JPS5875148A - 感光性樹脂組成物および感光性エレメント - Google Patents

感光性樹脂組成物および感光性エレメント

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JPS5875148A
JPS5875148A JP17399481A JP17399481A JPS5875148A JP S5875148 A JPS5875148 A JP S5875148A JP 17399481 A JP17399481 A JP 17399481A JP 17399481 A JP17399481 A JP 17399481A JP S5875148 A JPS5875148 A JP S5875148A
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compound
resin composition
item
photosensitive resin
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JP17399481A
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English (en)
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Toshiaki Ishimaru
敏明 石丸
Katsushige Tsukada
塚田　勝重
Nobuyuki Hayashi
信行 林
Noboru Sugasawa
菅沢　昇
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28—Applying non-metallic protective coatings
    • H05K3/285—Permanent coating compositions
    • H05K3/287—Photosensitive compositions

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  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Polymerisation Methods In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性樹脂組成物および感光性エレメントに関
する。更に詳しくは印刷配線板製造。
金属精密加工等に使用し得る優れた特性を有する保ｌｌ
ｉ′Ｉ１１膜形成用の感光性樹脂組成物及び該組成物の
層と皺層を支持する支持体フィルムとからなる感光性エ
レメントに関する。
感光性エレメント、すなわち支持体フィルム上の実質的
に乾燥した感光性樹脂組成物の層が印刷配線板を製造す
るためのフォトレジストとして使用されることはよく知
られている。さらに、半田マスク、化学メッキ用レジス
ト等に使用可能な優れ＆％性を有する感光性樹脂組成物
が非常に有用であることも周知である。
半田マスクの主な目的は、半田付は時の半田付は領域を
限定し半田ブリッジ等を防ぐこと。
裸の銅導体の腐食を防止すること、及び長期にわ九って
導体間の電気絶縁性を保つことである。
これらの目的のため、従来はエポキシ樹脂等の熱硬化性
インク、ｉｂるいは光硬化性インクをスクリーン印刷し
ていた。しかし、近年、印刷配線板の配線密度が高まり
、それに用いる半田マスクの形成がスクリーン印刷方式
では精度上困離になってきた。ま九、配線密度の向上に
ともない、導体間の電気絶縁性の要求が厳しくなり。
導体保護膜９厚さが最低でも約２０μｍ以上あることが
望まれ始め良。スクリーン印刷方式では、１回で形成可
能なレジストの平均厚みは高々３０μｍであシ、導体凸
部上の形成されたレジストの最も薄い部分の厚みは１０
−ｍ以下にならざるを得ない。２度、３度と重ね印刷を
すれば厚膜化は可能であるが、印刷精度及び工種の煩雑
化のため実質的には非常にｌ−である。
そこで、半佃マスク形成用の感光性エレメントの出現が
望まれている。感光性樹脂組成物の層の厚みが２０　ｐ
ｍ以上の感光性エレメントは有用である。印刷配線の導
体厚みは１８μｍ以上のものがほとんどであるので、感
光性樹脂層の厚みが４０　ｐｍ以上の感光性エレメント
＃ｉ特に有用である。′ 一般に感光性ドライフィルムと称して印刷配線板の導体
パターン形成用に用いられている。
エツチング又は電解メッキ用の感光性エレメントは耐熱
性が十分でなく、半田マスク形成用には使用できない。
そこで耐熱性の曳好な、半田マスク形成用に用いうる感
光性エレメント用の感光性樹脂組成の提案が行なわれて
いる（例えば、４１開昭５３−５６０１８．％公昭５２
−４３０９２，４Ｉ公昭５３−４４３４６）。、それら
は、提案の一つの目的である耐熱性に優れているが、４
０μｍ以上の厚い保護膜を形成し九場合には、１２５℃
と一６５℃の冷熱衝撃試験で５サイクル以内にクラック
が生じる。クラックの発生は膜厚が厚くなる＃１どひど
くなる。これは印刷配線板の長期の信頼性を考慮しなけ
ればならないときに大きな問題となる。
スクリーン印刷方式で形成される半田マスクのなかには
耐冷熱価撃性の良好なもの４ある。
これはおもに、スクリーン印刷方式で形成される半田マ
スクの厚みが１０〜３０μｍであるためである。他の理
由は、一般に印刷インクは多量のフィラーを含有してい
るためである。フィラーの含有が耐冷熱衝撃性の向上に
寄与することは公知である。しかしながら、感光性エレ
メントの場合、その感光性樹脂組成物の層は活性光を照
射する前の段階ですでに実質的に乾燥していなければな
らず、多少ともフィルム性がなければならない。このこ
とは、感光性樹脂組成物の層が、フィルム性を付与する
のを一つの目的として、線状高分子化合物を含有するこ
とを必須の条件とじていることを意味する。このため、
線状高分子化合物、活性光感受性化合物及び増感剤の他
に多量のフィラーを含有させることは困難である。
さらに９本発明者らが種々検討したと、ころ。
感光性エレメントの場合、その感光性樹脂組成物の層に
約１０重量嘔以上のフィラーを含有させると、確かにそ
れにより形成された半田マスクの耐冷熱衝撃性は向上す
るが、主要な特性の一つである半田耐熱性が低下し、実
用的でないことがわかった。
スクリーン印刷用光硬化性インクに用いる化合物として
９種々のウレタン（メタ）アクリレート化合物（ウレタ
ンアクリレート化合物又はウレタンメタアクリレート化
合物、以下同じ）が、耐熱性に優れているとして、提案
されている。しかし、それらを光硬化性インクと異ｔｂ
通常像的露光・現偉を伴う本発明が目的とする感光性エ
レメントに応用しようとするときｋは太き表困難が生じ
る。その第１の困難は、提案されているウレタン（メタ
）アクリレート化合物の多くが線状高分子化合物、特に
種々の特性で好適なビニル系共重合線状高分子化合物と
相溶しないか、あるいは相溶性が著しく悪いことである
