JPS5871444A - 電子線回折装置 - Google Patents
電子線回折装置Info
- Publication number
- JPS5871444A JPS5871444A JP56169559A JP16955981A JPS5871444A JP S5871444 A JPS5871444 A JP S5871444A JP 56169559 A JP56169559 A JP 56169559A JP 16955981 A JP16955981 A JP 16955981A JP S5871444 A JPS5871444 A JP S5871444A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angle
- sample
- electron beam
- mark
- diffraction
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20058—Measuring diffraction of electrons, e.g. low energy electron diffraction [LEED] method or reflection high energy electron diffraction [RHEED] method
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本＠羽は、電子＃ｖＡ＃ｒ”ターンを表示する装置の改
良に関する〇 結晶性試料暑ζよる電子線回折ｌこ基づく回折パターン
には攬々のものがあるが・、その記録や解析には回折条
件から求まる回折パターンにおける回折角度を知る必要
がある。又、回折ｔｆターンの記録には／ｆターンにお
けるある長さが何度の回折角度に相当するかを合わせて
記録してお（必要があり、かなり＃ｉＷ４であった。本
発明は回折−寸ターンを螢光板や写真乾板に直接表示し
たり記録する代わりにブラウン管（ＣＲＴ）等の画面内
に間接的に回折／パターンを表示する装置を対象として
回折角度の配縁を容易にすることを目的とするものであ
り、ＣＲＴ等の画像表示手段の画面内に回折角のスケー
ルとして長さを示すマークを表示することを特徴とする
ものである。
良に関する〇 結晶性試料暑ζよる電子線回折ｌこ基づく回折パターン
には攬々のものがあるが・、その記録や解析には回折条
件から求まる回折パターンにおける回折角度を知る必要
がある。又、回折ｔｆターンの記録には／ｆターンにお
けるある長さが何度の回折角度に相当するかを合わせて
記録してお（必要があり、かなり＃ｉＷ４であった。本
発明は回折−寸ターンを螢光板や写真乾板に直接表示し
たり記録する代わりにブラウン管（ＣＲＴ）等の画面内
に間接的に回折／パターンを表示する装置を対象として
回折角度の配縁を容易にすることを目的とするものであ
り、ＣＲＴ等の画像表示手段の画面内に回折角のスケー
ルとして長さを示すマークを表示することを特徴とする
ものである。
以下、図面に基づいて本発明を詳述する。
！Ｉ１図は、本発明を走査電子顕微鏡に適用した一実施
例装置の構成を示す略図である。１図中、１は真空に保
たれた鏡筒を示しており、その内部には電子銃２と試料
ステージ６の間１こ第１コンデンサーレンズ４（図示せ
ず）、第２コンデンサーレンズ５、第１ｆＲ偏向コイル
６ｘ、６７ 、第２段偏向コイル’Ｘａ７ｙｅ対物レン
ズ（最終段コンデンサーレンズ）８９反射電子線検出器
９．試料１０等が収納されている。電子銃２から発生す
る電子線１１の加速電圧は高圧電源１２を調整すること
ｌζよって可変され、試料１０の高さ位置は試料ステ−
ジ６を調整することｉこよって可変されるが、このよう
な変化ｉζ対して電子線の集束状態を保持するためにレ
ンズ電源１５．１４の出力を１ｉｉｌｉする〇前記偏向
コイル６ｘ、６ｙはスイッチ１５を１オン１にしたとき
ｌこはコイル７ｘ、７ｙと直列に接続され、“オフ１１
１こしたときｌζはコイル６ｘ、６ｙｌこのみ走査電源
