JPS5877410A

JPS5877410A - 放電加工装置

Info

Publication number: JPS5877410A
Application number: JP17765181A
Authority: JP
Inventors: Kiyoshi Inoue; 潔井上
Original assignee: Inoue Japax Research Inc
Current assignee: Inoue Japax Research Inc
Priority date: 1981-11-04
Filing date: 1981-11-04
Publication date: 1983-05-10
Also published as: JPS6347568B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】加工槽内κ満たした加工液中で加工を行なう放電加工に
於いては、従来から一般にケロシン等の液状炭化水素化
合物が加工液として用いられてお）、ケ璽シンを用い九
場合、荒加工から仕上加工Ｋｔ１る総べて加工領域で良
好な放電加工を行なうことが′ｅ！る。しかし、ケロシ
ンは着火しやすく常に火災発生の危険を伴うものであり
、これまで４様々な消火装置を具備した放電加工装置が
提供されてきたが、火災事故の発生を避けることができ
なかつ九〇この点、加工液として水《蒸留水》を用いれ
ば火災発生の危険は無くなるが、水の電気抵抗値はクロ
シンに比べて小さいため、パルス巾やピーク電流の大き
い電圧パルスを加工間隙に印加するとアーク放電が発生
しやすく、また電解作用が増大して良好な放電加工を行
なうことができず、水を加工液とした場合、相対的に荒
加工から中仕上加工の加工領域の加工を行なうととが困
離でちゃ、加工液としてはケロシン等の液状炭化水素化
合物を用いることが望ましい。

本発明は如上の点に僑み、加工液として炭化水素化合物
を用い、しかも火災の発生を防止することを目的として
提案されるものでｓｂ，加工槽内底部の加工台上κ載置
固定される被加工体上に設けられ且つ被加工体に対向し
て配置される加工電極の側聞周囲を囲繞して設けられる
隔壁と、対向する加工電極と被加工体とによって形成さ
れる加工間隙に液状炭化水素化合物からなる加工液を供
給する加工液供給装置と、加工槽内に水を供給する水供
給装置とを具備し、ケロシ・ン等の炭化水素化合物を加
工液として加工の行なわれる加工部分を水中に浸漬した
状態で放電加工を行なうことを特徴とするものである。

以下、図面に基づき本発明を具体的に説明する。

第１図は本発明の一実施例装置を示す正断面図、第２図
は第１図に於けるＡ−Ａ矢視図である。

第１図に於いて、ｌは加工槽、１ｍは加工槽１内κ設は
九溢流壁、１ｂは排液孔、ｌｃは溢流液排出孔である◇
２は加工槽１内底部κ設けられ九加工台でｘ−Ｙ平面を
形成する６３は加工台２上κ固定して載置される被加工
体、４は被加工体３の上面に対向して配置される加工電
極で、電極ホルダ５によラて保持され、該電極ホルダ５
は電極取付治具６を介してステ五７に取付けられる０ス
テ▲７には、図示しないサーボ装置によシ加工状態に応
じて前記Ｘ−Ｙ千面平面交する２軸方向の加工部）が付
与されると共に１加工間１１に生成する加工屑中タール
を排除して加工量ＩＩＫ於ける加工液中の加工屑湊度を
適正κ維持することを目的として行なわれるＺ軸方向の
上下往復運動が適宜付与される０また、被加工体３と加
工電極４は加工電源８に接続されている。９ｍは、加工
電極４の側面周囲のうち被加工体３の上面から離れた部
位を囲繞して設けられる離隔部材であシ、９ｂは該離隔
部材９ａを囲繞して被加工体３の上面に設けられる壁部
材であって、離隔部材９ａと壁部材９ｂにようて隔１ｍ
Ｇが形成される。尚、ζこで首う「離隔部材」とは、壁
部材’９　ｂを加工電極４の側面から離隔させる部材を
意味し、また、「隔壁」とは、周辺に充満する水から加
工部分を隔てる壁を意味する０離隔部材９畠、壁部材９
ｂは共に合成樹脂や耐熱ゴム、あるいはｔ九壁部材９ｂ
はス　　　ーポンジ勢の多孔性材料によって構成され、
両部材９ａｓ９ｂは捻子や接着剤で一体に構成されるＯ
また、両部材９ａ，９ｂは必ずしも別個に製作されるも
のではなく、最初から両者を一体に成形するようにして
も良い。隔壁９と加工電極４は必ずしも一体に固定しな
くてもよく、例えば、離隔部材９．１として合成樹脂や
硬質ゴムを加工電極４の側面周囲を囲繞する形状に成形
したものを用い、隔壁９を被加工体３の上面に載置して
、加工電極４が離隔部材９ａに摺接しながら、または両
者間に後述する０．５〜１．　Ｏ　ｆｆ程度の隙間を設
けるようにして加工電極４が離隔部材９暑に接触するこ
となくＺ軸方向に移動するように構成することができる
。また、隔壁９と加工電極４を一体に構成する場合は、
加工電極４の動きに隔壁９が追随し得るように、あるい
は隔壁９が加工電極４の動きを阻害することがないよう
に、少なくとも壁部材９ｂをスポンジ中軟質ゴム勢の弾
性を有する可撓性材料で構成することが必要であシ、こ
の場合、締めＡＩＯを用いて隔壁９を加工電極４の側面
凹部に密着させるようにする。また、可撓性の壁部材９
ｂを用いる時は、帯状の可撓性材料を離隔部材９ｇｏ周
囲にｌＩｈ１！付けて端部を接着剤やピン等で留めるよ
うＫすれば良い。離隔部材９ａｌ’（は加工液の流入孔
１１と流出孔１２が設けられ、加工液流入孔１１は加工
液供給管１３を介して加工液供給装置に接続されておｐ
１流入孔１１と流出孔１２は加工電極４０大きさ中形状
に応じて適宜個数分布して配設される。を九、壁部材９
ｂを多孔性材料で構成し九〕、加工電極４と離隔部材９
ａ間に隙間を設けた場合は、流出孔には必ずしも必要と
しない。