。第２の困難は感光性エレメントの現偉に用いる不燃性
溶剤、特に一般に敵本多用されている１、１．１−）リ
クロロエタン系溶剤に、提案されているウレタン（メタ
）アクリレート化金物の多くが不溶であることである。
特公昭５１−１５７３３にはかかる困難を解決し九りレ
タン（メタ）アクリレート化合物が示されている。しか
しながらそこに示された組成物は半田マスク形成用とし
ては可撓性、耐熱性等の点で使用できない。
本発明の目的は半田マスク形成に用いうる耐熱性に優れ
、且つ、耐冷熱衝撃性に優れ光感光性樹脂組成物及び該
組成物の層と該層を支持する支持体フィルムとからなる
感光性エレメントを提供することである。　　　　　　
　　　　　　　　　　　１本発明は（ａ）（イ）リジン
ジイソシアナート、（ロ）２価アルコール及び（ハ）２
価アルコールの（メタ）アクリル酸モノエステル（アク
リル酸モノエステル又はメタアクリル酸モノエステルを
指す。
以下同じ）を反応させて得られるウレタンジ（メタ）ア
クリレート化合物（ウレタンジアクリレート化合物又は
ウレタンジメタクリレート化合物を指す、以下同じ）２
０〜７５重１部（ｂ）　　ガラス転移温度が約４０〒１
５０℃の線状高分子化合物２０〜７５重量部 ならびに （Ｃ）　　活性光によシ遊離ラジカルを生成する増感剤
ま九は（および）増感剤系 を含有する感光性樹脂組成物に関する。
さらに本発明ａ、（１）（イ）リジンジイソシアナート
、（ロ）２価アルコール及ヒ（ハ）２価アルコールのア
クリル酸モノエステル又はメタアクリル酸モノエステル
を反応させて得られるウレタンジアクリレート化合物又
はウレタンジメタクリレート化合物２０〜７５重量部 （ｂｌ　　ガラス転移温度が約４０〜１５０℃の線状高
分子化合物２０蝙７５重景部 ならびに （Ｃ）　　活性光によシ遊離ラジカルを生成する増感剤
又は（及び）増感剤系 を含有する感光性・樹脂組成物の層と該層を支持する支
持体フィルムからなる感光性エレメントに関する。
本発明の提案する感光性樹脂組成物について以下に詳細
に説明する。
本発明の提案する感光性樹脂組成物は、（イ）リジンジ
イソシアナート、（ロ）２価アルコール及び（ハ）２価
アルコフルの（メタ）アクリル酸モノエステルを反応さ
せて得られるウレタンジ（メタ）アクリレート化合物を
必須成分として含有する。
（イ）のリジンジイソシアナートは公知の化合物であシ
１例えばアミノ酸の一種〒Ｔｏるリジン（１，５−ジア
ミノペンクン−１−カルボン酸）のカルボキシル基をメ
タノール、エタノール。
ブタノール等の低級アルコールでエステル化し九のち、
ホスゲン等を作用させてアミノ基をインシアナート基に
変成して得られる２価のイソシアナート化合物をいい９
例えば、東し■製ＬＤＩ−Ｍ１００　（λ６−ジイツシ
アネートカプロン酸メチル）がある。
（ロ）及び（ハ）の２価アルコールとしてはメチレング
リコール、エチレングリコール、ジエチレングリコール
、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール
、プロピレングリコール。
ジグロビレングリコール、１，４−ブタンジオール、Ｌ
３−ブタンジオール、２．３−ブタンジオール、Ｌ５−
ベンタンジオール、Ｌ６−へ中サンジオール、１．１０
−デカンジオール、ネオペンチルグリコール、１．４−
シクロヘキサンジメタツール、ビス（２−ヒドロキシエ
チル）テレフタレート、ス２−ビス（４−ヒドロキシエ
トキシフェニル）プロパン、ス２−ビス（４−ヒドロキ
シのジェトキシフェニル）プロパンなどがある。
（ハ）の２価アルコールの（メタ）アクリル酸モノエス
テルとしてｔｉ２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレ
ート、２−ヒトｐキシグロピル（メタ）アクリレート等
が用いられる。
（ロ）の２価アルコールと（ハ）の２価アルコールとは
同一の２価アルコールを用いても異なる２価アルコール
を用いてもよい。得られるウレタンジ（メタ）アクリレ
ート化合物は式！で表わされる。
ζこで＆はＨ又はＣＨｌ、Ｒ４は２価アルコールの残基
、＆は２価アルコールの残基、Ｘはリジンジイソシアナ
ート残基である。ｎはＯ又は正の整数であシ、実際に得
られる反応生成物はｎの値の異なるウレタンジ（メタ）
アクリレート化合物の混合物である。
本発明のウレタンジ（メタ）アクリレート化合物を合成
する場合、（イ）のリジンジイソシアナートのイソシア
ナート当量と、（ロ）の２価アルコール及び（ハ）の２
価アルコールの（メタ）アクリル酸モノエステルの合計
のアルコール当量がはげ等しくなるように反応させる（
イ）のリジンジイソシアナート、（ロ）の２価アルコー
ル及び（ハ）の２価アルコールの（メタ）アクリル酸モ
ノエステルの量を決めることが好ましいが、インシアナ
ート当量がアルコール当量に対して小過剰であって屯少
し不足してもかまわない。イソシアナート当量がアルコ
ール当量に対して小過剰の場合は最終的に過剰のイノシ
アナート基をメタノールなどの１価のアルコールと反応
させ、フリーのインシアナート基をなくすことができる
。
反応させる（口）の２価のアルコールのアルコール当量
と、（ハ）の２価アルコールの（メタ）アクリル酸モノ
エステルのアルコール当量の比を１にすれば（但し１反
応させるリジンジイソシアナートのイソシアナート当量
と全アルコール当量はほぼ等しくする）ｎの数平均値は
ＩＫなる。
構成炭素原子数の大きな２価アルコールを使用すると形
成される半田マスクの耐冷熱衝撃性は向上するが、耐熱
性が低下する。逆に構成炭素原子数の小さな２価アルコ
ールを使用すると形成される半田マスクの耐熱性はより
向上するが、耐冷熱衝撃性は低下する。（ロ）及び（ハ
）の２価アルコールの構成炭素原子数は１〜２３個が好
ましい。構成炭素原子数の大きい２価アルコールを使用
する場合の耐熱性の低下は改善可能である。すなわち１
反応させる（口）の２価アルコールのアルコール当量を
、（ハ）の２価アルコールの（メタ）アクリル酸モノエ
ステルのアルコール当量よシ少なくシ（但し１反応させ
るリジンジイソシアナートのインシアナート当量と全ア
ルコール当量は＃１は等しくする）ｎの数平均値を１以
下にすることによシ耐熱性の低下を改善できる。
構成炭素原子数の小さい２価アルコールを使用する場合
の耐冷熱衝撃性の低下は同様に改善可能である。すなわ
ち１反応させる（口）の２価アルコールのアルコールａ
量ｔ　、　Ｇ”ｔｏ　２　価７　ル：Ｆ−ルの（メタ）
アクリル酸モノエステルのアルコール当量よシ多くシ（
但し１反応させるリジンジインシアナートのインシアナ
ート当量と全アルコール当量はほぼ等しくする）ｎの数
平均値を１以上にすることによシ耐冷熱衝撃性の低下を
改善できる。すなわち、耐熱性と耐冷熱衝撃性のバラン
スを考慮すると（メタ）アクリロイル基（アクリロイル
基又はメタアクリロイル基を指す、以下同じ）の濃度の
好ましい範囲がある。
本発明者らが種々検討し九結果＊ｌＸ１０−ｓ〜４．５
Ｘ１０　　当量／Ｐの（メタ）アクリロイル基を含んで
いるウレタンジ（メタ）アクリレート化合物（混合物）
