JPS5885581A - レ−ザ発生装置 - Google Patents
レ−ザ発生装置Info
- Publication number
- JPS5885581A JPS5885581A JP18377881A JP18377881A JPS5885581A JP S5885581 A JPS5885581 A JP S5885581A JP 18377881 A JP18377881 A JP 18377881A JP 18377881 A JP18377881 A JP 18377881A JP S5885581 A JPS5885581 A JP S5885581A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting mirror
- holding plate
- laser generator
- outer periphery
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08059—Constructional details of the reflector, e.g. shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は反射鏡を改良したレーザ発生装置に関する。
一般にレーザ発生装置は、放電管本体の両端に出力鏡と
反射鏡とを取付けて、出力鏡と反射鏡との間にレーザ光
を共振させて、出力鏡の中心部より外部にレーザ光を取
出す。このため、出力鏡。
反射鏡とを取付けて、出力鏡と反射鏡との間にレーザ光
を共振させて、出力鏡の中心部より外部にレーザ光を取
出す。このため、出力鏡。
反射鏡はレーザ光によって、温度上昇をするので。
これらの鏡外周部に冷却路を設けて、温度上昇を抑制し
ている。冷却路の構成について反射鏡を例にとり説明す
ると、反射鏡は一般に無酸化銅などの部材を使用し、反
射鏡外周部は２枚の保持板たとえば第１保持板と第２保
持板との間に保持されている。これらの保持板は反射鏡
外周部に沿って形成され溝の冷却路より成る。冷却路は
一方の供給口から他方の流出口に向って、冷却水を流し
、反射鏡を冷却している。そして、冷却水が反射鏡に流
出するのを防止するために、第１保持板と第２支持板と
の間に封止部たとえばＯ’Ｊソング介して反射鏡を抑圧
支持している。したがって、抑圧力は反射鏡両面から反
射鏡内部に向って押圧しているので１反射鏡面は外周部
と中心部との間に凸凹形状の歪を生ずる。歪はレーザ光
を乱反射して、レーザ光出力を低下させる。
ている。冷却路の構成について反射鏡を例にとり説明す
ると、反射鏡は一般に無酸化銅などの部材を使用し、反
射鏡外周部は２枚の保持板たとえば第１保持板と第２保
持板との間に保持されている。これらの保持板は反射鏡
外周部に沿って形成され溝の冷却路より成る。冷却路は
一方の供給口から他方の流出口に向って、冷却水を流し
、反射鏡を冷却している。そして、冷却水が反射鏡に流
出するのを防止するために、第１保持板と第２支持板と
の間に封止部たとえばＯ’Ｊソング介して反射鏡を抑圧
支持している。したがって、抑圧力は反射鏡両面から反
射鏡内部に向って押圧しているので１反射鏡面は外周部
と中心部との間に凸凹形状の歪を生ずる。歪はレーザ光
を乱反射して、レーザ光出力を低下させる。
本発明の目的は、レーザ光出力を向上したレーザ発生装
置を提供することにある。
置を提供することにある。
この目的を達成するために、本発明の反射鏡は外周部に
沿って吸収溝を形成して、反射鏡を押圧すれば、抑圧個
所の反射鏡面は中心点方向に延びるが、この延びは吸収
溝により吸収されるので、吸収溝と中心部との間の反射
鏡面には凹凸形状の歪を生じない。したがって、レーザ
光出力は低下することがない。
沿って吸収溝を形成して、反射鏡を押圧すれば、抑圧個
所の反射鏡面は中心点方向に延びるが、この延びは吸収
溝により吸収されるので、吸収溝と中心部との間の反射
鏡面には凹凸形状の歪を生じない。したがって、レーザ
光出力は低下することがない。
以下、本発明の実施例を第１図ないし第２Ｂ図のガスレ
ーザ装置１により説明する。
ーザ装置１により説明する。
放電管本体２は内部に放電室３を形成し、放電室３は放
電管本体２に設けた供給口４から矢印方向にガス媒質５
を供給する。ガス媒質５は炭酸ガス（Ｃ０２） 、窒素
（Ｎ２）、ヘリウム（Ｈｅ）等の混合ガスから成り、放
電管本体２の他端に設けた流出口６より流出する。放電
室３に配設された陰極７と陽極８との間でグロー放電を
起せば、ガス媒質は反転分布状態になって、レーザ光９
を発生する。レーザ光９は出力鏡１ｏと反射鏡１１との
間で共賑させて、出力鏡１ｏを透過して外部に取出す。
