JPS5986700U - プラズマ装置用放電々極 - Google Patents

プラズマ装置用放電々極

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JPS5986700U
JPS5986700U JP18299482U JP18299482U JPS5986700U JP S5986700 U JPS5986700 U JP S5986700U JP 18299482 U JP18299482 U JP 18299482U JP 18299482 U JP18299482 U JP 18299482U JP S5986700 U JPS5986700 U JP S5986700U
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JP
Japan
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discharge electrode
plasma equipment
electrode plate
notch
electrode
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Application number
JP18299482U
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大竹　勉
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のプラズマ装置用放電々極、第２−　　　
図は本考案の放電々極である。また第３図は本考案の電
極板の構造を示した図、第４図は電極板固定治具の図で
ある。 ２１ａ・・・・・・ｍ・・・・・・電極板、２２・・・
・・・基板、２３ａ・・・・・・ｂ・・・・・・電極連
結棒、２４・・・・・・電極板固定治具、　　。 ２５・・・・・・車輪、３１・・・・・・電極部分、３
２．３３・・・・・・切り込み、４１ａ・・・・・・ｂ
・・・・・・電極連結棒を通ず溝、４２・・・・・・絶
縁物、４３・・・・・・電極板をさし込む溝。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 複数個の電極を有するプラズマ装置用放電々極において
    、電極板の一部が切り込みを看し、該切り込みに高周波
    電力の供給導体をはめ込むことにより、電極板と高周波
    電源との電気的接続をなしたことを特徴とするプラズマ
    装置用放電々極。
JP18299482U 1982-12-02 1982-12-02 プラズマ装置用放電々極 Pending JPS5986700U (ja)

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JP18299482U JPS5986700U (ja) 1982-12-02 1982-12-02 プラズマ装置用放電々極

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JPS5986700U true JPS5986700U (ja) 1984-06-12

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