更に１１４は、ステム７に固定して被加工体の上方領域
を覆う形に配置される逆漏斗形状の加工液捕集カバーで
あ）、耐火性を有する金属や金属に合成樹脂を塗着し丸
材層から構成される。加工液捕集カバー１４の上端部に
ガス排出孔１５が設けられ、排出孔１５は、電磁弁１６
を有するガス排出管１７を介してガス処理装置１８に接
続される。１９は管１７に介装して設けたガス排出用ボ
／プ加はポンプ１９の駆動モータである。また、捕集カ
バー１４の側面適宜個所に加工液排出孔２１が設けられ
、排出孔２１は、電磁弁２２を有する加工液排出管ムを
介して水分離処理装置Ｕに接続される。部は管ｎに介装
して設けた加工液排出用ポンプ、銘はポンプ部の駆動モ
ータである０捕集カバー１４の内部には、水位並びに加
工液の液位を検出する検出器が設けられる。

１４１．１４ｂは液位検出用のレベルスイッチ、１４Ｃ
。

１４’５１４ｅは水位検出用の検出器である。検出器１
４ｃ１１４ｄ、１４ｅは、捕集カバー内の同レベル位置
に対向して設けられ、この実施例では、カバー内鯛面と
ステムとに対向して配置されておシ、対向検出器間に介
在する媒体の種類（水か加工液）Ｋよって変化する信号
を検出する。

例えば、対向検出器を通電電極として両電極間に介在す
る媒体の比抵抗を検出した）、対向検出器を発光ダイオ
ード等の発光素子と受光素子とによって構成して介在媒
体の種類によって変化する受光量を検出した〕、あるい
は、対向検出器を超音波発振器と音波受信器とによって
構成して介在媒体の種１１１にようて変化する受信エネ
ルギを検出した）するように構成される。ま九、このよ
うに介在物質の種１１１による信号変化を検出する検出
器を用いる他、水と加工液との比重の違いを利用したレ
ベルスイッチな用いることもできる。また、１４　ｆは
空気抜き孔、１４ｇは該孔１４ｆ開閉用の弁である０γ
は、前記検出−による検出信号に応じて捕集カバー１４
内のガス及び加工液の排出を制御する制御装置であ〕、
腋制御装置４によって電磁弁１６、モータ加、及び電磁
弁ｎ、モータ拠が制御される。また、田は水−過再生装
置、四は水貯蔵容器、（資）は加工液−過再生装置、３
１線加工液貯蔵容器、３２は加工槽１内に接続される水
供給管であシ、３３は水供給管３２に介装して設は九本
供給ポンプ、ＵはポンプＮＯ駆動モータ、弱は加工液供
給管１３に介装して設けた加工液供給ポンプ、詞はポン
プ３５の駆動モータ、３７．３Ｂは共に流量調節弁であ
る０以上の構成に於いて、モータ３６によシポンプ３５
を駆動して加工液（ケロシン等の液状炭化水素化合物）
を被加工体３と加工電極４と隔１１Ｇとによって形成さ
れる空間（加工部分）に流入孔１１から供給すると共に
、モータ３４によりポンプ３３を駆動して水を加工槽ｌ
内に供給する。この時、捕集カバーの弁１４ｇを開とし
ておく。水が加工槽１に満たされるまでの間も前記加工
部分への水の侵入をなるべく防止するために必要に応じ
て加工液の供給が続けられ、流出孔１２から溢れ出た加
工液が水面上に拡散して浮遊した状態で水位が上昇する
０水位の上昇に伴い捕集カバー１４内の空気は孔１４　
ｆから排出され、捕集カバー１４内にも水が充満する。

