JPS5872047A - 感湿素子 - Google Patents
感湿素子Info
- Publication number
- JPS5872047A JPS5872047A JP56171835A JP17183581A JPS5872047A JP S5872047 A JPS5872047 A JP S5872047A JP 56171835 A JP56171835 A JP 56171835A JP 17183581 A JP17183581 A JP 17183581A JP S5872047 A JPS5872047 A JP S5872047A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- humidity sensitive
- base material
- humidity
- sensitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明に、湿度による感湿部の電気抵抗値変化を利用し
た感湿素子に関するものである。
た感湿素子に関するものである。
従来から、このような機距を有する感湿素子の感湿部と
して、塩化リチクム、塩化力ルンウム等の電解質、セレ
ンゲルマニクム等の半導体蒸着膜および酸化アルミニウ
ム、酸化チタン。
して、塩化リチクム、塩化力ルンウム等の電解質、セレ
ンゲルマニクム等の半導体蒸着膜および酸化アルミニウ
ム、酸化チタン。
酸化鉄等音用いた貧＝酸化ａ：Ｊまたに金員酸化切糸セ
ラミックが開用されてきた。咋合でに、’ｍ堆的および
化学的に安定であり、素子強度も高いため金楓葭化物系
セラミックが厳も多く用い［１１ らｎ、現在他のものもこれに切り替わ６前向にある。こ
のような中で、いかに安定なセラくツク感湿素子であろ
うとも、その使用実績が牙だ浅く、信頼性および寿茹の
点で問題のあることが最近の学会等で指摘されている。
ラミックが開用されてきた。咋合でに、’ｍ堆的および
化学的に安定であり、素子強度も高いため金楓葭化物系
セラミックが厳も多く用い［１１ らｎ、現在他のものもこれに切り替わ６前向にある。こ
のような中で、いかに安定なセラくツク感湿素子であろ
うとも、その使用実績が牙だ浅く、信頼性および寿茹の
点で問題のあることが最近の学会等で指摘されている。
すなわち。
１つはタバコの煙やオイルミスト等の汚染＃負が表面に
数層さすると抵抗値が大きく変化して相対湿度指示値が
大幅に変わってし盪い、しかも感湿機ｌ］Ｃが低ドして
し１うこと、もう１つＶゴ。
数層さすると抵抗値が大きく変化して相対湿度指示値が
大幅に変わってし盪い、しかも感湿機ｌ］Ｃが低ドして
し１うこと、もう１つＶゴ。
たとえオイルミスト等の表面汚染ｗＪ實がない膠囲気で
あっても、全気中での使用または放Ｉ＆により水（湿気
）の吸＆！層かぐり返されると０１１基が蝕〈表面に固
層（化学数層）されてし１つために素子自体の抵抗値が
大きく変化し、しかもこの場合にも湿１区検知（感湿）
俄ｌしが低下してし１つことである。そして１両者とも
劣化状恕では通常５００〜６００℃以上に）ＩＩＩ熱し
ないと初期の性靜まで復帰しなくなってしまう。したが
って、セラミック感湿素子の中には、この点を解消する
ために、感湿８１３５００〜６００℃に加熱す（２） るためのヒータおよびその趣動回路を係ｆえたものがあ
る。しかし、これらのもの？装備すると。
あっても、全気中での使用または放Ｉ＆により水（湿気
）の吸＆！層かぐり返されると０１１基が蝕〈表面に固
層（化学数層）されてし１つために素子自体の抵抗値が
大きく変化し、しかもこの場合にも湿１区検知（感湿）
俄ｌしが低下してし１つことである。そして１両者とも
劣化状恕では通常５００〜６００℃以上に）ＩＩＩ熱し
ないと初期の性靜まで復帰しなくなってしまう。したが
って、セラミック感湿素子の中には、この点を解消する
ために、感湿８１３５００〜６００℃に加熱す（２） るためのヒータおよびその趣動回路を係ｆえたものがあ
る。しかし、これらのもの？装備すると。
