつ金属
が用いられる。このような低融的金属としては、例えば
Ｃｄ 、 Ｉｎ 、 Ｓｎ 、 Ｚｎ 、 Ｐｂ 、
Ｂｉ。
された記録膜にエネルギービームの照射により情報を孔
もしくは四部として記録するものであって、記録膜を低
融点金属またはその合金とＣおよびＨを含有する膜によ
って形成し、さらにこの記録膜に記録トラックに沿って
光反射率が周囲より高いドラッギング用パターンを予め
形成するようにしたことを特徴としており、これによっ
て高感度、長寿命かつ低ノイズの長所を兼ね備えるとと
もに、トラッキングを容易とし、さらに低コスト化を図
ったものである。ここで低融点金属としては、膜形成技
術および記録特性から２５〜６００℃の融点をもつ金属
が用いられる。このような低融的金属としては、例えば
Ｃｄ 、 Ｉｎ 、 Ｓｎ 、 Ｚｎ 、 Ｐｂ 、
Ｂｉ。
Ｔｅ等がある。これらの金属を単体で用いてもよいが、
それらの合金を用いることもできる。
それらの合金を用いることもできる。
すなわち、本発明は上記記録膜に比較的低エネルギーの
エネルギービームを照射すると高い光反射率が得られる
ことを利用［７て、トラッキング用パターンを形成し、
さらにより高いエネルギーのエネルギービームを照射す
ると孔まだは凹部ができて、逆に光反射率が低くなるこ
とを利用して情報の記録を行なうものである。
エネルギービームを照射すると高い光反射率が得られる
ことを利用［７て、トラッキング用パターンを形成し、
さらにより高いエネルギーのエネルギービームを照射す
ると孔まだは凹部ができて、逆に光反射率が低くなるこ
とを利用して情報の記録を行なうものである。
以下、図面を参照しながら本発明の実施、例を５−
詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。図にお
いて、１１は基板で本実施例では合成樹脂の１つである
アクリル板を用いるものとする。しかし他の合成樹脂板
またはガラス板であってもよく、情報の記録および読み
取り方法によって適宜選択することが可能である。そし
てこの基板ＩＩ上にＣおよびＨを含む低融点金属膜から
なる記録膜１２が形成される。この記録膜１２の膜厚は
十分な光反射率が得られる程度に厚く、かつ感度を損な
わない程度に薄いことが必要であり、２００Ｘ〜１μｍ
程度が適当である。
いて、１１は基板で本実施例では合成樹脂の１つである
アクリル板を用いるものとする。しかし他の合成樹脂板
またはガラス板であってもよく、情報の記録および読み
取り方法によって適宜選択することが可能である。そし
てこの基板ＩＩ上にＣおよびＨを含む低融点金属膜から
なる記録膜１２が形成される。この記録膜１２の膜厚は
十分な光反射率が得られる程度に厚く、かつ感度を損な
わない程度に薄いことが必要であり、２００Ｘ〜１μｍ
程度が適当である。
例えば低融点金属としてＴｅ膜を選んだ場合、記録膜１
２はＴｅをターケ゛ットとしてＣおよびＨを含むガス、
例えばメタン（ＣＨ４）とアルゴン（Ａｒ）との混合ガ
ス中でスパッタリングすることによシ得られる。ここで
Ｔｅ膜中のＣ，Ｈの含有量はＣＨ４とＡｒとの混合比お
よび印加高周波電力により自由に制御でき、例えばＣＨ
４／Ａｒ＝１６− の混合比で約０．３ Ｗ／ｃｍの高周波（１３，５６Ｍ
Ｈｚ）電力をＴｅターダットと基板１ノとの間に印加す
ると、Ｔｅに対して原子数比で０２のＣを含有した膜を
形成することができる。この場合、膜の組成式はＴｅ１
−ｘＣｘ （Ｈ）と書き表わすことができ、膜が化学的
に最も安定するＨの含有量はＸによって決まる。ここで
は膜中に水素ガス（Ｈ２）が発生するほど多量に含有さ
せない限り、■含有量は任意に選ぶことができる。さら
に膜厚はスノＲツタリング時間に比例するので、自由に
制御できる。
２はＴｅをターケ゛ットとしてＣおよびＨを含むガス、
例えばメタン（ＣＨ４）とアルゴン（Ａｒ）との混合ガ
ス中でスパッタリングすることによシ得られる。ここで
Ｔｅ膜中のＣ，Ｈの含有量はＣＨ４とＡｒとの混合比お
よび印加高周波電力により自由に制御でき、例えばＣＨ
４／Ａｒ＝１６− の混合比で約０．３ Ｗ／ｃｍの高周波（１３，５６Ｍ
Ｈｚ）電力をＴｅターダットと基板１ノとの間に印加す
ると、Ｔｅに対して原子数比で０２のＣを含有した膜を