更に水位は上昇し捕集カバーは水中に浸漬した状態とな
り、水位が溢流壁１ａの上端部に達すると水面上に浮遊
した加工液は水と共に壁１ａを越えて排出孔ＩＣから加
工槽外に流出する。流出した水と加工液は回収されて分
離再生処理される。捕集カバー１４内が水で満たされた
ら弁１４ｇを閉とすると共に制御装置Ｉを作動させて各
検出器による監視を開始する。以後、加工部分から溢れ
出た加工液は水中を浮上して捕集カバー１４内に捕集収
容されるため、可燃性の加工液が加工槽の水面上に浮上
することはない。また、捕集カバ一部分を逸脱して加工
槽の水面上に浮遊する加工液が多少あうたとしても、浮
遊する加工液は水と共に溢流壁ｌａから排出されてしま
う。加工槽ｌが水で温良されたら、流量調節弁羽によっ
て水の供給量を調節し、また加工部分への加工液の供給
量も流量調節弁３７によって適宜調整される。このよう
な状態で、加工部Ｗ８から被加工体３と加工電極４間に
電圧パルスを印加して通常の放電加工を行なう。

加工部分には液状炭化水素化合物が加圧送給されておシ
、放電加工によって加工間隙にはタールや加工屑と共に
ガスが生成する。加工液としてケロシンを用いた場合、
ガス状の正へキサン、シクロヘキサン、水素、プロパン
、微量の一酸化炭素、二酸化炭素が発生し、また加工間
隙には多少とも水が混入するため水の分解によって水素
と酸素が発生する。発生し九ガスは流出孔１２から水中
に流出し、浮上して捕集カバー１４内に捕集収容され、
タールや加工屑の一部もガスの気泡に付着した状態で捕
集カバー内に収容される。正ヘキサンとシクロヘキサン
は水中で冷却され大部分が液化して収容される。また、
加工部分には加工に必要とする以上の供給量の加工液が
加圧送給されており、余剰の加工液も流出孔１２から水
中に流出して浮上し、捕集カバー１４内に収容される。

生成したタールの一部は、この余剰加工液に溶解して加
工部分から排出除去され、更に、タールと加工屑は流出
する余剰加工液の流れによって加工部から水中に排出除
去される。このようにして、加工間隙に生成するタール
と加工屑を余剰加工液の洗浄作用によりて加工部分から
排除することができ、この余剰加工液の洗浄作用と加工
電極４の上下往復運動によるボップ作用とによって加工
間隙の加工屑濃度が調整制御される。゛従って、加工部
分への加工液の供給量は、加工間隙の加工屑濃度を適正
に維持し得るように変更制御され、常に良好な放電状態
で加工が行なわれる。まえ、隔壁９の壁部材９ｂが離隔
部材９ａＫよりて放電発生部位から離隔されているため
、隔壁９の存在が加工に急影響を及ぼすことがなく、隔
壁９がパルス放電によって損傷することもない。更に、
隔壁９を構成する離隔部材９ａや壁部材９ｂをゴム磁石
で構成したプあるいは該部材の内部に磁石を配置する構
成とすることＫよシ、加工液中の生成加工屑を隔壁９の
壁面に吸着して除去することができる。加工液の流入孔
１１と流出孔１２は、壁部材９ｂの側面に設けて４良く
、加工電極４と離隔部材９ａとの間に間隙を設けた場合
は、該間隙が流出孔の作用をなすことは言うまでもない
。