素子自体も高価ｉものとなり、チた上ｉピｌＡｌ１曲葦
で７ＡＩ熱するためには電力？かなり費するという功だ
な欠点も生じてし１つことが避けられなかった。
で７ＡＩ熱するためには電力？かなり費するという功だ
な欠点も生じてし１つことが避けられなかった。
発明８は、上記の点を改良すべく、各抽の祠科を用いて
検討したところ、右壁けい素化合吻亜合体の３００℃以
上の焼成物ケ感湿ｉＡ：祠とし。
検討したところ、右壁けい素化合吻亜合体の３００℃以
上の焼成物ケ感湿ｉＡ：祠とし。
表面を有機けい素化合物班合体の硬化皮膜で破恨して、
しかもこの膜厚がｌＯ虜以下の場合には、上記欠点が解
消され実用［値する感湿機ｎヒおよび信頼性が侍られる
こと倉見いだしたため。
しかもこの膜厚がｌＯ虜以下の場合には、上記欠点が解
消され実用［値する感湿機ｎヒおよび信頼性が侍られる
こと倉見いだしたため。
本発明を提案するものである。Ｔｆｔわち１本発明の感
湿素子は、吻埋、化学的に安定で水子強度が高く、良好
な感湿特性會有することにもちるで、長期にわたって使
用しても仇抗１ｉ＆および感湿機能の変化が小さく、ま
たたとえこの両者が変化したとしても、従来のものより
もはるかに低温での加熱により、初期の良好な性［止Ｖ
ｃ筐（３） で復帰するという利点を伽えたものである。
湿素子は、吻埋、化学的に安定で水子強度が高く、良好
な感湿特性會有することにもちるで、長期にわたって使
用しても仇抗１ｉ＆および感湿機能の変化が小さく、ま
たたとえこの両者が変化したとしても、従来のものより
もはるかに低温での加熱により、初期の良好な性［止Ｖ
ｃ筐（３） で復帰するという利点を伽えたものである。
以下、実施例にしたがって１本発明の詳細な説明する。
〔実施例１〕
ア″ミナ絶縁基板上［Ｐｔ −ｐｄ 合金系ペーストに
てくし形状電極ケスクリーン印刷し、ｐｔリード線を取
り付は後焼付は全行なった。この上に。
てくし形状電極ケスクリーン印刷し、ｐｔリード線を取
り付は後焼付は全行なった。この上に。
感湿部の基材として、下記組成物を６５０℃で４０分間
焼成して皮膜状の感温部基材をｔ＋ｂ成した。
焼成して皮膜状の感温部基材をｔ＋ｂ成した。
（組成例１〕
有機けい素化合？！１重合体：メチルンリコーン初１４
ＡＸ合物 ５５皇酎部 無磯賀粉末粒子：タルク ５１アルミナ
１５１ 添加刑：ンノナー、有機チタン化会吻６０ １なお、添
加剤とに、上記組成物の混合性、塗層性を向上させ、皮
膜の硬化を促進するためのものである。
ＡＸ合物 ５５皇酎部 無磯賀粉末粒子：タルク ５１アルミナ
１５１ 添加刑：ンノナー、有機チタン化会吻６０ １なお、添
加剤とに、上記組成物の混合性、塗層性を向上させ、皮
膜の硬化を促進するためのものである。
ツキｖｃｌ メチルフェニルンリコーンの初期型（４
Ｊ 合９１Ｊをキシレンに浴贋させた市販のけい素樹脂（シ
リコーン］ワニスｔさらにキシレンで布釈して粘度を下
け、この中に上［ｆｉ：８感を握部を浸Ｃ貢後８０℃で
２０分間予備乾燥を行ない、ついで２００℃で２０分間
焼成してけい索狗脂皮ＢＱ葡硬化ぎせた。この作業ＶＣ
よって、第ｌ因にンバしたような感湿素子が製作できた
。第１図（ａ）ＶＣおいて、山は絶線基板、（２）は電
極、１３１に感２々ν都、（４１はｙ−ド線、第１図（
ｂにおいて（３８）＋１’；Ｉ、 上ｄピ組成ｔ％ｌ
ｌの焼成物よりなる愚湿基祠、 （３ｂＪばけい素
樹脂の硬化皮膜である。なお、感湿基Ｈの膜ノリは約６
０μｍ９表面のけい素樹脂膜の膜厚に３μ〃６であった
。
Ｊ 合９１Ｊをキシレンに浴贋させた市販のけい素樹脂（シ
リコーン］ワニスｔさらにキシレンで布釈して粘度を下
け、この中に上［ｆｉ：８感を握部を浸Ｃ貢後８０℃で
２０分間予備乾燥を行ない、ついで２００℃で２０分間
焼成してけい索狗脂皮ＢＱ葡硬化ぎせた。この作業ＶＣ
よって、第ｌ因にンバしたような感湿素子が製作できた
。第１図（ａ）ＶＣおいて、山は絶線基板、（２）は電
極、１３１に感２々ν都、（４１はｙ−ド線、第１図（
ｂにおいて（３８）＋１’；Ｉ、 上ｄピ組成ｔ％ｌ
ｌの焼成物よりなる愚湿基祠、 （３ｂＪばけい素