形成することができる。この場合、膜の組成式はＴｅ１
−ｘＣｘ （Ｈ）と書き表わすことができ、膜が化学的
に最も安定するＨの含有量はＸによって決まる。ここで
は膜中に水素ガス（Ｈ２）が発生するほど多量に含有さ
せない限り、■含有量は任意に選ぶことができる。さら
に膜厚はスノＲツタリング時間に比例するので、自由に
制御できる。
記録膜１２の光学定数は膜組成によって決まり、上記の
実施例では約７００Ｘの膜厚で反射率が５０チと最大と
なシ、記録特性が最良となった。また、この条件で作成
した記録膜１２は非晶値であシ、多結晶Ｔｅ膜に比べて
記録状態の孔または凹部周辺ニップ部が滑らかとなシ、
情報再生時のノイズレベルを低くおさえることができる
。
実施例では約７００Ｘの膜厚で反射率が５０チと最大と
なシ、記録特性が最良となった。また、この条件で作成
した記録膜１２は非晶値であシ、多結晶Ｔｅ膜に比べて
記録状態の孔または凹部周辺ニップ部が滑らかとなシ、
情報再生時のノイズレベルを低くおさえることができる
。
本発明者は、上述したＣおよびＨを含有するＴｅ膜の低
融点金属あるいはその合金膜からなる記録膜１２は第１
図に示すように、おる一定値以上のエネルギーを有する
レーザービーム等のエネルギービーム１３を照射したと
き光反射率が上昇し、更に大きな一定値以上のエネルギ
ービームを照射すると凹部さらには孔が形成されて光反
射率が逆に初期値以下まで下がることを見い出しだ。第
２図は上記実施例によるＣおよびＨを含有するＴｅ膜か
らなる記録膜１２に記録膜１２面でのスポット径１μｍ
、波長８３０ ｎｍのレーザービームを４ ｍ／ｓの速
度で走査しながら照射した場合のビームエネルギーに対
する記録膜１２の光反射率の変化を示す。
融点金属あるいはその合金膜からなる記録膜１２は第１
図に示すように、おる一定値以上のエネルギーを有する
レーザービーム等のエネルギービーム１３を照射したと
き光反射率が上昇し、更に大きな一定値以上のエネルギ
ービームを照射すると凹部さらには孔が形成されて光反
射率が逆に初期値以下まで下がることを見い出しだ。第
２図は上記実施例によるＣおよびＨを含有するＴｅ膜か
らなる記録膜１２に記録膜１２面でのスポット径１μｍ
、波長８３０ ｎｍのレーザービームを４ ｍ／ｓの速
度で走査しながら照射した場合のビームエネルギーに対
する記録膜１２の光反射率の変化を示す。
すなわち、１．５〜３５ｍＷのレーザービームを４ ｍ
／ａで記録膜１２上を走査することによシ、光反射率が
５０チ（初期値）から８０チへと上昇することによって
、第３図に示すように記録トラックに沿ってトラッキン
グ用ノぐターン２ノを形成することができる。そしてさ
らに記録すべき情報に応じて変調（オン、オフ）された
３ ５ ｍＷ以上のレーザービームを同じ速度でトラッ
キング用パターン２１に沿って走査することによって、
情報に応じた孔または凹部２２を形成することが可能と
なる。この情報の記録に際しては、トラッキング用ノ４
ターン２１からの反射光または透過光を検出しながら、
記録用レーザービームの位置合せ、すなわちトラッキン
グを行うことにより、記録トラックピッチが１．５〜２
μｍといった高密度の記録を容易に達成するコトカでき
る。壕だトラッキング用ノ♀ターン２１は再生時のトラ
ッキングにも利用できることは勿論である。
／ａで記録膜１２上を走査することによシ、光反射率が
５０チ（初期値）から８０チへと上昇することによって
、第３図に示すように記録トラックに沿ってトラッキン
グ用ノぐターン２ノを形成することができる。そしてさ
らに記録すべき情報に応じて変調（オン、オフ）された
３ ５ ｍＷ以上のレーザービームを同じ速度でトラッ
キング用パターン２１に沿って走査することによって、
情報に応じた孔または凹部２２を形成することが可能と
なる。この情報の記録に際しては、トラッキング用ノ４
ターン２１からの反射光または透過光を検出しながら、
記録用レーザービームの位置合せ、すなわちトラッキン
グを行うことにより、記録トラックピッチが１．５〜２
μｍといった高密度の記録を容易に達成するコトカでき
る。壕だトラッキング用ノ♀ターン２１は再生時のトラ
ッキングにも利用できることは勿論である。
第４図は温度７０℃、相対湿度８５チの雰囲気中で時間