一方、捕集カバー１４内には、上部からガス、液状炭化
水素化合物、水の順に積層した状態で各物質が収容され
、各物質の収容レベルが検出器によって監視されている
。

捕集カバー１４の上部にガスが貯留することによシ、加
工液（液状炭化水素化合物）の液位が低下しイレペルス
イ、チ１４ｂの位置まで達すると、骸スイッチ１４ｂが
これを検知して動作し、この検知動作信号に応じて制御
装置２７によって電磁弁１６が開とされ、またモータ加
に通電されると共に電磁弁１６の動作回路とモータ加の
回転駆動回路が自己保持される０この結果、ポンプ１９
が駆動され、ガスがガス処理装置１８に送給されて加工
液の液位が捕集カバー上端部に近いレペルスイ、チ１４
ａの位置まで上昇すると、咳スイ、チ１４ａが動作し、
この検出動作信号により前記自己保持回路が解除されて
電磁弁１６が閉とされ、またモータ加への通電が停止さ
れてポンプ１９が停止する。液位の変化に応じてこのよ
うな動作が繰返されて、ガスの排出が行なわれる。この
よう麦ガスの排出手段は、ガスをガス処理装置に圧送す
る必要のある場合に行なわれ、ガスの自然流による排出
で事足りる場合は、レベルスイッチや電磁弁、ポンプ等
を設ける必要はない。

捕集カバー１４内に貯留する加工液の量が増大し加工液
と水との境界面（水位）が検出器１４ｄを下まわる位置
まで低下すると、対向して配置されている検知器１４ｄ
ｒ１４に介在する物質が水から加工液に変化することに
より、該検出器１４ｄによる検出信号が変化する。制御
装置ｎは、この検出信号を判別し検出器１４ｄの位置よ
りも下側に水位が低下したことを検知すると、電磁弁２
２を開とすると共にモータ四に通電してポンプ部を駆動
し、捕集カバー内の加工液を排出孔２１から吸引して水
分離処理装置２４に送給する。ここで、ポンプ部の起動
、停止を繰返すことは操作が煩雑とな）好ましくなく、
以後、加工液の吸引排出を加工中常時性なうようにする
ことが望ましいため、モータ２６の回転数を変更制御す
ることによって加工液排出量を調節するようにする。即
ち、加工液が検出器１４ｄの位置レベルまで達したこと
が検知された段階ではモータ漏を比較的低回転数で運転
し、排出量よりも捕集カパニ内への捕集量の方がいくら
か多くなるようＫする。この時、電磁弁部の動作回路と
モータ加の低回転駆動回路が自ざ保持される０やがて捕
集カバー内の加工液の量が増大して水位が更に低下し、
加工液が検出器１４ｅの位置レベルまで達し九ことが検
知されると、制御装置２７によってモータ四の回転数が
高められ、ポンプ部による加工液排出量が増大される。

この時、モータ怒の高回転駆動回路が自己保持される０
排出量の増大に伴い捕集カバー内の加工液が減少し、水
位が検出器１４ｄの位置まで上昇して、該検出器１４ｄ
による検出信号が水を検知する信号に変化すると、この
水検知信号によってモータ２６の高回転駆動回路の自己
保持が解除され、再びモータ２６は低回転数で運転され
るようになる。

以後このよう々動作が繰返されることにより、捕集カバ
ー１４内の水位が検出器１４ｄと１４６の間に維持され
ることになる。また、捕集カバー内への加工液の捕集量
が極端に低下し、モータ２６が低回転数でも排出量が過
剰となり、水位が上昇して加工液排出孔２１に近い検出
器１４Ｃの位置まで達すると検出器１４Ｃによる水検知
信号によって電磁弁乙の動作回路並びにモータあの低回
転駆動回路の自己保持が解除されて、電磁弁２２が閉と
なると共にボ“ンプ部の運転が停止される。その後、捕
集カバー内の加工液の貯留量が増大して水位が低下する
と再び前述した動作によって加工液の排出が行なわれる
ようｋなる。また、加工液排出量の変更制御は、ポンプ
駆動用モータの回転数を変更調整する他、排出管に流量
調節弁を設け、該弁の開度を水位の変化に応じて変更制
御するようにしても良い。