樹脂の硬化皮膜である。なお、感湿基Ｈの膜ノリは約６
０μｍ９表面のけい素樹脂膜の膜厚に３μ〃６であった
。
このよう［製作した本実施例の感湿素子と。
構成に上記本実施例のものと同棟であるが、感湿部に５
ｉ０２−Ａｚ２Ｃ１ａ糸セラミックセラミック結した従
来タイプのセラミック感湿素子とについて、感湿特性と
その経時変化Ｔｈ ｄｌｌＩ足した。１ず９画素子の感
湿特性音比較するために交流（５０１１ｚ ） １．Ｏ
Ｖを電力ｎして、相対湿度変化による姐ＦＡ、舶変化（
５） とその経時変化を測定したところ、第２図の結果が侍ら
れた。凹線（ＡＪ、 （ＡＪに従来タイプのものの初期
および８０日間室内放置後の感湿製性會ホし、 Ｍ森
（ＢＪ、 （１３）に本実施例のものの初期および８０
日間室内放置後の感湿特性である。第２図から明らかな
ように、従来タイプの感湿素子は８０日開放直仮ＶＣに
抵抗値が３桁はど大となり感湿機能もかなり低下してし
まったのに対して、本実施例の／％湿素子に８０日開放
直後にａ、やや抵抗値が大となったのみであり、感湿機
能の低下 １゜も見られなかった。ところ
で１曲線（Ａ）および（Ｂ）の特性をボす８０日間放置
後の画素子全電気炉内に入れ、１５０℃から５０℃ごと
に昇温し、各ｍ度で１０分間加熱して、感湿特性が初期
の値（Ｎお工び（Ｂ）に１でＩＰ！Ｉ仮する温＃全調べ
た。この結果。
ｉ０２−Ａｚ２Ｃ１ａ糸セラミックセラミック結した従
来タイプのセラミック感湿素子とについて、感湿特性と
その経時変化Ｔｈ ｄｌｌＩ足した。１ず９画素子の感
湿特性音比較するために交流（５０１１ｚ ） １．Ｏ
Ｖを電力ｎして、相対湿度変化による姐ＦＡ、舶変化（
５） とその経時変化を測定したところ、第２図の結果が侍ら
れた。凹線（ＡＪ、 （ＡＪに従来タイプのものの初期
および８０日間室内放置後の感湿製性會ホし、 Ｍ森
（ＢＪ、 （１３）に本実施例のものの初期および８０
日間室内放置後の感湿特性である。第２図から明らかな
ように、従来タイプの感湿素子は８０日開放直仮ＶＣに
抵抗値が３桁はど大となり感湿機能もかなり低下してし
まったのに対して、本実施例の／％湿素子に８０日開放
直後にａ、やや抵抗値が大となったのみであり、感湿機
能の低下 １゜も見られなかった。ところ
で１曲線（Ａ）および（Ｂ）の特性をボす８０日間放置
後の画素子全電気炉内に入れ、１５０℃から５０℃ごと
に昇温し、各ｍ度で１０分間加熱して、感湿特性が初期
の値（Ｎお工び（Ｂ）に１でＩＰ！Ｉ仮する温＃全調べ
た。この結果。
従来のものでに、６００℃以上で加熱しないと初期特性
に復帰しなかったのに対して９本実施例のものでは、２
００℃の加熱により完全に初期特性［まで復帰した。し
たがって、上ｄピの結果から１本実施例の素子は水蒸気
（湿気Ｊの吸脱層（６］ がくり返されても、従来の素子のよう［ＯＨ基が強く同
者された場合にも従来のものよりもかなり低温で力ｎ熱
することにより再庄が可１］゛ｒであることが判明した
。
に復帰しなかったのに対して９本実施例のものでは、２
００℃の加熱により完全に初期特性［まで復帰した。し
たがって、上ｄピの結果から１本実施例の素子は水蒸気
（湿気Ｊの吸脱層（６］ がくり返されても、従来の素子のよう［ＯＨ基が強く同
者された場合にも従来のものよりもかなり低温で力ｎ熱
することにより再庄が可１］゛ｒであることが判明した
。
〔実施例２．〕
基板、電極およびリード線の材料は、実施例１、のもの
と同一材料を用い、感湿８１５の基材として、下記ｍ放
物２．の組成物（ｚ４０（１℃で１時間焼成したものを
使用した。
と同一材料を用い、感湿８１５の基材として、下記ｍ放
物２．の組成物（ｚ４０（１℃で１時間焼成したものを
使用した。
ｔｍｉ成例放物 Ｊ
有機けい素化合物京合体：メチルフェニル７ノコ÷〆籾
助重合物 ６５組酎耐 無機質粉末粒子二酸化チタン ２５１酸化マグ不ン
ウム ５ ＃ 添カロ剤：ンンナー、壱倹アルミ化合物 ７ｕｌこの表
面に、けい累樹＋ｍｋ：ベースレジントシ。
助重合物 ６５組酎耐 無機質粉末粒子二酸化チタン ２５１酸化マグ不ン
ウム ５ ＃ 添カロ剤：ンンナー、壱倹アルミ化合物 ７ｕｌこの表