を用い良悪光性樹脂組成物を使用して形成した半田マス
クは耐熱性と耐冷熱衝撃性のバランスに優れていること
がわかった。
半田ｉスフにより導体が保護され九印刷配線板の耐電食
性を考慮すると１反応させる（口）の２価アルコールと
しては、１．４−ブタンジオール。
１．３−ブタンジオール、１．５−ベンタンジオールｔ
ｌ、６−ヘキサンジオール、１．４−シクロヘキサンジ
メタツールなど、残基中にエーテル結合等の親水性基を
含まない２価アルコールが好ましい。
ウレタンジ（メタ）アクリレート化合物の含有量は耐熱
性及び耐冷熱衝撃性から２０〜７５重量部の範囲とされ
る。
本発明になる感光性樹脂組成物は、ガラス転移温度が約
４０〜１５０℃の線状高分子化合物を必須成分として含
有する。
ガラス転移温度が約４０℃未満では形成される半田マス
クの耐熱性が低い。ガラス転移温度が約１５０℃を越え
るとウレタンジ（メタ）アクリレート化合物との相溶性
が悪くなシ、支持体フィルムまたは基板上に感光性樹脂
組成物の層を形成できなくなる。ビニル共重合線状高分
子化合物は、ウレタンジ（メタ）アクリレート化合物と
の相溶性、及び印刷配線基板と感光性樹脂組成物の層と
の密着性の点で好ましい。線状高分子化合物の共重合成
分としては各種のビニル単量体を用いることができる。
ビニル単量体の適轟な例としては、メタクリル酸メチル
。
メタクリル酸ブチル、アクリル酸エチル、スチレン、α
−メチルスチレン、ビニルトルエン。
２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシグ
リビルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレ
ート、アクリル酸、メタクリル酸、グリシジルメタクリ
レート、ｔ−ブチルアミノエチルメタクリレート、２．
＆−ジブロモプロピルメタクリレート、３−クロクー２
−ヒドロキシエチルアクリレート、アクリルアミドおよ
びアクリロニトリル等を挙は得る。
形成される半田マ撫りに難燃性が必要な場合は、共重合
成分としてブロム原子を含有する単量体の使用が可能で
ある。
線状高分子化合物中のブロム原子の含有量としては４０
重量憾までが適轟ヤ、４０重量憾を越えると耐冷熱衝撃
性が低下する。ブロム原子を含有する単量体としてはト
リプロ毫フエニ゛ル（・メタ）アクリレート（トリブロ
モフェニルアクリレート又はトリプｐモフェニルメタア
クリレートを指す、以下−じ）が好適である。トリブロ
モフェニル（メタ）アクリレートの共重合量としては、
５重量係未満では難燃性への効果が共重合しないものと
大差なく、６５重量％を越えると耐冷熱衝撃性が低下す
る。難燃性にとって三酸化アンチモジの併用は効果的で
ある。
しかし、感光性樹脂組成物中の三酸化アンチモンの含有
量が５重量嘩を越えると形成される半田マスクの耐熱性
等圧悪い影響が出る。
感光性樹脂組成物中の線状高分子化合物の含有量は耐熱
性等圧悪・冷熱−撃性の点から２０〜７５重量部の範囲
とされる。
本発明の提案する感光性樹脂組成物は、活性光によシ遊
離ラジカルを生成する増感剤ま九は（および）増感剤系
を必須成分として含有する。
使用できる増感剤としては、置換ま九は非置換の多核キ
ノン−１例えば、２−エチルアントラ中ノン、２−１−
ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、
１．２−ベンズアントラキノン、２．３−ジフェニルア
ントラキノン等。
ジアセチルおよびベンジル等のケトアルドニル化合物、
ベンゾイン、ビバロン等のａ−ケタルビニルアルコール
類およびエーテル類、ａ−炭化水素置換芳香族アシルイ
ン類９例えばα−フェニル−ベンゾイン、（Ｘ、ａ−ジ
ェトキシアセトフェノン等、ベンゾフェノン、　４４’
−ビスジアルキルアミノベンゾフェノ、ン等の芳香族ケ
トン類を例示でき、これらは単独で本組合せてもよい。
使用できる増感剤系としては２．４５−　）リアリール
イミダゾールニ量体と２−メルカプトベンゾキナゾール
、ロイコクリスタルバイ丈レット、トリス（４−ジエチ
ルアミノ−２−メチルフェニル）メタン等との組合せを
例示できる。まえ、それ自体で光開始性はないが、前述
し丸物質と組合せて用いることにより全体として光開始
性能のより良好な増感剤系となるような添加剤を用いる
ことができる０例えばベンゾフェノンに対するトリエタ
ノールアミン等の三級アミンなどである。これら増感剤
または（および）増感剤系は上記の（ａ）ウレタンジ（
メタ）アクリレートおよび（ｂ）！Ｉ状嵩高分子化合物
対して０．５〜１０重量−含有されることが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに他の光重合性不飽
和化合物を含有することも可能である。他の光重合性不
飽和化合物の例としてはトリメチ關−ルＩＣ１バントリ
アクリレート、ヘンタエリスリトールトリアクリレート
、テトラエチレングリコールジアクリレート等を挙げ得
る。
また特開ｗｓ５３−５６０１８に示される光重合性不飽
和化合物をも用いることができる。しかし、これら他の
光重合性不飽和化合物の含有量は°、耐熱性と耐冷熱衝
撃性のバランスから。
上記ａａ）ウレタンジ（メタ）アクリレートおよび（ｂ
）線状高分子化合物に対して２０重量嗟以下であること
が好ましく、１０重量−以下であることが特に好ましい
。他の光重合性不飽和化合物は、耐溶剤性、密着性など
他の特性をさらに向上する丸めに添加しうるが１分子内
にリン酸基を含む（メタ）アクリル酸エステル（アクリ
ル酸エステル又はメタアクリル酸エステルを指す、以下
同じ）は形成される半田マスクと印刷配線基板との密着
性を＝さらに向上する良めに好ましい。
分子内にリン酸基を含む（メタ）アクリル酸エステルと
しては日本化薬■製のＫＡＹＡＭＥＲ’シリーズのＰＭ
−１，ＰＭ−２，ＰＡ−１またはＰＡ−２，油脂製品■
製のホスマーＭ”（アシッドフォスフオキシエチルメタ
クリレート）。
＊ｘｖ−ＣＬ　　（３−クロロ−２−アシッドフォスフ
オキシプルピルメタクリレート）等がある。
これらの分子内にリン酸基を含む（メタ）アクリル酸エ
ステルの含有量は上記の神）ウレタンジ（メタ）アクリ
レートおよび（ｂ）ＩＩ状嵩高分子化合物対して０．０
１〜５重量嘔が好ましい。
成分としては熱重合防止剤、染料、顔料、塗工性向上剤
等でアク、？−れらの選択は通常の感光性樹脂組成物と
同様の考慮の本とに行なわれる。
次に本発明の提案する感光性エレメントについて以下に
詳細に説明する。
本発明の提案する感光性エレメントは支持体フィルム上
に上記で詳細に説明した感光性樹脂組成物の層を形成す
ることによシ得られる。支持体フィルム上への感光性樹
脂組成物の層の形成は常法により行なうことができる。
たとえば感光性樹脂組成物をメチルエチルケトン、トル
エン、塩化メチレン等の有機溶剤に均一に溶解させ（但
し、三酸化アンチモン、顔料等は均一に分散させ）、こ
の溶液を該支持体フィルム上にナイフコート法、ロール
コート法等で塗布し。
乾燥して行なわれる。感光層中の残存溶剤量は特性保持