経過に対する感度の劣化の状態、すなわち寿命特性を、
従来のＴｅ単体からなる記録膜の場合Ａと本発明による
記録膜の場合Ｂとについて比較して示す図である。この
図における感度の劣化６、記録に必要なエネルギービー
ムのエネルギーの逆数の初期値に対する変化として表わ
されており、Ａ＋Ｂいずれも記録膜がア９− クリル基板上に形成された場合を示す。
経過に対する感度の劣化の状態、すなわち寿命特性を、
従来のＴｅ単体からなる記録膜の場合Ａと本発明による
記録膜の場合Ｂとについて比較して示す図である。この
図における感度の劣化６、記録に必要なエネルギービー
ムのエネルギーの逆数の初期値に対する変化として表わ
されており、Ａ＋Ｂいずれも記録膜がア９− クリル基板上に形成された場合を示す。
この図かられかるように、Ｔｅ単体からなる記録膜の場
合Ａで示すように時間経過とともに感度が劣化する。こ
れは時間とともに局部的な透明領域（シミ）が生ずるた
めで、約１７０時間経過後には記録膜全面にわたって感
度が劣化する。これに対し、本発明の実施例によるＣお
よびＨを含有するＴ８薄膜からなる記録膜の場合は、Ｂ
で示すように１，０００時間経過後もＴｅ単体からなる
記録膜に見られた様なシミは全く認められず、常にほぼ
一定の感度を保持しており、長寿命化を達成することが
わかる。
合Ａで示すように時間経過とともに感度が劣化する。こ
れは時間とともに局部的な透明領域（シミ）が生ずるた
めで、約１７０時間経過後には記録膜全面にわたって感
度が劣化する。これに対し、本発明の実施例によるＣお
よびＨを含有するＴ８薄膜からなる記録膜の場合は、Ｂ
で示すように１，０００時間経過後もＴｅ単体からなる
記録膜に見られた様なシミは全く認められず、常にほぼ
一定の感度を保持しており、長寿命化を達成することが
わかる。
第５図（、）は温度７０℃、相対湿度８５俤の条件下で
２０時間経過後のアクリル基板上の従来のＴｅ単体から
なる記録膜の表面状態を示す光学顕微鏡写真で、同図（
ｂ）は同条件下で１，０００時間放置された本発明の実
施例によるＣおよびＨを含有するＴｅ膜からなる記録膜
の表面状態を示す。
２０時間経過後のアクリル基板上の従来のＴｅ単体から
なる記録膜の表面状態を示す光学顕微鏡写真で、同図（
ｂ）は同条件下で１，０００時間放置された本発明の実
施例によるＣおよびＨを含有するＴｅ膜からなる記録膜
の表面状態を示す。
倍率は（ａ） 、 （ｂ）共に５０倍である。
また本発明による記録膜の感度、すなわち単一１０＝
位面積当りの孔または四部の形成に要するエネルギー（
ｍＪ／ｃｒｎ）は従来のＴｅ膜膜体体記録膜の感度と同
等かまたはわずかに上１わる程度の値を示すことか確認
された。すなわち本発明による光学的情報記録媒体は時
間経過に対する感度の劣化が少ないばかりでなく、高感
度という特長も兼ね備えている。
ｍＪ／ｃｒｎ）は従来のＴｅ膜膜体体記録膜の感度と同
等かまたはわずかに上１わる程度の値を示すことか確認
された。すなわち本発明による光学的情報記録媒体は時
間経過に対する感度の劣化が少ないばかりでなく、高感
度という特長も兼ね備えている。
なお、記録膜中のＣの含有量はＴｅに対して原子数比で
００５未満では上述した効果が認められず、またｐｏ、
ｓを越えると感度の低下が見られた。この点は記録膜に
Ｔｅ以外の低融点金属あるいはその合金を用いた場合も
同様である。従って記録膜中のＣの含有量ｄ１、金属元
素の総量に対し原子数比で０．０５〜０８の範囲にする
ことが望ましい。
００５未満では上述した効果が認められず、またｐｏ、
ｓを越えると感度の低下が見られた。この点は記録膜に
Ｔｅ以外の低融点金属あるいはその合金を用いた場合も
同様である。従って記録膜中のＣの含有量ｄ１、金属元
素の総量に対し原子数比で０．０５〜０８の範囲にする
ことが望ましい。
上記実施例では、記録膜をＣＨ４とＡｒとの混合ガス中
で反応性スパッタリングを行なうことによυ形成したが
、ＣＨ４とＴｅの蒸気とをプラズマ状にして基板にＣお
よびＨを含むｒｅ膜からなる記録膜を形成することも可
能である。また、Ｔ（］（ＣＨ３）２ （ツメチルテル
ル）やＴｅ（Ｃ２Ｈｓ）２（ジエチルテルル）を用いた
気相成長またはプラズマ気相成長によっても同様の記録
膜を形成することが可能である。さらに他の方法として