面に、けい累樹＋ｍｋ：ベースレジントシ。
これ葡エホキン樹脂の初期垂合物で変性させた市販の変
性けい素何脂禾塗料會シンナーで希釈し、これをへヶ塗
りにて塗布した。堡布物全１００（７７ ℃で２０分間乾燥後、１５０℃で３０分間焼成して硬化
させた。これにより第３図に構成例全ボしたような感湿
素子が得られた。第３図において。
性けい素何脂禾塗料會シンナーで希釈し、これをへヶ塗
りにて塗布した。堡布物全１００（７７ ℃で２０分間乾燥後、１５０℃で３０分間焼成して硬化
させた。これにより第３図に構成例全ボしたような感湿
素子が得られた。第３図において。
山は絶縁基板、（２１は電極、（３）に感湿部、（４）
にリード線、 ＋５１［ヒーター、（６）にヒーター
用リード線である。なお１表曲のけい素樹脂皮膜の膜厚
ｉ、 ６μｍであった。
にリード線、 ＋５１［ヒーター、（６）にヒーター
用リード線である。なお１表曲のけい素樹脂皮膜の膜厚
ｉ、 ６μｍであった。
このような本実施例の素子と、上記と同一の構成で、
Ｔｉ０２−ＭｐＯ糸セラミック會焼結して感湿部とし
た従来タイプのものとについて、感湿特性ならひに表面
汚染物質存在下の信頼性について調査した。劣化促進テ
ストとして、まずデシケータの底に市販のサラダオイル
を入ｎ、この上方雰囲気に、上記の画素子をつるしたも
のｔ６０℃の電気ｆ内に入ｎ、デ／ケータ内に絶えずタ
バコの煙を流通させて放置した。２０日後に画素子全域
り出し、交流１．０ Ｖを印加して感湿特性金側足し、
初期特性と比軟した。
Ｔｉ０２−ＭｐＯ糸セラミック會焼結して感湿部とし
た従来タイプのものとについて、感湿特性ならひに表面
汚染物質存在下の信頼性について調査した。劣化促進テ
ストとして、まずデシケータの底に市販のサラダオイル
を入ｎ、この上方雰囲気に、上記の画素子をつるしたも
のｔ６０℃の電気ｆ内に入ｎ、デ／ケータ内に絶えずタ
バコの煙を流通させて放置した。２０日後に画素子全域
り出し、交流１．０ Ｖを印加して感湿特性金側足し、
初期特性と比軟した。
この７結果を第４図にホす。第４図において。
曲＃１１（Ｃ）、（Ｃ）ｒｉ従来タイプのものの初期お
よび劣（８） 化促進テスト後の特性をボし９曲線（切、 （ＩＪｊは
。
よび劣（８） 化促進テスト後の特性をボし９曲線（切、 （ＩＪｊは
。
は２本発明のものの初期および劣化促進テスト後の特性
である。第４凶から、従来タイプのものは、劣化促進テ
スト後ｖｃは抵抗１１１ｔが３ｆｆｒ以上大となり、感
湿機１こも全く内失してし１つだのに対して９本実施例
のものは、劣化促進テスト後も抵抗値がやや大となった
が５ 感湿機Ｂｅの低下にほとんど見られないことがわ
かる。したがって１表面汚染ｑａ質による経時劣化促進
のために用いた上記テストに、従来タイプの素子の湿度
検知感度紫全く無くするはと過酷な試験法であるにもか
かわらず１本実施例のものＵ％化がほとんどないことか
ら１本実施例の素子に、オイルミストやタバコの煙など
の汚染９１Ｊ質に対する耐鹸時劣化性が非常に優れてい
ると百える。
である。第４凶から、従来タイプのものは、劣化促進テ
スト後ｖｃは抵抗１１１ｔが３ｆｆｒ以上大となり、感
湿機１こも全く内失してし１つだのに対して９本実施例
のものは、劣化促進テスト後も抵抗値がやや大となった
が５ 感湿機Ｂｅの低下にほとんど見られないことがわ
かる。したがって１表面汚染ｑａ質による経時劣化促進
のために用いた上記テストに、従来タイプの素子の湿度
検知感度紫全く無くするはと過酷な試験法であるにもか
かわらず１本実施例のものＵ％化がほとんどないことか
ら１本実施例の素子に、オイルミストやタバコの煙など
の汚染９１Ｊ質に対する耐鹸時劣化性が非常に優れてい
ると百える。
つづいて、劣化促進テスト後９曲ｉｔｑおよび（均の特
性を示す画素すのヒータ（第４区℃照ノに通電して１５
０℃から５０℃ごとに昇温し、各温度で１５分間加熱し
て、感湿特性が初期の暗（ＣＪｌらび［（ＤＪ Ｋまで
同腹する温度音調べた。この結果（９Ｊ 実施例１．の場合と同様に、従来のものでは、６００℃
