JPS5879541A - 微粉末の製造方法 - Google Patents
微粉末の製造方法Info
- Publication number
- JPS5879541A JPS5879541A JP17812681A JP17812681A JPS5879541A JP S5879541 A JPS5879541 A JP S5879541A JP 17812681 A JP17812681 A JP 17812681A JP 17812681 A JP17812681 A JP 17812681A JP S5879541 A JPS5879541 A JP S5879541A
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- Japan
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- electron beam
- fine powder
- tip
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- metal
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- Pending
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- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子ビーム加熱を用いたガス蒸発法によって、
金属、非金属。および各種化合物の微粉末を製造する方
法に関するものである。
金属、非金属。および各種化合物の微粉末を製造する方
法に関するものである。
低圧ガス算囲剣中において高電圧電子ビームを金属、非
金属、或いは各種化合物等の材料に照射して該材料を加
熱蒸発させた後、該雰Ｉ１１ガス中でその蒸発物質を冷
却凝固させて微粉末を＃秦する方法は既に知られている
。しかしながら従来の蒸発法では一般に被蒸発材料を耐
火ルツボ中で加熱溶解し蒸発させる方法が用いられてい
たために、被蒸発材料とルツボ材料との反応、戟いはル
ツボ材料の蒸発現象が起こることによって、しばしば目
的とする生成微粉末の中に不純物の混入する欠点があっ
た。また、その場合、被蒸発材料からルツボへの熱伝導
によって被蒸発材料に必要とする高湿度が得られないこ
と、および、歩どまりが悪いと共に、ルツボ内で被蒸発
材料の加熱湿度を最初から最後まで一定温度に管理し難
いため微粒子の大きさが一定しないなど、種々の欠点が
あった。
金属、或いは各種化合物等の材料に照射して該材料を加
熱蒸発させた後、該雰Ｉ１１ガス中でその蒸発物質を冷
却凝固させて微粉末を＃秦する方法は既に知られている
。しかしながら従来の蒸発法では一般に被蒸発材料を耐
火ルツボ中で加熱溶解し蒸発させる方法が用いられてい
たために、被蒸発材料とルツボ材料との反応、戟いはル
ツボ材料の蒸発現象が起こることによって、しばしば目
的とする生成微粉末の中に不純物の混入する欠点があっ
た。また、その場合、被蒸発材料からルツボへの熱伝導
によって被蒸発材料に必要とする高湿度が得られないこ
と、および、歩どまりが悪いと共に、ルツボ内で被蒸発
材料の加熱湿度を最初から最後まで一定温度に管理し難
いため微粒子の大きさが一定しないなど、種々の欠点が
あった。
この欠点を解消するため本発明者は、既に特許出願して
いる微粉末の製造方法において、材料な線吠重たは棒状
に形成しその先端部に電子ビームを照射して加熱蒸発さ
せ該先端部がたえず電子ビームの収束地点に位置するよ
うにその蒸発速度に台わせて核材料を進行させることを
発案しているが、本発明はこの先の発明を基とし、１ａ
数本の線状または棒状の材料に電子ビームを交互に当て
ることにより断続的に電子ビームが照射されるようにし
て先の発明をさらに改良せんとするものである。
いる微粉末の製造方法において、材料な線吠重たは棒状
に形成しその先端部に電子ビームを照射して加熱蒸発さ
せ該先端部がたえず電子ビームの収束地点に位置するよ
うにその蒸発速度に台わせて核材料を進行させることを
発案しているが、本発明はこの先の発明を基とし、１ａ
数本の線状または棒状の材料に電子ビームを交互に当て
ることにより断続的に電子ビームが照射されるようにし
て先の発明をさらに改良せんとするものである。
以下に本発明の一実施例を図面と共に説明する。
図において、１は電子ビーム照射装置、雪は照射室で、
電子ビーム照射装置１は周知のように電子銃１から発射
された高電圧電子ビームが電子レンズ４．４を通して照
射室！内の収束地点２１に収束するよう調整される。電
子ビー＾照射装置１１の配管Ｓ、Ｓ、ａおよび照射１ｉ
１！の配管７は真空ポンプ（図示せず）に継がるもので
、これによって該照射室鵞内はあらかじめ高真空（１０
’Ｔｏｒｒ位）に減圧される。また、８は該材料の蒸発
時に照射室３内に雰囲気ガスを供給すゐ配管、１は照射
室ｉＰ３に垂下した円筒形容器内に液体窒素等の冷却媒
体を収客してなる微粉未回収器である。 ｉｏａ〜ｌＯ