１６からの水平鋸歯状波信号と垂直鋸歯状波信号が可変
アンプ１７を経て供給される◎走査電源１６の出力信号
はブラウン管（ｃＩＬ’ｒ）１ａの偏向コイル１９ｘ、
１９ｙｌこも供給されており、その輝度変調グリッドの
一部には前配電子線検出器９の出力がアンプ２０を経て
供給されでいるので、そのｔｉｉ面には電子−の回折現
象ｌこよるチャンネリング・Ｉ４ターン又は走査像が表
示される。鍍表示の切換えはモード切換手段２１の出力
によって制御される中央制御値［２２によって行われる
。中央制御装置２２＃ｃは前記可変アンプの増幅度を変
化させる倍率切換手段２６の倍率信号や、前記高圧電源
１２の出力に対応する加速電圧信号や、紡紀試料ステー
ジ＆ＩＣよる試料位置の高さを表わす高さ信号も入力さ
れており、これらの信号に基づいて第２コンデンサーレ
ンズの電源１６やスイッチ１５を制御すると共ｆζ、文
字信号発生手段２４やマーク信号発生子Ｒ２５Ｒ：信号
を与えてブラウン管１８の画ｌＩＮに後述するようなマ
ークや数字を表示させる。
例装置の構成を示す略図である。１図中、１は真空に保
たれた鏡筒を示しており、その内部には電子銃２と試料
ステージ６の間１こ第１コンデンサーレンズ４（図示せ
ず）、第２コンデンサーレンズ５、第１ｆＲ偏向コイル
６ｘ、６７ 、第２段偏向コイル’Ｘａ７ｙｅ対物レン
ズ（最終段コンデンサーレンズ）８９反射電子線検出器
９．試料１０等が収納されている。電子銃２から発生す
る電子線１１の加速電圧は高圧電源１２を調整すること
ｌζよって可変され、試料１０の高さ位置は試料ステ−
ジ６を調整することｉこよって可変されるが、このよう
な変化ｉζ対して電子線の集束状態を保持するためにレ
ンズ電源１５．１４の出力を１ｉｉｌｉする〇前記偏向
コイル６ｘ、６ｙはスイッチ１５を１オン１にしたとき
ｌこはコイル７ｘ、７ｙと直列に接続され、“オフ１１
１こしたときｌζはコイル６ｘ、６ｙｌこのみ走査電源
１６からの水平鋸歯状波信号と垂直鋸歯状波信号が可変
アンプ１７を経て供給される◎走査電源１６の出力信号
はブラウン管（ｃＩＬ’ｒ）１ａの偏向コイル１９ｘ、
１９ｙｌこも供給されており、その輝度変調グリッドの
一部には前配電子線検出器９の出力がアンプ２０を経て
供給されでいるので、そのｔｉｉ面には電子−の回折現
象ｌこよるチャンネリング・Ｉ４ターン又は走査像が表
示される。鍍表示の切換えはモード切換手段２１の出力
によって制御される中央制御値［２２によって行われる
。中央制御装置２２＃ｃは前記可変アンプの増幅度を変
化させる倍率切換手段２６の倍率信号や、前記高圧電源
１２の出力に対応する加速電圧信号や、紡紀試料ステー
ジ＆ＩＣよる試料位置の高さを表わす高さ信号も入力さ
れており、これらの信号に基づいて第２コンデンサーレ
ンズの電源１６やスイッチ１５を制御すると共ｆζ、文
字信号発生手段２４やマーク信号発生子Ｒ２５Ｒ：信号
を与えてブラウン管１８の画ｌＩＮに後述するようなマ
ークや数字を表示させる。
第２図はモード切換手段２・１を走査像モード番こ操作
した場合の電子線１１の経路を示すもので１簡略化のた
めコンデンサーレンズ４．５％対物レンズ８や偏向コイ
ル”、６７ ｅ ７ｘ、７ｙのレンズ主面又は偏向主面
は棒線又は破線で示しである０図中、第２コンデンサー
レンズ５１とよってＰＩの位置に結像した電子線のクロ
スオーバー像は対物レンズ８１こよって試料６Ｊ：に結
像される口このとき第１段目の偏向コイル６、 、６７
１こよって紙面の左側に電子線が偏向されると第２゛段
目の偏向コイル７ｘ、７ｙｌこよって対物レンズ８の中
心を通過するように振り戻されるので、２段の偏向コイ
ルの夫々５ζＸｅｙ方向の鋸歯状波電流を供給すると試
料面上の一定領域が電子線ｉζよって走査されることに
なる。又、鋏走査と同期した鋸歯状波電流がＣＲＴ１８
の偏向コイル１９ｘ、１９ｙＫ供給され、試料から発生
する反射電子線が検出器９により検出され、ＣＢ’Ｉ’
１８の輝度変調信号として供給されているのでＣｔＴ１
８の画面ｌこは試料表ｒＪ暑こ関する走査像が表示され
る。
した場合の電子線１１の経路を示すもので１簡略化のた