のために２重量参以下おさえることがハ 好ましく、１重量悌以下におさえることが特に好ましい
。
本発明に用いられる支持体フィルムは感光性エレメント
の製造時に必要な耐熱性、耐溶剤性を有していることが
好ましいが、テフロンフイルム、離蓋紙等の離型性フィ
ルムを一時的な支持体フィルムとじ、この上に感光性樹
脂組成物の層を形成し食後、この層の上に耐熱性あるい
は耐溶剤性の低いフィルムをラミネートし、該一時的な
支持体フィルムを剥離して耐熱性あるいは耐溶剤性の低
い支持体フィルムを有する感光性エレメントを製造する
こともできる。また支持体フィルムは活性光に対し透明
てらっても不透明であってもよい。使用できる支持体フ
ィルムの例として、ポリエステルフィルム、ポリイミド
フィルム、ポリアミドイミドフィルム。
ポリグルピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等公知
のフィルムを挙げることができる。
長尺の感光性エレメントを製造する場合は。
製造の最終段階で該エレメントをロール状に巻き取る。
この場合、感圧性粘着テープ等で公知の方法を用い、背
面処理し九支持体フィルムを用いることにより、ロール
状に巻き取ったときの感光性樹脂組成物の層の支持体フ
ィルム背面への転着を防ぐことが可能である。同じ目的
。
塵の付着を防ぐ目的等で該エレメントの感光性樹脂組成
物の層上に剥離可能なカバーフィルムを積層することが
好ましい。
剥離可能なカバーフィルムの例としては、ポリエチレン
フィルム、ポリプロピレンフィルム。
テフロンフィルム、表面処理をし良紙等があシ。
カバーフィルムを剥離するときに感光性樹脂組成物の層
と支持体フィルムとの接着力よシも。
感光性樹脂組成物の層とカバーフィルムとの接着力がよ
り小さい本のであればよい。
本発明の感光性エレメントを構成する感光性樹脂組成物
の層の厚さは、適用する印刷配線板の導体間の高度の電
気絶縁性を保持するため。
また、形成される半田マスクパターンの解偉度の点から
２０〜２００　ｓｍであることが好ましい。
次に９本発明の提案する感光性エレメントの使用方法の
例について説明する。
本発明の提案する感光性エレメントの基板上への積層は
容易である。すなわち、カバーフィルムのない場合はそ
のまま、カバーフィルムのある場合はカバーフィルムを
剥離して又は剥離しながら、加熱・加圧積層する。加熱
・加圧積層は印刷配線板製造業者では周知の常圧ラミネ
ータを用いて行なうことができる。基板が、導体配線ラ
インの形成され九印刷配線板のように１０＃ｍ以上の凹
凸のあるものの場合は、減圧下又は真空下で積層するこ
とが好ましい。
この丸めの装置としては特公＠５３−３１６７０号又は
特公昭５５−１３３４１号に記載される積層装置等があ
る。
積層後の露光および現像処理は常法により行ない得る。
すなわち、支持体フィルムが活性光に不透明である場合
は支持体フィルムを剥離した後、高圧水銀灯、超高圧水
銀灯尋の光源を用い、ネガマスクを通して偉的に露光す
る。露光前後の５０℃ないし１００℃での加熱処理は基
板と感光性樹脂層との書着性を高めるために好ましい。
現僚液に＃′ｉ１．１．１−　）リクロルエタン等の溶
剤が用いられる。不燃性溶剤の使用は安全上好まし一〇 このような方法で得られた像的な保護被膜は通常のエツ
チング、めっき等のための耐食膜となるが、現像後の８
０℃ないし２００℃での加熱処理及び活性光の露光によ
り更に優れ九特性を有する保護被膜となる。現像後の加
熱処理及び活性光の露光の順序祉どちらが先でもよく。
またそれぞれを何度かに分けて行なってもよい。
現像後の加熱処理及び活性光の露光によって得られる保
護被膜はトリクレン、メチルエチルケトン、イソプロピ
ルアルコール、トルエン等の有機溶剤に十分耐え↓酸性
水溶液又はアルカリ水溶液にも耐える。更に、耐熱性に
優れ、耐冷熱価撃性にも優れているので長期の信頼性を
要求される半田マスク等・の永久的な保護被膜として好
適である。
また９本発明の提案する感光性樹脂組成物の溶液をデツ
プコート法、フルーコート法等で基板に直接塗布し、溶
剤乾燥後、直接あるいはポリエステルフィルム等の活性
光に透明なフィルムを積層後、前記の感光性エレメント
の場合と同様にして、ネガマスクを通して像的に露光し
。
現像し、さらに加熱処理および活性光の露光をすること
によっても前記と同様に％性の優れ九保鰻被膜が得られ
る。
このように本発明になる感光性樹脂組成物ま九は感光性
エレメントを用いて形成される被膜は優れ良化学的、物
理的特性を有すること布ら。
印刷板材料、グラスチックレリーフ用等にも用いられる
。
次に本発明の実施例を示す、ここに示す実施例は本発明
の実１＃Ａｍ様を示す本のであり、これＫよって限定さ
れる本のではない。
実施例中及び比較例中の１部」は重量部を示す。
実施例１ ａ）　ウレタンジアクリレート化合物の合成トルエン（
溶剤）　　　　　１２００部Ｂ　　１，６−ヘキサンジ
オール　　　４７２部（８醋）Ｃ２−ヒドロキシエチル
アク　　９２８部（８当量）リレート トルエン（溶剤）　　　　　９５部 孤　メタノール（停止剤）３２部 上記Ａを温度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管及
び滴下器のつい友、加熱及び冷却の可能な容積的５１の
反応器に加え攪拌しながら６０℃に昇温した。反応温度
を５５〜６５℃に保ちながら約３時間で均一にＢを滴下
した。Ｂ滴下後、５５〜６５℃の温度で約２時間保ち。
その後５５〜６５℃の温度でＣを約３時間で均一に滴下
した。Ｃ滴下後、約５時間かけて徐々に反応温度を８０
℃まで昇温した。その後温度を６０℃に下げ、Ｄを加え
約１時間攪拌を続け′た。このようにして不揮発分７０
重量−のウレタンジアクリレート化合物の溶液（１）を
得た。
ｂ）感光性エレメントの製造 上記方法で得られ九ウレタンジアクリレート化合物の溶
液（１１７０部（不揮発分としては４９部）。
メタクリル酸メチル・メタクリル酸・テトラヒドロフル
フリルメタクリレート（７８／２／２０重量比）共重合
物（分子量約１５万、ガラス転移温度９５℃）４７部。
ベンゾフェノン　５部。
ｐ−メトキシフェノール　０．１部。
クリスタルバイオレット　０．１部。
メチルエチルケトン　８０部。
上記の配合で感光性樹脂組成物の溶液を調整し、厚さ約
５０μｍのポリイミドフィルム上に塗布し、ｗｌｌｌ−
ｔ’２０分、８０℃で１０分、１０５℃で５分乾燥し、
感光性樹脂組成物の層の厚さが約６０μｍの感光性エレ
メントを得た。
Ｃ）　半田マスクの形成 基材厚さ１．６閣、鋼箔厚さ１８μｍのガラスエポキシ
銅張積層板を偉的にエツチングすることによシ第１図に
示す鋼パターンを有する試験基板６枚を得九。１は銅パ
ターン部分、２は基材の層重部分を示し、数字の単位は
篩である。
この試験基板上に上記ｂ）で得喪感光性エレメントを曙
童業■製Ａ−５００型常圧ラミネータを用い、積層した
。積層後、支持体フィルムのポリイミドフィルムを剥離
し、第２図に示す試験用ネガマスクを用い■オーク製作
所製フェニックス３０００型露光機を使用し＋　４００