・は−−ル■に巻回されていゐ線状の被蒸発材料で、該
曽−ル■から平行に繰り出されゐようにしている。
電子ビーム照射装置１は周知のように電子銃１から発射
された高電圧電子ビームが電子レンズ４．４を通して照
射室！内の収束地点２１に収束するよう調整される。電
子ビー＾照射装置１１の配管Ｓ、Ｓ、ａおよび照射１ｉ
１！の配管７は真空ポンプ（図示せず）に継がるもので
、これによって該照射室鵞内はあらかじめ高真空（１０
’Ｔｏｒｒ位）に減圧される。また、８は該材料の蒸発
時に照射室３内に雰囲気ガスを供給すゐ配管、１は照射
室ｉＰ３に垂下した円筒形容器内に液体窒素等の冷却媒
体を収客してなる微粉未回収器である。 ｉｏａ〜ｌＯ
・は−−ル■に巻回されていゐ線状の被蒸発材料で、該
曽−ル■から平行に繰り出されゐようにしている。
このような装置を使用して、先ず、照射室！内を減圧し
た後、該照射！１！内に目的とする微粉末の生成に必要
な雰囲気ガスを配管８を通して供給する。照射室鵞内の
真空度は真空計（図示せず）によって計測し、所定の低
圧ガス雰囲ＬＫ緒持する。しかして本発明では第１図に
示したように電子ビームの照射系路に設けられた偏向コ
イル４島を作動させて電子ビームの照射方角を愛動させ
、電子ビームが前記各材料Ｂａ〜１０＠の先端部に交互
に当るように振幅りをもって一定周期で後動させる。こ
れによって該各材料１０畠〜に・の先端部に断続的に電
子ビームが照射されるようにし、該各先端部を加熱溶融
させその溶融部の表面から該各材料ｔｏｎ〜１０・を蒸
発させる。蒸発速度に合わせて材料にａ−Ｂ・を豐−ル
Ｕから繰り出し、その各先端部が絶えず電子ビームの収
束する捩輻りの範囲に位置するようにする。生成された
微粒子は主として微粉未回収器９の外周面に付着する。
た後、該照射！１！内に目的とする微粉末の生成に必要
な雰囲気ガスを配管８を通して供給する。照射室鵞内の
真空度は真空計（図示せず）によって計測し、所定の低
圧ガス雰囲ＬＫ緒持する。しかして本発明では第１図に
示したように電子ビームの照射系路に設けられた偏向コ
イル４島を作動させて電子ビームの照射方角を愛動させ
、電子ビームが前記各材料Ｂａ〜１０＠の先端部に交互
に当るように振幅りをもって一定周期で後動させる。こ
れによって該各材料１０畠〜に・の先端部に断続的に電
子ビームが照射されるようにし、該各先端部を加熱溶融
させその溶融部の表面から該各材料ｔｏｎ〜１０・を蒸
発させる。蒸発速度に合わせて材料にａ−Ｂ・を豐−ル
Ｕから繰り出し、その各先端部が絶えず電子ビームの収
束する捩輻りの範囲に位置するようにする。生成された
微粒子は主として微粉未回収器９の外周面に付着する。
この製造方法によれば、徒来のルツボ中で材料を溶解蒸
発させる方法と具なりルツボ材料等の異種材料が混入し
ないので純変の高い微粉末が製造できると共に、熱伝導
損失が少ないので所期の高温度が得られ高融点材料でも
容ＪＪＪｖ−蒸発させられるというすでに特許出願して
いる微粉末の製造方法に見られる利点に加えて、複数本
の材料を並設して電子ビームが各材料に°断続的に照射
（パルスと−ム）されるようにして、ビーム照射される
短期間のみ各材料の先端部を局部的に加熱溶解し。
発させる方法と具なりルツボ材料等の異種材料が混入し
ないので純変の高い微粉末が製造できると共に、熱伝導
損失が少ないので所期の高温度が得られ高融点材料でも
容ＪＪＪｖ−蒸発させられるというすでに特許出願して
いる微粉末の製造方法に見られる利点に加えて、複数本
の材料を並設して電子ビームが各材料に°断続的に照射
（パルスと−ム）されるようにして、ビーム照射される
短期間のみ各材料の先端部を局部的に加熱溶解し。
蒸発させるようにしているので、後続材料部の温度を連
続的な電子ビーム照射の場合に比べてかなり低く保つこ
とができる。このことにより後続材料部から輻射によっ
て逃げる熱損失を極めて少なくすることができると＃ｅ
に、該先端部からの伝導熱によって材料が軟化してたわ
みが生ずゐ恐れも解消され、従って各材料の先端部を常
にビーム収束地点に正確に位置させることができる。
続的な電子ビーム照射の場合に比べてかなり低く保つこ
とができる。このことにより後続材料部から輻射によっ
て逃げる熱損失を極めて少なくすることができると＃ｅ
に、該先端部からの伝導熱によって材料が軟化してたわ
みが生ずゐ恐れも解消され、従って各材料の先端部を常
にビーム収束地点に正確に位置させることができる。
被蒸発材料としては高融点の金属または非金属材料（例
★げ、チタン、ハフニウム、ジルコニウム、タングステ
ン、モリブデン、タンタル、ニオブ、シリコン等）があ
るが、更に異なる種類の材料を並設したときにはその各
材料の微粉末の混合物が得られる。その場合触−成分の
微粉末をｌｌ！造ｖｋに混合すｂよりもまんべんなく当
初から均一に混合されたものが得られるので１例えば合
金粉の製造には好適である。
★げ、チタン、ハフニウム、ジルコニウム、タングステ
ン、モリブデン、タンタル、ニオブ、シリコン等）があ
るが、更に異なる種類の材料を並設したときにはその各