めコンデンサーレンズ４．５％対物レンズ８や偏向コイ
ル”、６７ ｅ ７ｘ、７ｙのレンズ主面又は偏向主面
は棒線又は破線で示しである０図中、第２コンデンサー
レンズ５１とよってＰＩの位置に結像した電子線のクロ
スオーバー像は対物レンズ８１こよって試料６Ｊ：に結
像される口このとき第１段目の偏向コイル６、 、６７
１こよって紙面の左側に電子線が偏向されると第２゛段
目の偏向コイル７ｘ、７ｙｌこよって対物レンズ８の中
心を通過するように振り戻されるので、２段の偏向コイ
ルの夫々５ζＸｅｙ方向の鋸歯状波電流を供給すると試
料面上の一定領域が電子線ｉζよって走査されることに
なる。又、鋏走査と同期した鋸歯状波電流がＣＲＴ１８
の偏向コイル１９ｘ、１９ｙＫ供給され、試料から発生
する反射電子線が検出器９により検出され、ＣＢ’Ｉ’
１８の輝度変調信号として供給されているのでＣｔＴ１
８の画面ｌこは試料表ｒＪ暑こ関する走査像が表示され
る。
第３図はモード切換手段２１をチャンネリングモードｉ
Ｃ操作した場合の電子＠１１の経線を示すもので、中央
制御値＠２２ｊこよってレンズ電＄１５の出力電流が減
少し、第２コンデンサーレンズ５によるクロスオーバー
像の結像位１１Ｐｔが対物レンズ８の前方焦点爾上に下
がる０その結果、試料面には直径の小さい平行な電子線
が照射される〇一方、中央制御回路２２によってスイッ
チ１５が”オン１状ｍｋ切り換えられるため、第ＨＲ目
の偏向コイル７、．７７には鋸歯状波電流が供給されな
くなり、第１Ｒ目の偏向コイル６ζよって偏向された電
子線は対物レンズ８の中心に振り戻されることな（対物
レンズ磁場の軸外へ入射してレンズ磁場による属折作用
を受は試料６上に入射角θで照射する〇嬉ｌＲ目の偏向
コイルに供給される電流が変化すると電子線の入射角−
及び苦しくｉよ方位角Ｐが変化するが対物レンズ８の励
磁強直がｇｉＲの偏向−を物面として試料面位置が像耐
となるように設定されているので、電子線の試料照射位
置は常に一定に保たれる。このようＩζして、試料上の
特定な微小領域に関して電子線による角度走査が行われ
、ＣＲＴ画函内の（走査）位置は夫々電子線の試料入射
角ｔ０と方位角ｔｐに対応することξζなる０試料６が
結晶構造を催している場合、特定方向から電子線が入射
すると反射電子強度が強まつたり弱められたりするので
反射電子線強度を輝度変調信号とするＣＲＴｌＢの画Ｉ
Ｉｆ１ζは所謂擬菊地−ターン（チャンネリング・−寸
ターン）が表示される。第４図（ａｌはこのようなチャ
ンネリング・パターンが表示されるＣ ＲＴｉｉｉ面の
様子を示すもので、その右寄下方にバー・マークと数字
１０ がｔ４ターンに重畳して表示されている。これ
はＣＲＴ画市内の中心（角度０＝θ°）からバー・マー
クの長さ離れた位置が角度θ＝１００であることを意味
しでおり、チャンネリング−寸ターンを観察しながら試
料の解析を行う場合、容易にパターン内の角度を知るこ
とが出来るので極めて便利である。又、ＣＲＴｉｊｉ面
を写真撮影した後（ζどのように拡大して写真を焼付し
てもチャンネリング・パターンの内部に角度マークが表
示されているので、記録との照合や換算計算を間違える
虞れも生じない。第４図１ｂｌは第４図（ｍｌの状態か
ら倍率切換２６を操作して角度走査用の偏向コイル６に
、６．へ加える鋸歯状波電流の波高値を１倍にした状態
を示し、ＣＢ’ｆ’画偉内のチャンネリング−寸ターン
の長さが２倍に拡大される。この変化は中央制御Ｍ［２
２によってモニターされておりマーク信号発生子ＲＩζ
よるＣ ＲＴｉｉｉｌｌ内の７−り長さが２倍１こなる
ように変化させるので、ＣＲＴｉ１ｇ内の角度表示は常
に正しく保たれる。又、このようにバー参マークの長さ
が入射角の一定値（１Ｇ）を表示するようｌこ変化され
れば、文字″１１０１を表示することは不要となる０こ
れとは逆に、ＣＲＴｇ面内ｌこ表示されるバー−マーク
の兼さを一定に保ったまま、その長さに対応する入射角
θを表わす数字を第４図１ｂｌに示すよう＃ｃ ｔｏ
から ２０ のように変化させても本発明の目的を達
