JPS5878562U - 電子顕微鏡等の多試料装置 - Google Patents

電子顕微鏡等の多試料装置

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JPS5878562U
JPS5878562U JP17329481U JP17329481U JPS5878562U JP S5878562 U JPS5878562 U JP S5878562U JP 17329481 U JP17329481 U JP 17329481U JP 17329481 U JP17329481 U JP 17329481U JP S5878562 U JPS5878562 U JP S5878562U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
electron microscopes
sample equipment
moving shaft
exchange device
Prior art date
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Pending
Application number
JP17329481U
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English (en)
Inventor
橋本　信義
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPS5878562U publication Critical patent/JPS5878562U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の要点を示す概略断面図、第
２図は要部の断面図、第３図、第５図は要部の立体図、
第４図はその断面図である。 １・・・試料室、２・・・承、３・・・押しバネ、４・
・・テコ、５・・・ネジ棒、６・・・微動軸、７・・・
０リング、８・・・連結棒、９・・・電子線通路、１０
・・・試料、１１・・・ＯＩＪソング１２・・・筒体、
１３・・・押しバネ、１４・・・試料交換棒、１５・・
・嫡子、１６・・・０リング、１７・・・軸承、１８・
・・微動ツマミ、１９・・・試料台、２０・・・移動軸
、２１・・・ガイドピン、２２・・・筒体、２３・・・
カム溝、２４・・・嫡子、２５・・・０リング、２６・
・・ガイドピン、２７・・・試料押え、２８・・・貫通
穴、２９・・・０リング、３０・・・球面、３１・・・
ガイド溝。 第　３　図 ＼（／ １　（− 魔　ｉｏｔ； 第　４　図 ′）

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 筒体に挿入された移動軸と前記移動軸の先端に着脱可能
    に取り付けられ、複数個の試料を収納し得る試料台と前
    記移動軸に対して軸方向に直進移動及び回転移動する手
    段を具備した試料交換装置とで構成されたことを特徴と
    する電子顕微鏡等の多試料装置。
JP17329481U 1981-11-24 1981-11-24 電子顕微鏡等の多試料装置 Pending JPS5878562U (ja)

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JP17329481U JPS5878562U (ja) 1981-11-24 1981-11-24 電子顕微鏡等の多試料装置

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Family

ID=29965159

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014192108A (ja) * 2013-03-28 2014-10-06 Jeol Ltd ホルダー、荷電粒子線装置、および真空装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014192108A (ja) * 2013-03-28 2014-10-06 Jeol Ltd ホルダー、荷電粒子線装置、および真空装置

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