電管本体２に設けた供給口４から矢印方向にガス媒質５
を供給する。ガス媒質５は炭酸ガス（Ｃ０２） 、窒素
（Ｎ２）、ヘリウム（Ｈｅ）等の混合ガスから成り、放
電管本体２の他端に設けた流出口６より流出する。放電
室３に配設された陰極７と陽極８との間でグロー放電を
起せば、ガス媒質は反転分布状態になって、レーザ光９
を発生する。レーザ光９は出力鏡１ｏと反射鏡１１との
間で共賑させて、出力鏡１ｏを透過して外部に取出す。
出力鏡１０と反射鏡１１とは第１保持板１２と第２保持
板１３との間に抑圧支持されているが、構造が同じなの
で、出力鏡側を省略し、反射鏡側の構成について説明す
る。
板１３との間に抑圧支持されているが、構造が同じなの
で、出力鏡側を省略し、反射鏡側の構成について説明す
る。
第１保持板には第２Ａ、２Ｂ図に示す如く外側に円周状
の第１溝１５を形成する。第１溝１５より内側の第１保
持板１２と第２保持板１３とには、互いに対応する個所
に第１溝１５と同形状の第２溝１６を形成する。第１溝
１５と第２溝１６との間の反射鏡１１の外周部１１Ａに
沿って、冷却路１７を形成する。冷却路１７は１方の供
給口１８から矢印方向に冷却水１９を流して、他方の出
口２０より外部に排出する。冷却水１９が反射鏡１１お
よび第１および第２保持板１３の外部に流出するのを防
止するために、第１溝１５と第２溝１６とに封止部２ま
たとえば０リングを収納して。
の第１溝１５を形成する。第１溝１５より内側の第１保
持板１２と第２保持板１３とには、互いに対応する個所
に第１溝１５と同形状の第２溝１６を形成する。第１溝
１５と第２溝１６との間の反射鏡１１の外周部１１Ａに
沿って、冷却路１７を形成する。冷却路１７は１方の供
給口１８から矢印方向に冷却水１９を流して、他方の出
口２０より外部に排出する。冷却水１９が反射鏡１１お
よび第１および第２保持板１３の外部に流出するのを防
止するために、第１溝１５と第２溝１６とに封止部２ま
たとえば０リングを収納して。
第２保持板１３を第１保持板１２に当接した状態で、締
付ボルト２２で締付ければ、封止部２１を介して反射鏡
１１の外周部１１Ａは第１保持板１２と第２保持板１３
との間に抑圧支持される。
付ボルト２２で締付ければ、封止部２１を介して反射鏡
１１の外周部１１Ａは第１保持板１２と第２保持板１３
との間に抑圧支持される。
外周部１１Ａは第２Ｂ図ないし第３Ｂ図に詳細に示すよ
うに、反射鏡面２２より内部に吸収溝２３を形成してい
る。吸収溝内に櫂数の連通穴２４を形成して、放電室３
と背面室２５とを連通ずる。
うに、反射鏡面２２より内部に吸収溝２３を形成してい
る。吸収溝内に櫂数の連通穴２４を形成して、放電室３
と背面室２５とを連通ずる。
背面室２５は第２保持板１３に形成した窪み部２６と反
射鏡１１の一方面との間に形成している。
射鏡１１の一方面との間に形成している。
次に、吸収溝２３の働きを第３Ａ図、第３Ｂ図によって
説明する。第１保持板１２に第２保持板１３を当接した
状態で、締付ボルト２３を回転すれば、封止部２１は圧
縮されて、第３Ａ図に示す矢印方向に押圧力Ｆｋ生ずる
。押圧力Ｆは外周部１１Ａの表面２７から内部に向って
押圧するので、外周部１１Ａは第３Ｂ図に示すＸｌおよ
びＸ２方向に延びる。Ｘ１方向の延びは冷却路１７によ
り阻止又は吸収される。Ｘ２方向の延びは吸収溝２３で
吸収できる。したがって、Ｘ２方向の延びは吸収溝２３
で阻止されて、吸収＠２３がら反射鏡１１の中心部２８
の方向に影響を与えにくくなるので、これらの部で凸凹
形状の歪または変形を生じにくくなった。このため、反
射鏡１１から反射されるレーザ光は、乱反射しにくくな
り、その結果、レーザ光出力を低下させることがなくな
った。つまり、レーザ光出力を向上させることができる
。
説明する。第１保持板１２に第２保持板１３を当接した
状態で、締付ボルト２３を回転すれば、封止部２１は圧
縮されて、第３Ａ図に示す矢印方向に押圧力Ｆｋ生ずる
。押圧力Ｆは外周部１１Ａの表面２７から内部に向って
押圧するので、外周部１１Ａは第３Ｂ図に示すＸｌおよ
びＸ２方向に延びる。Ｘ１方向の延びは冷却路１７によ
り阻止又は吸収される。Ｘ２方向の延びは吸収溝２３で
吸収できる。したがって、Ｘ２方向の延びは吸収溝２３
で阻止されて、吸収＠２３がら反射鏡１１の中心部２８
の方向に影響を与えにくくなるので、これらの部で凸凹
形状の歪または変形を生じにくくなった。このため、反
射鏡１１から反射されるレーザ光は、乱反射しにくくな
り、その結果、レーザ光出力を低下させることがなくな
った。つまり、レーザ光出力を向上させることができる
。
この実施例では連通穴２４を設けて、放電室２と背面室
２５との間を連通し、簡単な構造で圧力を均一にしてい