以上で加熱しないと初期特性に復帰しなかったが９本実
施例のものでは、２５０℃というぼるかに低温での加熱
により完全に初期特性にまでＯ１帰した。
性を示す画素すのヒータ（第４区℃照ノに通電して１５
０℃から５０℃ごとに昇温し、各温度で１５分間加熱し
て、感湿特性が初期の暗（ＣＪｌらび［（ＤＪ Ｋまで
同腹する温度音調べた。この結果（９Ｊ 実施例１．の場合と同様に、従来のものでは、６００℃
以上で加熱しないと初期特性に復帰しなかったが９本実
施例のものでは、２５０℃というぼるかに低温での加熱
により完全に初期特性にまでＯ１帰した。
実施例１．お工び２．から判明した本発明の感湿素子が
有する艮好な耐０）１基説層性ならびに汚染物質に対す
る４に籾性は１表曲［波憶したけい素樹脂、すなわち、
有機けい巣化合′ｆｔＪ重合体のもつ低表面エネルギー
性に起因する撥水性および撥油性によるものと考えられ
る。ただし１発明者の実験によｎば、これらの側脂皮膜
のＪ＃さによって感湿機ｅが影譬を受け、膜厚が厚くな
ると、抵抗値に大となり、感湿機能も全く酌失してし萱
うことがわかった。すなわち、相別湿度を１０％から９
５％ ｉで変化させた時、素子の抵抗値変化がどのくら
いあるかｔ感ｌ並伽匪の目安とした場合、有機けい素化
会吻血曾体の硬化膜厚の変化にしたがって第５図のよう
な特性が見られた。こｎに、上記重合１本の神頼を変化
さくＩＯＪ せても同様の特性であった。したがって、第５図から、
膜厚が１０μ”ｌ ′ｆｒ：越えると急畝に感亀磯［止
が低下して実用に直しｌ（なる。
有する艮好な耐０）１基説層性ならびに汚染物質に対す
る４に籾性は１表曲［波憶したけい素樹脂、すなわち、
有機けい巣化合′ｆｔＪ重合体のもつ低表面エネルギー
性に起因する撥水性および撥油性によるものと考えられ
る。ただし１発明者の実験によｎば、これらの側脂皮膜
のＪ＃さによって感湿機ｅが影譬を受け、膜厚が厚くな
ると、抵抗値に大となり、感湿機能も全く酌失してし萱
うことがわかった。すなわち、相別湿度を１０％から９
５％ ｉで変化させた時、素子の抵抗値変化がどのくら
いあるかｔ感ｌ並伽匪の目安とした場合、有機けい素化
会吻血曾体の硬化膜厚の変化にしたがって第５図のよう
な特性が見られた。こｎに、上記重合１本の神頼を変化
さくＩＯＪ せても同様の特性であった。したがって、第５図から、
膜厚が１０μ”ｌ ′ｆｒ：越えると急畝に感亀磯［止
が低下して実用に直しｌ（なる。
つ筐９１ この結果力）ら９本発明で表面ｒＣ仮しさ
れていイ〕けい素＋ｍ４脂等の有機けい素化合１勿ＭＬ
８体の膜厚に１０μ〃Ｌ以下であることが必要である。
れていイ〕けい素＋ｍ４脂等の有機けい素化合１勿ＭＬ
８体の膜厚に１０μ〃Ｌ以下であることが必要である。
ところで９本発明において、 ／西ｒｉ１Ｍ都の基材
およびその表面被榎とし′Ｃ使用する有機けい素化合物
重合体としては、実施例で使用したけい素樹脂やそのワ
ニスなどをＪ刊いることができるはかりで／２（、変性
タイプのけい糸イ☆ｆ脂やオイル。
およびその表面被榎とし′Ｃ使用する有機けい素化合物
重合体としては、実施例で使用したけい素樹脂やそのワ
ニスなどをＪ刊いることができるはかりで／２（、変性
タイプのけい糸イ☆ｆ脂やオイル。
ゴム状のいわゆる／リコーンといわれるもの全使用する
ことができる。また、感湿部の基伺として、上記有機・
けい素化合物重合体中ｖｃ混練して用いる無機質粉末粒
子としては、泣１尚の酸化物や金鵬粉であれば使用でき
ることを笑・埃により確かめた。
ことができる。また、感湿部の基伺として、上記有機・
けい素化合物重合体中ｖｃ混練して用いる無機質粉末粒
子としては、泣１尚の酸化物や金鵬粉であれば使用でき
ることを笑・埃により確かめた。
本発明で感湿部の表面に扱核する有機けい素化合物重合
体のかわりｅこ、他の重合体を用いて同様の実験を行な
ったところ、いずれのものも（ｌ ＩＪ 本発明のものほど良好な性舶が得られず、実用に１直し
ないものであった。１ζ笑施例で述べたように、劣化後
の素子全カロ熱して丹生する場合に、上５α亜合体に一