成することが可能である。
Ｃ操作した場合の電子＠１１の経線を示すもので、中央
制御値＠２２ｊこよってレンズ電＄１５の出力電流が減
少し、第２コンデンサーレンズ５によるクロスオーバー
像の結像位１１Ｐｔが対物レンズ８の前方焦点爾上に下
がる０その結果、試料面には直径の小さい平行な電子線
が照射される〇一方、中央制御回路２２によってスイッ
チ１５が”オン１状ｍｋ切り換えられるため、第ＨＲ目
の偏向コイル７、．７７には鋸歯状波電流が供給されな
くなり、第１Ｒ目の偏向コイル６ζよって偏向された電
子線は対物レンズ８の中心に振り戻されることな（対物
レンズ磁場の軸外へ入射してレンズ磁場による属折作用
を受は試料６上に入射角θで照射する〇嬉ｌＲ目の偏向
コイルに供給される電流が変化すると電子線の入射角−
及び苦しくｉよ方位角Ｐが変化するが対物レンズ８の励
磁強直がｇｉＲの偏向−を物面として試料面位置が像耐
となるように設定されているので、電子線の試料照射位
置は常に一定に保たれる。このようＩζして、試料上の
特定な微小領域に関して電子線による角度走査が行われ
、ＣＲＴ画函内の（走査）位置は夫々電子線の試料入射
角ｔ０と方位角ｔｐに対応することξζなる０試料６が
結晶構造を催している場合、特定方向から電子線が入射
すると反射電子強度が強まつたり弱められたりするので
反射電子線強度を輝度変調信号とするＣＲＴｌＢの画Ｉ
Ｉｆ１ζは所謂擬菊地−ターン（チャンネリング・−寸
ターン）が表示される。第４図（ａｌはこのようなチャ
ンネリング・パターンが表示されるＣ ＲＴｉｉｉ面の
様子を示すもので、その右寄下方にバー・マークと数字
１０ がｔ４ターンに重畳して表示されている。これ
はＣＲＴ画市内の中心（角度０＝θ°）からバー・マー
クの長さ離れた位置が角度θ＝１００であることを意味
しでおり、チャンネリング−寸ターンを観察しながら試
料の解析を行う場合、容易にパターン内の角度を知るこ
とが出来るので極めて便利である。又、ＣＲＴｉｊｉ面
を写真撮影した後（ζどのように拡大して写真を焼付し
てもチャンネリング・パターンの内部に角度マークが表
示されているので、記録との照合や換算計算を間違える
虞れも生じない。第４図１ｂｌは第４図（ｍｌの状態か
ら倍率切換２６を操作して角度走査用の偏向コイル６に
、６．へ加える鋸歯状波電流の波高値を１倍にした状態
を示し、ＣＢ’ｆ’画偉内のチャンネリング−寸ターン
の長さが２倍に拡大される。この変化は中央制御Ｍ［２
２によってモニターされておりマーク信号発生子ＲＩζ
よるＣ ＲＴｉｉｉｌｌ内の７−り長さが２倍１こなる
ように変化させるので、ＣＲＴｉ１ｇ内の角度表示は常
に正しく保たれる。又、このようにバー参マークの長さ
が入射角の一定値（１Ｇ）を表示するようｌこ変化され
れば、文字″１１０１を表示することは不要となる０こ
れとは逆に、ＣＲＴｇ面内ｌこ表示されるバー−マーク
の兼さを一定に保ったまま、その長さに対応する入射角
θを表わす数字を第４図１ｂｌに示すよう＃ｃ ｔｏ
から ２０ のように変化させても本発明の目的を達
成することが可能である。
第Ｓ図（ａ）は前述した走査像モードにおけるＣＲＴ画
函の一例を示すもので、右寄り下方のバー・マークと数
字は夫々ＣＲＴｉｊ函の基準長さとその試料上に換算し
た長さ例えば１００μ（ミクロン）の倍であったとする
と、２０００倍に切換えた状態が第５図ｔｋｌ＋である
。この（ｂ１図１こおいては１００μを表わす数字１０
０は変わらずにパー−マークの長さが２倍に変化する口
このように像倍率の変化に拘らず常ｉζ試料上の一定長
さ１００μを表わすようにすれば数字 １００ を表示
ｒる必要がなくなる０又、これとは逆に第５図１ｃ）
Ｉζ示す如くバー・マークの長さを一定に保ったままバ
ー・マークが表わす試（ミクロン）のよう＃Ｃ表示して
も同じ効果が得られる。
函の一例を示すもので、右寄り下方のバー・マークと数
字は夫々ＣＲＴｉｊ函の基準長さとその試料上に換算し
た長さ例えば１００μ（ミクロン）の倍であったとする
と、２０００倍に切換えた状態が第５図ｔｋｌ＋である