る。そして、連通穴２４を吸収溝２３に形成すれば、次
の効果を生ずる。■、吸収溝２３により位置決が出来る
ので、連通穴２４を形成しやすい。■、吸収溝２３によ
り外周部表面２６より原寸法が薄くなっているので、連
通穴２４の形成時間が早く、作業Ｍｅ率がよい。■、吸
収溝内に連通穴２４を形成すれば、連通穴２４を形成す
る時にパリが出に＜＜、大切な反射鏡１１をパリで破損
することが皆無となった。
２５との間を連通し、簡単な構造で圧力を均一にしてい
る。そして、連通穴２４を吸収溝２３に形成すれば、次
の効果を生ずる。■、吸収溝２３により位置決が出来る
ので、連通穴２４を形成しやすい。■、吸収溝２３によ
り外周部表面２６より原寸法が薄くなっているので、連
通穴２４の形成時間が早く、作業Ｍｅ率がよい。■、吸
収溝内に連通穴２４を形成すれば、連通穴２４を形成す
る時にパリが出に＜＜、大切な反射鏡１１をパリで破損
することが皆無となった。
尚、上述の連通穴は背面室を必要としないガスレーザ発
生装置では必要がない。また、上述では軸流型のガスレ
ーザ発生装置について説明したが、他のガスレーザ発生
装置１１たとえばガス流、放電方向、レーザ光方向の異
なる２軸、３軸直交型或いは交流型等にも使用できるこ
とは勿論である。
生装置では必要がない。また、上述では軸流型のガスレ
ーザ発生装置について説明したが、他のガスレーザ発生
装置１１たとえばガス流、放電方向、レーザ光方向の異
なる２軸、３軸直交型或いは交流型等にも使用できるこ
とは勿論である。
以上のように本発明のレーザ発生装置では、反射鏡外周
部に吸収溝ケ設けたので、反射鏡に歪を生ずることなく
、レーザ光出力を向上させることができる。
部に吸収溝ケ設けたので、反射鏡に歪を生ずることなく
、レーザ光出力を向上させることができる。
第１図は本発明の実施例として示したガスレーザ発生装
置の側貼面図、第２Ａ図は第１図のＩＩＡ−ＩＩＡ線断
面図、第２Ｂ図は第２Ａ図のＩＩＢ−ＩＩＢ線断面図、
第３Ａ図は反射鏡の１１４１１１ＥＩ’ｉ而図、第３Ｂ
図は反射鏡の要部側げ「凹図である。
置の側貼面図、第２Ａ図は第１図のＩＩＡ−ＩＩＡ線断
面図、第２Ｂ図は第２Ａ図のＩＩＢ−ＩＩＢ線断面図、
第３Ａ図は反射鏡の１１４１１１ＥＩ’ｉ而図、第３Ｂ
図は反射鏡の要部側げ「凹図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、放電室を有する放電管本体の他端に第１保持板およ
び第２保持板を取付け、上記両保持板間に設けた制止部
を介して反射鏡を押圧支持するものにおいて、上記反射
鏡外周部に吸収溝を形成することを特徴とするレーザ発
生装置。 ２、放電室を有する放電管本体の他端に第１保持板およ
び第２保持板ｆ：取付け、上記両保持板間に設けた封止
部を介して反射鏡を抑圧支持するものにおいて１反射板
と第２保持板との間に形成した背面室と放電室との間を
連通ずる貫通穴を１反射鏡外周部に設けることを特徴と
するレーザ発生装置。 ３、外周部に設けた吸収溝を有する反射板と第２保持板
との間に形成した背面室と放電室との間を連通ずる連通
穴を、上記吸収溝に形成することを特徴とする特許請求
の範囲第２項記載のレーザ発生装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18377881A JPS5885581A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | レ−ザ発生装置 |
| DE8282110587T DE3269887D1 (en) | 1981-11-18 | 1982-11-16 | Gas laser apparatus |
| EP19820110587 EP0079613B1 (en) | 1981-11-18 | 1982-11-16 | Gas laser apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18377881A JPS5885581A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | レ−ザ発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5885581A true JPS5885581A (ja) | 1983-05-21 |
| JPS6341235B2 JPS6341235B2 (ja) | 1988-08-16 |
Family