Ｔｅ。
で反応性スパッタリングを行なうことによυ形成したが
、ＣＨ４とＴｅの蒸気とをプラズマ状にして基板にＣお
よびＨを含むｒｅ膜からなる記録膜を形成することも可
能である。また、Ｔ（］（ＣＨ３）２ （ツメチルテル
ル）やＴｅ（Ｃ２Ｈｓ）２（ジエチルテルル）を用いた
気相成長またはプラズマ気相成長によっても同様の記録
膜を形成することが可能である。さらに他の方法として
Ｔｅ。
Ｃ，Ｈ原子の一部捷たけ全部をイオン化してビーム状と
して基板上に積もらせるようにしてもよい。
して基板上に積もらせるようにしてもよい。
低融金属としてはＺｎ （融点−３１９℃）。
Ｃｄ （３２０℃）等もＴｅと全く同様にＣＨ４とＡｒ
の混合ガス中でスパッタリングして、上記特性と同等の
特性を有する記録膜を得ることができ する。
の混合ガス中でスパッタリングして、上記特性と同等の
特性を有する記録膜を得ることができ する。
まだＢｉ２Ｔｅ３ （５８５℃）、Ｉｎ５ｂ（５３５℃
）等の合金も低融点として知られ、上記同様ス・（ツタ
リング法により上記特性の記録を形成することができる
。Ｂｉ（２７１℃）はスパッタリングは不可能であるが
、反応性蒸着によって上記特性を有する記録膜を形成す
ることができる。
）等の合金も低融点として知られ、上記同様ス・（ツタ
リング法により上記特性の記録を形成することができる
。Ｂｉ（２７１℃）はスパッタリングは不可能であるが
、反応性蒸着によって上記特性を有する記録膜を形成す
ることができる。
また上記ＣＨ４ガスは、Ｃ２Ｈ４（エチレン）ガスやＣ
２Ｈ２（アセチレン）ガスで置き換えることも可能であ
る。
２Ｈ２（アセチレン）ガスで置き換えることも可能であ
る。
このように本発明による光学的情報８［シ録媒体は長寿
命かつ高感度であるとともに、溝をトラッキング用パタ
ーンとする従来のもののように溝を形成した原盤を用い
ての転写工程等を要することなくトラッキング用パター
ンを簡単に程度よく形成することができるという利点を
有する。
命かつ高感度であるとともに、溝をトラッキング用パタ
ーンとする従来のもののように溝を形成した原盤を用い
ての転写工程等を要することなくトラッキング用パター
ンを簡単に程度よく形成することができるという利点を
有する。
第１図は本発明の一実施例を説明するだめの断面図、第
２図は同実施例における記録膜に照射されるレーザービ
ームのエネルギーと記録膜の光反射率との関係を示す図
、第３図は同実施例におけるトラッキング用パターンと
情報記録状態を示す平面図、第４図ｄ本発明の記録媒体
と従来の記録媒体との寿命特性を比較して示す図、第５
図（ａ） 、 （ｂ）は従来の記録媒体と本発明の記録
媒体における記録膜表面状態を示す顕微鏡写真である。 １１・・・基板、１２・・・記録膜、１３・・・エネル
ギービーム、２７・・・トラッキング用パターン、１３
− ２２・・・孔または四部。 １４− 第３図 第４図 膵造り早開（ｈ） 第５図 （ａ） （ｂ）
２図は同実施例における記録膜に照射されるレーザービ
ームのエネルギーと記録膜の光反射率との関係を示す図
、第３図は同実施例におけるトラッキング用パターンと
情報記録状態を示す平面図、第４図ｄ本発明の記録媒体
と従来の記録媒体との寿命特性を比較して示す図、第５
図（ａ） 、 （ｂ）は従来の記録媒体と本発明の記録
媒体における記録膜表面状態を示す顕微鏡写真である。 １１・・・基板、１２・・・記録膜、１３・・・エネル
ギービーム、２７・・・トラッキング用パターン、１３
− ２２・・・孔または四部。 １４− 第３図 第４図 膵造り早開（ｈ） 第５図 （ａ） （ｂ）
Claims (3)
- （１）基板と、この基板上に被着されエネルギービーム
の照射によシ孔または凹部が形成されることによって情
報を記録する記録膜とからなる光学的情報記録媒体にお
いて、前記記録膜は２５〜６００℃の融点をもつ金属ま
たはその合金とＣおよびＨを含有するものであって、記
録トラックに沿って光反射率が周囲より高いトラッキン
グ用ノターンが形成されたものであることを特徴とする
光学的情報記録媒体。 - （２） 記録膜中のＣの含有量は金属元素の総量に対
