JPS5871708A - 水晶振動子容器 - Google Patents
水晶振動子容器Info
- Publication number
- JPS5871708A JPS5871708A JP16981181A JP16981181A JPS5871708A JP S5871708 A JPS5871708 A JP S5871708A JP 16981181 A JP16981181 A JP 16981181A JP 16981181 A JP16981181 A JP 16981181A JP S5871708 A JPS5871708 A JP S5871708A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- flat
- etching
- crystal oscillator
- support case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 18
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
- H03H9/1021—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は偏平型の水晶振動子容器の材質に関するもので
ある。
ある。
近年小型薄型水晶腕時計の需要が高まり、それに伴い水
晶振動子の小型化、薄型化の要望が強まっている。
晶振動子の小型化、薄型化の要望が強まっている。
第１図及び第２図は偏平型水晶振動子の断面図で、第１
図は第１の従来例、第２図は支持ケースに二段エツチン
グを施した第２の従来例である。
図は第１の従来例、第２図は支持ケースに二段エツチン
グを施した第２の従来例である。
従来は第１図に示すような偏平型の小型薄型水晶振動子
を使用していた。第１図において支持ケース１はガラス
板にハーフエツチングによって凹部１ａを施したもので
ある。該凹部１ａの上面１ｂに水晶片２を固着し、蓋体
３＆Ｃよって水晶片２を気密封止する構造をとる。
を使用していた。第１図において支持ケース１はガラス
板にハーフエツチングによって凹部１ａを施したもので
ある。該凹部１ａの上面１ｂに水晶片２を固着し、蓋体
３＆Ｃよって水晶片２を気密封止する構造をとる。
このような構造において更に薄型化の要望に対しては支
持ケース１を薄くしてゆく必要がある。支持ケース１を
薄くしてゆくためにはその材料であるガラス板の厚みを
薄くしてゆがねばならない。
持ケース１を薄くしてゆく必要がある。支持ケース１を
薄くしてゆくためにはその材料であるガラス板の厚みを
薄くしてゆがねばならない。
しかしガラスの場合、厚み０．５ ｍｍ程度までは現在
比較的容易に加工できるが０．３ ｍｍ以下になってく
るとその加工技術が１非常に難しく従ってコスト高にな
る。また薄いガラスを使用できたとしても支持ケースの
製造加工中のバターニング工程における熱による影響で
反りや破壊されるものが多く歩留りを悪（していた。
比較的容易に加工できるが０．３ ｍｍ以下になってく
るとその加工技術が１非常に難しく従ってコスト高にな
る。また薄いガラスを使用できたとしても支持ケースの
製造加工中のバターニング工程における熱による影響で
反りや破壊されるものが多く歩留りを悪（していた。
このため偏平型水晶振動子の薄型化が困難であった。
更には第１図に示す構成の水晶振動子の場合蓋体６は金
属を紋り加工によりプレス抜きするため蓋体６の封止面
６ａの面精度が悪くなり、気密−封止が難しく歩留りが
低下するという欠点をも有していた。
属を紋り加工によりプレス抜きするため蓋体６の封止面
６ａの面精度が悪くなり、気密−封止が難しく歩留りが
低下するという欠点をも有していた。
第１図に示す従来例の欠点を改良するため、第２の従来
例として第２図に示す偏平型の水晶振動子を使用した。
例として第２図に示す偏平型の水晶振動子を使用した。
第２図において支持ケース４はガラス板に第１ハーフエ
ツチングによる第１凹部４ａおよび第２ハーフエツチン
グによる第２凹部４ｂを施したいわゆる二段ハーフエツ
チングされたものである。
ツチングによる第１凹部４ａおよび第２ハーフエツチン
グによる第２凹部４ｂを施したいわゆる二段ハーフエツ
チングされたものである。
５は金属またはガラスなどからなる平板の蓋体で、水晶
片２を第１凹部４ａの上面４Ｃに固着した後蓋体５で気
密封止する構成をとる。この二段ハーフエツチングの製
法により支持ケース４のガラス材を比較的厚くすること
ができるようになったため水晶振動子の薄型化は可能と
なってきたが小型化は困難であった。すなわちガラスの
エツチングにおいてはガラスが非晶質であるためにエツ
チングは等１的に進行しエツチングマスク下へのサイド
エッチが太き（、第３図に示すサイドエッチの大きさを
表わす尺度であるエッチファクターｄ ／ｒが極めて小
さくなる。またエッチファクターの値もバラつくため寸
法精度を確保することが難しくバラツキ量を見込んだ設
計をする必要があり、偏平型水晶振動子の小型化が困難
であるという欠点を有していた。尚６はＡ１１などの金
属よりなるエツチングマスクである。
片２を第１凹部４ａの上面４Ｃに固着した後蓋体５で気
密封止する構成をとる。この二段ハーフエツチングの製
法により支持ケース４のガラス材を比較的厚くすること
ができるようになったため水晶振動子の薄型化は可能と
なってきたが小型化は困難であった。すなわちガラスの
エツチングにおいてはガラスが非晶質であるためにエツ
チングは等１的に進行しエツチングマスク下へのサイド
エッチが太き（、第３図に示すサイドエッチの大きさを
表わす尺度であるエッチファクターｄ ／ｒが極めて小
さくなる。またエッチファクターの値もバラつくため寸
法精度を確保することが難しくバラツキ量を見込んだ設
計をする必要があり、偏平型水晶振動子の小型化が困難
であるという欠点を有していた。尚６はＡ１１などの金
属よりなるエツチングマスクである。
本発明はかかる欠点を除去するもので、小型・薄型の偏
平型水晶振動子を得ることを目的とする。
平型水晶振動子を得ることを目的とする。
本発明は従来の偏平型水晶振動子の二段／”ｔ−フエン
チングされた支持ケース及び蓋体のうち少くとも一方の
材質を水晶板としたことである。
チングされた支持ケース及び蓋体のうち少くとも一方の
材質を水晶板としたことである。
第４図に本発明を使用した偏平型水晶振動子の断面図を
示す。尚従来例と同一符号のものは説明を省略する。
示す。尚従来例と同一符号のものは説明を省略する。
７は二段ハーフエツチングが施された水晶板よりなる支
持ケース。７ａおよび７ｂはエツチングにより形成され
た側壁部である。段のついた側の側壁部７ｂには水晶片
