JPS6277854U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す要部拡大平面
図、第２図は従来例を示す平面断面図である。 １：鏡体、２：傾斜体、３：球体軸受、４：保
持筒、５：試料ホルダ、６：対物レンズの下磁極
片、７：試料、８，１５：押しネジ、１０：駆動
棒、１１：連結棒、１４：コテ体、１６：板体。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 試料を保持した試料ホルダを鏡体壁に貫通
   させると共に、この試料ホルダの先端を間に連結
   部材を介在させて試料ホルダの挿入位置と反対側
   に設けられた駆動手段に係合させることにより試
   料ホルダを軸心方向に移動させて試料の移動を行
   うようになした装置において、前記試料ホルダと
   駆動手段との間の連結部材を分割し、その分割さ
   れた端部間をバイメタルで形成された板体で連結
   し、該板体の温度変化に基づくたわみにより試料
   のドリフトを補正するようになしたことを特徴と
   する電子顕微鏡における試料移動装置。 (2) 前記板体はその長手方向が試料ホルダの軸
   心に対して略直交するように配置したことを特徴
   とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の電子
   顕微鏡における試料移動装置。