　ｍＪ　／ｃａｍで露光した。３はネガマスクの不透明
部分、４はネガマスクの透明部分を示し数字の単位は■
である。露光後３０分放置したのち、１，１．１−トリ
フルルエタンを用いて２０℃で９０秒間スプレー現現像
た。現儂後８０℃で１部分間加熱乾燥し、東芝電材■製
紫外線照射装置を使用し２．５Ｊ１５１會で照射し九。
その後１５０℃で３０分間加熱処理した。
このようにして保護被膜を形成し九６枚の試験基板のう
ち４枚をそれぞれ２５℃のイングロパノール、トルエン
、トリクレン又は１０Ｌａ［酸水溶液にそれぞれ１０分
間浸漬し九が形成した保唖被膜には何の変化も認められ
なかった。
他の１枚について２５５〜２６５℃の半田浴に３０秒間
浸漬したが保護被膜は安定でめシ。
クラックの発生および基板からの剥離は認められず、半
田マスクとして十分用い得ることがわかつ友。
更に残り１枚の試験基板につ込て、ａジン系フラックス
Ａ−２２６（タムラ化研■製）を用いて、２５５〜２６
５℃の半田浴で３秒間半田付処理をし九のち、ＭＩＬ−
８ＴＤ−２０２Ｅ１０７Ｄ条件Ｂ（−６５℃、３０分間
＝常温５分以内２１２５℃、３０分間）、５０サイクル
の冷熱衝撃試験を行なったが、保護被膜にクラックの発
生はなく長期間の信頼性が非常に優れていることがわか
った。
実施例２ ａ）　ウレタンジアクリレート化合物の合成Ａ　　ＬＤ
Ｉ−Ｍｌｏｏ（リジ　１６９６部（１６当量）ンジイソ
シアナート） トルエン　　　　　　　　８００部 ジ２ウリン酸ジーｎ−プ　　　　１部 チルスズ（触媒） Ｂ　　１，４−シ／　ａへ’ｔｆンジ　　３６０部（５
ＭＭａ）メタノール ２−ヒドロキシエチルア　　３４８部（３Ｍ）クリレー
ト メチルエチルケトン（溶５２０ｉ１Ｓ 剤） Ｃ２−ヒドロキシエチルア　　９２８部（８Ｍ）クリレ
ート トルエン（溶剤）８０部 ｐ−メトキシフェノール　　　０．３部（熱重合防止剤
） Ｄ　エタノール（停止剤）　　２３部 実施例１−ｍ）と同様にして上記配合でウレタンジアク
リレート化合物の溶液を得九。その後。
減圧乾燥して粘稠なウレタンジアクリレート化合物（組
を得た。
ｂ）　感光性エレメントの製造 上記方法で得られ九ウレタンジアクリレート化合物（組
　４０部。
メタクリル酸メチル・アクリル酸メチル・２−とドロ中
ジエチルメタクリレートφアクリロニトリル（８０／１
０１５部６重量比）共重合物（分子量約ｌＯ万、ガラス
転移温度約９０℃）５７部。
ベンゾフェノン　２７部。
ミヒラーケトン　０．３部。
ｐ−メトキシフェノール　０．１部。
ビクトリアピュアブルー　Ｏ，ＯＳ部。
メチルエチルケト７８０部。
トルエン　４０部。
第３図に示す装置を用いて上記配合の感光性樹脂組成物
の溶液１０を２５μｍ厚さのポリエチレンテレフタレー
トフィルム１６上に均一に塗布し８０〜１００℃の熱風
対流式乾燥機１１で約１０分間乾燥した。感光性樹脂組
成物の層の乾燥後の厚さは約１００μｍでめった。感光
性樹脂組成物の層の上には、更に第３図のようにして厚
さ約２５μｍのポリエチレンフィルム１７をカバーフィ
ルムとして張り合わせた。
第３図において、５はポリエチレンテレフタレートフィ
ルム〈シ出しロール、６，７．８はロール、９はナイフ
、１２社ポリエチレンフィルム〈シ出しロール、１３．
１４はロール、１５は感光性エレメント巻き取シロール
である。
Ｃ）半田マスクの形成 上記で得られた感光性エレメントを、第１図に示す鋼パ
ターン（銅厚さ約７０μｍ）の形成された試験用印刷配
線板（ガラスエポキシ基板。
厚さ１，６■）上に日立化成工業■製真空ラミネータ（
真空度３９１１１１１（ｇ、ラミネート温度１００℃、
う２ネ一トスピード’１ｍ１分）を用い、加熱加圧積層
した。積層後６０℃で５分間加熱し。
室温で３時間放置し友後、実施例１−Ｃ）と同様に第２
図に示した試験用ネガマスクを通して１５６　ｍＪ　７
ｃｍ−で露光した。
露光後８０℃で５分間加熱し、室温で２０分゛関放置し
九のち、支持体フィルムを剥離し、１゜１、１−　）　
ＩＪジクロルタンを用い、２０℃で１５０秒間スプレー
現像した。
現像後８０℃で１０分間加熱乾燥し、　＆　ＯＪ　／ｃ
ｔｍ”紫外ＩＩｓ照射し、１３０℃で２時間加熱処理し
た。
このようにして保護被膜を形成した試験基板について実
施例１−ｃ）と同様にして２５℃のイソプロパツール、
トルエン、トリクレン又は１０慢塩酸水溶液で１０分間
浸漬試験したが。
形成し要保護被膜には何の変化も認められなかった。
ｔ７ｔ２５５〜２６５℃の半田浴で３０秒間浸漬試験し
友が問題なく、耐熱性に優れてい喪。
さらに実施例１−ｃ）と同様の半田付処理後。
ＭＩＬ−８ＴＤ−２０２Ｅ　　１０７Ｄ条件Ｂ、５０サ
イクルの冷熱衝撃試験でも形成され九被膜にクラックの
発生は認められなかった。
実施例３ 実施例２−１）で得られ九ウレタンジアクリレート化合
物（１）６０部。
メタクリル酸メチル・メタクリル酸（９８部２重量比）
共重合物（分子量約１０万、ガラス転移温度約１０５℃
）　３７部。
ベンゾフェノン　２．７部。
ミヒラーケトン　０．３部。
ｐ−メトキシフェノール　０．１部。
ビクトリアピュアブルー　０．０２部。
メチルエチルケトン　６０部。
トルエン　７０部。
上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い、実施例２−
ｂ）と同様に第３図に示す装置を使用して感光性樹脂組
成物の層の厚さ約８０μｍの感光性エレメントを得た。
この感光性エレメントを第１図に示す鋼パターン（鋼厚
さ約５０μｍ）の形成された試験用印刷配線板上に実施
例２−Ｃ）と同様にして減圧下で積層した。さらに実施
例２−Ｃ）と同様の処理を行なって該試験基板上に偉的
な保１被膜を形成し九。形成された保護被膜は、２５℃
のインプロパツール、トルエン、トリクレン、メチルエ
チルケトン、１〇−塩酸水溶液又は１０１１１０１ｌ水
溶液に対する１０分間の浸漬試験で何ら問題な（，２５
５〜２６５℃半田浴に対する３０秒間浸漬試験でのクラ
ックの発生、基材からの剥離はなく耐熱性に優れてい友
。さらに実施例１−Ｃ）と同様の半田付処理後、ＭＩＬ
−８ＴＤ−２０２Ｅ１０７Ｄ条件Ｂ、５０サイクルあ冷
熱衝撃試験でもり２ツクの発生はなかつ友。
比較例１ 実施例２−ｂ）のウレタンジアクリレート化合物（ｎ）
にかえてトリメチロールプロパントリアクリレートを用
い、他は実施例２−ｂ）及び実施例２−Ｃ）と同様の操
作を行なった。最終的に得られた保護被膜は、２５５〜
２６５℃の半田浴に対する３０秒間の浸漬試験で一部基
板からの剥離が認められ喪。さらに実施例１−ｃ）と同
様の半田付処理後ＭＩＬ−８ＴＤ−２０２Ｅ　　１０７
Ｄ条件Ｂでの冷熱衝撃試験で５サイクル以内にクラック
が発生し友。
比較例２ 実施例３のウレタンジアクリレート化合物（Ｉｆ）６０
部にかえて、ペンタエリスリトールトリアクリレート２
０部及びビスフェノール人のジー（３−アクリルオキシ
−２−ヒドロキシプロピル）エステル４０部を用い、他
は実施例３と同様の操作を行なった。最終的に得られた
保護被膜は実施例−１−ｃ）と同様の半田付処理後ＭＩ
Ｌ−８ＴＤ−２０２Ｅ　　１０７Ｄ条件Ｂでの冷熱衝撃