般に他の重合体よりも耐熱温度が商い（２００℃以上］
ので有利である。
体のかわりｅこ、他の重合体を用いて同様の実験を行な
ったところ、いずれのものも（ｌ ＩＪ 本発明のものほど良好な性舶が得られず、実用に１直し
ないものであった。１ζ笑施例で述べたように、劣化後
の素子全カロ熱して丹生する場合に、上５α亜合体に一
般に他の重合体よりも耐熱温度が商い（２００℃以上］
ので有利である。
以上説明したように１Ｍ機けい素化合物重合体とＳ憾質
粉木粒子との混合物の焼成物？感湿基材とし、この表面
が膜厚１０／Ｊ／７４以Ｆの有機けい素化合物重合体を
主成分とする１髪化皮膜で被接されている本発明の感湿
素子であれば、感湿特性が良好であることばもち゛ろん
、最期にわたって汚染芥囲気で使用しても感湿磯目にの
劣化や抵抗匝の変動がほとんどなく、たとえこの両省が
変化しても、従来のものよりもはるかに低温での加熱に
より初期性能に１で復帰するという艮ＰＪ７がある。し
たがって、湿度センサや煤蕗セフすｌどの感湿素子とし
て、各独の用途に氏埒砧で広く用いることができるもの
である。
粉木粒子との混合物の焼成物？感湿基材とし、この表面
が膜厚１０／Ｊ／７４以Ｆの有機けい素化合物重合体を
主成分とする１髪化皮膜で被接されている本発明の感湿
素子であれば、感湿特性が良好であることばもち゛ろん
、最期にわたって汚染芥囲気で使用しても感湿磯目にの
劣化や抵抗匝の変動がほとんどなく、たとえこの両省が
変化しても、従来のものよりもはるかに低温での加熱に
より初期性能に１で復帰するという艮ＰＪ７がある。し
たがって、湿度センサや煤蕗セフすｌどの感湿素子とし
て、各独の用途に氏埒砧で広く用いることができるもの
である。
第１図および第３図は９本発明の感湿素子の（１２）
構成例にボ丁糾伏凶、第２図、第４図、第５図に、それ
ぞれ本発明の感湿素子のりＩ性をボすグラフである。 なお図中、同一符号に同一１友に相当部位をホし、（１
）に基板、１２１は電体、１３１μ愚ｌ冗都、（４１は
リード線、 ＋５１ｒｉヒーター、１６）はヒータ用
す−ド巌である。 代理人 拐 ジー）； 匍 − （１３３ ＠２図 相 対 ；ヱ 崖 （γ・９ 第４ダ ５θ ／ρρ 相 対 ：Ｉ 、Ｉ！ｊ （ヅ□り第５
図 膜 厚 と篤 手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示 特願昭 ５６−１７１８３５号
２、発明の名称 感湿素子 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内乙丁目２番３号
名 称（６０１） 三菱電機株式会社代表者片山仁
八部 ４、代理人 氏 名（６６９９） 弁理士 葛 野 信
−（連絡先０３（２１３）３４２１特許部）５、 補正
命令の日付 昭和５７年２ 月２３日６、補正
の対象 図面 ７、補正の内容 図面中第１図及び第３図の浄書（内容に変更な（〜） 手続補正書（自発） ７９１ 昭和 イ１゛、 月 １１、発明の名称 ／！’＋ｍ素子 ３、補正をする者 事件との関係 ’Ｍ−許出願人 住 所 東京都千代１１１区丸の内、目１２Ｆ
ｆｉ ３ ＞−、’名 称（６０１） 三菱電機株
式会社代表者片１１１仁八部 ４、代理人 住 所 東京都千代１１１区九の内爪１’ ｒ
、＋ ２−７％３号５ 補正の対象 明細書の特許請求の範囲および発明の詳細な説明の欄。 ６、補正の内容 （１）明細書の特許請求の範囲を別紙のとお９訂正する
。 （２）明細書中２頁２０行目に［感湿部５０（１−６０
０℃」とあろのを［感湿部を５００．−６００℃］と訂
正する。 （３）同上中３頁１６行目から１７行目に「もちろで、
」とあるのを「もちろん、」と訂正する。 以上 特許請求の範囲 有機けい素化合物重合体と無機質粉子粒子との混合物の
焼成物を感湿基材とし、この感湿基材の表面が、膜厚１
０μｍ 以下の有機けい素化合物重合体を主成分とする
硬化皮膜で被覆されていることを特徴とするＩｅ、ｉ素
子。
ぞれ本発明の感湿素子のりＩ性をボすグラフである。 なお図中、同一符号に同一１友に相当部位をホし、（１
）に基板、１２１は電体、１３１μ愚ｌ冗都、（４１は