このようにして捕集カバー内から排出された加工液は、
水分離処理装置ス内で混入した水が加工液から分離され
、分離された水と加工液はそれぞれ水−過再生装置錫と
加工液ｐ過再生装置加に送られ、該装置で再生処理され
た後、水貯蔵容器２９と加工液貯蔵容器３１に収納され
る。

また、捕集カバー１４の内側面や不テム７の周辺は、生
成タール等が付着して汚染されるため、捕集カバー内や
加工槽内の適宜個所に超音波振動子を設けて汚染の防止
並びに洗浄を行なうようにする。この場合、２５〜１５
０ＫＨｚ、２ｏ〜ｓＱｗ租度の超音波が利用され、余剰
加工液によりて洗い流すようにすることＫよシ洗浄効果
が高められ更に、二つ以上の周波数を組合わせ利用する
ことによっても洗浄効果を高めることができる。

第３図と第４図は、本発明に於いて隔壁９の壁部材９ｂ
をスポンジ等の多孔性材料で構成した場合の実施例を示
すものであり、第１図、第２図と同一符号は同一部分を
示す。この実施例では、ゴムや合成樹脂または之等を金
属表面に被覆したものからなる離隔部材９ａと、該部材
９ａの内側面に固定して設けられる多孔性材料からなる
壁部材９ｂとによって隔壁９が構成され、離隔部材９ａ
と加工電極４との間に０．５〜１．０閣程度の微小間隙
９Ｃを介在させるようにして、隔壁９が被加工体３上に
載置されている。また、加工電極４０側面に開口する加
工液流入孔１１から電極内部を通って加工間隙に開口す
る加工液流通路が形成されてお）、離隔部材９ａの側面
に加工液排出孔１２が設けられている。流出孔１２は必
要に応じて複数個設けられる。第３図の実施例では、加
工液゛は矢印で示すように、流入孔１１から電極内部を
通って加工間隙に供給され、加工生成物質と共に隔壁９
部分に流動し、その一部はスポンジ等からなる壁部材９
ｂを通って流出孔１２から水中に流出する０そして他の
加工＊ａ生成ガスと共に隔１１９と加工電極４との間の
隙間９Ｃから水中に排出浮上して捕集カバー１４によっ
て捕集され、タールや加工屑は多孔性の壁部材９ｂに付
着して濾過される０このため、捕集カバー１４内から回
収される加工液の汚れが少なく、加工１１濾過再生装置
による処理も容易とな）、常にきれいな加工液を加工間
隙に供給して能率の良い加工を行なうことができ、加工
速度を約２倍に向上させることができる０また、捕集カ
バーやステ五周辺等、加工槽内のタールによる汚染を防
止低減することができる。しかし、この実施例では、多
孔性壁部材９ｂの汚染がひどく、腋部材９ｂＫよるフィ
ルタ作用が急速に低下してしまう。第４１１！１の実施
例は、このような間１１に対処する丸めの４のであシ、
加工液流入孔１１を離隔部材９暑の上面にも設け、清浄
な加工液を多孔性一部材９ｂ内に流通させることによつ
てタールを溶解して除去することができ、この結果、壁
部材ｅｂｏｐｔ過寿命を嬌ばすことができる。また、離
隔部材９ａをゴム磁石等で構成して磁化作用をもたせ、
多孔性壁部材９ｂを磁性材料から構成したり、あるいは
、スボ／ジ等の多孔性壁部材内に磁石粒を散在させるよ
うに構成して、加工屑を磁気吸着させるようにすること
により、多孔性壁部材９ｂのフィルタ作用を向上させる
ことができる。