試験で５サイクル以内にクラックが発生した。ま九、１
０チ塩酸水溶液に対する１０分間浸漬試験で保護被膜の
一部に基板からの浮きが認められた。
比較例３ トリメチロールプロバントゝリアク１７Ｌ／−ト３０部
。
ポリプロピレングリコール（平均分子量１００Ｇ）ジア
クリレート　１０部。
メタクリル酸メチル・メタクリル酸嘩テトラヒドロフル
フリルメタクリレ−）（７８／２／２０重量比）共重合
物（分子量約１，５万、ガラス転移温度約９５℃）　５
０部。
ベンゾフェノン　２．７部。
ミヒラーケトン　０．３部。
ｐ−メトキシフェノール　α５部。
メチルエチルケトン　２００部。
上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い、他は実施例
３と同様の操作を行なった。最終的に得られ九保護被膜
は、耐溶剤性及び耐熱−性に優れてい喪が、実施例１−
ｃ）と同様の半田付処理後ＭＩＬ−８ＴＤ−２０２Ｅ　
１０７Ｄ条件Ｂ”ｔ’Ｏ冷熱衝撃試験でｌＯプサイル以
内にり２ツクが発生した。
実施例４ ａ）ウレタンジアクリレート化合物の合成。
Ａ　　ＬＤＩ−Ｍ１００′（リジン　１６９６部（１６
醋）ジイソシアナート） トルエン（溶剤）　　　　　１２００部Ｂ　　トリエチ
レングリコール　　　１００部（２′ＭＩｋ）・Ｅ夏巳
！’７キシエチルア　　　６９６部（６当量）Ｃ２−１
＝ドＨＪ？　シブａビル　　１０４０部（８ｆｉ）アク
リレート トルエン°（溶剤）　　　　　　１９０部ヒドロキノン
　　　　　　　０．４部 （熱重合防止剤） Ｄ　メタノール（停止剤）　　　３２部実施例１−ａ）
と同様にして上記配合でウレタンジアクリレート化合物
の溶液を得九。その後。
減圧乾燥して粘稠なウレタンジアクリレート化合物（釦
を得た。
ｂ）感光性エレメントの製造及び半田マスクの形成 上記方法で得られたウレタンジアクリレート化合物（１
）６０部。
メタクリル酸メチル・メタクリル酸・トリブロモフェニ
ルアクリレート（３８／２／６０重１比）共重合物（分
子量約１２万、ガラス転移温度約１２０℃、ブロム含量
３７重量係）３７部。
ベンゾフェノン　２７部。
４．４′−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン０．
３部。
２．２′−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチル
フェノール）０．３部。
ビクトリアピュアブルー　へ０２部。
メチルエチルケトン　１００部。
トルエン　５０部。
上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い。
他は実施例２−ｂ）、及び実施例２−Ｃ）と同様の操作
を行なつ九。最終的に得られ九保護被膜はイソプロパツ
ール、トルエン、トリクレン、又は１０１Ｇ塩酸水溶液
に対する１０分間浸漬試験で何ら問題なく、ま九２５５
〜２６５℃の半田浴に３０秒間浸漬し九が、剥離、クラ
ックなどの変化は認められなかった。さらに実施例１−
Ｃ）と同様の半田付処理後ＭＩＬ−８ＴＤ−２０２Ｅ１
０７Ｄ条件Ｂ、５０サイクルの冷熱衝撃試験でもクラッ
クの発生はなかつ喪。また１日立化成■製印刷配線基板
ＭＣＬ−Ｅ−６８（ＵＬ難燃グレード９４Ｖ−０）の０
．８■厚基材上に上記と同様の操作で全面に保護被膜を
形成し九。
このものはＵＬの９４Ｖ−１規格を満足した。
実施例５　′ ａ）　ウレタンジアクリレート化合物の合成Ａ　　ＬＤ
Ｉ−Ｍｌｏｏ（リジ　　１６９６部（１６当量）ンジイ
ソシアナート） トルエン（溶剤）　　　　　１０００部ジラウリン酸ジ
ーｎ−プ　　　　１部 チルスズ（触媒） Ｂ　エチレングリコール　　　３１０部（１０醋）Ｃ２
−ヒドロキシエチル　　　　６９６部（６１１）アクリ
レート トルエン（溶剤）　　　　１５０部 ヒトｃＩ中ノン　　　　　　　０．３部（熱重合防止剤
） 、Ｄ　メタノール（停止剤）　　　　３２部！Ｊ−施例
１−１）と同様にして上記配合でウレタンジアクリレー
ト化合物の溶液を得た。その後。
減圧乾燥して粘稠なウレタンジアクリレート化合物（転
）を得た。
ｂ）感光性エレメントの製造及び半田マ不りの形成 上記方法で得られたウレタンジアクリレート化合物（ｊ
／）　　５０部。
メタクリル酸メチル・アクリル酸メチルΦアクリル酸・
テトラヒドロフルフリルメタクリレート・）１７７”ロ
モフェニルアクＩＪＬ／−）（４０／２３／２／１０／
２５重量比）共重合物（分子量約８万、ガラス転移温度
約７５℃、ブロム含量１５重量慢）　４７部。
４−り四ルペン＼シフエノン　６部。
ミヒラケトン　０．１部。
４２′−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフ
ェノール）０．５部。
ビクトリアピュアーブルー　０．０２部。
メチルエチルケトン　１００部。
トルエン　５０部。
上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い。
他は実施例２−ｂ）、及び実施例２−Ｃ）と同様の操作
を行なつ九。最終的に得られ要保護被膜はィソグロパノ
ール、トルエン、トリクレン、又は１０％塩酸水溶液に
対する１０分間浸漬試験で何ら問題なくまた２５５〜２
６５℃の半田浴に３０秒間浸漬したが、剥離、クラッタ
などの変化は認められなかった。さらに実施例１−Ｃ）
と同様の半田付処理後ＭＩＬ−８ＴＤ−２０２Ｅ１０７
Ｄ条件Ｂ、５０サイクルの冷熱衝撃試験でもクシツクの
発生はなかった。また９日立化成■製印刷配線板ＭＣＬ
−Ｂ−６８の１．６■厚基材上に上記と同様の操作で全
面に保護被膜を形成した。このものはＵＬの９４Ｖ−１
規格を満足した。
実施例６ 実施例５−艷の感光性樹脂組成物の溶液にさらに三酸化
アンチモン１部を加えた他は実施例５−ｂ）と同様の操
作を行なった。最終的に得られた保護被膜の耐溶剤性、
耐熱性、及び耐冷熱衝撃性は実施例５−ｂ）と同様の結
果で良好であつ九。また。
日立化成■製印刷配線基板ＭＣＬ−Ｅ−６８のｔ／３ｍ
厚基材上基材上と同様の操作で全面に保護被膜を形成し
た。このものはＵＬの９４Ｖ−０規格を満足した。
実施例７ ａ）ウレタンジメタクリレート化合物の合成Ａ　　ＬＤ
Ｉ−Ｍｌｏｏ（リジ　　１６９６部（１６当量）ンジイ
ノシアナート） トルエン（溶剤３　　　　１０００部　・Ｂ１，４−Ｉ
／タンジオール　　　　２７０部（６醋）トルエン（溶
剤）　　　　２８０部 実施例ト４）と同様にして、上記ウレタンジメタクリレ
ート化合物の溶液を得た。その後。
減圧乾燥して粘稠なウレタンジメタクリレート化合物（
■を得た。
ｂ）感光性エレメントの製造及び半田マスクの形成 上記方法で得られたウレタンジメタクリレート化合物間
　４０部。
メタクリル酸メチル・メタクリル酸Φテトラヒドロフル
フリルメタクリレート・アクリロニトリル・トリブロモ
フェニルアクリレート（４３／２／２０１５／３０重量
比）共重合物（分子量約１５万、ガラス転移温度約１０
０″Ｃ，ブロム含量１８重量嘔）　５７部、。
ベンゾフェノン　２７部。
ミヒラケトン　０．３部。
