JPS5886507U - 静電容量式膜厚計 - Google Patents

静電容量式膜厚計

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Publication number
JPS5886507U
JPS5886507U JP18176181U JP18176181U JPS5886507U JP S5886507 U JPS5886507 U JP S5886507U JP 18176181 U JP18176181 U JP 18176181U JP 18176181 U JP18176181 U JP 18176181U JP S5886507 U JPS5886507 U JP S5886507U
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JP
Japan
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film thickness
thickness meter
insulator
capacitive film
meter
Prior art date
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Pending
Application number
JP18176181U
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English (en)
Inventor
滝口　英雄
高浜　禎造
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Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
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Publication of JPS5886507U publication Critical patent/JPS5886507U/ja
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は静電容量式膜厚計の従来例を示す断面図、第２
図は実際に作成され、実験に供された膜厚計の平面図、
第３図は第２図の膜厚計の実験結果を示すグラフ、第４
Ａ、４Ｂ図は従来の膜厚計を示す側断面図、第５Ａ図は
この考案の実施例を示す平面図、第５Ｂ図は第５Ａ図の
線Ａ−Ａ’に沿う断面図である。 符号説明、１・・・測定用フィルム、２ａ、２ｂ・・・
対向電極（コンデンサ電極）、２ａ′、２ｂ′・・・引
き出し電極、２ａ″、　　２ｂ″・・・リード線接続用
電極、３・・・絶縁体、４・・・スルーホール、Ｇ・・
・ギャップ、Ｌｌ、　Ｌ２・・・リード線。 メーヒーーーー社−一 ヨ 量　　１ １２、ＱＱＩ 丁 υ　　　　　　　　２０　　　　　　　４〇　　　　　
　　　七ｂ２ａｌ ｋｌ／ 二二二二二」 １図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 絶縁体に形成された対向電極からなるコンデンサを誘電
    体からなる測定用フィルムの片面に接触させ、その接触
    時におけるコンデンサの容量変化からフィルムの膜厚を
    測定するようにした静電容量式膜厚計において、前記対
    向電極からなるコンデンサの容量変化を前記絶縁体を貫
    通する導電化されたスルーホールを介して絶縁体の裏面
    に引き出すことにより、膜厚計のフィルム接触面を平坦
    にするようにしたことを特徴とする静電容量式膜厚計。
JP18176181U 1981-12-08 1981-12-08 静電容量式膜厚計 Pending JPS5886507U (ja)

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JPS5886507U true JPS5886507U (ja) 1983-06-11

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