JPS5879145A - 表面疵検査機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 板などにおける表面疵の検出を的確化すると共に表面疵
の種別や状態の如き金も適切に判別することのできる表
面疵検丘機構を提供しようとするものである。

鋼板等の移動する帯状体又は切板のように連続的に頼次
送られる板状体の表面疵を検査するだめの装置として光
学的走査手段が用いられていることは公知の通りであり
、この光学的走査手段としてフライングスポツト（飛点
走査）又はフライングイメージ（イメージセンサ−を含
む飛像走査）などが採用され、これらのものは何れも上
記のような被検食材検査面をその移動方向を横断せしめ
て光学的に走査し、欠陥部における反射光せ又は透過光
量の変化を受光手段として用いられた受光素子で検知す
るものである。ところでこのような表面疵検査機構で前
記欠陥部で得られる光量変化は被検査材の平均反射率の
むらに比較してそれなりに小さいものでも検知する必要
があり、このため微分回路を設けて極部的変化を拡大せ
しめてキャッチし、又緩漫な光量変化を検知しないよう
にすることが行われている。然るに上記したような鋼板
等の衣面欠陥部（疵）はその種類によって反射光量の増
加するものの外に反射光量が却って減少するものがおり
、又欠陥部の幅によって出力パルス幅も異ることになり
、このような柚々に異つた様相を示す反射光量変化によ
って適切な検出結果を得難い不利がある。

本発明は上記したような実情に鑑み検討を重ねて創案さ
れたものであって、前記したように抛々に異る欠陥部か
らの出力波形を適切に識別せしめ、その欠陥部の種類を
分類して有効且つ的確な検出結果を得しめるようにした
ものであシ、その要旨とするところは、上交叉せしめて
走査し、該走査線上の欠陥部を光学的手段によシ検出す
るようにしたものにおいて、前記光学的手段として用い
られた受光素子の出力を微分増幅器回路と非微分アナロ
グ遅延回路に分岐せしめ、前記微分増幅器回路出力の欠
陥検出パルスにより上記した非（３） 微分アナログ遅延回路出力を一定時間だけ出力させ、欠
陥出力波形の極性およびパルス幅を判定する回路を介し
て検出出力を得しめるようにしだものである。

即ち本発明によるものの具体的な実２０態様を添付図面
に示すものについて説明すると、上記したような受光素
子１からの出力を第１図に示すように微分増幅器回路２
と非微分アナログ遅延素子回路５とに分岐せしめ、その
微分増幅器回路２の出力をコンパレータ４に送って欠陥
部のパルスを強調せしめると共に欠陥部以外の反射光量
むらを減衰させて欠陥部のみのパルス出力が得られるよ
うにし、該欠陥部パルス出力に）を疵検用出力部１０に
送ると共に再トリガ−モノマルチ６に送り、該モノマル
チ６からの信号を前記アナログ遅延素子回路５に連結さ
れたアナログスイッチ７に送るように成っている。又こ
のアナログスイッチ７には疵検性判定回路８．８ａが連
結され、これらの回路には七およびりの各判定（４） レベル回路１８．１８ａが設けられていて、それぞれの
低極性を判定し、又それら判定回路８．８ａに各疵幅判
定回路９．９ａが連結さ扛、その疵幅を判定するように
成っている。

１４はコンパレータ４に附設された検出レベルに設定回
路を示す。

上記したような本発明の構成によるものについて各部で
の出力波形は第２（凶において示す通りであり、父上。

己した従来のものにおける出力波形については別に第３
図と第４図に示す通りである。即ち先ず第３図に示すよ
うに受光素子出力波形において平均反射光ｔが平均ライ
ンＳ・・・・・・Ｓより減少している部分において［有
］側に蓋敬の増加する欠陥部があっても■側検出レベル
に達しないこととなり、光縫増加として判定できない。

又第４図の上段に示すような出力パルスの場合に走査光
が欠陥部を通過し同図下段のような微分出力が出たなら
ばその疵検などの判別ができない。このような従来のも
のに対し第２図に分析的に示した本発明のものにおいて
は、その（イ）に示すような欠陥部ａを適宜に検出した
受光素子１からの出力波形は微分増幅器回路２において
仲）のような微分波形として得られ、このものの両端部
（被検査材の端縁）が消却されて同図（／→のようにな
ってコンパレータ４に送られ、該コンパレータ４におけ
る前記のような作用で同図に）のような疵検用パルス信
号が得られる。一方アナログ遅延素子回路５からは第２
図（力のような出力波形が得られるが、これに対し再ト
リガ−モノマルチ６からの同図（へ）に示すような欠陥
部出力パルスがアナログスイッチ７に入り、該アナログ
スィッチ７全一定時間ｔだけ開いて同図（ト）に示すよ
うな波形のパルスが疵検性判定回路８．８ａに入り、こ
の場合において中側判定回路９における出力は第２図の
（ト）の如くでおるが、ｅ側判定回路９ａにおける出力
は第２図の（例のようになり、即ち検出された疵の極性
をこれらの判定回路９．９ａにおいて判定することがで
きると共にその疵幅Ｗも的確に判別し得る、以上説明し
たような本発明によるときはこの種光学的手段によって
走行移動する鋼板等の被検査材を検査するに当シ、的確
な検出結果を得しめると共に疵のｍ類や疵幅のような形
態の如きをも適切に識別して好ましい検査結果を提供す
るものであるから工業的にその効果の大きい発明である
。

【図面の簡単な説明】

図■は本発明の技術的内容を示すものであって、第１図
は本発明による機構構成を′電気的に略解した説明図、
第２図はその各部によって・１！Ｉられる出力パルスの
形態全分析的に示した説明図、第３図と第４図は従来の
この補光学的検査機構についＣの出力パルスに関する説
明図である。 然してこれらの図面において、１は受光素子、２は微分
増幅器回路、４はコンパレータ、５は非微分アナログ遅
延素子回路、６は再トリガー七ノマルチ、７はアナログ
スイッチ、８．８ａは疵種性判定回路を示すものである
。 特許出願人　　東英軍子工業株式会社 同　　　川崎製鉄株式会社 発明者　藤　１）　正　和 同　　　　　　　　木　　　塚　　　　　秀　　　離開
　　　　　　　　古　　　川　　　　　幸　　　夫同　
　　　　　　　増　　　野　　　　　世　　　彦巣　、
２　　　馴 畜　Ｊ　　」 乙Ｌ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 移動する鋼板等の被検査物の表面を該被検査物の移動方
   向に交叉せしめて走査し、該走査線上の欠陥部を光学的
   手段により検出するようにしたものにおいて、前記光学
   的手段として用いられた受光素子の出力を微分増幅器回
   路と非微分アナログ遅延回路に分岐せしめ、前記微分増
   幅器回路出力の欠陥検査パルスによシ上記した非微分ア
   ナログ遅延回路出力を一定時間だけ出力させ、欠陥出力
   波形の極性およびパルス幅を判定する回路を介して検出
   出力を得しめるようにしたことを％徴とする表面疵検査
   機構。