ｐ−メトキシフェノール　０．０５部。
ビクトリアピュアブルー　０．０５部。
トルエン　１５０部。
上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い他′は実施例
２−ｂ）及び実施例２−Ｃ）と同様の操作を行なつ九。
最終的に得ｉれた保護被膜はイソ７’ｏパノール、トル
エン、トリクレン５１１０嘔塩酸水溶液に対する１０分
間浸漬試験で何ら問題なく、マた２５５〜２６５℃の半
田浴に３０秒間浸漬したが、剥離、クラックなどの変化
は認められなかつ九。さらに実施例１−Ｃ）と同様の半
田付処理後ＭＩＬ−８ＴＤ−２０２Ｅ’１０７Ｄ条件Ｂ
、５０サイクルの冷熱衝撃試験でもクランクの発生はな
かった。また９日立化成■製印刷配線基板ＭＣＬ−Ｅ−
６８の１．６■厚基材上に上記と同様の操作で全面に保
賎被膜を形成した。このものはＵＬの９４Ｖ−１規格を
満足した。
実施例８ １）　ウレタンジアクリレート化合物の合成トルエン（
溶剤）　　　　　１０００部ジラウリン酸ジーｎ−プ　
　　　１部 チルスズ（触媒） テトラエチレングリコール　　　２９１部（３醋）メチ
ルエチルケトン（溶剤）　　　２００部Ｃ２−ヒドロキ
シエチルア　　１１６０部（１０当量）クリレート トルエン（溶剤）　　　　２００部 ｐ−メトキシフェノール　　　　０．２部（熱重合防止
剤） Ｄ　メタノール　　　　　　　３２部 実施例ト１）と同様にして上記配合でウレタンジアクリ
レート化合物の溶液を得た。その後。
減圧乾燥して粘稠なウレタンジアクリレート化合物（■
を得九。
ｂ）　感光性エレメントの製造 上記方法で得られたウレタンジアクリレート（２）４７
部。
メタクリル酸メチル・アクリル酸メチル・アクリル！！
−テトラヒドロフルフリルメタクリレート・２−ヒドロ
中ジエチルメタクリレート・トリブロモフェニルアクリ
レ−）　（４３／１０／２１５１５／３５重量比）共重
合物（分子量約１５万、ガラス転移温度約９０℃、ブロ
ム含量２２重量−）　５０部。
ベンゾフェノン　２７部。
ミヒラーケトン　０．３部。
ｐ−メトキシフェノール　０．０５部。
ビクトリアピュアブルー　０．０２部。
ＫＡＹＡＭＥＲＰＡ−２（Ｅｌ　本化薬＃Ｉ）　、　９
　ン酸基を含有する２価のアクリレート）０．１部。
メチルエチルケトン　５０部。
トルエン　１００部。
上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い。
実施例２−ｂ）と同様に第３図に示す装置を使用して感
光性樹脂組成物の層の厚さ約５０μｍの感光性エレメン
トを得た。
Ｃ）半田マスクの形成 上記で得九感光性エレメントを、第１図に示す鋼パター
ン（鋼厚さ約１８４ｆｆｌ）の形成され九試験用印刷配
線板上に実施例２−Ｃ）と同様にして減圧下で積層した
。積層後室温で３時間放置し、実施例１−ｃ）と同様に
第２図に示す試験用ネガマスクを通して２００　ｍＪ／
ｃｙｙ＋１で露光した。
露光後８０℃で５分間加熱し、室温で２０分間放冷した
のち、支持体フィルムを剥離し、１，１．１−トリフル
ルエタンを用い、２０℃で７０秒間スプレー現像し九。
現像後８０℃で３０分間加熱乾燥し、さらに１２０℃で
３０分間、１５０℃で３０分間加熱し念。室温で１０分
分散放冷後１０　Ｊ　／ｃｎｓ”で紫外線照射し、さら
に１３０℃で２時間加熱処理し良。
このようにして保護被膜を形成し九試験基板について実
施例１−Ｃ）と同様にして、２５℃のインプロパツール
、トルエン、トリクレン又ハ１〇−塩酸水溶液に対する
１０分間浸漬試験をし九が、何ら問題なかった。また２
５５〜２６５℃の半田浴に対する３０秒間浸漬試験でも
保護被膜の剥離はなく耐熱性は良好で６つ九。さらに実
施例１−Ｃ）と伺様の半田付処理後ＭＩＬ−８ＴＤ−２
０２Ｅ　　１０７Ｄ条件Ｂ、５０サイクルの冷熱衝撃試
験でもクラックは発生しなかつえ。
クロスオツド試験でも保護被膜の剥離はなく。
密着性が優れていた。また９日立化成■製印刷配線基板
ＭＣＬ−Ｅ−６８のｏ、ｓ■厚厚材材上上記と同様の操
作で全面に保護被膜を形成し喪。
このものはＵＬの９４Ｖ−１規格を満足し良。
比較例４ 実施例１−１）のＬＤＩ−Ｍｌｏｏ（リジンジイソシア
ナー）＞１６９６部（１６当量）にかえて。
ヘキサメチレンジイソシアナート１３４４部（１６当量
）を用い九他は実施例ト４）と同様にしてウレタンジア
クリレート化合物を合成し良。
生成シたウレタンジアクリレート化合物■は反応溶剤の
トルエンには不溶で生成とともにワックス状に分離しえ
。得られたウレタンジアクリレート化合物（至）はメチ
ルエチルケトン、１，１．１−）リクロルエタンには難
溶で、アセトン、りｏｏホルムには溶解した。　　　　
　　。
得うれたウレタンジアクリレート化合物（至）５０部。
実施例１−ｂ）で用い九共重合物　４７部。
ベンゾフェノン　２７部。
電ヒラーケトン　０．３部。
ｐ−メトキシフェノール　Ｏ，ＯＳ部。
ビクトリアピュアブルー　０．０２部。
アセトン　５０部。
クロロホルム　１００部。
上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を、実施例２−ｂ）
と同様に第３図に示す装置を使用してポリエチレンテレ
フタレートフィルム上に塗布シ、熱風乾燥したが、溶剤
乾燥と同時にウレタンジアクリレート化合物（至）と共
重合物が相分離し、好ましい感光性エレメントは得られ
なかつ九。さらに実施例２゛〜夾施例８で用いた共重合
物を使用してみ九が上記と同様に相溶性が悪く、好まし
い感光極エレメントは得られなかった。
、　以上、実施例で詳細に説明し九様に本警明になる感
光性樹脂組成物を用いて得られる感光性エレメントは、
耐熱性、耐冷熱衝撃性及び耐溶剤性の優れ九保嫂被膜を
形成し、形成され要保護被膜は長期の信頼性を要求され
る半田マスクに好適である。
崗、上記は本発明になる感光性樹脂組成物および感光性
エレメントの一実施例にすぎず、当然。
本発明の精神を逸脱しない範囲で種々の変形及び使用方
法が可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図は実施例で用い九試験基板の鋼パターンを示す図
、第２図は実施例で用い九試験用ネガマスクを示す図お
よび第３図は実施例で用いた感光性エレメントの製造装
置の略図である。 符号の説明 １・・・銅パターン部分 ２・・・基材の露出部分 ３・・・ネガマスクの不透明部分 ４・・・ネガ青スクの透明部分 ５・・・ポリエチレンテレフタレートフィルムくり出し
ロール ６．７．８・・・ｐ−ル ９・・・ナイフ １０・・・感光性樹脂組成物の溶液 １１・・・乾燥機 １２・・・ポリエチレンフィルム＜ｆｌしロール１３．
１４・・・ロール １５・・・感光性エレメント巻き取シロール１６・・・
ポリエチレンテレフタレートフィルム１７・・・ポリエ
チレンフイルム 第１図 蒐　Ｚ　図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １４ａ）　、　（イ）リジンジイソシアナート、（ロ）
    ２価アルコール及び（ハ）２価アルコールのアクリル酸