リード線、 ＋５１ｒｉヒーター、１６）はヒータ用
す−ド巌である。 代理人 拐 ジー）； 匍 − （１３３ ＠２図 相 対 ；ヱ 崖 （γ・９ 第４ダ ５θ ／ρρ 相 対 ：Ｉ 、Ｉ！ｊ （ヅ□り第５
図 膜 厚 と篤 手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示 特願昭 ５６−１７１８３５号
２、発明の名称 感湿素子 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内乙丁目２番３号
名 称（６０１） 三菱電機株式会社代表者片山仁
八部 ４、代理人 氏 名（６６９９） 弁理士 葛 野 信
−（連絡先０３（２１３）３４２１特許部）５、 補正
命令の日付 昭和５７年２ 月２３日６、補正
の対象 図面 ７、補正の内容 図面中第１図及び第３図の浄書（内容に変更な（〜） 手続補正書（自発） ７９１ 昭和 イ１゛、 月 １１、発明の名称 ／！’＋ｍ素子 ３、補正をする者 事件との関係 ’Ｍ−許出願人 住 所 東京都千代１１１区丸の内、目１２Ｆ
ｆｉ ３ ＞−、’名 称（６０１） 三菱電機株
式会社代表者片１１１仁八部 ４、代理人 住 所 東京都千代１１１区九の内爪１’ ｒ
、＋ ２−７％３号５ 補正の対象 明細書の特許請求の範囲および発明の詳細な説明の欄。 ６、補正の内容 （１）明細書の特許請求の範囲を別紙のとお９訂正する
。 （２）明細書中２頁２０行目に［感湿部５０（１−６０
０℃」とあろのを［感湿部を５００．−６００℃］と訂
正する。 （３）同上中３頁１６行目から１７行目に「もちろで、
」とあるのを「もちろん、」と訂正する。 以上 特許請求の範囲 有機けい素化合物重合体と無機質粉子粒子との混合物の
焼成物を感湿基材とし、この感湿基材の表面が、膜厚１
０μｍ 以下の有機けい素化合物重合体を主成分とする
硬化皮膜で被覆されていることを特徴とするＩｅ、ｉ素
子。
Claims (1)
- 有機けい累化合＋）ｌＪ厘会合体無機質＠不柁子との混
合吻の焼Ｆｆｉ物を感湿基材とし、この感湿基材の表面
が、膜厚１０μｍ以下の有機けい素化合物重合体を主成
分とする硬化Ｆｔ膜で破仮されていることを特徴とする
感湿素す。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56171835A JPS5872047A (ja) | 1981-10-27 | 1981-10-27 | 感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56171835A JPS5872047A (ja) | 1981-10-27 | 1981-10-27 | 感湿素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5872047A true JPS5872047A (ja) | 1983-04-28 |
| JPS6131419B2 JPS6131419B2 (ja) | 1986-07-19 |
Family
ID=15930631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56171835A Granted JPS5872047A (ja) | 1981-10-27 | 1981-10-27 | 感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5872047A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60186748A (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-24 | Mitsubishi Electric Corp | 感湿材料の製造方法 |
| JPS61147143A (ja) * | 1984-12-20 | 1986-07-04 | Mitsubishi Electric Corp | 感湿材料の製造方法 |