材料の微粉末の混合物が得られる。その場合触−成分の
微粉末をｌｌ！造ｖｋに混合すｂよりもまんべんなく当
初から均一に混合されたものが得られるので１例えば合
金粉の製造には好適である。
各材料１０ａ〜ＩＩＭＩの［ｌ［径はその材料の融点を
考廉して決定されるが、一般Ｖ−＃ＩＩ線状に形成した
ものを複数本束ね合わせたもののけうが同一断面積をも
つ単一線材に比べて蒸発速度の大きいことが確められた
。
考廉して決定されるが、一般Ｖ−＃ＩＩ線状に形成した
ものを複数本束ね合わせたもののけうが同一断面積をも
つ単一線材に比べて蒸発速度の大きいことが確められた
。
以上爽適例について説明したように本発明に係る微粉末
の製造方法は、複数本の材料を並設して咳先端部に電子
ビームが交互に崩るようにするこンによって該先端部に
断続的に電子ビームが照射するようにしたもので局部的
な高温度加熱を実現することにより材料の蒸発に嵜与す
るエネルギー効率を高め、能率的な微粉末の製造を行な
うものである。ｖＡ状または棒状ＩＣ成形された材料の
先端部を電子ビーム照射して、該先端部から材料を蒸発
させる方法が高融点をもつ被蒸発材料の場合に特に有効
であることは周知の通りであるが１ｇｋ設される複数本
の材料の種類を適宜複数種選択することにまり、本方法
は極めて均質なそれらの混合微粉末および合金微粉末の
製造をも可能にするものである。
の製造方法は、複数本の材料を並設して咳先端部に電子
ビームが交互に崩るようにするこンによって該先端部に
断続的に電子ビームが照射するようにしたもので局部的
な高温度加熱を実現することにより材料の蒸発に嵜与す
るエネルギー効率を高め、能率的な微粉末の製造を行な
うものである。ｖＡ状または棒状ＩＣ成形された材料の
先端部を電子ビーム照射して、該先端部から材料を蒸発
させる方法が高融点をもつ被蒸発材料の場合に特に有効
であることは周知の通りであるが１ｇｋ設される複数本
の材料の種類を適宜複数種選択することにまり、本方法
は極めて均質なそれらの混合微粉末および合金微粉末の
製造をも可能にするものである。
第１図は本発明の一実施例に係る装置の概略図。
第２図はその作用を示す要部説明用略図である。
１・・・・電子ビーム照射装置、！・・・・照射室、４
、４ａ−−−−１１１１１１Ｉｌｌ＝ｙイＡ／、１５−
−−−収束地Ａ、ｏｌ 〜論・・・・・材料。 第１図 第２ 笥 ２２７− ｔｏｅ Ｏｄ
、４ａ−−−−１１１１１１Ｉｌｌ＝ｙイＡ／、１５−
−−−収束地Ａ、ｏｌ 〜論・・・・・材料。 第１図 第２ 笥 ２２７− ｔｏｅ Ｏｄ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）線状または棒状に形成された複数本の金属または
非金属の材料を低圧ガス雰Ｉ！気中に並設し、電子ビー
ムが該各材料の先端部に交互に当るようにすることによ
り該先端部に断続的に電子ビームが照射されるようにし
たことを特徴とする微粉末の製造方法。 （り異なる種類の金属または非金属の材料を夫々線状ま
たは棒状に形成し、これを低圧ガスＷ囲気中に並設し、
電子ビームが該各材料の先端部に交互に当るようにする
ことにより該先端部に断続的に電子ビームが照射される
ようにしたことを特徴とする微粉末の製造方法。 （３）電子ビームの照射系−路に設けられた偏向コイル
により電子ビームの照射方向を変動させることにより電
、子ビームが各材料の先端部に交互に当るようにした特
許請求の範囲（１）または（２）に記載の微粉末の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17812681A JPS5879541A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 微粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17812681A JPS5879541A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 微粉末の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5879541A true JPS5879541A (ja) | 1983-05-13 |
Family
ID=16043101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17812681A Pending JPS5879541A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 微粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5879541A (ja) |
-
1981
- 1981-11-05 JP JP17812681A patent/JPS5879541A/ja active Pending
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