JPS5883145U - 試料加熱機構 - Google Patents
試料加熱機構Info
- Publication number
- JPS5883145U JPS5883145U JP17933281U JP17933281U JPS5883145U JP S5883145 U JPS5883145 U JP S5883145U JP 17933281 U JP17933281 U JP 17933281U JP 17933281 U JP17933281 U JP 17933281U JP S5883145 U JPS5883145 U JP S5883145U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating mechanism
- sample heating
- sample
- abstract
- cloner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Thermotherapy And Cooling Therapy Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示した試料の加熱機構、第
２図はその一部詳細図である。 １：基台、２：電熱線、３：絶縁性プレート、４：加熱
用電源、５：金属板、６：絶縁被膜、７：試料、８：高
電圧源。
２図はその一部詳細図である。 １：基台、２：電熱線、３：絶縁性プレート、４：加熱
用電源、５：金属板、６：絶縁被膜、７：試料、８：高
電圧源。
Claims (1)
- 試料の下に絶縁材を介して電熱材と、前記試料とクロー
ンカにより引き合う電極材とを配置した試料加熱機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17933281U JPS5883145U (ja) | 1981-12-01 | 1981-12-01 | 試料加熱機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17933281U JPS5883145U (ja) | 1981-12-01 | 1981-12-01 | 試料加熱機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5883145U true JPS5883145U (ja) | 1983-06-06 |
Family
ID=29974931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17933281U Pending JPS5883145U (ja) | 1981-12-01 | 1981-12-01 | 試料加熱機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5883145U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3993509A (en) * | 1973-11-07 | 1976-11-23 | U.S. Philips Corporation | Semiconductor device manufacture |
| JPS5483373A (en) * | 1977-12-16 | 1979-07-03 | Fujitsu Ltd | Heating-up method of semiconductor substrate |
-
1981
- 1981-12-01 JP JP17933281U patent/JPS5883145U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3993509A (en) * | 1973-11-07 | 1976-11-23 | U.S. Philips Corporation | Semiconductor device manufacture |
| JPS5483373A (en) * | 1977-12-16 | 1979-07-03 | Fujitsu Ltd | Heating-up method of semiconductor substrate |
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