| JPS6347646A (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-29 | Nok Corp | 感湿素子 |
| US5001453A (en) * | 1988-06-27 | 1991-03-19 | Seiko Epson Corporation | Humidity sensor |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0338801U (ja) * | 1989-08-24 | 1991-04-15 |
-
1981
- 1981-10-27 JP JP56171835A patent/JPS5872047A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60186748A (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-24 | Mitsubishi Electric Corp | 感湿材料の製造方法 |
| JPS61147143A (ja) * | 1984-12-20 | 1986-07-04 | Mitsubishi Electric Corp | 感湿材料の製造方法 |
| JPS6347646A (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-29 | Nok Corp | 感湿素子 |
| US5001453A (en) * | 1988-06-27 | 1991-03-19 | Seiko Epson Corporation | Humidity sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6131419B2 (ja) | 1986-07-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0090048A1 (en) | Humidity sensor | |
| JPS5872047A (ja) | 感湿素子 | |
| JPH0244390B2 (ja) | Kanshitsuzairyo | |
| JPH02209702A (ja) | 耐水性感湿素子 | |
| JPS5948647A (ja) | 感湿材料の製造方法 | |
| JPS60198702A (ja) | 感湿材料 | |
| JPS5855847A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS61145808A (ja) | 感温材料 | |
| JPH0318750A (ja) | 湿度センサ素子 | |
| JPS61147142A (ja) | 感湿材料 | |
| JPS61145806A (ja) | 感温材料 | |
| JPS6253064B2 (ja) | ||
| JPS5832761B2 (ja) | 感湿抵抗体 | |
| JPS59102149A (ja) | 感湿材料 | |
| JPS60186748A (ja) | 感湿材料の製造方法 | |
| JPS5872046A (ja) | 感湿素子の製作方法 | |
| JPS617455A (ja) | 感湿材料 | |
| JPS62247239A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS59102150A (ja) | 感湿材料 | |
| JPH09159635A (ja) | 湿度検知センサおよびその製造方法 | |
| JPS5938643A (ja) | 温度センサ | |
| JPS6047949A (ja) | 感湿抵抗体 | |
| JPS60263402A (ja) | 感湿材料 | |
| JPH0484749A (ja) | 湿度センサ | |
| JPS58204501A (ja) | 結露センサ |