    モノエステル又はメタアクリル酸モノエステルを反応さ
    せて得られるウレタンジアクリレート化合物又はウレタ
    ンジメタクリレート化合物２０〜７５重量部 （ｂ）　　ガラス転移温度が約４０−１５０℃の線状＾
    分子化合物２０〜７５重量部 ならびに （Ｃ）　　活性光によシ遊離２シカ卆を生成する増感剤
    又は（及び）増感剤系 を含有してなる感光性樹脂組成物。 ２　線状高分子化合物がビニル系共重合線状高分子化合
    物である特許請求の範囲第１項記載の感光性樹脂組成物
    。 龜　線状高分子化合物が４０重量嗟までのブロム原子を
    含有、する線状高分子化合物である特許請求の範囲第１
    項又は第２項記載の感光性樹脂組成物。 表　線状＾分子化合物が共重合組成として５〜６５重量
    嗟のトリブロモフェニルアクリレート又はトリブロモフ
    ェニルメタアクリレートを含有する線状高分子化合物で
    ある特許請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載の感
    光性樹脂組成物ヶ 翫　（ロ）及び（ハ）の２価アルコールが１〜２３個の
    炭素原子を含む２価アルコールである特許請求の範囲第
    １項、第２項、第３項又祉第４項記載の感光性樹脂組成
    物。 ＆　（ロ）の２価アルコールが、１，４−ブタンジオー
    ル、１，３−ブタンジオール、１．５−ベンタンジオー
    ル、Ｌ６−ヘキサンジオールおよび１．４−シクロヘキ
    サンジメタツールからなる群から選ばれた２価アルコー
    ルである特許請求の範囲第１項、第２項、第３項、第４
    項又は第５項記載の感光性樹脂組成物。 ７．２価アルコールのアクリル酸モノエステル又はメタ
    アクリル酸モノエステルがとドロキシエチルアクリレー
    ト、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロ
    ピルアクリレートおよびヒドロキシエチルメタクリレー
    トからなる群から選ばれ良化合物である特許請求の範囲
    第１項、第２項、第３項、第４項。 第５項又は第６項記載の感光性樹脂組成物。 ＆　ウレタンジアクリレート化合物又はウレタンジメタ
    クリレート化合物が１×１０　〜ｔ５Ｘ１０−’当量／
    ？のアクリロイル基又はメタアクリロイル基を含むウレ
    タンジアクリレート化合物又はウレタンジメタアクリレ
    ート化合物である特許請求の範囲第１項、第２項、第３
    項、第４項、第５項、第６項又は第７項記載の感光性樹
    脂組成物。 ９．５重量−までの三酸化アンチモンを含有する９％許
    請求の範囲第１項、第２項、第３項。 第４項、第５項、第６項、第７項又は第８項記載の感光
    性樹脂組成物。 １α（１）（イ）リジンジイソシアナート、（ロ）２価
    アルコール及び（ハ）２価アルコールのアクリル酸モノ
    エステル又はメタアクリル酸モノエステルを反応させて
    得られるウレタンジアクリレート化合物又はウレタンジ
    メタクリレート化合物２０〜７５重量部 （ｂ）　　ガラス転移温度が約４０〜１５０℃の線状高
    分子化合物２０〜７５重量部 ならびＫ （Ｃ）　　活性光により遊離ラジカルを生成する増感剤
    又は（及び）増感剤系を含有する感光性樹脂組成物の層
    と該層を支持する支持体フィルムからなる感光性エレメ
    ント。 １１、線状高分子化合物がビニル系共重合融状高分子化
    合物である特許請求の範囲第１０項記載の感光性エレメ
    ント。 １１　　＄Ｉ状嵩高分子化合物４０重量−までのブロム
    原子を含有する線状高分子化合物である特　　　　　１
    許請求の範囲第１０項又は第１１項記載の感光性エレメ
    ント。 １１　線状高分子化合物が共重合組成として５〜６５重
    量−のトリブロモフェニルアクリレート又はトリブロモ
    フェニルメタアクリレートを含有する線状高分子化合物
    である特許請求の範囲第１０項、第１１項又は第１２項
    記載の感光性エレメント。 １４、（ロ）及び（ハ）の２価アルコールが１〜２３個
    の炭素原子を含む２価アルコールである特許請求の範囲
    第１０項、第１１項、第１２項又は第１３項記載の感光
    性エレメント。 １１　　（Ｗ）の２価アルコールが、１．４−ブタンジ
    オール、１，３−ブタンジオール、１．５−ベンタンジ
    オール、ｌ、６−ヘキサンジオールおよび１．４−シク
    ロヘキサンジメタツールからなる群から選ばれた２価ア
    ルコールである特許請求の範囲第１０項、第１１項、第
    １２項、第１３項又は第１４項記載の感光性エレメント
    。 １６、　２価アルスールのアクリル酸モノエステル又は
    メタアクリル酸モノエステルがとドロキシエチルアクリ
    レート、ヒドロ中ジエチルメタクリレート、ヒドロキシ
    プロピルアクリレート及びヒドロキシエチルメタクリレ
    ートからなる群から選ばれ良化合物である特許請求の範
    囲第１０項、第１１項、第１２項、第１３項、第１４項
    又は第１５項記載の感光性エレメント。 １７、　　ウレタンジアクリレート化合物又はウレタン
    ジメタクリレート化合物が１×１Ｏ−１−４５Ｘ１０”
    −”　当量／？のアクリロイル基又はメタアクリロイル
    基を含む化合物である特許請求の範囲第１０項、第１１
    項、第１２項。 第１３項、第１４項、第１５項又は第１６項記載の感光
    性エレメント。 １＆　感光性樹脂組成物が５重量ｇｂｔでの三酸化アン
    チモンを含有する特許請求の範囲第１０項、第１１項、
    、第１２項、第１３項、第１４項、第１５項、第１６項
    又は第１７項記載の感光性エレメント。 １９、剥離可能なカバーフィルムを感光性樹脂組成物の
    層上に積層してなる特許請求の範囲第１０項、第１１項
    、第１２項、第１３項、第１４項、第１５項、第１６項
    、第１７項又は第１８項記載の感光性エレメント。 ２α　感光性樹脂組成物の層が２０〜２００μｍの厚さ
    である特許請求の範囲第１０項、第１１項、第１２項、
    第１３項、第１４項、第１５項、第１６項、第１７項、
    第１８項又は第１９項記載の感光性エレメント。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US4732788A (en) * 1985-07-05 1988-03-22 Akzo Nv Process for coating substrate and an aqueous coating composition based on a cationic binder

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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