なお、上記本発明に於ける液状炭化水素化合物からなる
加工液は、その全部がケロシンやトランス油等の炭化水
素油である必要はなく、即ち、例えば炭化水素油を界面
活性剤によって必要な量（通常束くとも重量比でＩＩｓ
以上）を水（通常所謂純水）に分散溶解させて含有させ
た加工液でも曳く、上記界面活性剤としては非イオン性
のものが加工液の抵抗を高く保てる所から望ましく、例
えばポリエーテル変性シリコーンオイル等の変性シリコ
ーンオイル、即ち水溶性シリコーンオイルを数−前後程
度以下添加して使用するものが望ましいＯ以上述べた如く、本発明によれば、ケロシン等の液状炭
化水素化合物を加工液として放電加工の行なわれる加工
部分が水中に浸漬され九状態で加工が行なわれ、また、
加工によりて生成する可燃ガスや加工部分から流出した
加工液が、少なくとも周端下部が加工槽内の水中に浸漬
される捕集カバー内に捕集収容されるため、火災発生の
危険がなく、荒加工から仕上加工に至る総べての加工領
域で安全に能率の良い放電加工を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例装置を示す正断面図、第２図
は第１図に於けるＡ−人矢視図、第３図と第４図は本発
明の他の実施例装置の一部拡大正断面図である。ｌ・・・加工槽、１ｍ−・・溢流壁、１ｂ・・・排液孔
、１ｃｍ・溢流液排出孔、２・・・加工台、３・・・被
加工体、４・・・加工電極、６・・・電極ホルダ、６・
・・電極取付治具、？−・・ステム、８・・・加工電源
、９・・・隔壁、９ａ・・・離隔部材、ｇｂ−・一部材
、１Ｇ・・・締め具、１１・・・加工液流入孔、１２・
・・加工液流出孔、１３・・・加工液供給管、１４・・
・加工液捕集カバー、１４ａ〜１４ｅ・・・検出器１４
ｒ・・・空気抜き孔、１４ｇ・・・弁、１５・・・ガス
排出孔、１６・・・電磁弁、１７・・・ガス排出管、１
８・・・ガス処理装置１９・・・ポンプ、加・・・ポン
プ駆動用モータ、２１・・・加工液排出孔、２２・・・
電磁弁、ｎ・・・加工液排出管、ス・・・水分離処理装
置、６・・・ポンプ、銘・・・ポンプ駆動用モータ、２
７・・・制御装置、四・・・水ｐ過再壺装置、四・・・
水貯蔵容器、（資）・・・加工液濾過再生装置、３１・
・・加工液貯蔵容器、３２・・・水供給管、３３・・・
ポンプ、Ｕ・・・ポンプ駆動用モータ、３５・・・ポン
プ、３６・・・ポンプ駆動用モータ、３７・・・流量調
節弁、３８・・・流量調節弁第２図第４回

Claims

【特許請求の範囲】（１）　　加工槽内に加工電極と被加工体とを対向して
配置し、前記両者間に形成される加工間隙に加工液を介
在させると共に鍵記両者関に電圧パルスを印加して放電
加工を行なう放電加工装置に於いて、加工槽内底部の加
工台上に配り定される被加工体上に設けられ且つ前記被
加工体に対向して配置される加工電＠Ｏ側面周超を囲繞
して設けられる隔壁と、前記加工間−に液状炭化水素化
合物からなる加工液を供給する加工液供給装置と、前記
加工槽内に水を供給する水供給装置とを具備してなるこ
とを特徴とする放電加工装置・（２）　　隔壁を多孔性
材料で構成してなることを特徴とする特許工装置◎ （３）　　隔壁が磁気吸着作用を有することを特徴とす
る前記特許請求の範囲第１項記載の放電加工装置０（４）　　加工槽内に加工電極と被加工体とを対向して
配置し、前記両者間に形成される加工間隙に加工液を介
在させると共に前記両者間に電圧パルスを印加して放電
加工を行なう放電加工装置に於いて、加工槽内底部の加
工台上に載置固定される被加工体上に設けられ且つ前記
被加工体に対向して配置される加工電極の側面周囲を囲
繞して設けられる隔壁と、前記加工間隙に液状炭化水素
化合物からなる加工液を供給する加工液供給装置と、前
記加工槽内に水を供給する水供給装置とを具備し、更に
、前記加工電極を支持するかステムに固定して前記被加
工体の上方領域を覆う形に加工槽内に配置される逆漏斗
形状の加工液捕集力パーを具備すると共に、該捕集カバ
ーの側面開孔部に管を介して接続される加工液排出装置
と、前記捕集力パー内の水位を検出する検出装置と、該
検出装置による検出信号によって前記加工液排出装置を
制御する制御装置を具備してなることを特徴とする放電
、加工装置。（６）加工液捕集カバーが超音波洗浄装置を有すること
を特徴とする特許載の放電加工装置。