して原子数比で０．０５〜０，８であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体。 - （３） 記録膜の厚さは２００Ｘ〜１μｍであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の
光学的情報記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56169884A JPS6025278B2 (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 光学的情報記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56169884A JPS6025278B2 (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 光学的情報記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5871193A true JPS5871193A (ja) | 1983-04-27 |
| JPS6025278B2 JPS6025278B2 (ja) | 1985-06-17 |
Family
ID=15894735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56169884A Expired JPS6025278B2 (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 光学的情報記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6025278B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4450020A (en) * | 1982-07-01 | 1984-05-22 | Santrade Ltd. | Method of manufacturing cladding tubes of a zirconium-based alloy for fuel rods for nuclear reactors |
| JPS59160841A (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-11 | Toshiba Corp | 光学的記録媒体膜 |
| JPS63221090A (ja) * | 1987-03-10 | 1988-09-14 | Toray Ind Inc | 光記録媒体 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11466381B2 (en) | 2018-02-23 | 2022-10-11 | Sumco Corporation | Quartz glass crucible |
-
1981
- 1981-10-23 JP JP56169884A patent/JPS6025278B2/ja not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4450020A (en) * | 1982-07-01 | 1984-05-22 | Santrade Ltd. | Method of manufacturing cladding tubes of a zirconium-based alloy for fuel rods for nuclear reactors |
| JPS59160841A (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-11 | Toshiba Corp | 光学的記録媒体膜 |
| JPS63221090A (ja) * | 1987-03-10 | 1988-09-14 | Toray Ind Inc | 光記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6025278B2 (ja) | 1985-06-17 |
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