ID=16141775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18377881A Granted JPS5885581A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | レ−ザ発生装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0079613B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5885581A (ja) |
| DE (1) | DE3269887D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60146367U (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-28 | 日本電気株式会社 | ガスレ−ザ管 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06297992A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-25 | Takeo Kawarai | 自動荷役装置を備えた貨物自動車 |
| JP4347560B2 (ja) * | 2002-12-17 | 2009-10-21 | シャランインスツルメンツ株式会社 | 光学素子固定構造、光学素子固定体、光学素子および光学素子ホルダ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51136071U (ja) * | 1975-04-24 | 1976-11-02 | ||
| JPS5683088A (en) * | 1979-12-12 | 1981-07-07 | Hitachi Ltd | Laser generator |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1086172A (en) * | 1963-03-21 | 1967-10-04 | C J Whilems Ltd | Improvements relating to optical windows |
| US3555450A (en) * | 1968-01-22 | 1971-01-12 | Laser Associates | Laser window having a metallic frame arranged to permit post optical grinding and polishing |
| US3836236A (en) * | 1972-11-24 | 1974-09-17 | Gte Sylvania Inc | Mirror mount for high power lasers |
| FR2243538B1 (ja) * | 1973-09-06 | 1976-06-18 | Comp Generale Electricite |
-
1981
- 1981-11-18 JP JP18377881A patent/JPS5885581A/ja active Granted
-
1982
- 1982-11-16 DE DE8282110587T patent/DE3269887D1/de not_active Expired
- 1982-11-16 EP EP19820110587 patent/EP0079613B1/en not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51136071U (ja) * | 1975-04-24 | 1976-11-02 | ||
| JPS5683088A (en) * | 1979-12-12 | 1981-07-07 | Hitachi Ltd | Laser generator |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60146367U (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-28 | 日本電気株式会社 | ガスレ−ザ管 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3269887D1 (en) | 1986-04-17 |
| EP0079613B1 (en) | 1986-03-12 |
| JPS6341235B2 (ja) | 1988-08-16 |
| EP0079613A1 (en) | 1983-05-25 |
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