。この（ｂ１図１こおいては１００μを表わす数字１０
０は変わらずにパー−マークの長さが２倍に変化する口
このように像倍率の変化に拘らず常ｉζ試料上の一定長
さ１００μを表わすようにすれば数字 １００ を表示
ｒる必要がなくなる０又、これとは逆に第５図１ｃ）
Ｉζ示す如くバー・マークの長さを一定に保ったままバ
ー・マークが表わす試（ミクロン）のよう＃Ｃ表示して
も同じ効果が得られる。
ところで、試料を照射する電子線の加速電圧や試料の高
さ位置を変化させると電子レンズの焦点距離や偏向コイ
ルによる偏向角が変化し、又第２図や第３図に示す光学
系も変化するので、このような変化によるＣＲＴｊｉｉ
ｆｆｉ内のバー・マーク表示や数字表示のズレを補正す
るための演算が中央制御装［２２＋ζおいて行われる０ 以上に詳説した如く、本発ｄＡによれば電子線回折に基
づく回折Ｉくターンが表示されるＣＲＴ画面内に角度ス
ケールとして長さを示すマークが表示されるため、回折
−寸ターンの解析や記録を極めて容易に行うことが可能
となる０又、第１図の実施例装置の如く、所謂ミクロン
マーカー機能を持つ走査電子顕微鏡を用いれば、ＣＢＴ
ｍ面にマークを表示するための手段を共用することがで
きるので、僅かな附加手段を設けるだけで本＠明をＩＪ
！施することが可能となる。
さ位置を変化させると電子レンズの焦点距離や偏向コイ
ルによる偏向角が変化し、又第２図や第３図に示す光学
系も変化するので、このような変化によるＣＲＴｊｉｉ
ｆｆｉ内のバー・マーク表示や数字表示のズレを補正す
るための演算が中央制御装［２２＋ζおいて行われる０ 以上に詳説した如く、本発ｄＡによれば電子線回折に基
づく回折Ｉくターンが表示されるＣＲＴ画面内に角度ス
ケールとして長さを示すマークが表示されるため、回折
−寸ターンの解析や記録を極めて容易に行うことが可能
となる０又、第１図の実施例装置の如く、所謂ミクロン
マーカー機能を持つ走査電子顕微鏡を用いれば、ＣＢＴ
ｍ面にマークを表示するための手段を共用することがで
きるので、僅かな附加手段を設けるだけで本＠明をＩＪ
！施することが可能となる。
第１図は、本発明の一実施ガ装置を示す略図、第２図及
び第３図は夫々第１図の装置における電子光学系を示す
略図、第４図及び第５図は第１図の装置の動作を説明す
るための略図である。 ２：電子銃、６：試料ステージ、４：第１コンデンサー
レンズ、５：５％２コンデンサーレンズ、６ｘ、６ｙ：
＠１段偏向コイル、７ｘ、７ｙ：第２ｆ＆偏向コイル、
８：対物レンズ、９：反射電子線検出器、１０：に料、
１１：電子線、１２：高圧電源、１６．１４ ：レンズ
電源、１５：スイッチ、１６：走査電源、１７：可変ア
ンプ、２１：走査モード切換手段、２２：中央制御装置
、２６：倍率切換手段、２４：文字信号発生手段、２５
：マーク信号発生手段。 （ａ） （ｂ） （ｃ）第４
図 （Ｑ） （ｂ） （Ｃ）オＳ図
び第３図は夫々第１図の装置における電子光学系を示す
略図、第４図及び第５図は第１図の装置の動作を説明す
るための略図である。 ２：電子銃、６：試料ステージ、４：第１コンデンサー
レンズ、５：５％２コンデンサーレンズ、６ｘ、６ｙ：
＠１段偏向コイル、７ｘ、７ｙ：第２ｆ＆偏向コイル、
８：対物レンズ、９：反射電子線検出器、１０：に料、
１１：電子線、１２：高圧電源、１６．１４ ：レンズ
電源、１５：スイッチ、１６：走査電源、１７：可変ア
ンプ、２１：走査モード切換手段、２２：中央制御装置
、２６：倍率切換手段、２４：文字信号発生手段、２５
：マーク信号発生手段。 （ａ） （ｂ） （ｃ）第４
図 （Ｑ） （ｂ） （Ｃ）オＳ図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｌ 納品性試料による電子線回折に基づく回折／くター
ンを画像表示手段に間接的に表示する回折装置において
、前記画像表示手段の表示画鋼内に角度のスケールとし
て長さを示すマークを表示する手段を設けたことを特徴
とする電子線回折装置 龜 細い平行な電子線ｌこよる試料照射の位置を一定に
保らつつ―ｉｋ！電子線の入射角θと方位角−を偏向手