からの電極引きだしのパターンが形成されるため、パタ
ーン形成が容易にできるような適、当な傾斜をもたせて
いる。それに対し反対側の側壁部７ａはほぼ直立してお
り、衝撃などによる水晶片２と支持ケース７との衝突を
避は得る程度に水晶片２と支持ケース７の段付部の反対
側の側壁部７ｂとの間隙を最小に確保できる構造となっ
ている。
持ケース。７ａおよび７ｂはエツチングにより形成され
た側壁部である。段のついた側の側壁部７ｂには水晶片
からの電極引きだしのパターンが形成されるため、パタ
ーン形成が容易にできるような適、当な傾斜をもたせて
いる。それに対し反対側の側壁部７ａはほぼ直立してお
り、衝撃などによる水晶片２と支持ケース７との衝突を
避は得る程度に水晶片２と支持ケース７の段付部の反対
側の側壁部７ｂとの間隙を最小に確保できる構造となっ
ている。
支持ケースの材料を水晶板としたことにより、水晶の結
晶軸によるエツチング速度の違い、すなわち異方性エツ
チングを利用したサイドエッチの少ないいわゆるエッチ
ファクターの大きな精度の高い二段ハーフエツチングが
でき、偏平型水晶振動子を小型薄型化することができた
。
晶軸によるエツチング速度の違い、すなわち異方性エツ
チングを利用したサイドエッチの少ないいわゆるエッチ
ファクターの大きな精度の高い二段ハーフエツチングが
でき、偏平型水晶振動子を小型薄型化することができた
。
また蓋体５を金属あるいはガラスなどの平板とできたた
め、蓋体５はエツチング等により製作可能のため封止面
５ａの面精度が良くなり、気密封止の歩留りが向上し信
頼性も高まった。
め、蓋体５はエツチング等により製作可能のため封止面
５ａの面精度が良くなり、気密封止の歩留りが向上し信
頼性も高まった。
また側壁部７ａと７ｂのそれぞれの傾斜角は一般的には
異なる。これは水晶の結晶構造に由来するものである。
異なる。これは水晶の結晶構造に由来するものである。
水晶板の切り出し角度を適当に選ぶことにより、段付側
の反対側の側壁部７ａの傾斜角を略直角とすることがで
き、段付側の側壁部７ｂの傾斜を電極パターンが形成し
やすいようにすることも可能である。
の反対側の側壁部７ａの傾斜角を略直角とすることがで
き、段付側の側壁部７ｂの傾斜を電極パターンが形成し
やすいようにすることも可能である。
以上偏平型水晶振動子容器の構成部品である支持ケース
のみについて述べてきたが、第５図に示す本発明の他の
実施例のように、蓋体の材料を水晶板とし二段ハーフエ
ツチングすることもできる。
のみについて述べてきたが、第５図に示す本発明の他の
実施例のように、蓋体の材料を水晶板とし二段ハーフエ
ツチングすることもできる。
第５図は断面図であり、この水晶振動子においては、支
持ケース７と蓋体８の製造を共通の工程で行なえる部分
が多（、量産効果を上げ、コストダウンへの効果が太き
（廉価の水晶振動子を得ることができる。
持ケース７と蓋体８の製造を共通の工程で行なえる部分
が多（、量産効果を上げ、コストダウンへの効果が太き
（廉価の水晶振動子を得ることができる。
このように本発明を実施することにより薄型でかつ小型
の水晶振動子を廉価に得ることができ。
の水晶振動子を廉価に得ることができ。
その効果は大であった。
第１図は第１の従来例、第２図は支持ケースに二段エツ
チングを施した第２の従来例で、ともに偏平型水晶振動
子の断面図であり、第３図はエツチファクターを説明す
るだめの模式図。 第４図は本発明の一実施例による偏平型水晶振動子の断
面図、第５図は本発明の他の実施例による偏平型水晶振
動子の断面図である。 ２・・・・・・水晶片、 ５．８・・・・・・蓋体、 ７・・・・・・支持ケース、 ７ａ・・・・・・段付側と反対側の側壁部、７ｂ・・・
・・・段付側の側壁部。 第１図 第２図 第３図 第４図 ’／ １０第５
図
チングを施した第２の従来例で、ともに偏平型水晶振動
子の断面図であり、第３図はエツチファクターを説明す
るだめの模式図。 第４図は本発明の一実施例による偏平型水晶振動子の断
面図、第５図は本発明の他の実施例による偏平型水晶振
動子の断面図である。 ２・・・・・・水晶片、 ５．８・・・・・・蓋体、 ７・・・・・・支持ケース、 ７ａ・・・・・・段付側と反対側の側壁部、７ｂ・・・
・・・段付側の側壁部。 第１図 第２図 第３図 第４図 ’／ １０第５
図
Claims (1)
- 水晶片を気密封止するための支持ケースと蓋体とよりな
る偏平型水晶振動子の容器のうち、前記支持ケース及び
蓋体の少なくとも一方は二段ハーフエツチングされた容
器において、該容器の支持ケース及び蓋体のうち少なく
とも一方は水晶板から形成されていることを特徴とする
水晶振動子容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16981181A JPS5871708A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 水晶振動子容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16981181A JPS5871708A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 水晶振動子容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5871708A true JPS5871708A (ja) | 1983-04-28 |
Family
ID=15893331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16981181A Pending JPS5871708A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 水晶振動子容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5871708A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02261211A (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 多重モード型水晶振動子 |
| JPH02291710A (ja) * | 1989-04-30 | 1990-12-03 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
| JP2013232736A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶デバイス |
| JP2014179405A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Seiko Epson Corp | 接合体、接合体の製造方法、センサーデバイス、電子機器、および移動体 |
| JP2017228825A (ja) * | 2016-06-20 | 2017-12-28 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス及びベース |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5248993A (en) * | 1975-10-17 | 1977-04-19 | Citizen Watch Co Ltd | Gas tight vessel of small size piezolelectric oscillator |
| JPS5421295A (en) * | 1977-07-19 | 1979-02-17 | Matsushima Kogyo Kk | Crystal oscillator |
| JPS5575322A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-06 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric oscillator unit |
-
1981
- 1981-10-23 JP JP16981181A patent/JPS5871708A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5248993A (en) * | 1975-10-17 | 1977-04-19 | Citizen Watch Co Ltd | Gas tight vessel of small size piezolelectric oscillator |
| JPS5421295A (en) * | 1977-07-19 | 1979-02-17 | Matsushima Kogyo Kk | Crystal oscillator |
| JPS5575322A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-06 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric oscillator unit |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02261211A (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 多重モード型水晶振動子 |
| JPH02291710A (ja) * | 1989-04-30 | 1990-12-03 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
| JP2013232736A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶デバイス |
| JP2014179405A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Seiko Epson Corp | 接合体、接合体の製造方法、センサーデバイス、電子機器、および移動体 |
| JP2017228825A (ja) * | 2016-06-20 | 2017-12-28 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス及びベース |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4288284A (en) | Method of producing housing element for quartz crystal oscillator | |
| JP2003133883A (ja) | 表面実装型圧電振動子 | |
| US4110655A (en) | Piezo electric vibrator unit sealed with 90Sn-10Au solder | |
| JPS5472696A (en) | Package for super miniature size piezoelectric oscillator | |
| HK49584A (en) | Oscillator assembly | |
| JPS5871708A (ja) | 水晶振動子容器 | |
| US4583017A (en) | Piezoelectric vibrator on mirror polished substrate | |
| JPH02137511A (ja) | 気密シール用パッケージ | |
| JPS5472695A (en) | Thin plate piezoelectric oscillator | |
| JPS644082A (en) | Manufacture of oscillatory type transducer | |
| JPS6118882B2 (ja) | ||
| JPS5926657Y2 (ja) | 複合振動子ユニツト | |
| JPS57199314A (en) | Tuning fork type quartz oscillator | |
| JPS54137290A (en) | Crystal oscillator | |
| JPS6324657Y2 (ja) | ||
| JPS6294008A (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
| JPH08247877A (ja) | 静電容量型圧力センサとその製造方法 | |
| JPH0147930B2 (ja) | ||
| JPS5855688B2 (ja) | 振動子ユニットの製造方法 | |
| JPS5523673A (en) | Manufacture for crystal oscillator | |
| JPS5753121A (en) | Crystal resonator unit | |
| JPH11214707A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
| JPH0746068B2 (ja) | 圧力センサ | |
| JPS5583316A (en) | Electrode structure of tuning-fork type crystal vibrator | |
| JPS5844804A (ja) | 水晶発振器 |