段を用いて角ＩＩＬ揚引すると共＃ＣＣ内角度掃引こ同
期した信号が供給されるＦｉｉ４４ａ表示手段のｊｉｆ
ＩＩＩＬ変調信号として前記試料から得られる検出信号
を用いるように構成した装置ｇ：おいて、＃ｉ記画像宍
示手段の画面内に長さを示すマークと、該マークの長さ
に対応する鉤記入射角、０の値を表わす数字若しくは記
号を表示するための手段を設けたことを特徴とする電子
４ＩＩｇｌ折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56169559A JPS5871444A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 電子線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56169559A JPS5871444A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 電子線回折装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5871444A true JPS5871444A (ja) | 1983-04-28 |
| JPH0571903B2 JPH0571903B2 (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=15888702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56169559A Granted JPS5871444A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 電子線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5871444A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60143749A (ja) * | 1983-12-29 | 1985-07-30 | Kawasaki Steel Corp | 電子線回折像自動測定装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4721345A (ja) * | 1971-03-13 | 1972-10-03 | ||
| JPS55166854A (en) * | 1979-06-15 | 1980-12-26 | Hitachi Ltd | Scanning electron microscope and magnification display unit in its simulator |
-
1981
- 1981-10-23 JP JP56169559A patent/JPS5871444A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4721345A (ja) * | 1971-03-13 | 1972-10-03 | ||
| JPS55166854A (en) * | 1979-06-15 | 1980-12-26 | Hitachi Ltd | Scanning electron microscope and magnification display unit in its simulator |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60143749A (ja) * | 1983-12-29 | 1985-07-30 | Kawasaki Steel Corp | 電子線回折像自動測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0571903B2 (ja) | 1993-10-08 |
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